JP3220976U

JP3220976U - 搬送用治具

Info

Publication number: JP3220976U
Application number: JP2019000373U
Authority: JP
Inventors: 山田　智広; 智広山田
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-02-04
Filing date: 2019-02-04
Publication date: 2019-04-18
Anticipated expiration: 2029-02-04

Abstract

【課題】加工装置の外側に取り付けられるカバーを取り外すことなく、加工装置に容易に着脱自在な搬送用治具の提供。【解決手段】加工装置１００の下端に位置するフレーム１１１に取り付けられる搬送用治具１は、加工装置１００を吊り下げるケーブルを係止する円環状のケーブル係止部４０と、ケーブル係止部４０が上面に設けられた底部１０と、底部１０の端部から延出された立壁部２０と、立壁部２０の上端部に形成されたフック状部３０と、備える。搬送用治具１は、立壁部２０がフレーム１１１の内面に当接した状態で、フック状部３０がフレーム１１１に設けられた係止部１１２にスライド移動自在に係止され、底部１０がフレーム１１１の下面に締結具としてのボルトによって締結される。【選択図】図１

Description

本考案は、搬送用治具に関する。

従来、例えば切削装置といった加工装置に関する技術が知られている。例えば、特許文献１には、フレームの内部に装置の各機構が収容され、フレームの外側にさらに装置カバーが装着される切削装置が開示されている。

特開２０１７−１８５６００号公報

ところで、特許文献１に記載された加工装置は、ワイヤ等のケーブルによって吊り下げられた状態で搬送される。そのため、加工装置の下端に位置するフレームには、吊り下げ用のケーブルを巻き付ける搬送用治具が取り付けられる。このような搬送用治具は、一般的に、フレームの側面に締結具によって締結される。しかしながら、上述したように、フレームのさらに外側に、加工装置を上方側から覆うカバーが取り付けられるため、搬送用治具のフレームへの着脱に際して、いったんカバーを取り外す必要があり、加工装置の搬送において余計な手間が発生するという問題があった。

本考案は、上記に鑑みてなされたものであって、加工装置の外側に取り付けられるカバーを取り外すことなく、加工装置に容易に着脱自在な搬送用治具の提供を目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本考案は、加工装置の下端に位置するフレームに取り付けられる搬送用治具であって、前記加工装置を吊り下げるケーブルを係止する円環状のケーブル係止部と、前記ケーブル係止部が上面に設けられた底部と、前記底部の端部から延出された立壁部と、前記立壁部の上端部に形成されたフック状部と、備え、前記立壁部が前記フレームの内面に当接した状態で、前記フック状部が前記フレームに設けられた係止部にスライド移動自在に係止され、前記底部が前記フレームの下面に締結具によって締結されることを特徴とする。

本考案にかかる搬送用治具は、加工装置の外側に取り付けられるカバーを取り外すことなく、加工装置に容易に着脱自在な搬送用治具を得ることができるという効果を奏する。

図１は、実施形態にかかる搬送用治具を示す斜視図である。図２は、図１の搬送用治具を下側からみた斜視図である。

以下に、本考案にかかる搬送用治具の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの考案が限定されるものではない。

図１は、実施形態にかかる搬送用治具を示す斜視図であり、図２は、図１の搬送用治具を下側からみた斜視図である。実施形態にかかる搬送用治具１は、加工装置１００を搬送する際に、加工装置１００に取り付けられる治具である。加工装置１００は、例えば、半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハに、図示しない切削ブレードで切削加工を施す切削装置である。なお、加工装置１００は、切削装置に限らず、例えば、ウエーハにレーザー加工により加工を施すレーザー加工装置等であってもよい。

加工装置１００は、図１および図２に示すように、図示しない各機構を収容する骨格としての複数のフレーム１１０を備えている。加工装置１００の下端に位置するフレーム１１１には、脚部１２０が取り付けられており、フレーム１１１と加工装置１００が載置される載置面との間には、隙間が設けられている。また、加工装置１００は、図１および図２において二点鎖線で示すように、フレーム１１０の外側にカバー１３０が取り付けられる。カバー１３０は、加工装置１００を上方から、下端に位置するフレーム１１１を覆う程度の位置まで延在する。

本実施形態において、下端に位置するフレーム１１１の内面（加工装置１００の各機構が配置される側の面）には、係止部１１２が固定されている。係止部１１２は、フレーム１１１の内面に沿って延び、フレーム１１１の上面よりも鉛直方向Ｚの上側に突出した板状部材である。係止部１１２は、フレーム１１１の延在方向Ｘ（フレーム１１１の長手方向。以下、単に「延在方向Ｘ」と称する）の端部近傍に設けられる。また、フレーム１１１の下面には、複数の締結孔１１３が形成されている。複数の締結孔１１３は、フレーム１１１に係止部１１２が固定された範囲に対応して、延在方向Ｘに沿って互いに間隔を空けて複数形成される。

搬送用治具１は、図１および図２に示すように、底部１０と、立壁部２０と、フック状部３０と、ケーブル係止部４０とを備えている。

底部１０は、板状に形成され、ケーブル係止部４０が上面に設けられている。ケーブル係止部４０は、加工装置１００を吊り下げるためのワイヤ等のケーブル（図示省略）が係止される円環状の部材であり、底部１０の一端部の近傍に固定されている。また、底部１０には、互いに間隔を空けて複数（本実施形態では、２つ）の締結孔が形成されている。複数の締結孔は、上述した締結孔１１３同士の間隔と同じ間隔を空けて形成される。それにより、図２に示すように、底部１０の各締結孔と締結孔１１３とに締結具としてのボルト５０を締結することで、底部１０とフレーム１１１とが締結される。すなわち、底部１０は、フレーム１１１の下面に締結具によって締結される。

立壁部２０は、底部１０の他端部から垂直に延出された板状部分である。したがって、搬送用治具１は、底部１０と立壁部２０とで略Ｌ字形状を呈する。立壁部２０は、図２に示すように、搬送用治具１の加工装置１００への取付状態において、フレーム１１１の内面、本実施形態では、フレーム１１１に固定された係止部１１２の内面に当接する。

フック状部３０は、立壁部２０の上端部に形成される。フック状部３０は、立壁部２０の上端部から底部１０の一端部側に向けて垂直に延び、さらに、底部１０側に向けて垂直に延びる略Ｌ字型に形成されている。フック状部３０は、図１に示すように、搬送用治具１の加工装置１００への取付状態において、係止部１１２に係止される。ただし、フック状部３０は、係止部１１２に沿ってスライド移動自在とされている。すなわち、搬送用治具１は、ボルト５０により底部１０とフレーム１１１とが締結される前であれば、フック状部３０が係止部１１２に係止された状態で延在方向Ｘに沿ってスライド移動自在とされている。

このように、搬送用治具１の加工装置１００への取付状態では、立壁部２０がフレーム１１１の内面（係止部１１２の内面）に当接し、かつ、フック状部３０がフレーム１１１に設けられた係止部１１２に係止された上で、底部１０がフレーム１１１の下面にボルト５０によって締結される。それにより、底部１０がフレーム１１１の下面にボルト５０によって締結されるのみである場合に比べて、搬送用治具１を支持する箇所が増加する。したがって、ケーブル係止部４０にケーブルを係止して加工装置１００を吊り下げた際に、搬送用治具１に作用する荷重によって、搬送用治具１が破損すること、特にボルト５０が破損することを抑制することが可能となる。

次に、搬送用治具１の加工装置１００への取り付け手順および取り外し手順について説明する。搬送用治具１を加工装置１００に取り付ける際には、フレーム１１１の下側から、載置面との隙間を通して立壁部２０およびフック状部３０をフレーム１１１の内面側へと位置付ける。次に、フック状部３０とフレーム１１１に設けられた係止部１１２とを延在方向Ｘに沿って並ぶように位置づけ、搬送用治具１を延在方向Ｘに沿って移動させてフック状部３０に係止部１１２を挿入し、さらに所望の位置までスライド移動させる。これにより、延在方向Ｘにおいて、フック状部３０を係止部１１２の所望の位置に係止することができる。その後、底部１０の各締結孔と、フレーム１１１の各締結孔１１３とにボルト５０を締結することで、底部１０をフレーム１１１の下面に締結する。これにより、カバー１３０と干渉することなく、搬送用治具１を加工装置１００に取り付けることができる。

一方、搬送用治具１を加工装置１００から取り外す際には、底部１０とフレーム１１１とを締結するボルト５０を取り外す。それにより、搬送用治具１を延在方向Ｘに沿ってスライド移動させることができるようになる。したがって、搬送用治具１を延在方向Ｘに沿って移動させることで、フック状部３０を係止部１１２から引き抜き、フック状部３０の係止部１１２への係止を解除する。その後、フレーム１１１の下側から、載置面との隙間を通して立壁部２０およびフック状部３０をフレーム１１１の外面側へと移動させる。これにより、カバー１３０と干渉することなく、搬送用治具１を加工装置１００から取り外すことができる。

以上説明したように、実施形態にかかる搬送用治具１は、加工装置１００のフレーム１１１の外側にカバー１３０が取り付けたられた状態であっても、カバー１３０と干渉することなく搬送用治具１を加工装置１００に対して着脱することができる。したがって、実施形態によれば、加工装置１００の外側に取り付けられるカバー１３０を取り外すことなく、加工装置１００に容易に着脱自在な搬送用治具１を得ることができる。

１搬送用治具
１０底部
２０立壁部
３０フック状部
４０ケーブル係止部
５０ボルト
１００加工装置
１１０，１１１フレーム
１１２係止部
１１３締結孔
１２０脚部
１３０カバー

Claims

加工装置の下端に位置するフレームに取り付けられる搬送用治具であって、
前記加工装置を吊り下げるケーブルを係止する円環状のケーブル係止部と、
前記ケーブル係止部が上面に設けられた底部と、
前記底部の端部から延出された立壁部と、
前記立壁部の上端部に形成されたフック状部と、
備え、
前記立壁部が前記フレームの内面に当接した状態で、前記フック状部が前記フレームに設けられた係止部にスライド移動自在に係止され、前記底部が前記フレームの下面に締結具によって締結されることを特徴とする搬送用治具。