JP3225183U - Support device - Google Patents

Support device Download PDF

Info

Publication number
JP3225183U
JP3225183U JP2019004550U JP2019004550U JP3225183U JP 3225183 U JP3225183 U JP 3225183U JP 2019004550 U JP2019004550 U JP 2019004550U JP 2019004550 U JP2019004550 U JP 2019004550U JP 3225183 U JP3225183 U JP 3225183U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive sheet
sheet
support
surface portion
base material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019004550U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
高野 健
健 高野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lintec Corp
Original Assignee
Lintec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lintec Corp filed Critical Lintec Corp
Priority to JP2019004550U priority Critical patent/JP3225183U/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3225183U publication Critical patent/JP3225183U/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

【課題】押圧部材で接着シート基材を押圧する際、押圧部材が粗面部に押圧されて損傷することを防止することができる支持装置を提供すること。
【解決手段】支持装置EAは、押圧部材22Fで接着シート基材ABを押圧する際に当該接着シート基材ABを支持する装置であって、接着シート基材ABを支持するシート支持面11Cを有する支持機構10を備え、シート支持面11Cは、接着シート基材ABを支持する粗面部11Dと、粗面部11Dの外側に設けられ、粗面部11Dよりも平滑な非粗面部11Eとを備え、粗面部11Dがシート支持面11Cにおける接着シート基材ABの支持領域の範囲内の大きさとされている。
【選択図】図1
An object of the present invention is to provide a support device capable of preventing a pressing member from being damaged by being pressed by a rough surface portion when pressing an adhesive sheet base material with the pressing member.
A supporting device (EA) is a device that supports the adhesive sheet substrate (AB) when the adhesive sheet substrate (AB) is pressed by a pressing member (22F), and the sheet supporting surface (11C) that supports the adhesive sheet substrate (AB). The sheet support surface 11C includes a rough surface portion 11D that supports the adhesive sheet base material AB, and a non-rough surface portion 11E that is provided outside the rough surface portion 11D and is smoother than the rough surface portion 11D. The rough surface portion 11D has a size within the range of the support region of the adhesive sheet base material AB on the sheet support surface 11C.
[Selection diagram] Fig. 1

Description

本考案は、支持装置に関する。   The present invention relates to a support device.

従来、押圧部材で接着シート基材を押圧する際に当該接着シート基材を支持する支持装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a supporting device that supports an adhesive sheet substrate when the adhesive sheet substrate is pressed by a pressing member (for example, see Patent Document 1).

特開2001−63908号公報JP 2001-63908 A

特許文献1に記載された基板支持テーブル6(支持装置)は、その上面(シート支持面)における粘着テープT(接着シート基材)を支持する領域のみならず、シート支持面における接着シート基材を支持しない領域にも粗面処理が施され、シート支持面全体が粗面部となっているため、貼付けローラ21(押圧部材)で接着シート基材を押圧する際、押圧部材が粗面部に押圧されて損傷するという不都合がある。   The substrate supporting table 6 (supporting device) described in Patent Document 1 has an adhesive sheet substrate on the sheet supporting surface as well as a region for supporting the adhesive tape T (adhesive sheet substrate) on the upper surface (sheet supporting surface). Since the roughened surface is also applied to the area where the sheet is not supported, and the entire sheet supporting surface is a roughened surface, when the bonding roller 21 (pressing member) presses the adhesive sheet base material, the pressing member presses the roughened surface. There is the disadvantage of being damaged.

本考案の目的は、押圧部材で接着シート基材を押圧する際、押圧部材が粗面部に押圧されて損傷することを防止することができる支持装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a support device that can prevent a pressing member from being damaged by being pressed by a rough surface portion when the pressing member presses the adhesive sheet base material.

本考案は、請求項に記載した構成を採用した。   The present invention employs the configuration described in the claims.

本考案によれば、粗面部がシート支持面における接着シート基材の支持領域の範囲内の大きさとされているため、粗面部全体が接着シート基材で覆われるので、押圧部材で接着シート基材を押圧する際、押圧部材が粗面部に押圧されて損傷することを防止することができる。   According to the present invention, since the rough surface portion has a size within the range of the support area of the adhesive sheet base material on the sheet support surface, the entire rough surface portion is covered with the adhesive sheet base material. When pressing the material, it is possible to prevent the pressing member from being pressed and damaged by the rough surface portion.

本考案の一実施形態に係る支持装置を備えたシート貼付装置の説明図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory view of a sheet sticking device provided with a support device according to an embodiment of the present invention. シート貼付装置の動作説明図。Operation | movement explanatory drawing of a sheet sticking apparatus.

以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other. The X axis and the Y axis are axes within a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. I do. Furthermore, in the present embodiment, based on the case of viewing from the near side of FIG. 1A parallel to the Y axis, when the direction is indicated, “up” is the arrow direction of the Z axis and “down” is the reverse. The direction "left" is the direction of the arrow on the X axis, "right" is the opposite direction, and "front" is the front direction in FIG.

図1において、支持装置EAは、押圧部材としての押圧ローラ22Fで接着シート基材ABを押圧する際に当該接着シート基材ABを支持する装置であって、接着シート基材ABを支持するシート支持面11Cを有する支持機構10を備え、被着体WKに接着シート基材ABを貼付する貼付機構20とでシート貼付装置EA1が構成されている。   In FIG. 1, a supporting device EA is a device that supports the adhesive sheet base AB when pressing the adhesive sheet base AB with a pressing roller 22F as a pressing member, and a sheet that supports the adhesive sheet base AB. The sheet pasting device EA1 includes the support mechanism 10 having the support surface 11C, and the pasting mechanism 20 for pasting the adhesive sheet base material AB to the adherend WK.

支持機構10は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機構によって吸着保持が可能な被着体支持面11Aを底面とする凹部11Bと、シート支持面11Cとを有するテーブル11を備えている。
シート支持面11Cは、接着シート基材ABを支持する粗面部11Dと、粗面部11Dの外側に設けられ、粗面部11Dよりも平滑な非粗面部11Eとを備え、粗面部11Dがシート支持面11Cにおける接着シート基材ABの支持領域の範囲内の大きさとされている。なお、シート支持面11Cにおける接着シート基材ABの支持領域とは、シート支持面11Cで接着シート基材ABを支持した際に、当該接着シート基材ABによって覆われる範囲のシート支持面11Cの領域のことである。
粗面部11Dは、エッチング加工、メッキ加工、ブラスト加工、レーザ加工等を行う粗面形成機構によって、非粗面部11Eよりもザラザラした粗い面となる粗面処理が施されている。
The support mechanism 10 includes a table 11 having a concave portion 11B whose bottom surface is an adherend support surface 11A that can be suction-held by a decompression mechanism (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector, and a sheet support surface 11C.
The sheet support surface 11C includes a rough surface portion 11D that supports the adhesive sheet base material AB, and a non-rough surface portion 11E that is provided outside the rough surface portion 11D and is smoother than the rough surface portion 11D. The size is within the range of the support area of the adhesive sheet base AB in 11C. The supporting area of the adhesive sheet base AB on the sheet supporting surface 11C is defined as the area of the sheet supporting surface 11C covered by the adhesive sheet base AB when the adhesive sheet base AB is supported on the sheet supporting surface 11C. It is an area.
The rough surface portion 11D has been subjected to a rough surface treatment to be a rougher surface than the non-rough surface portion 11E by a rough surface forming mechanism that performs etching, plating, blasting, laser processing, or the like.

貼付機構20は、接着シート基材ABを繰り出す繰出機構21と、繰り出された接着シート基材ABを被着体WKに押圧して貼付する押圧機構22と、被着体WKに貼付された接着シート基材ABを貫通する閉ループ状の切込を設け、当該切込の内側に接着シートAS(図2参照)を形成し、切込の外側に不要シートUSを形成する切断機構23とを備えている。
繰出機構21は、剥離シートRLの一方の面に接着シート基材ABが仮着された原反RSを支持する支持ローラ21Aと、原反RSを案内するガイドローラ21B、21Cと、ガイドローラ21Bとの間に原反RSを挟み込む押付部材21Dを出力軸21Eで支持する駆動機器としての直動モータ21Fと、ガイドローラ21Cを支持し、接着シート基材ABの張力を測定可能な張力検出機構としてのロードセル21Gと、剥離縁21Hで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シート基材ABを剥離する剥離部材としての剥離板21Jと、図示しない出力軸で駆動ローラ21Kを支持する駆動機器としての回動モータ21Lと、駆動ローラ21Kとで剥離シートRLを挟み込むピンチローラ21Mと、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置EA1の自動運転が行われている間、ピンチローラ21Mとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収ローラ21Nと、駆動機器としてのリニアモータ21Pのスライダ21Q(図2参照)に支持された駆動機器としてのリニアモータ21Rと、リニアモータ21Rの図示しないスライダに支持され、当該繰出機構21を構成する前述の構成部材のうち支持ローラ21Aおよび回収ローラ21N以外の各部材を支持するフレーム21Sと、駆動機器としてのリニアモータ21Tのスライダ21Uに支持されたフレーム21Vと、フレーム21Vに支持された駆動機器としての回動モータ21Wの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ21Xとで不要シートUSを挟み込む駆動ローラ21Yと、フレーム21Vに支持された図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置EA1の自動運転が行われている間、駆動ローラ21Yとの間に存在する不要シートUSに常に所定の張力を付与し、当該不要シートUSを回収する回収ローラ21Zとを備えている。
押圧機構22は、リニアモータ21Tのスライダ22Aにブラケット22Bを介して支持された駆動機器としての直動モータ22Cと、直動モータ22Cの出力軸22Dにブラケット22Eを介して回転可能に支持された押圧ローラ22Fとを備えている。
切断機構23は、駆動機器としての多関節ロボット23Aと、多関節ロボット23Aの作業アーム23Bに支持された切断刃23Cとを備えている。
多関節ロボット23Aは、その作業範囲内において切断刃23Cを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂6軸ロボットである。
The sticking mechanism 20 includes a feeding mechanism 21 for feeding out the adhesive sheet base material AB, a pressing mechanism 22 for pressing the fed adhesive sheet base material AB onto the adherend WK, and a bonding mechanism attached to the adherend WK. A cutting mechanism 23 for providing a closed loop-shaped cut through the sheet base material AB, forming an adhesive sheet AS (see FIG. 2) inside the cut, and forming an unnecessary sheet US outside the cut; ing.
The feeding mechanism 21 includes a support roller 21A that supports a raw sheet RS on which an adhesive sheet substrate AB is temporarily attached to one surface of a release sheet RL, guide rollers 21B and 21C that guide the raw sheet RS, and a guide roller 21B. A linear motion motor 21F as a driving device supporting a pressing member 21D that sandwiches the raw fabric RS between the output shaft 21E and a tension detecting mechanism that supports a guide roller 21C and can measure the tension of the adhesive sheet base material AB. , A peeling plate 21J as a peeling member that peels off the adhesive sheet substrate AB from the peeling sheet RL at the peeling edge 21H, and a drive that supports the drive roller 21K with an output shaft (not shown). A rotating motor 21L as a device, a pinch roller 21M for sandwiching the release sheet RL between the driving roller 21K, and a driving device (not shown) A recovery roller that is supported by the output shaft and always applies a predetermined tension to the release sheet RL existing between the pinch roller 21M and the sheet sticking device EA1 while the automatic operation of the sheet sticking device EA1 is performed. 21N, a linear motor 21R as a driving device supported by a slider 21Q (see FIG. 2) of a linear motor 21P as a driving device, and a linear motor 21R supported by a slider (not shown) of the linear motor 21R to constitute the feeding mechanism 21 described above. A frame 21S that supports each member other than the support roller 21A and the collection roller 21N, a frame 21V supported by a slider 21U of a linear motor 21T as a driving device, and a driving device supported by the frame 21V. Is supported by an output shaft (not shown) of the rotary motor 21W, and the pinch roller 21X The driving roller 21Y that sandwiches the sheet US and the output roller of a driving device (not shown) supported by the frame 21V are supported between the driving roller 21Y and the sheet sticking device EA1 during the automatic operation. A collection roller 21 </ b> Z that constantly applies a predetermined tension to the unnecessary sheet US and collects the unnecessary sheet US is provided.
The pressing mechanism 22 is rotatably supported via a bracket 22E on a linear motor 22C as a driving device supported on a slider 22A of a linear motor 21T via a bracket 22B and on an output shaft 22D of the linear motor 22C. And a pressing roller 22F.
The cutting mechanism 23 includes an articulated robot 23A as a driving device, and a cutting blade 23C supported by a work arm 23B of the articulated robot 23A.
The articulated robot 23A is a so-called six-axis robot capable of displacing the cutting blade 23C at any position and any angle within the working range.

以上の支持装置EAを備えたシート貼付装置EA1の動作を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA1に対し、当該シート貼付装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作機構を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機構が、図1(A)中実線で示すように、被着体WKを被着体支持面11A上の所定の位置に載置すると、支持機構10が図示しない減圧機構を駆動し、被着体支持面11Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。
The operation of the sheet sticking device EA1 including the above-described support device EA will be described.
First, the user of the sheet sticking apparatus EA1 (hereinafter, simply referred to as “user”) is placed on the sheet sticking apparatus EA1 in which each member is arranged at an initial position shown by a solid line in FIG. After setting the source RS, a signal for starting automatic operation is input via an operation panel (not shown) or an operation mechanism such as a personal computer. Next, a user or a transport mechanism (not shown) such as an articulated robot or a belt conveyor places the adherend WK at a predetermined position on the adherend support surface 11A as shown by a solid line in FIG. Then, the support mechanism 10 drives a pressure reducing mechanism (not shown) to start suction holding of the adherend WK on the adherend support surface 11A.

その後、貼付機構20が直動モータ22Cを駆動し、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ22Fを下降させて接着シート基材ABをシート支持面11Cに所定の押圧力で押さえ付ける。次に、貼付機構20が回動モータ21Lを駆動し、剥離シートRLおよび接着シート基材ABを巻き取り、支持機構10上に位置する接着シート基材ABの張力が所定値となったことがロードセル21Gによって検知されると、回動モータ21Lの駆動を停止する。そして、貼付機構20が直動モータ21Fを駆動し、押付部材21Dとガイドローラ21Bとで原反RSを挟み込み、接着シート基材ABの繰り出しを抑制する。次いで、貼付機構20がリニアモータ21P、21R、21Tを駆動し、図2に示すように、押圧ローラ22Fを右方に移動させつつ、ロードセル21Gで検出される張力が所定値からずれないようにフレーム21Sを左右方向および上下方向へ移動させ、押圧ローラ22Fで接着シート基材ABを被着体WKおよびシート支持面11Cに押圧して貼付する。この際、押圧ローラ22Fは、シート支持面11C上を押圧しながら転動するが、粗面部11Dがシート支持面11Cにおける接着シート基材ABの支持領域の範囲内の大きさとされているため、粗面部11D全体が接着シート基材ABに覆われ、押圧ローラ22Fが粗面部11Dに押圧されない。   Thereafter, the attaching mechanism 20 drives the linear motor 22C, and lowers the pressing roller 22F as shown by the two-dot chain line in FIG. Press down with. Next, the attaching mechanism 20 drives the rotation motor 21L to take up the release sheet RL and the adhesive sheet base AB, and that the tension of the adhesive sheet base AB located on the support mechanism 10 has reached a predetermined value. When the rotation is detected by the load cell 21G, the driving of the rotation motor 21L is stopped. Then, the attaching mechanism 20 drives the linear motion motor 21F, sandwiches the raw sheet RS between the pressing member 21D and the guide roller 21B, and suppresses the feeding of the adhesive sheet base material AB. Next, the attaching mechanism 20 drives the linear motors 21P, 21R, and 21T to move the pressing roller 22F to the right as shown in FIG. 2 so that the tension detected by the load cell 21G does not deviate from a predetermined value. The frame 21S is moved in the left-right direction and the up-down direction, and the adhesive sheet base AB is pressed against the adherend WK and the sheet support surface 11C by the pressing roller 22F to be attached. At this time, the pressing roller 22F rolls while pressing on the sheet support surface 11C. However, since the rough surface portion 11D has a size within the range of the support region of the adhesive sheet base material AB on the sheet support surface 11C, The entire rough surface portion 11D is covered with the adhesive sheet base material AB, and the pressing roller 22F is not pressed by the rough surface portion 11D.

被着体WKへの接着シート基材ABの貼付が完了すると、貼付機構20が多関節ロボット23Aを駆動し、図2中二点鎖線で示すように、切断刃23Cを接着シート基材ABに突き刺し、当該切断刃23Cを被着体WKの外周に沿って移動させる。これにより、被着体WK上に接着シートASが貼付された状態で残り、当該接着シートASの外周に不要シートUSが形成される。その後、貼付機構20がリニアモータ21Tおよび回動モータ21Wを駆動し、図2中二点鎖線で示すように、フレーム21Vを右方に移動させながら回収ローラ21Zで不要シートUSを回収する。次に、貼付機構20が図示しない減圧機構の駆動を停止し、被着体支持面11Aでの被着体WKの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送機構が、接着シートASが貼付された被着体WKを次工程に搬送すると、貼付機構20が直動モータ21F、22Cを駆動し、押付部材21Dとガイドローラ21Bとによる原反RSの挟み込みを解除するとともに、押圧ローラ22Fを上昇させる。次いで、貼付機構20が回動モータ21Wの駆動を停止させた状態で、各機構がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させて接着シート基材ABを支持機構10上に繰り出し、以降上記同様の動作が繰り返される。   When the bonding of the adhesive sheet base material AB to the adherend WK is completed, the bonding mechanism 20 drives the articulated robot 23A, and as shown by the two-dot chain line in FIG. The cutting blade 23C is moved along the outer periphery of the adherend WK. As a result, the adhesive sheet AS remains attached to the adherend WK, and the unnecessary sheet US is formed on the outer periphery of the adhesive sheet AS. Thereafter, the attaching mechanism 20 drives the linear motor 21T and the rotation motor 21W, and collects the unnecessary sheet US with the collection roller 21Z while moving the frame 21V to the right as shown by the two-dot chain line in FIG. Next, the attaching mechanism 20 stops driving of the pressure reducing mechanism (not shown), and releases the suction holding of the adherend WK on the adherend support surface 11A. Then, when the user or a transport mechanism (not shown) transports the adherend WK to which the adhesive sheet AS has been pasted to the next step, the pasting mechanism 20 drives the linear motors 21F and 22C, and presses the pressing member 21D and the guide roller 21B. And release the pinch of the raw fabric RS, and raise the pressing roller 22F. Next, in a state where the attaching mechanism 20 stops driving of the rotation motor 21W, each mechanism drives each driving device, returns each member to the initial position, and places the adhesive sheet base AB on the support mechanism 10. The same operation is repeated thereafter.

以上のような実施形態によれば、粗面部11Dがシート支持面11Cにおける接着シート基材ABの支持領域の範囲内の大きさとされているため、粗面部11D全体が接着シート基材ABで覆われるので、押圧ローラ22Fで接着シート基材ABを押圧する際、押圧ローラ22Fが粗面部11Dに押圧されて損傷することを防止することができる。   According to the above-described embodiment, since the rough surface portion 11D has a size within the range of the support region of the adhesive sheet base material AB on the sheet support surface 11C, the entire rough surface portion 11D is covered with the adhesive sheet base material AB. Therefore, when pressing the adhesive sheet base material AB with the pressing roller 22F, it is possible to prevent the pressing roller 22F from being damaged by being pressed by the rough surface portion 11D.

以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。   As described above, the best configuration and method for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, although the present invention has been particularly shown and described with particular reference to particular embodiments, it should be understood that, without departing from the scope of the technical idea and purpose of the present invention, the shape, Those skilled in the art can make various modifications in materials, quantities, and other detailed configurations. Further, the description of the shapes, materials, and the like disclosed above is merely an example to facilitate understanding of the present invention, and is not intended to limit the present invention. The description of the names of the members excluding some or all of the limitations such as is included in the present invention.

例えば、支持機構10は、シート支持面11Cにおける接着シート基材ABの支持領域に粗面処理を施して粗面部11Dとし、シート支持面11Cにおける接着シート基材ABの非支持領域に平滑化処理を施さないことで、粗面部11Dよりも平滑な非粗面部11Eとしてもよいし、シート支持面11Cにおける接着シート基材ABの非支持領域に平滑化処理を施して非粗面部11Eとし、シート支持面11Cにおける接着シート基材ABの支持領域に粗面処理を施さないことで、非粗面部11Eよりも粗面な粗面部11Dとしてもよいし、被着体WKを支持せず接着シート基材ABのみを支持するものであってもよく、この場合、押圧部材は、シート支持面11Cのみに接着シート基材ABを押圧してもよいし、被着体支持面11Aや凹部11Bは、テーブル11に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
テーブル11は、内部に被着体WKを配置可能な開口または貫通孔を備えていてもよく、この場合、被着体WKを支持する被着体支持装置を支持装置EAとは別体に設け、当該被着体支持装置を開口または貫通孔内に配置してもよい。
シート支持面11Cは、被着体支持面11Aと略同じ高さとされてもよいし、粗面部11Dと非粗面部11Eとを分断する溝を備えていてもよいし、全面にフッ素樹脂コーティングやシリコンコーティング等の非粘着処理が施されていてもよいし、施されていなくてもよい。
粗面部11Dは、シート支持面11Cにおける接着シート基材ABの支持領域の範囲内の大きさとされていればよく、当該支持領域と同じ大きさであってもよいし、当該支持領域よりも小さくてもよい。
For example, the support mechanism 10 performs a roughening process on the support region of the adhesive sheet base material AB on the sheet support surface 11C to form a rough surface portion 11D, and a smoothing process on the non-support region of the adhesive sheet base material AB on the sheet support surface 11C. The non-rough surface portion 11E may be smoothed than the rough surface portion 11D, or the non-support region of the adhesive sheet base material AB on the sheet support surface 11C may be subjected to a smoothing process to form the non-rough surface portion 11E. By not performing the roughening treatment on the support area of the adhesive sheet base material AB on the support surface 11C, the roughened surface portion 11D may be rougher than the non-roughened surface portion 11E, or the adhesive sheet base may not support the adherend WK. The support member may support only the material AB. In this case, the pressing member may press the adhesive sheet base material AB only on the sheet support surface 11C, or may support the adherend support surface 11A or the concave portion. 1B may be equipped on the table 11 may not be provided.
The table 11 may include an opening or a through-hole in which the adherend WK can be arranged. In this case, an adherend support device that supports the adherend WK is provided separately from the support device EA. Alternatively, the adherend supporting device may be arranged in an opening or a through hole.
The sheet supporting surface 11C may have substantially the same height as the adherend supporting surface 11A, may have a groove for separating the rough surface portion 11D and the non-rough surface portion 11E, or may have a fluororesin coating or Non-adhesive treatment such as silicon coating may or may not be performed.
The rough surface portion 11D may have a size within the range of the support region of the adhesive sheet base material AB on the sheet support surface 11C, and may be the same size as the support region or smaller than the support region. You may.

貼付機構20は、枚葉の接着シート基材を被着体WKに貼付する構成でもよく、例えば、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材ABに閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が枚葉の接着シート基材とされた原反を採用し、枚葉の接着シート基材を剥離シートRLから剥離して被着体WKに貼付してもよいし、剥離シートRLに仮着されていない接着シート基材ABを被着体WKに貼付してもよいし、本考案の支持装置EAやシート貼付装置EA1に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
繰出機構21は、張力検出機構として、圧力センサやレギュレータ等、接着シート基材ABの張力を検出可能なものであれば、どのようなものを採用してもよいし、支持ローラ21Aやガイドローラ21B、21C等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で、原反RSを支持したり案内したり、剥離シートRLや不要シートUSを回収したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートRLや不要シートUSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートRLや不要シートUSを回収してもよいし、剥離シートRLや不要シートUSを回収しなくてもよいし、単一の駆動機器でフレーム21Sを移動させてもよい。
切断機構23は、被着体WK上に貼付された状態で残す接着シートASの形状として、被着体WKの外周形状と同形状に切断することなく、異なる形状に切断したり、被着体WKよりも大きく切断したり、被着体WKよりも小さく切断したりしてもよい。
The attaching mechanism 20 may be configured to attach a single sheet of the adhesive sheet base material to the adherend WK. For example, the adhesive mechanism 20 may be formed on a band-shaped adhesive sheet base material AB temporarily attached to the release sheet RL in a closed loop or in the short width direction. Is formed, a predetermined region partitioned by the cut employs a raw material having a single sheet adhesive sheet substrate, and the single sheet adhesive sheet substrate is peeled from the release sheet RL. May be applied to the adherend WK, the adhesive sheet substrate AB not temporarily attached to the release sheet RL may be attached to the adherend WK, or the support device EA and the sheet attachment of the present invention. The device EA1 may or may not be provided.
The feed-out mechanism 21 may be any tension detection mechanism, such as a pressure sensor or a regulator, as long as it can detect the tension of the adhesive sheet base material AB. Instead of the rollers 21B, 21C, etc., the sheet RS may be supported or guided by a plate member or a shaft member, or the release sheet RL or the unnecessary sheet US may be collected. May be supported without being wound, for example, by fanfold folding, or the release sheet RL or the unnecessary sheet US may be collected, for example, by fanfold folding without being wound, or by chopping with a shredder or the like. Alternatively, the release sheet RL or the unnecessary sheet US may be collected simply without being wound or fan-folded, or the release sheet RL or It may not be recovered main sheet US, may move the frame 21S in a single driving device.
The cutting mechanism 23 cuts into a different shape without cutting into the same shape as the outer peripheral shape of the adherend WK as the shape of the adhesive sheet AS left in a state of being adhered on the adherend WK. The cutting may be performed so as to be larger than WK or smaller than the adherend WK.

接着シート基材AB、接着シートASおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材AB、接着シートASおよび被着体WKは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シート基材ABは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シート基材ABを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱機構を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シート基材ABは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ABを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体WKに貼付することができる。   The material, type, shape, and the like of the adhesive sheet base material AB, the adhesive sheet AS, and the adherend WK are not particularly limited. For example, the adhesive sheet base AB, the adhesive sheet AS, and the adherend WK may be circular, elliptical, polygonal such as triangular or quadrangular, or other shapes. Adhesive forms such as adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness may be used. If a heat-sensitive adhesive is used, a suitable coil heater or a heat pipe such as a heat pipe for heating the adhesive sheet substrate AB may be used. The bonding may be performed by an appropriate method such as providing a heating mechanism such as the above. The adhesive sheet substrate AB is, for example, a single layer having only an adhesive layer, an adhesive layer having an intermediate layer between the substrate sheet and the adhesive layer, and having a cover layer on the upper surface of the substrate sheet. Layers or more, furthermore, it may be a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling the substrate sheet from the adhesive layer, and the double-sided adhesive sheet has a single-layer or multiple-layer intermediate layer It may be a single layer or a multilayer having no intermediate layer. Examples of the adherend WK include foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit boards, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, pottery, wood plates, and resin plates. Also, members and articles of any form can be targeted. It should be noted that the adhesive sheet base material AB may be replaced with a functional and application-specific reading method. Any sheet, film, tape, or the like having any shape can be attached to any of the adherends WK as described above.

本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持機構は、接着シート基材を支持するシート支持面を有し、粗面部がシート支持面における接着シート基材の支持領域の範囲内の大きさとされたものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の機構および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧機構や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用してもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離機構や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)機構や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断機構や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断したりしてもよい。
The mechanisms and steps in the present invention are not limited as long as they can perform the operations, functions, or steps described for the mechanisms and steps. There is no limitation to the process at all. For example, if the supporting mechanism has a sheet supporting surface for supporting the adhesive sheet base material, and the rough surface portion has a size within the range of the supporting area of the adhesive sheet base material on the sheet supporting surface, the initial structure of the application may be used. In light of the common technical knowledge, there is no limitation as long as it is within the technical scope (the description of other mechanisms and steps is omitted).
Further, the driving device in the above embodiment includes a rotating motor, a linear motion motor, a linear motor, a single-axis robot, an electric device such as an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to those that can be employed, those obtained by directly or indirectly combining them may be employed (some may overlap with those exemplified in the embodiment).
In the embodiment, when a rotating member such as a roller is employed, a driving device for rotating the rotating member may be provided, or the surface of the rotating member or the rotating member itself may be deformable such as rubber or resin. It may be constituted by a member, may be constituted by a member that does not deform the surface of the rotating member or the rotating member itself, or adopts another member such as a shaft or a blade that rotates or does not rotate instead of a roller Alternatively, when a pressing mechanism such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member such as a pressing member that presses an object to be pressed is employed, instead of or in combination with the above examples, a roller, a round bar, a blade, or the like. Material, rubber, resin, a member such as a sponge may be adopted, or a member to be pressed may be formed of a deformable member such as rubber or resin, or may be formed of a member that does not deform, Peeling board or peeling When a peeling mechanism such as a roller or a peeling member such as a peeling member is employed, a member such as a plate-like member, a round bar, or a roller is employed instead of or in combination with the above-described examples. The material to be peeled off may be constituted by a deformable member such as rubber or resin, may be constituted by a member which does not deform, or may be a supporting (holding) mechanism or a supporting (holding) member. When a member that supports (holds) a supported member (held member) is employed, a gripping mechanism such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, Coulomb force, an adhesive (adhesive sheet or adhesive tape), or an adhesive (adhesive sheet) , Adhesive tape), magnetic force, Bernoulli suction, suction suction, a driving device, or the like to support (hold) the supported member, or cut or cut a member to be cut such as a cutting mechanism or a cutting member. Cutting or cutting line in cutting member In the case where a material to be formed is adopted, instead of or in combination with the above-described one, a cutter blade, a laser cutter, an ion beam, thermal power, heat, water pressure, a heating wire, spraying of gas or liquid, etc. What is cut may be adopted, or the cut may be moved and cut with a combination of appropriate driving devices.

EA…支持装置
10…支持機構
11C…シート支持面
11D…粗面部
11E…非粗面部
22F…押圧ローラ(押圧部材)
AB…接着シート基材
EA: support device 10: support mechanism 11C: sheet support surface 11D: rough surface portion 11E: non-rough surface portion 22F: pressing roller (pressing member)
AB: adhesive sheet substrate

Claims (1)

押圧部材で接着シート基材を押圧する際に当該接着シート基材を支持する支持装置であって、
前記接着シート基材を支持するシート支持面を有する支持機構を備え、
前記シート支持面は、前記接着シート基材を支持する粗面部と、前記粗面部の外側に設けられ、前記粗面部よりも平滑な非粗面部とを備え、前記粗面部が前記シート支持面における前記接着シート基材の支持領域の範囲内の大きさとされていることを特徴とする支持装置。
A support device that supports the adhesive sheet base material when pressing the adhesive sheet base material with the pressing member,
With a support mechanism having a sheet support surface that supports the adhesive sheet substrate,
The sheet support surface includes a rough surface portion that supports the adhesive sheet base material, and a non-rough surface portion that is provided outside the rough surface portion and that is smoother than the rough surface portion. A support device having a size within a range of a support region of the adhesive sheet base material.
JP2019004550U 2019-12-02 2019-12-02 Support device Active JP3225183U (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019004550U JP3225183U (en) 2019-12-02 2019-12-02 Support device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019004550U JP3225183U (en) 2019-12-02 2019-12-02 Support device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP3225183U true JP3225183U (en) 2020-02-20

Family

ID=69526317

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019004550U Active JP3225183U (en) 2019-12-02 2019-12-02 Support device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3225183U (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2019009182A (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6965036B2 (en) Sheet pasting device and pasting method
JP7446071B2 (en) Sheet pasting device and sheet pasting method
JP6148903B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP2011210854A (en) Sheet pasting device and pasting method
JP3225183U (en) Support device
JP2017163093A (en) Sheet sticking device and sticking method
JP3225184U (en) Support device
JP2020176986A (en) Thickness measuring device and thickness measuring method
JP2017022180A (en) Sheet supply device and supply method
JP2018129383A (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6243144B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6216583B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6796952B2 (en) Sheet pasting device and pasting method
JP3212700U (en) Sheet pasting device
JP3186062U (en) Sheet peeling device
JP2017022178A (en) Sheet sticking device and sticking method
JP2019096704A (en) Sheet peeling device and peeling method
JP6145330B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP6226660B2 (en) Sheet feeding apparatus and feeding method
JP7296222B2 (en) Sheet peeling device and sheet peeling method
JP3226909U (en) Sheet pasting device
JP7064891B2 (en) Sheet pasting device and sheet pasting method
JP6315751B2 (en) Sheet feeding apparatus and feeding method
JP3225039U (en) Winding device

Legal Events

Date Code Title Description
R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3225183

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250