JP3227005B2 - フッ素樹脂表面の改質法 - Google Patents

フッ素樹脂表面の改質法

Info

Publication number
JP3227005B2
JP3227005B2 JP03794393A JP3794393A JP3227005B2 JP 3227005 B2 JP3227005 B2 JP 3227005B2 JP 03794393 A JP03794393 A JP 03794393A JP 3794393 A JP3794393 A JP 3794393A JP 3227005 B2 JP3227005 B2 JP 3227005B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluororesin
excimer laser
low
temperature plasma
laser light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP03794393A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06248097A (ja
Inventor
正信 西井
雄一 清水
俊一 河西
俊一 杉本
正雄 遠藤
智洋 長瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurashiki Spinning Co Ltd
Original Assignee
Kurashiki Spinning Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurashiki Spinning Co Ltd filed Critical Kurashiki Spinning Co Ltd
Priority to JP03794393A priority Critical patent/JP3227005B2/ja
Publication of JPH06248097A publication Critical patent/JPH06248097A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3227005B2 publication Critical patent/JP3227005B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/16—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by wave energy or particle radiation, e.g. infrared heating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
    • B29C35/08—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
    • B29C35/0805—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
    • B29C2035/0838—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation using laser
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • B29C2059/147—Low pressure plasma; Glow discharge plasma
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C2791/00—Shaping characteristics in general
    • B29C2791/001—Shaping in several steps

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、フッ素樹脂表面に特
に高い接着性を付与するためのフッ素樹脂表面の改質法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】フッ素樹脂は他の樹脂類に比べて、撥水
撥油性、摺動性、防汚性、耐熱性、耐薬品性および電気
的特性等の点において優れているために、多様な用途を
有しているが、その不活性な表面に起因して、接着剤や
塗料等の塗布が困難なだけでなく、他の材料との複合化
が難しいという欠点がある。
【０００３】このような問題の解決策として種々の方法
が提案されている。例えば、(i)金属ナトリウムとナフ
タリンのテトラヒドロフラン溶液から調製される錯化合
物溶液を用いて処理する方法[ネルソン(Ｅ.Ｒ.Ｎelson)
ら、Ｉnd．Ｅng．Ｃhem．、第５０巻、第３２９頁(１９
５８年)参照]、(ii)グロー放電を利用する方法[角田
ら、工業材料、第２９巻(第２号)、第１０５頁(１９８
１年)参照]、(iii)低圧下での高周波スパッタエッチン
グによって処理する方法(特公昭５３−２２１０８号公
報参照)、(iv)Ｂ(ＣＨ3)3やＡl(ＣＨ3)3等の特殊なガス
雰囲気中において、レーザー光を照射する方法(特開平
２−１９６８３４号公報参照)、(v)エキシマレーザー光
を直接照射する方法(特公平３−５７１４３号公報参
照)、(vi)低温プラズマスパッタエッチングによって処
理する方法(特公昭５８−２１９２８号、特開平２−１
２７４４２号および特公平３−５８３７５号各公報参
照)および(vii)光吸収性物質を予め混練した後、紫外レ
ーザー光を照射する方法(特願平４−１４５５９５号明
細書参照)等が挙げられる。
【０００４】しかしながら、これらの改質法には次の様
な問題点がある。方法(i)の場合には、処理中に引火の
危険があり、処理液も不安定なために、作業衛生上問題
があるだけでなく、太陽光や高温にさらされると、改質
表面の接着性等が大幅に低下するという欠点がある。方
法(ii)には、ポリエチレン等のフッ素不含ポリマーに比
べて、表面改質効果が著しく低いという難点がある。方
法(iii)の場合には、処理速度が遅く、エッチングされ
た樹脂分が高価で大型の真空系処理装置内部に付着する
だけでなく、樹脂表面に形成される易摩損性凹凸が、低
流動性の接着剤や塗料等に対して十分な接着性や塗装性
等をもたらさないという問題がある。方法(iv)の場合に
は、処理速度が遅く、また、毒性の強いガスと高価で大
型の真空処理装置を必要とするという問題がある。方法
(v)の場合には、フッ素樹脂表面の接着性と濡れ性を十
分に改良できないという難点がある。さらに、方法(vi)
の場合には、処理面の化学組成が変化しないために、高
い接着強度が得難く、従来から比較的高い接着強度が得
られる方法(i)の場合と同等の接着性を得るためには、
狭い範囲の処理条件下において長時間の処理をおこなわ
なければならず、工業的処理技術としては不十分であ
る。さらにまた、方法(vii)の場合には、光吸収性物質
を含まないフッ素樹脂成形体の表面改質には適用できな
いという難点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、フッ素樹
脂表面の従来の上記改質法の諸問題を解決し、金属ナト
リウム錯体法の場合と同等もしくはそれ以上の接着性を
汎用的にフッ素樹脂表面に付与し得る方法を提供するた
めになされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】即ちこの発明は、低温プ
ラズマ処理に付したフッ素樹脂表面に、紫外線吸収性溶
剤の存在下において、エキシマレーザー光を照射するこ
とを特徴とするフッ素樹脂表面の改質法に関する。
【０００７】本発明において使用するフッ素樹脂は、含
フッ素ポリマーであって、例えば、ポリテトラフルオロ
エチレン(ＰＴＦＥ)、テトラフルオロエチレン−ペルフ
ルオロアルコキシエチレンコポリマー(ＰＦＡ)、テトラ
フルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレンコポリマ
ー(ＦＥＰ)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
プロピレン−ペルフルオロアルコキシエチレンターポリ
マー(ＥＰＥ)、テトラフルオロエチレン−エチレンコポ
リマー(ＥＴＦＥ)、ポリクロロトリフルオロエチレン
(ＰＣＴＦＥ)、トリフルオロクロロエチレン−エチレン
コポリマー(ＥＣＴＦＥ)、ポリフッ化ビニリデン(ＰＶ
ＤＦ)およびポリフッ化ビニル(ＰＶＦ)等またはこれら
の任意の混合物が挙げられる。
【０００８】本発明によって処理されるフッ素樹脂の具
体的形状は特に限定的ではないが、シート、フィルム、
パイプ、多孔質膜およびその他の任意の形状を有する成
形体等が例示される。
【０００９】上記のフッ素樹脂の表面は、まず、ガス雰
囲気下、例えば、Ａrや、Ｈe等の不活性ガス、Ｈ2、
Ｎ2、またはＨ2／Ｎ2混合ガス等の雰囲気下において、
低温プラズマ処理に付される。低温プラズマ処理は、ス
パッタエッチング法、プラズマエッチング法、およびパ
レル型プラズマエッチング法のいずれでおこなってもよ
い。雰囲気圧(真空度)は、スパッタエッチング法の場合
には、０.０１〜０.１Ｔorr、好ましくは、０．０１〜
０．０５Ｔorrであり、プラズマエッチング法およびパ
レル型エッチング法の場合には、０.１〜１０Ｔorr、好
ましくは０．１〜１Ｔorrである。高周波周波数は通
常、数┼ｋＨｚ〜数┼ＭＨｚ、好ましくは、１３．５６
ＭＨｚである。電力密度は、通常２〜５Ｗ／cm2であ
る。雰囲気ガスの注入量は通常、１０〜１００ミリリッ
トル／分である。
【００１０】被処理フッ素樹脂は、スパッタエッチング
法の場合には印加電極側に配置させ、プラズマエッチン
グ法の場合には接地電極側に配置させ、また、パレル型
プラズマエッチング法の場合には、印加電極と接地電極
の中間に配置させる。低温プラズマ処理時間は、通常、
２０〜２４０秒である。
【００１１】上述の低温プラズマ処理に付されたフッ素
樹脂表面は、さらに、紫外線吸収性溶剤の存在下でのエ
キシマレーザー光照射処理に付される。紫外線吸収性溶
剤としては、自体公知のものを適宜使用すればよく、特
に限定的ではないが、好適な溶剤としては次のものが例
示される:ヘキサンやシクロヘキサン等の脂肪族炭化水
素、ベンゼンやキシレン等の芳香族炭化水素、ナフタレ
ンやアントラセン等の多環芳香族炭化水素、エタノール
やイソプロパノール等の低級アルコール、アセトンやメ
チルエチルケトン等のケトン類、フランやピリジン等の
ヘテロ芳香族化合物、トリエチルアミン等のアミン類、
酢酸エチル等のエステル類、アセトニトリル等のニトリ
ル類、クロロホルムやトリクレン等の含ハロゲン溶剤、
硫化ジ−n−ブチルやメチルスルホキシド等の含硫黄溶
剤、イソプレンや１,３−シクロペンタジエン等のジエ
ン類、およびこれら の溶剤の任意の混合溶剤。なお、
これらの溶剤はそのまま使用するのが一般的であるが、
後処理が容易な粘着性成分を適宜配合して使用してもよ
く、これによって、作業性等を高めることができる。
【００１２】低温プラズマ処理に付されたフッ素樹脂表
面に紫外線吸収性溶剤を存在させる方法は、浸漬、噴霧
および塗布のいずれであってもよい。未処理フッ素樹脂
表面に該溶剤を接触させても、該表面が十分に濡れない
ため、このような状態でエキシマレーザー光照射処理を
実施しても、表面改質はほとんどおこなわれないが、該
表面が低温プラズマ処理に付されている場合には、該表
面が該溶剤によって十分に濡らされ、このような状態で
エキシマレーザー光照射処理を実施することによって、
表面改質が効果的におこなわれ、高い接着性が得られ
る。
【００１３】エキシマレーザー光としては、波長が４０
０nm以下、特に、１９３〜３０８nmの紫外レーザー光が
好適である。特に、高出力が長時間にわたって安定して
得られるＫrＦエキシマレーザー光(波長:２４８nm)およ
びＡrＦエキシマレーザー光(波長:１９３nm)等が好まし
い。エキシマレーザー光照射は、通常、室温、大気中で
おこなうが、酸素雰囲気中でおこなってもよい。また、
エキシマレーザー光の照射条件は、フッ素樹脂の種類お
よび所望の表面改質の程度によって左右されるが、一般
的な照射条件は次の通りである。 フルエンス:約５０mＪ／cm2／パルス以上 入射エネルギー:約０．１Ｊ／cm2以上 ショット数:約１００以下
【００１４】特に好適なＫrＦエキシマレーザー光およ
びＡrＦエキシマレーザー光の常用される照射条件は次
の通りである。ＫrＦ フルエンス:１００〜５００mＪ／cm2／パルス 入射エネルギー:０.２〜２.０Ｊ／cm2 ショット数:１〜２０ＡrＦ フルエンス:５０〜１５０mＪ／cm2／パルス 入射エネルギー:０.１〜１．０Ｊ／cm2 ショット数:１〜２０
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例によって説明する。実施例１ 図１に示す態様の低温プラズマエッチング処理装置を用
いてＰＴＦＥ製シート(厚さ:０.２mm)を下記の条件下で
処理した。なお、図１において、(１)は高周波発生電
源、(２)はマッチングボックス、(３)は印加電極(陰
極)、(４)は接地電極(陽極)、(５)はＰＴＦＥ製シー
ト、(６)はシート走行装置、(７)は真空ポンプ、(８)は
ガスボンベ、(９)は減圧弁、(１０)は圧力計、(１１)は
流量計、(１２)は真空計を示す。 印加電極:１００mm×３００mm(水冷;流水量１５リット
ル／分) 接地電極:８０mmφ(水冷;流水量１０リットル／分) 電極間距離:３０mm 高周波発生電源:１３.５６ＭＨz(２,０００Ｖ) 印加電力:０.３〜１.５ＫＷ 雰囲気圧(真空度):０.０２〜５Ｔorr ガス量:１０〜４０ミリリットル／分 シート速度:０.１５〜１.２m／分
【００１６】上記の低温プラズマエッチング処理に付さ
れたＰＴＦＥ製シートをキシレンに浸漬した後、引き上
げ、約１時間後に処理面に、２４８nmのＫrＦエキシマ
レーザー光を次の条件下で照射した: フルエンス:３００mＪ／cm2／パルス 入射エネルギー:０.６Ｊ／cm2 ショット数:２
【００１７】上述のようにして改質されたＰＴＦＥ製シ
ートにおける１８０゜剥離強度(kg／cm)を次の条件下で
測定した。結果を以下の表１に示す。表１には、比較の
ために、低温プラズマ処理のみに付したＰＴＦＥ製シー
トに関するデータも示す。なお、金属ナトリウム錯体処
理によって得られるＰＴＦＥ製シートの１８０゜剥離強
度は約１.０kg／cmである。１８０゜剥離強度の測定条件 接着剤:常温硬化型エポキシ樹脂 (コニシ(株)製「ボンドＥセット」) 相手材:ＳＵＳ３０４(０.３mm×２５mm×１５０mm) 硬化条件:常温で２０時間加圧(１０g／cm2)硬化 テストスピード:１００mm／分(オートグラフ)
【００１８】
【表１】
【００１９】実施例２ キシレンの代わりにベンゼンを使用する以外は、実施例
１と同様にして表面改質したＰＴＦＥ製シートの１８０
゜剥離強度(kg／cm)を表２に示す。
【００２０】
【表２】
【００２１】実施例３ キシレンの代わりに、以下の表３に示す種々の溶剤を使
用する以外は、実施例１と同様にして表面改質したＰＴ
ＦＥ製シートの１８０゜剥離強度(kg／cm)を表３に示
す。
【００２２】
【表３】
【００２３】実施例４ キシレンの代わりにメチルエチルケトンを使用し、ま
た、エキシマレーザー光として、１９３nmＡrＦエキシ
マレーザー光(フルエンス:１００mＪ／cm2／パルス、入
射エネルギー:０．２Ｊ／cm2、ショット数:２)を使用す
る以外は、実施例１と同様にして表面改質したＰＴＦＥ
製シートの１８０゜剥離強度を表４に示す。
【００２４】
【表４】
【００２５】実施例５ 低温プラズマエッチング処理に付したＰＴＦＥ製シート
をキシレンに浸漬する代わりに、トルエン溶剤にシリコ
ン系ゴムを分散させた粘着剤(信越化学工業(株)製「ＫＲ
−１２０」)を該プラズマエッチング処理面に塗布する以
外は、実施例１と同様にして表面改質したＰＴＦＥ製シ
ートの１８０゜剥離強度(kg／cm)を表５に示す。
【００２６】
【表５】
【００２７】比較例１ 低温プラズマエッチング処理をおこなわない以外は、実
施例１と同様にして処理したＰＴＦＥ製シートの１８０
゜剥離強度は０.０１kg／cmであった。
【００２８】比較例２ 低温プラズマエッチング処理をおこなわない以外は実施
例４と同様にして処理したＰＴＦＥ製シートの１８０°
剥離強度は０．０１kg／cmであった。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、化学的および物理的に
不活性なフッ素樹脂表面の特性、特に接着性を、フッ素
樹脂の特性である優れた耐熱性、耐薬品性および電気的
特性等を損うことなく、効果的に改質することができ
る。従って、本発明によって表面改質されたフッ素樹脂
成形体等は、他の樹脂類や無機材料との複合化等の二次
加工に供することができ、該成形体等の付加価値は飛躍
的に増大する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 低温プラズマエッチング処理装置の模式的構
成図である。
【符号の説明】
１ 高周波発生電源 ２ マッチングボックス ３ 印加電極(陰極) ４ 接地電極(陽極) ５ ＰＴＦＥ製シートまたはＰＦＡ製シート ６ シート走行装置 ７ 真空ポンプ ８ ガスボンベ ９ 減圧弁 １０ 圧力計 １１ 流量計 １２ 真空計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 雄一 大阪府寝屋川市三井南町25番１号 日本 原子力研究所高崎研究所大阪支所内 (72)発明者 河西 俊一 大阪府寝屋川市三井南町25番１号 日本 原子力研究所高崎研究所大阪支所内 (72)発明者 杉本 俊一 大阪府寝屋川市三井南町25番１号 日本 原子力研究所高崎研究所大阪支所内 財 団法人放射線照射振興協会内 (72)発明者 遠藤 正雄 大阪府寝屋川市下木田町14番５号 倉敷 紡績株式会社技術研究所内 (72)発明者 長瀬 智洋 大阪府寝屋川市下木田町14番５号 倉敷 紡績株式会社技術研究所内 (56)参考文献 特開 平６−220228（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−196834（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−226534（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−138075（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C08J 7/00 - 7/18

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 低温プラズマ処理に付したフッ素樹脂表
    面に、紫外線吸収性溶剤の存在下において、エキシマレ
    ーザー光を照射することを特徴とするフッ素樹脂表面の
    改質法。
  2. 【請求項２】 エキシマレーザー光照射処理を、ＫrＦ
    エキシマレーザー光またはＡrＦエキシマレーザー光を
    用いておこなう請求項１記載の方法。
JP03794393A 1993-02-26 1993-02-26 フッ素樹脂表面の改質法 Expired - Fee Related JP3227005B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03794393A JP3227005B2 (ja) 1993-02-26 1993-02-26 フッ素樹脂表面の改質法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03794393A JP3227005B2 (ja) 1993-02-26 1993-02-26 フッ素樹脂表面の改質法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06248097A JPH06248097A (ja) 1994-09-06
JP3227005B2 true JP3227005B2 (ja) 2001-11-12

Family

ID=12511640

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03794393A Expired - Fee Related JP3227005B2 (ja) 1993-02-26 1993-02-26 フッ素樹脂表面の改質法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3227005B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MY120404A (en) * 1993-10-15 2005-10-31 Kuraishiki Boseki Kabushiki Kaisha Process for modifying the surfaces of the molded materials made of fluorine resins
JP3352822B2 (ja) * 1994-07-15 2002-12-03 日本原子力研究所 カルボン酸の紫外光照射によるフッ素系高分子表面への有機官能基付与方法
MY113227A (en) * 1995-01-18 2001-12-31 Kurashiki Boseki Kk Tube-shaped film having its inner peripheral surface treated, method for treating inner peripheral surface of tube-shaped film and apparatus therefor
US20030170436A1 (en) 2001-12-25 2003-09-11 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Dielectric material and dielectric sintered body, and wiring board using the same
JP4787976B2 (ja) * 2002-12-02 2011-10-05 株式会社エム光・エネルギー開発研究所 固体材料表面の光化学的改質方法
JP6740686B2 (ja) * 2016-04-13 2020-08-19 大日本印刷株式会社 積層体の製造方法および積層体、ならびに物品

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06248097A (ja) 1994-09-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5948484A (en) Modification of subsurface region of polymers and carbon-based materials
US5871823A (en) Hydrophilic coating of surfaces of polymeric substrates
US5470617A (en) Process for modifying the surfaces of the molded materials made of fluorine resins
US4536271A (en) Method of plasma treating a polymer film to change its properties
JP3227005B2 (ja) フッ素樹脂表面の改質法
US4853253A (en) Method of activating surface of shaped body formed of synthetic organic polymer
JP2012233038A (ja) 表面改質フッ素樹脂フィルム、その製造方法、その製造装置、表面改質フッ素樹脂フィルムを含む複合体及びその製造方法
JPH06220231A (ja) フッ素樹脂の表面改質法
JPS63157148A (ja) ポジ型レジスト膜及びそのレジストパターンの形成方法
JP3176740B2 (ja) フッ素樹脂の紫外レーザー光を用いる表面改質法
JPS61221236A (ja) 塗装前処理方法
JPS62235339A (ja) プラスチツク表面改質方法
JP2983438B2 (ja) フッ素樹脂成形体表面の改質法
JP2999365B2 (ja) フッ素樹脂製多孔質体の親水化法
JP3227002B2 (ja) フッ素樹脂表面の改質法
US4609445A (en) Method of plasma treating a polymer film to change its properties
JPH10226728A (ja) フッ素樹脂複合体およびその製造方法
JP3331697B2 (ja) ハードコート層を有する成形品、及びその製造方法
US20060141244A1 (en) Multilayer film and process for producing the same
CA2010344C (en) Method for the activation of a surface of a shaped body formed of a synthetic organic polymer
JPS6033860B2 (ja) 接着剤付き弗素樹脂製フイルム
JPH02127442A (ja) フツ化オレフイン重合体成形物の表面処理法
JP2002309018A (ja) フッ素樹脂成形体表面の改質法
JPH03290442A (ja) 含フッ素重合体成形品の表面処理方法
JPH05147163A (ja) フツ素樹脂−シリコーンゴム積層体およびその製法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070831

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080831

Year of fee payment: 7

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080831

Year of fee payment: 7

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080831

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090831

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090831

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees