JP3226169B2 - 流体ヘッドを利用した選択的電解メタライゼーション装置および方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電解付着、被覆、ま
たはエッチングを実施するための装置に関し、より詳細
には、流体ヘッド装置を利用して選択的電解メタライゼ
ーション（metallization）および付着を行うための装
置に関する。本発明はまた選択的電解メタライゼーショ
ン、および付着、被覆、またはエッチングに使用される
運搬システム内で加工中の製品との電気接触を行い維持
する方法をも対象とする。さらに本発明はまた流体ヘッ
ド装置を利用して本明細書に記述するように加工中の製
品との電気接触を行い維持する方法も対象とする。

【０００２】

【従来の技術】特に基板上に金属材料を電解メタライゼ
ーションまたは付着させるために使用されるような任意
の電解プロセスの重要な特徴は、たとえば電解メタライ
ゼーションおよび付着操作によって加工される回路板な
ど、基板上のハードウエアとの良好な電気接触を行うこ
とができることである。上記のことを実施するために、
場合によっては、メタライゼーションおよび付着プロセ
スを実施するために活性化できる電極を組み込んだ、い
わゆる流体ヘッド設計を利用した周知のタイプの装置が
使用される。通常、流体ヘッドは、別個の部品としてま
たは１個ずつ運搬される離散的構造または製品の加工を
可能にするのは容易でなく、基板を形成するが各部品と
の電気接触を維持する連続した箔またはウェブの加工に
適合している。流体ヘッドによる加工は、加工される材
料のロールまたはウェブ内に連通バーが製作できる、リ
ール間での電解メタライゼーションおよび付着プロセス
の応用例を実施するのにより適していると通常考えられ
ている。しかし、連続した電気接触が提供できなけれ
ば、流体ヘッドの構造または構成内で個々のプリント回
路板の加工のためにこれらのプロセスを実施することは
不可能である。

【０００３】基本的に、従来の垂直または水平電解メタ
ライゼーション装置では通常、標準のあるいは非常に特
殊なサイズのパネル、すなわち基板を日々の生産で取り
扱う。パネルのサイズが変化するとき、特に水平装置に
よる加工に関しては、通常この装置を停止し、電極をバ
ッフルして、「活性」領域が運搬されるパネルのサイズ
内に保持されるようにしなければならない。この操作に
は装置を完全に停止し、開いて変更することが必要であ
り、元のパネル・サイズに戻すには次にこれを再実施し
なければならない。このためかなりの非生産的な停止時
間が生じ、技術的監督が必要になる。回路密度が異なる
パネルを電気パターンめっきによって加工する場合、従
来のめっき装置に通常使用される単一の大型電極を横切
る電流密度が均一であるため、付着の厚みが変動すると
いう問題も生じる。

【０００４】種々の構造が、現在従来技術で開示され、
メタライゼーション・プロセスを実施する際に使用され
ている。例えば、回転陰極（cathode）ドラムと１つの
陽極（anode）または陰極ドラムに対向して配置された
複数の副陽極を用いることによる、たとえば電解銅箔を
作るための銅などの金属材料の基板上への電解付着など
がある。

【０００５】クボ（Kubo）らの米国特許第５３２６４５
５号は、箔をめっきするのに１つまたは複数の流体ヘッ
ドを用いるのではなく浴を利用し、あるいは複数の陽極
と１つの流体ヘッドを使用する、電解銅箔の製造方法お
よび装置を開示している。個々の陽極は、箔表面全域に
金属材料が均一に電解付着されるように、供給される電
気の量について制御することができる。

【０００６】エリクソン（Erickson）らの米国特許第５
３８９２１４号は、電気的に構成を変更できる電極構成
を使用し、制御装置が、システムの最適操作が実現され
るように抵抗率の変化に応答して能動電極間の有効分離
面積を変化させる、流体処理システムを開示している。
金属材料の電解付着を実施するための加工物は提供され
ず、この開示は流体の処理を対象としている。

【０００７】ブレイジング（Blasing）らの米国特許第
５２９２４２４号は、一連の隣接して配置された電極に
異なるレベルの電流をかける、電解施設（plants）の作
業サイクルを制御する方法に関する。この構造は、金属
材料の電解付着を行わせるために浴を利用するので、操
作上、クボらの米国特許第５３２６４５５号に類似して
いる。

【０００８】コウモト（Komoto）らの米国特許第４７４
９４６０号および第４７６５８７８号はそれぞれ、基板
上に付着される金属材料の均一な厚みを維持するために
複数の連続しためっきセルのめっき電流が固有の条件に
従って自動的に制御される、電解めっき装置を提供して
いる。

【０００９】サプロキン（Saprokhin）らの米国特許第
４５１１４４０号は、フッ素の電解製造法を開示してい
るが、この場合は陽極への電力供給の個別制御は行われ
ない。さらに、電解めっき操作による金属材料の付着に
よって被覆された加工物の開示はなく、この刊行物はフ
ッ素ガスの製造のみを対象としている。

【００１０】スコバ（Schober）らの米国特許第４１６
４４５４号は、陽極への電流供給の個別制御が行われる
ことなく加工物がめっき装置を通過する、金属条片材料
の断続的な長さでめっきするための連続ラインを開示し
ている。

【００１１】要するに、上記のどの従来技術の刊行物
も、通常なら実現できるとは考えられない、現在使用さ
れている流体ヘッド技術の利点を、電解メタライゼーシ
ョン、被覆またはエッチング・プロセス、あるいは電解
めっきの実施に組み込むことを対象とする新規で発明性
のある概念を開示していない。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】本発明の一目的は、そ
れぞれ個別にある電位に制御できる複数の陽極を含み、
電解めっきの間常に加工物と接触しているブラシ陰極お
よび駆動ホイール配置を有する、電解メタライゼーショ
ンまたは付着を実施する目的のために加工物を運搬する
ための運搬システムを備える装置を提供することにあ
る。

【００１３】本発明の他の目的は、流体入力を有する流
体ヘッドを備える、本明細書に記述する運搬システムを
提供することにある。この運搬システムは、加工物を流
体ヘッドを通して移動させることができる。この加工物
を運搬するためのブラシ陰極および駆動ホイール構造が
流体ヘッドの外部にあって、加工物と常に接触し、それ
に一定の電位を印加することができる。

【００１４】本発明の他の目的は、運搬およびそれと並
行した電気伝導のために陰極ブラシおよび駆動ホイール
を利用して、基板上で所定の電気めっき条件を維持する
ために複数の陽極が選択的に活動化できる、運搬システ
ム内で加工中の製品との電気接触を行い維持するための
方法を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】基本的に本発明は、電流
供給のための陰極ドラム・ブラシおよび基板運搬システ
ムの駆動ホイールが、プリント回路板などの加工される
ハードウエアと密接に接触し、そのために運搬システム
を介して運搬される加工中の構成部品または流体ヘッド
と特定の期間に連続した電気接触が容易になる、外部運
搬システムの提供を対象とする。

【００１６】本発明によれば、加工中の加工物の対向す
る側縁にある導電性ブラシおよび駆動ホイールが開示さ
れる。これは基本的に加工物と接触して、個々のシート
または連続したロールもしくはウェブを運搬システムを
介した運搬中に加工できるようにし、後者は流体ヘッド
を含み、さらに陰極ブラシおよび駆動ホイールを用いて
加工物を運搬し電流を供給することができる。

【００１７】上記に関連して、本発明は、流体入力を有
する流体含有ヘッドを含む電解めっき装置、すなわち複
数の陽極がヘッド内に配置され、加工物が流体ヘッドを
通過する間に加工物の異なる位置で固有の電界強度を提
供するために各陽極の電位が個別に調節できる、加工物
を流体ヘッドを通過移動させる装置を提供することを対
象とする。具体的には、流体ヘッドなどの運搬システム
の外部にあるブラシ陰極および駆動ホイールが電解めっ
き手順の間常に加工物と物理的および電気的に接触し、
それによって一定の電位を維持する。

【００１８】したがって、本発明の概念を利用すること
により、種々の寸法および異なる回路密度のプリント回
路板を同じ加工ラインで製造しようとする際に生じる、
従来のシステムに通常伴う問題のほぼ全てを軽減するこ
とができる電解メタライゼーションおよび付着システム
を作成することが可能となる。

【００１９】本発明の構造によれば、陽極（または陰
極）のバンクが流体ヘッド本体内に配置され、所与の任
意の時点で、装置の作業範囲内の全てのまたは特定の領
域のみをキーボード制御部から起動させることができ
る。これによりシステム内の「活性化」領域をリセット
するために瞬間的に中断するだけでシステムの連続操作
が可能になる。同じパネルまたは回路板上の回路の非常
に高密度の領域ならびに稀薄な領域の補償が調整可能で
あるが、これは従来のシステムでは得られない特徴であ
る。したがって、本発明の概念を利用すればパネル・サ
イズおよび回路密度の変動はもはや問題とならない。

【００２０】本概念のシステムはどのタイプの電気化学
的付着方法にも利用することができる。例としてＣｕ、
Ｎｉ、Ａｕ、およびその他の金属が挙げられる。またこ
れを使って、電気泳動付着法などの被覆操作を強化する
こともできる。別の用途は、電気化学エッチング技法、
付着または基板からエッチング除去するために電位を必
要とする事実上全ての方法を強化することである。

【００２１】

【発明の実施の形態】図１は、電解銅箔１２の形成に使
用される銅などの金属材料の電解付着を実施するための
装置１０を示す。この例では、陰極ドラム１６の回転角
を決めるエンコーダ１４が示され、ドラムは電解溶液に
部分的に浸されている。複数の副陽極１８がドラム１６
の幅を横切って間隔を置いて配置され、各副陽極が選択
された電流密度を付与されるようになっている。適切な
計算機２０が目的の箔の所期の箔厚みの測定厚み偏差を
計算し、整流制御装置２２に偏差などの情報を伝送し、
また、エンコーダ１４から角度情報を受信する。ドラム
１６の幅を横切って間隔を置いて配置された種々の副陽
極に供給される電流または電気量は関連する副整流器２
４で制御され、供給される電流を増減させて、製造中の
金属箔または銅箔の厚みの均一性の制御を可能にする。
要するに、上述した従来技術の、基本的にクボらの米国
特許第５３２６４５５号の構造は、浴の形の電解付着装
置を開示しているが、ドラムの幅を横切って間隔を置い
て配置された副陽極など複数の小型電極を有する流体を
含有する陽極ドラムまたは流体ヘッドを提供することも
可能である。

【００２２】しかし、本発明によれば、電解メタライゼ
ーション、被覆、めっき、およびエッチング・プロセス
を実施する際に現在既知の流体ヘッド技術を利用しなが
ら、さらなる利益を得ることのできる選択的電解メタラ
イゼーション／付着装置３０の独創的かつ多目的の構造
を企図する、運搬装置または運搬設備３２が提供され
る。この運搬装置は、望むならば図２および図３に示す
流体含有ヘッド設計によるものとすることができる。

【００２３】複数の陽極が、それぞれ運搬装置３２によ
って運搬中の製品の相対する側に位置する副陽極３４、
３６の線形アレイまたはバンクの形状をなす。製品はメ
タライゼーションされた被覆または付着物を付与される
基板を形成する連続したロールまたはウェブＷでもよ
く、あるいは次々に前進する回路板などの複数の部品で
構成されていてもよい。副陽極の各アレイは実質的に製
品Ｗの幅の主要部分にわたって延在し、各副陽極３４は
陽極電源スイッチ３８に接続され、副陽極３６は陽極電
源スイッチ４０に接続される。一方、陽極電源スイッチ
３８、４０は適切な電源４２に接続され、その電力は加
工中の製品の表面を横切る金属の付着の度合が均一にな
るように種々の副陽極に対して選択的である。

【００２４】本発明の目的を達成するために、運搬装置
３２は外部運搬機構を含み、この運搬機構は、加工中の
製品Ｗの長手方向の一縁部５２に沿って相対する表面に
係合する１対の協働ホイール４８、５０を駆動する駆動
モータ４６からなる。製品の対向する縁部５８にも同様
に上下のホイール５４、５６が接触していて、箔または
シートＷからなる製品が所定の前進速度で運搬装置を通
って運搬される。それぞれ製品の上下表面に接触してい
る各ホイール４８、５０、５４、５６はそれぞれ陰極ブ
ラシ６０、６２、６４、６６と電気的に接触し、陰極ブ
ラシはさらに電源４２に接続され、電源４２は副陽極に
電流を供給し、製品Ｗが常に陰極ブラシと電気接触する
ようにし、ホイール５０は陰極駆動ホイールである。

【００２５】図３にさらに詳しく示すように、運搬装置
３２はこの場合、電解質用のポンプ７４およびポンプ・
システム７６に接続された窒素カーテン入力７２を有す
る流体含有流体ヘッド７０を含み、図３には副陽極も示
されている。窒素カーテン入力は図示した位置に配置さ
れていて、これによりシステム全体が、製品のそれぞれ
上下の表面を横切ってアレイとして延び、選択的に動作
するまたは制御可能な電力が供給された副陽極と動作可
能に陰極ブラシによる製品Ｗが連続した電気的接触を容
易にするので有利である。これによってメタライゼーシ
ョンおよび付着の性能が改善され、また製造を連続的に
実施することが可能になる。陰極ブラシによって提供さ
れる連続した電気的接触により、装置全体が、個別の回
路加工のために現在使用されている流体ヘッドの形式の
範囲内では通常達成が不可能な、選択的メタライゼーシ
ョン／付着の能力を提供することが可能になる。

【００２６】流体ヘッド装置と、電解メタライゼーショ
ンされる製品の表面との連続的な電気陰極接触を提供す
る製品運搬システムとのどちらに適用されるかにかかわ
らず、本発明が当技術分野で全く企図されてこなかった
新規かつ有利な特徴を明白に指向していることは、上記
により容易に明らかとなる。

【００２７】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。

【００２８】（１）（ａ）加工物に電解質を付与する手
段と、（ｂ）前記電解質を通って前記加工物を運搬する
手段と、（ｃ）電源に接続され、前記電解質には露出さ
れない、運搬中の前記加工物との電気接触を維持する手
段と、（ｄ）前記電解質に近接する前記加工物を横切っ
て間隔を置いて配置され、それぞれが前記電源に接続さ
れた複数の陽極と、（ｅ）前記各陽極を横切る電位を個
別に制御して、前記電解質付与手段を通る前記加工物の
運搬中に、前記加工物を横切り前記加工物の運搬方向に
沿って異なる陽極位置に所定の電界強度を提供する手段
とを含む、加工物の電解メタライゼーション装置。 （２）前記加工物運搬手段は、前記加工物の対向する側
縁に駆動的に接触して協働するホイール対と、前記ホイ
ール対のうち少なくとも１対に接続され、前記装置を通
って前記加工物を前進させる駆動モータとを含む、上記
（１）に記載の装置。 （３）前記加工物上の電位を維持するために、前記駆動
ホイール対が前記電源と電気的に連絡している、上記
（２）に記載の装置。 （４）前記ホイール対がそれぞれ前記加工物と接触する
陰極を形成し、前記ホイールのそれぞれに前記電源に電
気的に接続された陰極ブラシが連続的に接触する、上記
（３）に記載の装置。 （５）前記陽極が前記加工物の上下に直線形の列をなし
て延び、前記各陽極の電位を選択的に制御するために、
前記陽極のそれぞれに電力制御スイッチ手段が接続され
る、上記（１）に記載の装置。 （６）前記電解質が金属含有流体を含む、上記（１）に
記載の装置。 （７）前記電解質が銅を含む、上記（６）に記載の装
置。 （８）前記電解質がニッケルを含む、上記（６）に記載
の装置。 （９）前記電解質が金を含む、上記（６）に記載の装
置。 （１０）前記加工物が前記装置を通って運ばれる連続し
たウェブで構成される、上記（１）に記載の装置。 （１１）前記加工物が電気回路用の基板を形成するパネ
ルを含む、上記（１）に記載の装置。 （１２）（ａ）前記加工物に電解質を付与する流体ヘッ
ドと、（ｂ）前記流体ヘッドを介して前記加工物を運搬
する手段と、（ｃ）電源に接続され、前記流体ヘッドの
外部に位置し、前記電解質に露出されない、運搬中の前
記加工物との電気接触を維持する手段と、（ｄ）前記流
体ヘッドに近接する前記加工物を横切って間隔を置いて
並び、それぞれ前記電源に接続された複数の陽極と、
（ｅ）前記各陽極にかかる電位を個別に制御して、前記
流体ヘッドを介しての前記加工物の運搬中に、前記加工
物を横切り前記加工物の運搬方向に沿って異なる陽極位
置に所定の電界強度を提供する手段とを含む、加工物の
電解メタライゼーション装置。 （１３）前記加工物運搬手段は、前記流体ヘッドの外側
で前記加工物の相対する側縁に駆動的に接触して協働す
るホイール対と、前記ホイール対のうち少なくとも１対
に接続され、前記装置を通って前記加工物を前進させる
駆動モータとを含む、上記（１２）に記載の装置。 （１４）前記加工物上の電位を維持するために、前記駆
動ホイール対が前記電源と電気的に連絡している、上記
（１３）に記載の装置。 （１５）前記ホイール対がそれぞれ前記加工物と接触す
る陰極を形成し、前記ホイールのそれぞれに前記電源に
電気的に接続された陰極ブラシが連続的に接触する、上
記（１４）に記載の装置。 （１６）前記陽極が前記加工物の上下に直線形の列をな
して延び、前記各陽極の電位を選択的に制御するため
に、前記陽極のそれぞれに電力制御スイッチ手段が接続
される、上記（１２）に記載の装置。 （１７）前記加工物が前記流体ヘッドを介して運搬され
る連続するウェブで構成される、上記（１２）に記載の
装置。 （１８）前記加工物が電気回路用の基板を形成するパネ
ルを含む、上記（１２）に記載の装置。 （１９）（ａ）加工物に電解質を付与するステップと、
（ｂ）前記電解質を通って前記加工物を運搬するステッ
プと、（ｃ）電気接触手段が前記電解質に接触するのを
回避しながら、前記加工物との電気的接触を維持するた
めの電源を接続するステップと、（ｄ）前記電解質に近
接する前記加工物を横切って、それぞれが前記電源に接
続された複数の陽極を間隔を置いて配置するステップ
と、（ｅ）前記電解質付与手段を通る前記加工物の運搬
中に、前記加工物を横切って前記加工物の運搬方向に沿
って異なる陽極位置に所定の電界強度を提供するため
に、前記各陽極の両端間の電位を個別に制御するステッ
プとを含む、加工物の電解メタライゼーション方法。 （２０）前記加工物の運搬が、前記加工物の相対する側
縁に駆動的に接触して協働するホイール対によって行わ
れ、駆動モータが前記ホイール対のうち少なくとも１対
に接続され、前記装置を通って前記加工物を前進させ
る、上記（１９）に記載の方法。 （２１）前記加工物上の電位を維持するために、前記駆
動ホイール対が前記電源と電気的に連絡している、上記
（２０）に記載の方法。 （２２）前記ホイール対がそれぞれ前記加工物と接触す
る陰極を形成し、前記ホイールのそれぞれに前記電源に
電気接続された陰極ブラシが連続的に接触する、上記
（２１）に記載の方法。 （２３）前記陽極が前記加工物の上下に直線形の列をな
して延び、前記各陽極の電位を選択的に制御するため
に、前記陽極のそれぞれに電力制御スイッチが接続され
る、上記（１９）に記載の方法。 （２４）前記電解質が金属含有流体を含む、上記（１
９）に記載の方法。 （２５）前記電解質が銅を含む、上記（２４）に記載の
方法。 （２６）前記電解質がニッケルを含む、上記（２４）に
記載の方法。 （２７）前記電解質が金を含む、上記（２４）に記載の
方法。 （２８）前記加工物が前記装置を通って運搬される連続
するウェブで構成される、上記（１９）に記載の方法。 （２９）前記加工物が電気回路用の基板を形成するパネ
ルを含む、上記（１９）に記載の方法。 （３０）（ａ）流体ヘッドを介して加工物に電解質を付
与するステップと、（ｂ）前記流体ヘッドを通って前記
加工物を運搬するステップと、（ｃ）前記流体ヘッドの
外部に電気接触を形成することにより電気接触手段が前
記電解質に接触するのを回避しながら、前記加工物との
前記電気接触を維持するための電源を接続するステップ
と、（ｄ）前記流体ヘッドに近接し前記加工物を横切っ
て、それぞれが前記電源に接続された複数の陽極を間隔
を置いて配置するステップと、（ｅ）前記流体ヘッドを
通る前記加工物の運搬中に、前記加工物を横切り前記加
工物の運搬方向に沿って異なる陽極位置に所定の電界強
度を提供するために、前記各陽極を横切る電位を個別に
制御するステップとを含む、加工物の電解メタライゼー
ション方法。 （３１）前記加工物の運搬が、前記加工物の相対する側
縁に駆動的に接触して協働するホイール対によって行わ
れ、駆動モータが前記ホイール対のうち少なくとも１対
に接続され、前記装置を通って前記加工物を前進させ
る、上記（３０）に記載の方法。 （３２）前記加工物上の電位を維持するために、前記駆
動ホイール対が前記電源と電気的に連絡している、上記
（３１）に記載の方法。 （３３）前記ホイール対がそれぞれ前記加工物と接触す
る陰極を形成し、前記ホイールのそれぞれに前記電源に
電気的に接続された陰極ブラシが連続的に接触する、上
記（３２）に記載の方法。 （３４）前記陽極が前記加工物の上下に直線形の列をな
して延び、前記各陽極の電位を選択的に制御するため
に、前記各陽極に電力制御スイッチが接続される、上記
（３０）に記載の方法。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来技術による電解銅箔を電解法によって製造
するための装置の概略図である。

【図２】本発明の基板上への電解メタライゼーションま
たは付着のための選択的電極めっき装置の概略図であ
る。

【図３】図２の装置の概略側面図である。

【符号の説明】

１０ 電解付着装置 １２ 電解銅箔 １４ エンコーダ １６ 陰極ドラム １８ 副陽極 ２０ 計算機 ２２ 整流制御器 ２４ 副整流器 ３０ 選択的電解メタライゼーション／付着装置 ３２ 運搬装置 ３４ 副陽極 ３６ 副陽極 ３８ 陽極電源スイッチ ４０ 陽極電源スイッチ ４２ 電源 ４６ 駆動モータ ４８ ホイール ５０ ホイール ５２ 縁 ５４ ホイール ５６ ホイール ５８ 縁 ６０ 陰極ブラシ ６２ 陰極ブラシ ６４ 陰極ブラシ ６６ 陰極ブラシ ７０ 流体ヘッド ７２ 窒素カーテン ７４ ポンプ ７６ ポンプ・システム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 スチーブン・エル・ティスデール アメリカ合衆国13760 ニューヨーク州 エンディコット レオン・ドライブ 576 (56)参考文献 特開 昭48−24927（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−162298（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−85296（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C25F 7/00 C25D 21/00 H05K 3/18

Claims (20)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（ａ）加工物の上下面に配置され、前記加
   工物に電解質を付与する手段と、 （ｂ）前記電解質を通って前記加工物を運搬する手段
   と、 （ｃ）電源に接続され、前記電解質には露出されない、
   運搬中の前記加工物との電気接触を維持する手段と、 （ｄ）前記電解質に近接する前記加工物を横切って間隔
   を置いて配置され、それぞれが前記電源に接続された複
   数の陽極と、 （ｅ）前記各陽極を横切る電位を個別に制御して、前記
   電解質付与手段を通る前記加工物の運搬中に、前記加工
   物を横切り前記加工物の運搬方向に沿って異なる陽極位
   置に所定の電界強度を提供する手段とを含む、加工物の
   電解メタライゼーション装置。
2. 【請求項２】前記電解質付与手段は流体ヘッドである、
   請求項１に記載の装置。
3. 【請求項３】前記加工物運搬手段は、前記加工物の対向
   する側縁に駆動的に接触して協働するホイール対と、前
   記ホイール対のうち少なくとも１対に接続され、前記装
   置を通って前記加工物を前進させる駆動モータとを含
   む、請求項１または２に記載の装置。
4. 【請求項４】前記加工物上の電位を維持するために、前
   記駆動ホイール対が前記電源と電気的に連絡している、
   請求項３に記載の装置。
5. 【請求項５】前記ホイール対がそれぞれ前記加工物と接
   触する陰極を形成し、前記ホイールのそれぞれに前記電
   源に電気的に接続された陰極ブラシが連続的に接触す
   る、請求項４に記載の装置。
6. 【請求項６】前記陽極が前記加工物の上下に直線形の列
   をなして延び、前記各陽極の電位を選択的に制御するた
   めに、前記陽極のそれぞれに電力制御スイッチ手段が接
   続される、請求項１または２に記載の装置。
7. 【請求項７】前記電解質が金属含有流体を含む、請求項
   １または２に記載の装置。
8. 【請求項８】前記電解質が銅、ニッケルおよび金からな
   る群から選択された金属を含む、請求項７に記載の装
   置。
9. 【請求項９】前記加工物が前記装置を通って運ばれる連
   続したウェブで構成される、請求項１または２に記載の
   装置。
10. 【請求項１０】前記加工物が電気回路用の基板を形成す
    るパネルを含む、請求項１または２に記載の装置。
11. 【請求項１１】（ａ）加工物の上下両面に電解質を付与
    するステップと、 （ｂ）前記電解質を通って前記加工物を運搬するステッ
    プと、 （ｃ）電気接触手段が前記電解質に接触するのを回避し
    ながら、前記加工物との電気的接触を維持するための電
    源を接続するステップと、 （ｄ）前記電解質に近接する前記加工物を横切って、そ
    れぞれが前記電源に接続された複数の陽極を間隔を置い
    て配置するステップと、 （ｅ）前記電解質付与手段を通る前記加工物の運搬中
    に、前記加工物を横切って前記加工物の運搬方向に沿っ
    て異なる陽極位置に所定の電界強度を提供するために、
    前記各陽極を横切る電位を個別に制御するステップとを
    含む、加工物の電解メタライゼーション方法。
12. 【請求項１２】前記電解質は、流体ヘッドを介して、加
    工物に付与される、請求項１１に記載の方法。
13. 【請求項１３】前記加工物の運搬が、前記加工物の相対
    する側縁に駆動的に接触して協働するホイール対によっ
    て行われ、駆動モータが前記ホイール対のうち少なくと
    も１対に接続され、前記装置を通って前記加工物を前進
    させる、請求項１１または１２に記載の方法。
14. 【請求項１４】前記加工物上に電位を維持するために、
    前記駆動ホイール対が前記電源と電気的に連絡してい
    る、請求項１３に記載の方法。
15. 【請求項１５】前記ホイール対がそれぞれ前記加工物と
    接触する陰極を形成し、前記ホイールのそれぞれに前記
    電源に電気接続された陰極ブラシが連続的に接触する、
    請求項１４に記載の方法。
16. 【請求項１６】前記陽極が前記加工物の上下に直線形の
    列をなして延び、前記各陽極の電位を選択的に制御する
    ために、前記陽極のそれぞれに電力制御スイッチが接続
    される、請求項１１または１２に記載の方法。
17. 【請求項１７】前記電解質が金属含有流体を含む、請求
    項１１または１２に記載の方法。
18. 【請求項１８】前記電解質が銅、ニッケルおよび金から
    なる群から選択される金属を含む、請求項１７に記載の
    方法。
19. 【請求項１９】前記加工物が前記装置を通って運搬され
    る連続するウェブで構成される、請求項１１または１２
    に記載の方法。
20. 【請求項２０】前記加工物が電気回路用の基板を形成す
    るパネルを含む、請求項１１または１２に記載の方法。