JP3226136B2 - 光学式プローブ装置とこれに用いるプローブ取付け金具 - Google Patents
光学式プローブ装置とこれに用いるプローブ取付け金具Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスタービンエンジン
あるいはジェットエンジン等の動翼の振動計測装置に係
わり、更に詳しくは、動翼の振動計測に用いる光学式プ
ローブ装置とこれに用いるプローブ取付け金具に関す
る。
あるいはジェットエンジン等の動翼の振動計測装置に係
わり、更に詳しくは、動翼の振動計測に用いる光学式プ
ローブ装置とこれに用いるプローブ取付け金具に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】エンジン動翼の振動計測は、図４に示す
ように、エンジンケーシングに取り付けた翼端検出用の
光学式プローブ２ (Probe No.1) と、シャフト近くに取
り付けた回転基準信号検出用の電磁式プローブとによっ
て信号検出を行い、動翼３が振動していると、翼端が光
学式プローブ２の位置を通過するタイミングが、動翼の
基準位置に対して前後にずれ、そのずれ量を時間差とし
て検出することができる。すなわち、動翼３が振動して
いない場合（Ａ）には、動翼３によるパルスが動翼の基
準位置と同期しているが、動翼が振動によって前側に倒
れている場合（Ｂ）には、動翼によるパルスが動翼の基
準位置よりも先に現れ、動翼が振動によって後側に倒れ
ている場合（Ｃ）には、動翼によるパルスが動翼の基準
位置よりも後に現れ、その時間差から動翼先端の振動変
位を検出することができる。
ように、エンジンケーシングに取り付けた翼端検出用の
光学式プローブ２ (Probe No.1) と、シャフト近くに取
り付けた回転基準信号検出用の電磁式プローブとによっ
て信号検出を行い、動翼３が振動していると、翼端が光
学式プローブ２の位置を通過するタイミングが、動翼の
基準位置に対して前後にずれ、そのずれ量を時間差とし
て検出することができる。すなわち、動翼３が振動して
いない場合（Ａ）には、動翼３によるパルスが動翼の基
準位置と同期しているが、動翼が振動によって前側に倒
れている場合（Ｂ）には、動翼によるパルスが動翼の基
準位置よりも先に現れ、動翼が振動によって後側に倒れ
ている場合（Ｃ）には、動翼によるパルスが動翼の基準
位置よりも後に現れ、その時間差から動翼先端の振動変
位を検出することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した振動計測に使
用する従来の振動計測装置（図５参照）は、投光ファイ
バと受光ファイバが同心に形成されたオプティカルファ
イバ４と、投光ファイバの末端にレーザ光を投光するレ
ーザ光投光装置５と、受光ファイバの末端からレーザ光
を受光するフォトマルチプライヤ６とを備えた光学式プ
ローブ装置を用いていた。なお、この図において、７
は、前述の回転基準信号検出用電磁式プローブからの信
号を増幅するアンプであり、８は解析器と高速波形記録
装置である。
用する従来の振動計測装置（図５参照）は、投光ファイ
バと受光ファイバが同心に形成されたオプティカルファ
イバ４と、投光ファイバの末端にレーザ光を投光するレ
ーザ光投光装置５と、受光ファイバの末端からレーザ光
を受光するフォトマルチプライヤ６とを備えた光学式プ
ローブ装置を用いていた。なお、この図において、７
は、前述の回転基準信号検出用電磁式プローブからの信
号を増幅するアンプであり、８は解析器と高速波形記録
装置である。
【０００４】上述した従来の光学式プローブ装置におけ
るレーザ光投光装置５は、レーザ発生機５ａ（例えばヘ
リウムネオンレーザ装置）の光軸上に凸レンズを介して
投光ファイバの末端を位置決めしたものであり、光軸
調整が困難であり、振動により光軸がずれやすく、
大型で高価である問題点があった。また、フォトマルチ
プライヤ６は一種の真空管であり、振動で破損しやす
く、大型で高価である問題点があった。このため、従
来の光学式プローブ装置は、振動を受けないようにエン
ジンケーシング１から十分離れた位置（例えば計測室
内）に載置する必要があり、高温に耐える石英製のオ
プティカルファイバ４を相当長く（例えば２０ｍ以上）
必要とする問題点があった。
るレーザ光投光装置５は、レーザ発生機５ａ（例えばヘ
リウムネオンレーザ装置）の光軸上に凸レンズを介して
投光ファイバの末端を位置決めしたものであり、光軸
調整が困難であり、振動により光軸がずれやすく、
大型で高価である問題点があった。また、フォトマルチ
プライヤ６は一種の真空管であり、振動で破損しやす
く、大型で高価である問題点があった。このため、従
来の光学式プローブ装置は、振動を受けないようにエン
ジンケーシング１から十分離れた位置（例えば計測室
内）に載置する必要があり、高温に耐える石英製のオ
プティカルファイバ４を相当長く（例えば２０ｍ以上）
必要とする問題点があった。
【０００５】本発明はかかる問題点を解決するするため
に創案されたものである。すなわち、本発明の第１の目
的は、光軸調整がほとんど不要であり、振動に強く、小
型かつ安価で、オプティカルファイバをほとんど必要と
しない、光学式プローブ装置を提供することにある。一
方、上述した振動計測を正確に行うためにはオプティカ
ルファイバ４の先端に設けられたプローブ９を、エンジ
ンケーシング１に正確に位置決めする必要があるが、ケ
ーシングの肉厚が薄い場合（例えば３〜５ｍｍ）には、
プローブの正確な固定ができず、ケーシングに適当な厚
さのボスを溶接し、このボスにプローブ取付ける必要が
あった。しかし、エンジンケーシングはアルミニウムの
ような非鉄金属製の場合もあり、こうした場合溶接が困
難であり、またロウ付け等によっても熱歪が発生しやす
い問題点があった。
に創案されたものである。すなわち、本発明の第１の目
的は、光軸調整がほとんど不要であり、振動に強く、小
型かつ安価で、オプティカルファイバをほとんど必要と
しない、光学式プローブ装置を提供することにある。一
方、上述した振動計測を正確に行うためにはオプティカ
ルファイバ４の先端に設けられたプローブ９を、エンジ
ンケーシング１に正確に位置決めする必要があるが、ケ
ーシングの肉厚が薄い場合（例えば３〜５ｍｍ）には、
プローブの正確な固定ができず、ケーシングに適当な厚
さのボスを溶接し、このボスにプローブ取付ける必要が
あった。しかし、エンジンケーシングはアルミニウムの
ような非鉄金属製の場合もあり、こうした場合溶接が困
難であり、またロウ付け等によっても熱歪が発生しやす
い問題点があった。
【０００６】従って、本発明の第２の目的は、溶接やロ
ウ付けなしに、薄肉のケーシングにプローブを正確に取
り付けることができるプローブ取付け金具を提供するこ
とにある。
ウ付けなしに、薄肉のケーシングにプローブを正確に取
り付けることができるプローブ取付け金具を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、投光フ
ァイバと受光ファイバが同心に形成されたオプティカル
ファイバと、投光ファイバの末端にレーザ光を投光する
レーザ光投光装置と、受光ファイバの末端からレーザ光
を受光するレーザ光受光装置とを有する光学式プローブ
装置において、前記オプティカルファイバの末端部、レ
ーザ光投光装置、及びレーザ光受光装置は同一のケーシ
ング内に格納されており、前記オプティカルファイバの
末端部は投光ファイバと受光ファイバに分離され、前記
レーザ光投光装置は投光ファイバの末端部と同軸に固定
されたレンズ系と半導体レーザ発生器とからなり、前記
レーザ光受光装置は受光ファイバの末端部と同軸に固定
された半導体フォトダイオードとからなる、ことを特徴
とする光学式プローブ装置が提供される。本発明の好ま
しい実施例によれば、半導体フォトダイオードの出力を
増幅するアンプを更に備える。
ァイバと受光ファイバが同心に形成されたオプティカル
ファイバと、投光ファイバの末端にレーザ光を投光する
レーザ光投光装置と、受光ファイバの末端からレーザ光
を受光するレーザ光受光装置とを有する光学式プローブ
装置において、前記オプティカルファイバの末端部、レ
ーザ光投光装置、及びレーザ光受光装置は同一のケーシ
ング内に格納されており、前記オプティカルファイバの
末端部は投光ファイバと受光ファイバに分離され、前記
レーザ光投光装置は投光ファイバの末端部と同軸に固定
されたレンズ系と半導体レーザ発生器とからなり、前記
レーザ光受光装置は受光ファイバの末端部と同軸に固定
された半導体フォトダイオードとからなる、ことを特徴
とする光学式プローブ装置が提供される。本発明の好ま
しい実施例によれば、半導体フォトダイオードの出力を
増幅するアンプを更に備える。
【０００８】更に、本発明によれば、光学式プローブ装
置のオプティカルファイバ先端に設けられたプローブを
取り付け、該プローブをエンジンケーシングに位置決め
する取付け金具であって、エンジンケーシングに設けら
れた雌ネジ孔と螺合する雄ネジ部と、該螺合によりエン
ジンケーシングの外表面に下面が接触するフランジ部と
を有する、ことを特徴とするプローブ取付け金具が提供
される。
置のオプティカルファイバ先端に設けられたプローブを
取り付け、該プローブをエンジンケーシングに位置決め
する取付け金具であって、エンジンケーシングに設けら
れた雌ネジ孔と螺合する雄ネジ部と、該螺合によりエン
ジンケーシングの外表面に下面が接触するフランジ部と
を有する、ことを特徴とするプローブ取付け金具が提供
される。
【０００９】
【作用】上記本発明の構成によれば、レーザ光投光装置
が投光ファイバの末端部と同軸に固定されたレンズ系と
半導体レーザ発生器とからなり、レーザ光受光装置が受
光ファイバの末端部と同軸に固定された半導体フォトダ
イオードとからなるので、光軸調整が不要であり、振動
により光軸がずれることがない。
が投光ファイバの末端部と同軸に固定されたレンズ系と
半導体レーザ発生器とからなり、レーザ光受光装置が受
光ファイバの末端部と同軸に固定された半導体フォトダ
イオードとからなるので、光軸調整が不要であり、振動
により光軸がずれることがない。
【００１０】更に、小型で安価、かつ振動に強い半導体
レーザ発生器と半導体フォトダイオードを用いているの
で、光学式プローブ装置全体も小型かつ安価となり、振
動で破損しにくい。また、オプティカルファイバの末端
部、レーザ光投光装置、及びレーザ光受光装置が同一の
ケーシング内に格納されており、かつそれぞれ振動に強
く小型であるため、光学式プローブ装置全体をエンジン
ケーシングの近くに設置することができ、オプティカル
ファイバの必要長さを大幅に短縮することができる。
レーザ発生器と半導体フォトダイオードを用いているの
で、光学式プローブ装置全体も小型かつ安価となり、振
動で破損しにくい。また、オプティカルファイバの末端
部、レーザ光投光装置、及びレーザ光受光装置が同一の
ケーシング内に格納されており、かつそれぞれ振動に強
く小型であるため、光学式プローブ装置全体をエンジン
ケーシングの近くに設置することができ、オプティカル
ファイバの必要長さを大幅に短縮することができる。
【００１１】更に、半導体フォトダイオードの出力を増
幅するアンプを備えれば、解析器への出力信号を十分大
きくしノイズの影響を最小限に抑えることができる。ま
た本発明の別の実施例によれば、エンジンケーシングに
設けられた雌ネジ孔にプローブ取付け金具の雄ネジ部を
螺合させ、かつフランジ部の下面をエンジンケーシング
の外表面に接触させかつフランジ部とケーシング部をビ
スで貫通・固定することにより、プローブ取付け金具を
溶接やロウ付けなしに、薄肉のケーシングに正確に取り
付けることができ、これによりオプティカルファイバ先
端に設けられたプローブをエンジンケーシングに正確に
位置決めすることができる。
幅するアンプを備えれば、解析器への出力信号を十分大
きくしノイズの影響を最小限に抑えることができる。ま
た本発明の別の実施例によれば、エンジンケーシングに
設けられた雌ネジ孔にプローブ取付け金具の雄ネジ部を
螺合させ、かつフランジ部の下面をエンジンケーシング
の外表面に接触させかつフランジ部とケーシング部をビ
スで貫通・固定することにより、プローブ取付け金具を
溶接やロウ付けなしに、薄肉のケーシングに正確に取り
付けることができ、これによりオプティカルファイバ先
端に設けられたプローブをエンジンケーシングに正確に
位置決めすることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の好ましい実施例を図面を参照
して説明する。なお、各図において共通する部分には同
一の符号を付し説明の重複を省略する。図１は、本発明
による光学式プローブ装置１０の全体断面図である。こ
の図において、本発明による光学式プローブ装置は、投
光ファイバ１１と受光ファイバ１２が同心に形成された
オプティカルファイバ１３と、投光ファイバ１１の末端
にレーザ光を投光するレーザ光投光装置１４と、受光フ
ァイバ１２の末端からレーザ光を受光するレーザ光受光
装置１６とを有している。
して説明する。なお、各図において共通する部分には同
一の符号を付し説明の重複を省略する。図１は、本発明
による光学式プローブ装置１０の全体断面図である。こ
の図において、本発明による光学式プローブ装置は、投
光ファイバ１１と受光ファイバ１２が同心に形成された
オプティカルファイバ１３と、投光ファイバ１１の末端
にレーザ光を投光するレーザ光投光装置１４と、受光フ
ァイバ１２の末端からレーザ光を受光するレーザ光受光
装置１６とを有している。
【００１３】オプティカルファイバ１３の末端部、レー
ザ光投光装置１４、及びレーザ光受光装置１６は同一の
ケーシング１７内に格納され、かつオプティカルファイ
バ１３の末端部は投光ファイバ１１と受光ファイバ１２
に分離されている。
ザ光投光装置１４、及びレーザ光受光装置１６は同一の
ケーシング１７内に格納され、かつオプティカルファイ
バ１３の末端部は投光ファイバ１１と受光ファイバ１２
に分離されている。
【００１４】レーザ光投光装置１４は投光ファイバ１１
の末端部とレンズ系１９と半導体レーザ発生器２０から
なる。また、レーザ光受光装置１６は受光ファイバ１２
の末端部と半導体フォトダイオード２２とからなる。か
かる構成により、レーザ光投光装置１４の全体が投光フ
ァイバ１１の末端部と同軸に固定され、レーザ光受光装
置１６の全体が受光ファイバの末端部と同軸に固定され
るので、光軸調整が不要であり、振動により光軸がずれ
ることがない。
の末端部とレンズ系１９と半導体レーザ発生器２０から
なる。また、レーザ光受光装置１６は受光ファイバ１２
の末端部と半導体フォトダイオード２２とからなる。か
かる構成により、レーザ光投光装置１４の全体が投光フ
ァイバ１１の末端部と同軸に固定され、レーザ光受光装
置１６の全体が受光ファイバの末端部と同軸に固定され
るので、光軸調整が不要であり、振動により光軸がずれ
ることがない。
【００１５】更に、図１において、更に、半導体フォト
ダイオードの出力を増幅するアンプ２３を備えている。
これにより、解析器への出力信号を十分大きくしノイズ
の影響を最小限に抑えることができる。
ダイオードの出力を増幅するアンプ２３を備えている。
これにより、解析器への出力信号を十分大きくしノイズ
の影響を最小限に抑えることができる。
【００１６】図２は、上述した本発明による光学式プロ
ーブ装置１０を用いた振動計測装置の全体図である。本
発明による光学式プローブ装置１０は、小型で安価、か
つ振動に強い半導体レーザ発生器と半導体フォトダイオ
ードを用いているので、光学式プローブ装置１０の全体
も小型かつ安価となり、振動で破損しにくい。更に、オ
プティカルファイバ１３の末端部、レーザ光投光装置、
及びレーザ光受光装置の全体が同一のケーシング１７内
に格納されており、かつ振動に強く小型であるため、光
学式プローブ装置１０の全体をエンジンケーシングの近
くに設置することができ、オプティカルファイバ１３の
必要長さを大幅に短縮することができる。
ーブ装置１０を用いた振動計測装置の全体図である。本
発明による光学式プローブ装置１０は、小型で安価、か
つ振動に強い半導体レーザ発生器と半導体フォトダイオ
ードを用いているので、光学式プローブ装置１０の全体
も小型かつ安価となり、振動で破損しにくい。更に、オ
プティカルファイバ１３の末端部、レーザ光投光装置、
及びレーザ光受光装置の全体が同一のケーシング１７内
に格納されており、かつ振動に強く小型であるため、光
学式プローブ装置１０の全体をエンジンケーシングの近
くに設置することができ、オプティカルファイバ１３の
必要長さを大幅に短縮することができる。
【００１７】図３は、本発明によるプローブの取付け金
具の全体斜視図である。この取付け金具２４は、光学式
プローブ装置１０のオプティカルファイバ１３の先端に
設けられたプローブ９を取り付け、このプローブ９をエ
ンジンケーシング１に位置決めするために用いられる。
取付け金具２４はその中央部にプローブ９の取付け部を
嵌め込む孔を有し、適当な手段、例えばネジによりプロ
ーブ９を取付け金具２４に固定するようになっている。
取付け金具２４は更に、エンジンケーシング１に設けら
れた雌ネジ孔１ａと螺合する雄ネジ部２４ａと、この螺
合によりエンジンケーシング１の外表面に下面が接触す
るフランジ部２４ｂとを有する。エンジンケーシング１
の取り付け面は平面に仕上げられ、この取り付け面とフ
ランジ部２４ｂの下面とが、金属用接着剤で接着される
のがよい。更に、フランジ部２４ｂはビス孔２４ｃを有
し、このビス孔２４ｃを介してビス（図示せず）により
フランジ部２４ｂをエンジンケーシング１にネジ止めす
る。かかる構成により、エンジンケーシング１に設けら
れた雌ネジ孔１ａにプローブ取付け金具２４の雄ネジ部
２４ａを螺合させ、かつフランジ部２４ｂの下面をエン
ジンケーシングの外表面に接触させ、接着剤で接着し、
さらにフランジ部２４ｂのビス孔２４ｃからケーシング
１のビス孔１ｂに貫通して取り付けられたビスによっ
て、プローブ取付け金具２４を溶接やロウ付けなしに、
薄肉のケーシング１に正確に取り付けることができ、こ
れによりオプティカルファイバ１３の先端に設けられた
プローブ９をエンジンケーシング１に正確に位置決めす
ることができる。
具の全体斜視図である。この取付け金具２４は、光学式
プローブ装置１０のオプティカルファイバ１３の先端に
設けられたプローブ９を取り付け、このプローブ９をエ
ンジンケーシング１に位置決めするために用いられる。
取付け金具２４はその中央部にプローブ９の取付け部を
嵌め込む孔を有し、適当な手段、例えばネジによりプロ
ーブ９を取付け金具２４に固定するようになっている。
取付け金具２４は更に、エンジンケーシング１に設けら
れた雌ネジ孔１ａと螺合する雄ネジ部２４ａと、この螺
合によりエンジンケーシング１の外表面に下面が接触す
るフランジ部２４ｂとを有する。エンジンケーシング１
の取り付け面は平面に仕上げられ、この取り付け面とフ
ランジ部２４ｂの下面とが、金属用接着剤で接着される
のがよい。更に、フランジ部２４ｂはビス孔２４ｃを有
し、このビス孔２４ｃを介してビス（図示せず）により
フランジ部２４ｂをエンジンケーシング１にネジ止めす
る。かかる構成により、エンジンケーシング１に設けら
れた雌ネジ孔１ａにプローブ取付け金具２４の雄ネジ部
２４ａを螺合させ、かつフランジ部２４ｂの下面をエン
ジンケーシングの外表面に接触させ、接着剤で接着し、
さらにフランジ部２４ｂのビス孔２４ｃからケーシング
１のビス孔１ｂに貫通して取り付けられたビスによっ
て、プローブ取付け金具２４を溶接やロウ付けなしに、
薄肉のケーシング１に正確に取り付けることができ、こ
れによりオプティカルファイバ１３の先端に設けられた
プローブ９をエンジンケーシング１に正確に位置決めす
ることができる。
【００１８】
【発明の効果】上述のように、本発明による光学式プロ
ーブ装置は、光軸調整がほとんど不要であり、振動に強
く、小型かつ安価で、長いオプティカルファイバを必要
としない、優れた効果を有している。また、本発明によ
るプローブ取付け金具は、溶接やロウ付けなしに、薄肉
のケーシングにプローブを正確に取り付けることができ
る効果を有する。
ーブ装置は、光軸調整がほとんど不要であり、振動に強
く、小型かつ安価で、長いオプティカルファイバを必要
としない、優れた効果を有している。また、本発明によ
るプローブ取付け金具は、溶接やロウ付けなしに、薄肉
のケーシングにプローブを正確に取り付けることができ
る効果を有する。
【図１】本発明による光学式プローブ装置の全体断面図
である。
である。
【図２】本発明による光学式プローブ装置を用いた振動
計測装置の全体図である。
計測装置の全体図である。
【図３】本発明によるプローブの取付け金具の全体斜視
図である。
図である。
【図４】タービン動翼の振動計測方法の説明図である。
【図５】従来のタービン動翼の振動計測装置の全体図で
ある。
ある。
１ エンジンケーシング １ｂ ビス孔 ２ 光学式プローブ ３ 動翼 ４ オプティカルファイバ ５ レーザ光投光装置 ６ フォトマルチプライヤ ７ アンプ ８ 解析器とルミグラフ ９ プローブ １０ 光学式プローブ装置 １１ 投光ファイバ １２ 受光ファイバ １３ オプティカルファイバ １４ レーザ光投光装置 １６ レーザ光受光装置 １７ ケーシング １９ 凸レンズ系 ２０ 半導体レーザ発生器 ２２ 半導体フォトダイオード ２３ アンプ ２４ 取付け金具 ２４ａ 雄ネジ部 ２４ｂ フランジ部 ２４ｃ ビス孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01H 9/00 F02C 7/00 G01B 11/00 G01B 11/26
Claims (3)
- 【請求項１】 投光ファイバと受光ファイバが同心に形
成されたオプティカルファイバと、投光ファイバの末端
にレーザ光を投光するレーザ光投光装置と、受光ファイ
バの末端からレーザ光を受光するレーザ光受光装置とを
有する光学式プローブ装置において、 前記オプティカルファイバの末端部、レーザ光投光装
置、及びレーザ光受光装置は同一のケーシング内に格納
されており、前記オプティカルファイバの末端部は投光
ファイバと受光ファイバに分離され、前記レーザ光投光
装置は投光ファイバの末端部と同軸に固定されたレンズ
系と半導体レーザ発生器とからなり、前記レーザ光受光
装置は受光ファイバの末端部と同軸に固定された半導体
フォトダイオードとからなる、ことを特徴とする光学式
プローブ装置。 - 【請求項２】 更に、半導体フォトダイオードの出力を
増幅するアンプを備える、ことを特徴とする請求項１に
記載の光学式プローブ装置。 - 【請求項３】 光学式プローブ装置のオプティカルファ
イバ先端に設けられたプローブを取り付け、該プローブ
をエンジンケーシングに位置決めする取付け金具であっ
て、エンジンケーシングに設けられた雌ネジ孔と螺合す
る雄ネジ部と、該螺合によりエンジンケーシングの外表
面に下面が接触するフランジ部とを有する、ことを特徴
とするプローブ取付け金具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23061893A JP3226136B2 (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 光学式プローブ装置とこれに用いるプローブ取付け金具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23061893A JP3226136B2 (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 光学式プローブ装置とこれに用いるプローブ取付け金具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0783749A JPH0783749A (ja) | 1995-03-31 |
| JP3226136B2 true JP3226136B2 (ja) | 2001-11-05 |
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ID=16910596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23061893A Expired - Fee Related JP3226136B2 (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 光学式プローブ装置とこれに用いるプローブ取付け金具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3226136B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4296082B2 (ja) | 2003-12-10 | 2009-07-15 | Ｈｏｙａ株式会社 | 内視鏡用高周波スネア |
| JP5353517B2 (ja) * | 2009-07-17 | 2013-11-27 | 株式会社Ｉｈｉ | タービン翼の振動計測装置 |
-
1993
- 1993-09-17 JP JP23061893A patent/JP3226136B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0783749A (ja) | 1995-03-31 |
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