JP3220483B2 - ボンディング装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はボンディング装置に係
り、詳しくは、ホーンをリニヤガイドに沿って上下動さ
せることにより、押圧ツールの位置制御を精密に行える
ようにしたものである。
り、詳しくは、ホーンをリニヤガイドに沿って上下動さ
せることにより、押圧ツールの位置制御を精密に行える
ようにしたものである。
【0002】
【従来の技術】半導体チップの電極と基板の電極を接続
するワイヤボンディング、フィルムキャリアのリードと
半導体チップの電極をボンディングするシングルポイン
トTAB、フリップチップのスタッドバンプの形成など
を行う際には、先端部にキャピラリツールやウエッジツ
ールなどの押圧ツールを取り付けたホーンを、回転軸を
中心に上下方向に揺動させることにより、所定のボンデ
ィングを行っている。
するワイヤボンディング、フィルムキャリアのリードと
半導体チップの電極をボンディングするシングルポイン
トTAB、フリップチップのスタッドバンプの形成など
を行う際には、先端部にキャピラリツールやウエッジツ
ールなどの押圧ツールを取り付けたホーンを、回転軸を
中心に上下方向に揺動させることにより、所定のボンデ
ィングを行っている。
【0003】ホーンを揺動させるための駆動手段として
は、リニヤモータが多用されている。図2はこのリニヤ
モータを採用した従来のボンディング装置を示してお
り、101はホーン、102はこのホーン101の先端
部に保持された押圧ツールとしてのキャピラリツール、
113はキャピラリツール102に挿通されたワイヤで
ある。103はホーン101の基端部が取り付けられた
ホーンホルダ、104はホーン101の回転軸、105
はこの回転軸104に取り付けられたロータリーエンコ
ーダである。このロータリーエンコーダ105は、円周
方向に沿ってスリットが形成された回転板105aと、
このスリットを検出するセンサ105bから成ってお
り、ホーン101の回転角度を検出する。
は、リニヤモータが多用されている。図2はこのリニヤ
モータを採用した従来のボンディング装置を示してお
り、101はホーン、102はこのホーン101の先端
部に保持された押圧ツールとしてのキャピラリツール、
113はキャピラリツール102に挿通されたワイヤで
ある。103はホーン101の基端部が取り付けられた
ホーンホルダ、104はホーン101の回転軸、105
はこの回転軸104に取り付けられたロータリーエンコ
ーダである。このロータリーエンコーダ105は、円周
方向に沿ってスリットが形成された回転板105aと、
このスリットを検出するセンサ105bから成ってお
り、ホーン101の回転角度を検出する。
【0004】107はリニヤモータであり、このリニヤ
モータ107は、ホーンホルダ103に設けられて、外
面にマグネット108が装着されたロータヨーク109
と、このロータヨーク109に所定のギャップをあけて
配設されたステータヨーク110を有している。ステー
タヨーク110のコア111に巻回されたコイル112
に給電して、ロータヨーク109とステータヨーク11
0の間に磁気力を発生させることにより、ロータヨーク
109を回転させて、このロータヨーク109に結合さ
れたホーン101を回転軸104を中心に上下方向に揺
動させ、ワイヤ113を基板114の電極やチップ11
5の電極にボンディングする。ワイヤボンディングはホ
ーン101を揺動させて、ワイヤ113の下端部のボー
ル116を、キャピラリツール102の下面によりチッ
プ115上面の電極に押し付けることにより行われるこ
とから、キャピラリツール102の位置制御に狂いがあ
ると、ボンディング不良となってしまう。そこでこの従
来手段では、ロータリーエンコーダ105によりホーン
101の回転角度を検出して、キャピラリツール102
の位置制御を行っていた。
モータ107は、ホーンホルダ103に設けられて、外
面にマグネット108が装着されたロータヨーク109
と、このロータヨーク109に所定のギャップをあけて
配設されたステータヨーク110を有している。ステー
タヨーク110のコア111に巻回されたコイル112
に給電して、ロータヨーク109とステータヨーク11
0の間に磁気力を発生させることにより、ロータヨーク
109を回転させて、このロータヨーク109に結合さ
れたホーン101を回転軸104を中心に上下方向に揺
動させ、ワイヤ113を基板114の電極やチップ11
5の電極にボンディングする。ワイヤボンディングはホ
ーン101を揺動させて、ワイヤ113の下端部のボー
ル116を、キャピラリツール102の下面によりチッ
プ115上面の電極に押し付けることにより行われるこ
とから、キャピラリツール102の位置制御に狂いがあ
ると、ボンディング不良となってしまう。そこでこの従
来手段では、ロータリーエンコーダ105によりホーン
101の回転角度を検出して、キャピラリツール102
の位置制御を行っていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来手
段では、ホーン101は長尺であるために、ホーン10
1の回転量すなわちキャピラリツール102の変位t1
に比較して、回転板105aの回転角度t2はきわめて
小さく、このためロータリーエンコーダ105ではホー
ン101の回転角度を精密に検出することはできず、ひ
いてはキャピラリツール102の位置制御を精密に行う
ことはきわめて困難であり、ボンディング不良が発生し
やすい問題点があった。因みに、良好なボンディングを
行うためには、キャピラリツール102の位置制御は、
一般に数μm以下の誤差で行わなければならないが、こ
のように精密な位置制御が可能な高分解能のロータリー
エンコーダを製造することはきわめて困難である。
段では、ホーン101は長尺であるために、ホーン10
1の回転量すなわちキャピラリツール102の変位t1
に比較して、回転板105aの回転角度t2はきわめて
小さく、このためロータリーエンコーダ105ではホー
ン101の回転角度を精密に検出することはできず、ひ
いてはキャピラリツール102の位置制御を精密に行う
ことはきわめて困難であり、ボンディング不良が発生し
やすい問題点があった。因みに、良好なボンディングを
行うためには、キャピラリツール102の位置制御は、
一般に数μm以下の誤差で行わなければならないが、こ
のように精密な位置制御が可能な高分解能のロータリー
エンコーダを製造することはきわめて困難である。
【0006】また、このようにホーン101は回転軸1
04を中心に上下方向に揺動するために、ホーン101
を異なる長さのものに交換した場合には、キャピラリツ
ール102の変位t1も変化する。したがって従来手段
では、ホーン101の交換の度ごとにリニヤモータ10
7の制御を調整しなければならないという問題点があっ
た。
04を中心に上下方向に揺動するために、ホーン101
を異なる長さのものに交換した場合には、キャピラリツ
ール102の変位t1も変化する。したがって従来手段
では、ホーン101の交換の度ごとにリニヤモータ10
7の制御を調整しなければならないという問題点があっ
た。
【0007】さらに、この回転軸104はベアリングな
どの接触式の軸受を介して揺動自在に取り付けられてい
るが、ホーン101はきわめて多数回繰り返し往復揺動
するため、軸受の局所的な磨耗が激しく、その結果キャ
ピラリツール102の変位t1にも狂いを生じることに
なることから、この軸受の寿命が短くなるという問題点
があった。上記した問題点は、ワイヤボンディングに限
らず、シングルポイントTABやバンプ形成等の他のボ
ンディングの場合にも同様に生じる。
どの接触式の軸受を介して揺動自在に取り付けられてい
るが、ホーン101はきわめて多数回繰り返し往復揺動
するため、軸受の局所的な磨耗が激しく、その結果キャ
ピラリツール102の変位t1にも狂いを生じることに
なることから、この軸受の寿命が短くなるという問題点
があった。上記した問題点は、ワイヤボンディングに限
らず、シングルポイントTABやバンプ形成等の他のボ
ンディングの場合にも同様に生じる。
【0008】そこで本発明は、押圧ツールの位置制御を
精密に行うことができるボンディング装置を提供するこ
とを目的とする。
精密に行うことができるボンディング装置を提供するこ
とを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、先
端部に押圧ツールを保持するホーンと、このホーンが取
り付けられたホーンホルダと、このホーンおよびホーン
ホルダから成る可動部が取り付けられたスライダと、こ
のスライダを空気軸受を介して上下方向にガイドするリ
ニヤガイドと、このスライダをこのリニヤガイドに沿っ
て上下動させるリニヤモータと、この押圧ツールの高さ
位置を測定するリニヤエンコーダとを備え、リニヤガイ
ドの両側部にはガイド部が突設されており、また前記リ
ニヤガイドの縦長の中央凹入部にはコイルが装着され、
且つ前記スライダには前記コイルに対向するマグネット
が装着されており、更に前記リニヤガイドの一側部にリ
ニヤスケールを前記リニヤガイドに沿わせて縦長に配設
し、且つ前記リニヤスケールに沿って移動して前記ホー
ンの変位を検出するセンサを前記ホーンホルダに設けた
ものである。
端部に押圧ツールを保持するホーンと、このホーンが取
り付けられたホーンホルダと、このホーンおよびホーン
ホルダから成る可動部が取り付けられたスライダと、こ
のスライダを空気軸受を介して上下方向にガイドするリ
ニヤガイドと、このスライダをこのリニヤガイドに沿っ
て上下動させるリニヤモータと、この押圧ツールの高さ
位置を測定するリニヤエンコーダとを備え、リニヤガイ
ドの両側部にはガイド部が突設されており、また前記リ
ニヤガイドの縦長の中央凹入部にはコイルが装着され、
且つ前記スライダには前記コイルに対向するマグネット
が装着されており、更に前記リニヤガイドの一側部にリ
ニヤスケールを前記リニヤガイドに沿わせて縦長に配設
し、且つ前記リニヤスケールに沿って移動して前記ホー
ンの変位を検出するセンサを前記ホーンホルダに設けた
ものである。
【0010】
【作用】上記構成によれば、リニヤモータを駆動する
と、空気軸受を介してスライダがリニヤガイドにガイド
されて上下動し、これによりホーンとともに押圧ツール
が上下動してボンディングが行われる。この際、押圧ツ
ールの変位とリニヤエンコーダの変位は等しいため、押
圧ツールの高さ位置をリニヤエンコーダにより測定する
ことで、押圧ツールの位置制御を精密に行うことがで
き、しかもホーンを長さの異なるものに交換してもリニ
ヤモータの制御調整を行う必要がない。また、非接触式
の空気軸受を使用しているので、軸受部の磨耗がなくな
り軸受の寿命を長くすることができる。
と、空気軸受を介してスライダがリニヤガイドにガイド
されて上下動し、これによりホーンとともに押圧ツール
が上下動してボンディングが行われる。この際、押圧ツ
ールの変位とリニヤエンコーダの変位は等しいため、押
圧ツールの高さ位置をリニヤエンコーダにより測定する
ことで、押圧ツールの位置制御を精密に行うことがで
き、しかもホーンを長さの異なるものに交換してもリニ
ヤモータの制御調整を行う必要がない。また、非接触式
の空気軸受を使用しているので、軸受部の磨耗がなくな
り軸受の寿命を長くすることができる。
【0011】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【0012】図1は本発明に係るボンディング装置の斜
視図である。1は先端部に押圧ツールとしてのキャピラ
リツール2を保持するホーンであり、3はこのホーン1
の基端部が取り付けられたホーンホルダである。4はこ
のホーン1を上下動させるリニヤモータであって、次に
このリニヤモータ4を詳細に説明する。
視図である。1は先端部に押圧ツールとしてのキャピラ
リツール2を保持するホーンであり、3はこのホーン1
の基端部が取り付けられたホーンホルダである。4はこ
のホーン1を上下動させるリニヤモータであって、次に
このリニヤモータ4を詳細に説明する。
【0013】5はスライダであり、6は縦長のリニヤガ
イドである。このリニヤガイド6はスライダ5を空気軸
受7を介して上下方向にガイドするもので、その両側部
にはガイド部6aが突設されている。この空気軸受7
は、スライダ5の両側面および両端部の裏面に設けら
れ、それぞれの面がエアスライド面となっている。この
ように、非接触式の空気軸受7を使用しているので、リ
ニヤモータ4の軸受部の磨耗がなくなり軸受の寿命を長
くすることができる。8はコイルであり、リニヤガイド
6の中央凹入部に縦長に装着されている。10はマグネ
ットであり、スライダ5の裏面のコイル8との対向位置
に装着されている。コイル8に給電すると、スライダ5
が空気軸受7を介して上下動し、これによりホーン1に
保持されたキャピラリツール2が基板15に対して垂直
に上下動して、チップPの電極と基板15の電極にワイ
ヤ16がボンディングされる。14はホーン1の基端部
に設けられたUS発振用の圧電素子である。
イドである。このリニヤガイド6はスライダ5を空気軸
受7を介して上下方向にガイドするもので、その両側部
にはガイド部6aが突設されている。この空気軸受7
は、スライダ5の両側面および両端部の裏面に設けら
れ、それぞれの面がエアスライド面となっている。この
ように、非接触式の空気軸受7を使用しているので、リ
ニヤモータ4の軸受部の磨耗がなくなり軸受の寿命を長
くすることができる。8はコイルであり、リニヤガイド
6の中央凹入部に縦長に装着されている。10はマグネ
ットであり、スライダ5の裏面のコイル8との対向位置
に装着されている。コイル8に給電すると、スライダ5
が空気軸受7を介して上下動し、これによりホーン1に
保持されたキャピラリツール2が基板15に対して垂直
に上下動して、チップPの電極と基板15の電極にワイ
ヤ16がボンディングされる。14はホーン1の基端部
に設けられたUS発振用の圧電素子である。
【0014】11はリニヤエンコーダであり、このリニ
ヤエンコーダ11はリニヤガイド6の一側部にこれに沿
わせて縦長に配設されたリニヤスケール12と、ホーン
ホルダ3に装着されたセンサ13から成っている。Lは
装置全体のタテ方向の全長である。リニヤモータ4の駆
動により、キャピラリツール2が基板15に対して垂直
に上下動すると、このセンサ13がリニヤスケール12
上に沿って移動してホーン1の変位を検出する。このよ
うに、キャピラリツール2が垂直に上下動することで、
キャピラリツール2の変位とエンコーダ11のセンサ1
3の変位は等しくなる。従って、キャピラリツール2の
高さ位置をエンコーダ11により精密に測定することが
可能となり、ひいてはキャピラリツール2の位置制御を
精密に行うことができる。しかも、このようにキャピラ
リツール2は垂直に上下動するため、従来手段の揺動式
のもののように、ホーン1を長さの異なるものに交換し
ても、リニヤモータ107の制御を調整し直す必要はな
い。
ヤエンコーダ11はリニヤガイド6の一側部にこれに沿
わせて縦長に配設されたリニヤスケール12と、ホーン
ホルダ3に装着されたセンサ13から成っている。Lは
装置全体のタテ方向の全長である。リニヤモータ4の駆
動により、キャピラリツール2が基板15に対して垂直
に上下動すると、このセンサ13がリニヤスケール12
上に沿って移動してホーン1の変位を検出する。このよ
うに、キャピラリツール2が垂直に上下動することで、
キャピラリツール2の変位とエンコーダ11のセンサ1
3の変位は等しくなる。従って、キャピラリツール2の
高さ位置をエンコーダ11により精密に測定することが
可能となり、ひいてはキャピラリツール2の位置制御を
精密に行うことができる。しかも、このようにキャピラ
リツール2は垂直に上下動するため、従来手段の揺動式
のもののように、ホーン1を長さの異なるものに交換し
ても、リニヤモータ107の制御を調整し直す必要はな
い。
【0015】Gはホーン1やホーンホルダ3等の可動部
の重心であり、この重心Gがスライダ5のセンターに位
置するように、ホーン1やホーンホルダ3はスライダ5
に結合されている。したがってこの重心Gは、リニヤガ
イド6の中心線NA上に位置しており、このようにリニ
ヤガイド6の中心線NA上に上記重心Gを位置させるこ
とで、ホーン1を重心バランスよく、円滑に上下動させ
ることができる。
の重心であり、この重心Gがスライダ5のセンターに位
置するように、ホーン1やホーンホルダ3はスライダ5
に結合されている。したがってこの重心Gは、リニヤガ
イド6の中心線NA上に位置しており、このようにリニ
ヤガイド6の中心線NA上に上記重心Gを位置させるこ
とで、ホーン1を重心バランスよく、円滑に上下動させ
ることができる。
【0016】本装置は上記のような構成により成り、次
に動作を説明する。図1において、コイル8に給電する
と、空気軸受7を介してスライダ5が上下動し、これに
よりホーン1に保持されたキャピラリツール2が基板1
5に対して垂直に上下動してボンディングが行われる。
この際、ホーンホルダ3に装着されたセンサ13によ
り、このキャピラリツール2の変位を測定するが、上述
したように、本手段によればキャピラリツール2の変位
とセンサ13の変位は等しいので、キャピラリツール2
の位置を精密に検出しながら、良好なボンディングを行
うことができる。
に動作を説明する。図1において、コイル8に給電する
と、空気軸受7を介してスライダ5が上下動し、これに
よりホーン1に保持されたキャピラリツール2が基板1
5に対して垂直に上下動してボンディングが行われる。
この際、ホーンホルダ3に装着されたセンサ13によ
り、このキャピラリツール2の変位を測定するが、上述
したように、本手段によればキャピラリツール2の変位
とセンサ13の変位は等しいので、キャピラリツール2
の位置を精密に検出しながら、良好なボンディングを行
うことができる。
【0017】なお、上記実施例は、ワイヤボンディング
を例にとって説明したが、本手段はシングルポイントT
ABやスタッドバンプなどの他のボンディング手段にも
適用できる。
を例にとって説明したが、本手段はシングルポイントT
ABやスタッドバンプなどの他のボンディング手段にも
適用できる。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、先端部に
押圧ツールを保持するホーンと、このホーンが取り付け
られたホーンホルダと、このホーンおよびホーンホルダ
から成る可動部が取り付けられたスライダと、このスラ
イダを空気軸受を介して上下方向にガイドするリニヤガ
イドと、このスライダをこのリニヤガイドに沿って上下
動させるリニヤモータと、この押圧ツールの高さ位置を
測定するリニヤエンコーダとを備え、リニヤガイドの両
側部にはガイド部が突設されており、また前記リニヤガ
イドの縦長の中央凹入部にはコイルが装着され、且つ前
記スライダには前記コイルに対向するマグネットが装着
されており、更に前記リニヤガイドの一側部にリニヤス
ケールを前記リニヤガイドに沿わせて縦長に配設し、且
つ前記リニヤスケールに沿って移動して前記ホーンの変
位を検出するセンサを前記ホーンホルダに設けているの
で、押圧ツールの変位とリニヤエンコーダの変位が等し
くなり、したがって押圧ツールの高さ位置をリニヤエン
コーダにより正確に検出して、押圧ツールの位置制御を
精密に行うことができ、しかもホーンを長さの異なるも
のに交換してもリニヤモータの制御調整を行う必要がな
く、また非接触式の空気軸受を使用しているので、軸受
部の磨耗がなくなり軸受の寿命を長くすることができ
る。また可動部の重心をリニアガイドの中心線上に位置
させているので、ホーンを重心バランスよく上下動させ
て、ボンディング作業を安定的に行うことができる。
押圧ツールを保持するホーンと、このホーンが取り付け
られたホーンホルダと、このホーンおよびホーンホルダ
から成る可動部が取り付けられたスライダと、このスラ
イダを空気軸受を介して上下方向にガイドするリニヤガ
イドと、このスライダをこのリニヤガイドに沿って上下
動させるリニヤモータと、この押圧ツールの高さ位置を
測定するリニヤエンコーダとを備え、リニヤガイドの両
側部にはガイド部が突設されており、また前記リニヤガ
イドの縦長の中央凹入部にはコイルが装着され、且つ前
記スライダには前記コイルに対向するマグネットが装着
されており、更に前記リニヤガイドの一側部にリニヤス
ケールを前記リニヤガイドに沿わせて縦長に配設し、且
つ前記リニヤスケールに沿って移動して前記ホーンの変
位を検出するセンサを前記ホーンホルダに設けているの
で、押圧ツールの変位とリニヤエンコーダの変位が等し
くなり、したがって押圧ツールの高さ位置をリニヤエン
コーダにより正確に検出して、押圧ツールの位置制御を
精密に行うことができ、しかもホーンを長さの異なるも
のに交換してもリニヤモータの制御調整を行う必要がな
く、また非接触式の空気軸受を使用しているので、軸受
部の磨耗がなくなり軸受の寿命を長くすることができ
る。また可動部の重心をリニアガイドの中心線上に位置
させているので、ホーンを重心バランスよく上下動させ
て、ボンディング作業を安定的に行うことができる。
【図1】本発明に係るボンディング装置の斜視図
【図2】従来手段に係るボンディング装置の側面図
1 ホーン 2 押圧ツール 4 リニヤモータ 5 スライダ 6 リニヤガイド 7 空気軸受 11 リニヤエンコーダ
Claims (1)
- 【請求項1】先端部に押圧ツールを保持するホーンと、
このホーンが取り付けられたホーンホルダと、このホー
ンおよびホーンホルダから成る可動部が取り付けられた
スライダと、このスライダを空気軸受を介して上下方向
にガイドするリニヤガイドと、このスライダをこのリニ
ヤガイドに沿って上下動させるリニヤモータと、この押
圧ツールの高さ位置を測定するリニヤエンコーダとを備
え、前記リニヤガイドの両側部にはガイド部が突設され
ており、また前記リニヤガイドの縦長の中央凹入部には
コイルが装着され、且つ前記スライダには前記コイルに
対向するマグネットが装着されており、更に前記リニヤ
ガイドの一側部にリニヤスケールを前記リニヤガイドに
沿わせて縦長に配設し、且つ前記リニヤスケールに沿っ
て移動して前記ホーンの変位を検出するセンサを前記ホ
ーンホルダに設けたことを特徴とするボンディング装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23282991A JP3220483B2 (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | ボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23282991A JP3220483B2 (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | ボンディング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0574838A JPH0574838A (ja) | 1993-03-26 |
JP3220483B2 true JP3220483B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=16945442
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23282991A Expired - Lifetime JP3220483B2 (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | ボンディング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3220483B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4415711A1 (de) * | 1994-05-04 | 1995-11-09 | Roland Man Druckmasch | Druckeinheit für Gummi-Gummi-Druck |
JP4501093B2 (ja) * | 2000-07-13 | 2010-07-14 | 日本電気株式会社 | フリップチップ実装装置及び実装方法 |
JP3742359B2 (ja) | 2002-04-02 | 2006-02-01 | 株式会社新川 | ボンディング装置 |
JP3666592B2 (ja) | 2002-05-23 | 2005-06-29 | 株式会社新川 | ボンディング装置 |
-
1991
- 1991-09-12 JP JP23282991A patent/JP3220483B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0574838A (ja) | 1993-03-26 |
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