JP3226044B2 - 位置決め装置 - Google Patents
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- JP3226044B2 JP3226044B2 JP26652790A JP26652790A JP3226044B2 JP 3226044 B2 JP3226044 B2 JP 3226044B2 JP 26652790 A JP26652790 A JP 26652790A JP 26652790 A JP26652790 A JP 26652790A JP 3226044 B2 JP3226044 B2 JP 3226044B2
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- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
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- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
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- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
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- F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
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Description
【０００１】
本発明は少なくとも２個のＸ軸リニアモータおよび少
なくとも２個のＹ軸リニアモータにより少なくとも２個
の座標軸方向（Ｘ、Ｙ）に移動自在でありかつ静的ガス
軸受により２個の座標軸方向に平行に延在するベースに
接触することなく支持したテーブルと、前記ベースおよ
び前記テーブルにそれぞれ連結しかつ前記モータに対応
するコイル装置および磁石装置とを具える位置決め装置
に関するものである。
なくとも２個のＹ軸リニアモータにより少なくとも２個
の座標軸方向（Ｘ、Ｙ）に移動自在でありかつ静的ガス
軸受により２個の座標軸方向に平行に延在するベースに
接触することなく支持したテーブルと、前記ベースおよ
び前記テーブルにそれぞれ連結しかつ前記モータに対応
するコイル装置および磁石装置とを具える位置決め装置
に関するものである。
【０００２】
上述のようなこの種の位置決め装置としては、ヨーロ
ッパ特許出願第0244012号に記載の装置がある。
ッパ特許出願第0244012号に記載の装置がある。
【０００３】
この装置はＸ軸方向およびＹ軸方向の双方のために電
動リニアモータのコイル装置および磁石装置を、電磁ロ
ーレンツ力のみならず、案内ローラによっても結合およ
び案内され、ばね力の下に回転軸に交差する方向に僅か
しか移動することができない。上述の完全に機械的な結
合および案内は、制御されたシステムにおけるローラの
摩擦により比較的小さい帯域の制御しか得られず、位置
決め装置の精度も制限される。
動リニアモータのコイル装置および磁石装置を、電磁ロ
ーレンツ力のみならず、案内ローラによっても結合およ
び案内され、ばね力の下に回転軸に交差する方向に僅か
しか移動することができない。上述の完全に機械的な結
合および案内は、制御されたシステムにおけるローラの
摩擦により比較的小さい帯域の制御しか得られず、位置
決め装置の精度も制限される。
【０００４】 米国特許第4,507,597号には、テーブルとベースとの
間ではなく、テーブルとコイル装置との間に配置した静
的ガス軸受を具えた位置決め装置が記載されている。し
かし、この場合、コイル装置は大きな温度変動を受ける
ため、Ｘ−Ｙ平面におけるテーブルの比較的制限された
位置決め精度しか得られない。この既知の位置決め装置
のコイル装置および磁石装置は確かにローレンツ力のみ
により案内および結合されているが、この結合および案
内は最適とはならない。即ち、静的ガス軸受がテーブル
とコイル装置との間に配置されているためである。
間ではなく、テーブルとコイル装置との間に配置した静
的ガス軸受を具えた位置決め装置が記載されている。し
かし、この場合、コイル装置は大きな温度変動を受ける
ため、Ｘ−Ｙ平面におけるテーブルの比較的制限された
位置決め精度しか得られない。この既知の位置決め装置
のコイル装置および磁石装置は確かにローレンツ力のみ
により案内および結合されているが、この結合および案
内は最適とはならない。即ち、静的ガス軸受がテーブル
とコイル装置との間に配置されているためである。
【０００５】 更に、米国特許第4,506,204号およびSPIE第1088巻、
「オプティカル レーザ マイクロリトグラフィ（Opti
cal Laser Microlithography）」II号（1989）、第428
頁には、特別な構造の３個の空気脚部によりテーブルを
ベースに支承した位置決め装置が記載されている。３個
の空気脚部の各々においては、いわゆる「ボイスコイ
ル」型のアクチュエータ又は電磁式アクチュエータがテ
ーブルの傾動のために組み込まれている。各空気脚部に
おけるこの電気力学的アクチュエータは支承が複雑にな
るだけでなく、支承が比較的ソフトでエアギャップの厚
さを最適軸受こわさの範囲内に維持するのが困難にな
る。
「オプティカル レーザ マイクロリトグラフィ（Opti
cal Laser Microlithography）」II号（1989）、第428
頁には、特別な構造の３個の空気脚部によりテーブルを
ベースに支承した位置決め装置が記載されている。３個
の空気脚部の各々においては、いわゆる「ボイスコイ
ル」型のアクチュエータ又は電磁式アクチュエータがテ
ーブルの傾動のために組み込まれている。各空気脚部に
おけるこの電気力学的アクチュエータは支承が複雑にな
るだけでなく、支承が比較的ソフトでエアギャップの厚
さを最適軸受こわさの範囲内に維持するのが困難にな
る。
【０００６】 従って、本発明の目的は上述の欠点を解決する位置決
め装置を得るにある。
め装置を得るにある。
【０００７】
上述の目的を達成するため、本発明による位置決め装
置は、前記静的ガス軸受のほぼ一定のコイル装置とは無
関係なエアギャップの厚さでの動作中、前記テーブルを
前記ベースに案内し、またコイル装置および磁石装置に
より発生するローレンツ力によってのみ前記テーブルを
前記ベースに対して２個の座標軸方向に平行な方向に結
合し、前記２個のＸ軸リニアモータ又は前記２個のＹ軸
リニアモータに対して互いに等しい電流かつ互いに逆の
極性で付勢することにより前記２個の座標軸方向に直交
する回転軸線の周りに前記テーブルを回転させることが
できるようにしたことを特徴とする。
置は、前記静的ガス軸受のほぼ一定のコイル装置とは無
関係なエアギャップの厚さでの動作中、前記テーブルを
前記ベースに案内し、またコイル装置および磁石装置に
より発生するローレンツ力によってのみ前記テーブルを
前記ベースに対して２個の座標軸方向に平行な方向に結
合し、前記２個のＸ軸リニアモータ又は前記２個のＹ軸
リニアモータに対して互いに等しい電流かつ互いに逆の
極性で付勢することにより前記２個の座標軸方向に直交
する回転軸線の周りに前記テーブルを回転させることが
できるようにしたことを特徴とする。
【０００８】 本明細書中用語「ローレンツ力」は、磁気的誘導Ｂお
よび電流強度ｉとのベクトル積の力を意味するものと理
解されたい。
よび電流強度ｉとのベクトル積の力を意味するものと理
解されたい。
【０００９】 本発明によれば、電動リニアモータの一部を形成する
コイル装置と磁石装置との間の摩擦がほぼ完全に回避す
ることができるという事実により、制御帯域が相当拡大
され、また制御精度も大幅に向上する。コイル装置と磁
石装置との間の機械的結合および案内がないことも構造
をより簡単かつ丈夫なものとする。
コイル装置と磁石装置との間の摩擦がほぼ完全に回避す
ることができるという事実により、制御帯域が相当拡大
され、また制御精度も大幅に向上する。コイル装置と磁
石装置との間の機械的結合および案内がないことも構造
をより簡単かつ丈夫なものとする。
【００１０】 こわさの極めて高い静的ガス軸受を具える本発明位置
決め装置の好適な実施例においては、前記ベースの少な
くとも一部を、１対の永久磁石間に磁気的に伝導させて
ブリッジを形成し、静的ガス軸受におけるプレストレス
を前記空気脚部の永久磁石とベースの磁気伝導材料との
間の磁気的吸引力により決定する構成とする。
決め装置の好適な実施例においては、前記ベースの少な
くとも一部を、１対の永久磁石間に磁気的に伝導させて
ブリッジを形成し、静的ガス軸受におけるプレストレス
を前記空気脚部の永久磁石とベースの磁気伝導材料との
間の磁気的吸引力により決定する構成とする。
【００１１】 テーブルの傾動に対するこわさが比較的高い本発明位
置決め装置の好適な実施例においては、前記コイル装置
および磁石装置の対を２個の座標方向の各々に関連させ
る。
置決め装置の好適な実施例においては、前記コイル装置
および磁石装置の対を２個の座標方向の各々に関連させ
る。
【００１２】 本発明位置決め装置の更に他の好適な実施例において
は、、コイル装置の磁石装置側とは反対側を、すべての
コイル装置に共通のクーラーに熱接触させる。すべての
コイル装置に共通なクーラーは構造を簡単にし、位置決
め装置の温度分布を均一にすることができる。
は、、コイル装置の磁石装置側とは反対側を、すべての
コイル装置に共通のクーラーに熱接触させる。すべての
コイル装置に共通なクーラーは構造を簡単にし、位置決
め装置の温度分布を均一にすることができる。
【００１３】 更に、本発明位置決め装置の好適な実施例において
は、前記クーラーは、Ｘ−Ｙ平面に平行な平面上に配置
しかつ矩形断面を有する卷回冷却パイプを有するものと
して構成する。クーラーの平坦形状によりクーラーのコ
イル装置との比較的大きな接触面積が得られるため、位
置決め装置の冷却が効率よくなる。
は、前記クーラーは、Ｘ−Ｙ平面に平行な平面上に配置
しかつ矩形断面を有する卷回冷却パイプを有するものと
して構成する。クーラーの平坦形状によりクーラーのコ
イル装置との比較的大きな接触面積が得られるため、位
置決め装置の冷却が効率よくなる。
【００１４】
次に、図面につき本発明の好適な実施例を説明する。
【００１５】 図１乃至図４に示す位置決め装置１は、磁気伝導鉄−
コバルト合金のほぼ水平方向に配置した平坦なベース３
を具え、このベース３上に円形の脚部５を案内する。動
作にあたり、脚部５は、ヨーロッパ特許出願第0244012
号に記載の普通の種類の静的ガス軸受（空気静力学的軸
受）によりベース３に支持する。図１および図２から明
らかなように、４個のコーナーステー７、９、11および
13をベース３に取付ける（ステー13は図１には示さな
い）このコーナーステーにおいて４個のコイル装置15、
17、19および21のための掛合表面が形成され、コイル装
置15のみが図１に全体的に見え、コイル装置19は半分し
か見えない。図２ではコイル装置15、17、19および21を
点線で示す。コイル装置15〜21はコイルコアを介してス
テーの掛合表面に支持する。これら掛合表面のうち図１
ではコイル装置17および21の掛合表面23、25並びにコイ
ル装置19の掛合表面27のみを示す。コイル装置19におい
て、掛合表面27に支持したこのコイル装置19のコイルコ
ア29のみが見える。コイル装置15〜21は、互いに反対方
向に巻いた２個のコイル例えば、コイル装置15のコイル
31、33を有する。コイル装置19においては、コイル35の
みが図１に見える。各コイル装置に対向する下方に磁石
装置を配置し、これら磁石装置は空気脚部５に取付け、
関連のコイル装置とともにXY座標方向に移動する電気リ
ニアモータを構成する。図２から明らかなように、磁石
装置37、39、41、43はそれぞれコイル装置15、17、19、
21に対向させて空気脚部５に配置する。磁石装置37〜43
はＺ軸方向の両方向に平行に磁化した２個の磁石を有す
る。永久磁石対（45、47）、（49、51）、（53、55）、
（57、59）をそれぞれ磁石装置37、39、41,43に関連さ
せる。これら永久磁石対において、コイル装置21の永久
磁石59、磁石装置39の永久磁石49、51および磁石装置41
の永久磁石53が図１に見える。上述のリニアモータの磁
気的回路は、磁石対の磁石間に延在する鉄−コバルト
と、永久磁石と、コイル装置のコアにより構成される。
コイル装置と永久磁石との間の磁気回路におけるエアギ
ャップの厚さはベース３と空気静力学的軸受の空気脚部
５との間のエアギャップの厚さにより完全に決定され
る。磁石装置の永久磁石間の磁気的短絡がベース３の鉄
−コバルトに位置するという事実によって、空気静力学
的軸受の磁気的プレストレスが得られる。このプレスト
レスは、空気静力学的軸受のこわさを最適にするよう選
択する。
コバルト合金のほぼ水平方向に配置した平坦なベース３
を具え、このベース３上に円形の脚部５を案内する。動
作にあたり、脚部５は、ヨーロッパ特許出願第0244012
号に記載の普通の種類の静的ガス軸受（空気静力学的軸
受）によりベース３に支持する。図１および図２から明
らかなように、４個のコーナーステー７、９、11および
13をベース３に取付ける（ステー13は図１には示さな
い）このコーナーステーにおいて４個のコイル装置15、
17、19および21のための掛合表面が形成され、コイル装
置15のみが図１に全体的に見え、コイル装置19は半分し
か見えない。図２ではコイル装置15、17、19および21を
点線で示す。コイル装置15〜21はコイルコアを介してス
テーの掛合表面に支持する。これら掛合表面のうち図１
ではコイル装置17および21の掛合表面23、25並びにコイ
ル装置19の掛合表面27のみを示す。コイル装置19におい
て、掛合表面27に支持したこのコイル装置19のコイルコ
ア29のみが見える。コイル装置15〜21は、互いに反対方
向に巻いた２個のコイル例えば、コイル装置15のコイル
31、33を有する。コイル装置19においては、コイル35の
みが図１に見える。各コイル装置に対向する下方に磁石
装置を配置し、これら磁石装置は空気脚部５に取付け、
関連のコイル装置とともにXY座標方向に移動する電気リ
ニアモータを構成する。図２から明らかなように、磁石
装置37、39、41、43はそれぞれコイル装置15、17、19、
21に対向させて空気脚部５に配置する。磁石装置37〜43
はＺ軸方向の両方向に平行に磁化した２個の磁石を有す
る。永久磁石対（45、47）、（49、51）、（53、55）、
（57、59）をそれぞれ磁石装置37、39、41,43に関連さ
せる。これら永久磁石対において、コイル装置21の永久
磁石59、磁石装置39の永久磁石49、51および磁石装置41
の永久磁石53が図１に見える。上述のリニアモータの磁
気的回路は、磁石対の磁石間に延在する鉄−コバルト
と、永久磁石と、コイル装置のコアにより構成される。
コイル装置と永久磁石との間の磁気回路におけるエアギ
ャップの厚さはベース３と空気静力学的軸受の空気脚部
５との間のエアギャップの厚さにより完全に決定され
る。磁石装置の永久磁石間の磁気的短絡がベース３の鉄
−コバルトに位置するという事実によって、空気静力学
的軸受の磁気的プレストレスが得られる。このプレスト
レスは、空気静力学的軸受のこわさを最適にするよう選
択する。
【００１６】 静的ガス軸受のため、空気脚部５には半径方向に延在
するダクトを設ける。図１および図３にはダクト61、63
が見える。ダクト61、63に接続しかとつ空気脚部５とベ
ース３との間のエアギャップに至る横方向ダクト65、67
を介して空気静力学的軸受の空気は圧力が溜まる軸受領
域に達する。空気静力学的軸受のプレストレスは空気脚
部５の重量によっても決定される。更に、空気脚部５の
中心部分は真空によって付加的プレストレスを供給する
ことができる。この場合、シリンダ69により構成する空
気脚部の中心部分は軸受が位置する空気脚部の外側部分
からシールしなければならない。シリンダ69は位置決め
装置におけるテーブルとして機能する。シリンダ69を介
してダクト61、63を空気源にも接続する。
するダクトを設ける。図１および図３にはダクト61、63
が見える。ダクト61、63に接続しかとつ空気脚部５とベ
ース３との間のエアギャップに至る横方向ダクト65、67
を介して空気静力学的軸受の空気は圧力が溜まる軸受領
域に達する。空気静力学的軸受のプレストレスは空気脚
部５の重量によっても決定される。更に、空気脚部５の
中心部分は真空によって付加的プレストレスを供給する
ことができる。この場合、シリンダ69により構成する空
気脚部の中心部分は軸受が位置する空気脚部の外側部分
からシールしなければならない。シリンダ69は位置決め
装置におけるテーブルとして機能する。シリンダ69を介
してダクト61、63を空気源にも接続する。
【００１７】 磁石装置から離れる側において、コイル装置15、17、
19および21を、すべてのコイル装置に共通のクーラー71
（図２および図３参照）に熱接触させる。クーラー71を
矩形断面の卷回冷却パイプにより構成する。この卷回パ
イプはＸ−Ｙ平面に平行な平面上に配置する。従って、
できるだけ大きな熱伝導表面が得られる。卷回パイプの
全体を液体流導管を設けた単独の平坦ボックスと交換で
きる。螺旋卷回冷却管を有するクーラーの場合、流れ抵
抗が高いため、液体ポンプの必要とされるパワーは高い
が、流れの方向は単独平坦ボックスの場合よりも所定作
動条件の下でより正確に規定することができる。コイル
装置は固定配置のため、クーラーの液体接続も固定位置
をとり、液体冷却可動コイル装置に生ずる可変負荷から
保護することができる。
19および21を、すべてのコイル装置に共通のクーラー71
（図２および図３参照）に熱接触させる。クーラー71を
矩形断面の卷回冷却パイプにより構成する。この卷回パ
イプはＸ−Ｙ平面に平行な平面上に配置する。従って、
できるだけ大きな熱伝導表面が得られる。卷回パイプの
全体を液体流導管を設けた単独の平坦ボックスと交換で
きる。螺旋卷回冷却管を有するクーラーの場合、流れ抵
抗が高いため、液体ポンプの必要とされるパワーは高い
が、流れの方向は単独平坦ボックスの場合よりも所定作
動条件の下でより正確に規定することができる。コイル
装置は固定配置のため、クーラーの液体接続も固定位置
をとり、液体冷却可動コイル装置に生ずる可変負荷から
保護することができる。
【００１８】 リニア電動モータのコイル装置に同一極性および同一
の値の電流を通電して空気脚部５およびシリンダ69をＸ
−Ｙ座標方向に平行に移動するとき、空気脚部５の純粋
な並進移動が得られる。図１および図２に示すテーブル
69のニュートラル位置において、テーブルの中心Ｍは座
標系のＺ軸に位置する。Ｘ軸方向の２個のリニア電動モ
ータに反対極性の互いに等しい値の電流を通電するか又
はＹ軸方向のリニアモータに同じように通電するとき、
中心Ｍが並進移動することなく、テーブル69がＺ軸の周
りに回転φＺだけ回転する。更に、回転φＺのためには
４個のリニアモータに通電することもできる。中心Ｍの
並進移動および回転移動を同時に行うこともできる。
の値の電流を通電して空気脚部５およびシリンダ69をＸ
−Ｙ座標方向に平行に移動するとき、空気脚部５の純粋
な並進移動が得られる。図１および図２に示すテーブル
69のニュートラル位置において、テーブルの中心Ｍは座
標系のＺ軸に位置する。Ｘ軸方向の２個のリニア電動モ
ータに反対極性の互いに等しい値の電流を通電するか又
はＹ軸方向のリニアモータに同じように通電するとき、
中心Ｍが並進移動することなく、テーブル69がＺ軸の周
りに回転φＺだけ回転する。更に、回転φＺのためには
４個のリニアモータに通電することもできる。中心Ｍの
並進移動および回転移動を同時に行うこともできる。
【００１９】 上述の位置決め装置は特に集積回路の製造に使用する
マスクの製造に好適である。これらマスクは製造中１回
又はそれ以上の極めて正確なパターンの露光を受ける。
これらマスクは半導体ウェハの露光のためのオプトリソ
グラフィック装置に使用する。更に、このようなオプト
リソグラフィック装置（いわゆるウェハステッパ）の場
合、上述の位置決め装置を使用することができる。更
に、位置決め装置はホログラフィックラスターの製造、
集積光学構成部材へのパターンの書き込み、既に製造し
たパターンの検査にも使用することができる。
マスクの製造に好適である。これらマスクは製造中１回
又はそれ以上の極めて正確なパターンの露光を受ける。
これらマスクは半導体ウェハの露光のためのオプトリソ
グラフィック装置に使用する。更に、このようなオプト
リソグラフィック装置（いわゆるウェハステッパ）の場
合、上述の位置決め装置を使用することができる。更
に、位置決め装置はホログラフィックラスターの製造、
集積光学構成部材へのパターンの書き込み、既に製造し
たパターンの検査にも使用することができる。
【図１】 本発明による位置決め装置の好適な実施例の
一部の斜視図、
一部の斜視図、
【図２】 本発明による位置決め装置の好適な実施例の
平面図、
平面図、
【図３】 図２のIII−III線上の断面図、
【図４】 図１に示す位置決め装置の側面図である。
１……位置決め装置 ３……ベース ５……脚部 7,9,11,13……コーナーステー 15,17,19,21……コイル装置 23,25,27……掛合表面 29……コイルコア 31,33,35……コイル 37,39,41,43……磁石装置 45,47,49,51,53,55,57,59……永久磁石 61,63……ダクト 65,67……横方向ダクト 69……シリンダ（テーブル） 71……クーラー
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−216734（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−124763（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−276612（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−130413（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−112216（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−13314（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−7726（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−206926（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G05D 3/00 - 3/20 B23Q 1/00 - 1/30 B23Q 9/00 - 9/02
Claims (5)
- 【請求項１】少なくとも２個のＸ軸リニアモータおよび
少なくとも２個のＹ軸リニアモータにより少なくとも２
個の座標軸方向（Ｘ、Ｙ）に移動自在でありかつ静的ガ
ス軸受により２個の座標軸方向に平行に延在するベース
に接触することなく支持したテーブルと、前記ベースお
よび前記テーブルにそれぞれ連結しかつ前記モータに対
応するコイル装置および磁石装置とを具える位置決め装
置において、前記静的ガス軸受のほぼ一定のコイル装置
とは無関係なエアギャップの厚さでの動作中、前記テー
ブルを前記ベースに案内し、またコイル装置および磁石
装置により発生するローレンツ力によってのみ前記テー
ブルを前記ベースに対して２個の座標軸方向に平行な方
向に結合し、前記２個のＸ軸リニアモータ又は前記２個
のＹ軸リニアモータに対して互いに等しい電流かつ互い
に逆の極性で付勢することにより前記２個の座標軸方向
に直交する回転軸線の周りに前記テーブルを回転させる
ことができるようにしたことを特徴とする位置決め装
置。 - 【請求項２】前記ベースの少なくとも一部を、１対の永
久磁石間に磁気的に伝導させてブリッジを形成し、静的
ガス軸受におけるプレストレスを前記空気脚部の永久磁
石とベースの磁気伝導材料との間の磁気的吸引力により
決定する構成とした請求項１記載の位置決め装置。 - 【請求項３】前記コイル装置および磁石装置の対を２個
の座標方向の各々に関連させた請求項１又は２記載の位
置決め装置。 - 【請求項４】コイル装置の磁石装置側とは反対側を、す
べてのコイル装置に共通のクーラーに熱接触させた請求
項３記載の位置決め装置。 - 【請求項５】前記クーラーは、Ｘ−Ｙ平面に平行な平面
上に配置しかつ矩形断面を有する巻回冷却パイプを有す
るものとして構成した請求項４記載の位置決め装置。
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