JP3214628B2 - 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析計Info
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- JP3214628B2 JP3214628B2 JP28611491A JP28611491A JP3214628B2 JP 3214628 B2 JP3214628 B2 JP 3214628B2 JP 28611491 A JP28611491 A JP 28611491A JP 28611491 A JP28611491 A JP 28611491A JP 3214628 B2 JP3214628 B2 JP 3214628B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高周波誘導結合プラズ
マ質量分析計に関し、更に詳しくは、ネブライザの目ず
まりを自動的に検知して除去できるシステムをもった高
周波誘導結合プラズマ質量分析計に関する。
マ質量分析計に関し、更に詳しくは、ネブライザの目ず
まりを自動的に検知して除去できるシステムをもった高
周波誘導結合プラズマ質量分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】高周波誘導結合プラズマ質量分析計は、
高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起させ、生じ
たイオンをノズルとスキマ―からなるインタ―フェイス
を介して質量分析計に導いて電気的に検出し該イオン量
を精密に測定することにより、試料中の被測定元素を高
精度に分析するように構成されている。
高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起させ、生じ
たイオンをノズルとスキマ―からなるインタ―フェイス
を介して質量分析計に導いて電気的に検出し該イオン量
を精密に測定することにより、試料中の被測定元素を高
精度に分析するように構成されている。
【０００３】図３は、このような高周波誘導結合プラズ
マ質量分析計の従来例構成説明図である。この図におい
て、プラズマト―チ１の外側管１ｂと最外側管１ｃには
ガス調節器２を介してアルゴンガス供給源３からアルゴ
ンガスが供給され、内側管１ａには試料槽４内の試料が
ネブライザ５で霧化されてのちアルゴンガスによって搬
入されるようになっている。また、プラズマト―チ１に
巻回された高周波誘導コイル６には高周波電源１０によ
って高周波電流が流され、該コイル６の周囲に高周波磁
界（図示せず）が形成されている。
マ質量分析計の従来例構成説明図である。この図におい
て、プラズマト―チ１の外側管１ｂと最外側管１ｃには
ガス調節器２を介してアルゴンガス供給源３からアルゴ
ンガスが供給され、内側管１ａには試料槽４内の試料が
ネブライザ５で霧化されてのちアルゴンガスによって搬
入されるようになっている。また、プラズマト―チ１に
巻回された高周波誘導コイル６には高周波電源１０によ
って高周波電流が流され、該コイル６の周囲に高周波磁
界（図示せず）が形成されている。
【０００４】一方、ノズル８とスキマ―９に挟まれたフ
ォアチャンバ―１１内は、真空ポンプ１２によって例え
ば１Ｔｏｒｒ．に減圧されている。また、センタ―チャ
ンバ―１３内にはイオンレンズ系１４ａ，１４ｂが設け
られると共に、該センタ―チャンバ―１３の内部は第１
油拡散ポンプ１５によって例えば１０-4Ｔｏｒｒ．に減
圧され、マスフィルタ（例えば四重極マスフィルタ）１
６を収容しているリアチャンバ―１７内は第２油拡散ポ
ンプ１８によって例えば１０-5Ｔｏｒｒ．に減圧されて
いる。
ォアチャンバ―１１内は、真空ポンプ１２によって例え
ば１Ｔｏｒｒ．に減圧されている。また、センタ―チャ
ンバ―１３内にはイオンレンズ系１４ａ，１４ｂが設け
られると共に、該センタ―チャンバ―１３の内部は第１
油拡散ポンプ１５によって例えば１０-4Ｔｏｒｒ．に減
圧され、マスフィルタ（例えば四重極マスフィルタ）１
６を収容しているリアチャンバ―１７内は第２油拡散ポ
ンプ１８によって例えば１０-5Ｔｏｒｒ．に減圧されて
いる。
【０００５】この状態で上記高周波磁界の近傍でアルゴ
ンガス中に電子かイオンが植え付けられると、該高周波
磁界の作用によって瞬時に高周波誘導結合プラズマ７が
生ずる。該プラズマ７内のイオンは、ノズル８やスキマ
―９を経由してのちイオンレンズ系１４ａ，１４ｂを通
って収束される。ここで、イオンレンズ系１４ａ，１４
ｂは、高周波誘導結合プラズマ７からの光を遮断しイオ
ンだけを通過させる例えばダブル四極子レンズが用いら
れており、該イオンレンズ系を通過したイオンは、マス
フィルタ１６を通り二次電子増倍管１９に導かれて検出
され、該検出信号が信号処理部２０に送出されて演算・
処理されることによって前記試料中の被測定元素分析値
が求められるようになっている。
ンガス中に電子かイオンが植え付けられると、該高周波
磁界の作用によって瞬時に高周波誘導結合プラズマ７が
生ずる。該プラズマ７内のイオンは、ノズル８やスキマ
―９を経由してのちイオンレンズ系１４ａ，１４ｂを通
って収束される。ここで、イオンレンズ系１４ａ，１４
ｂは、高周波誘導結合プラズマ７からの光を遮断しイオ
ンだけを通過させる例えばダブル四極子レンズが用いら
れており、該イオンレンズ系を通過したイオンは、マス
フィルタ１６を通り二次電子増倍管１９に導かれて検出
され、該検出信号が信号処理部２０に送出されて演算・
処理されることによって前記試料中の被測定元素分析値
が求められるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、このよう
な従来例においては、高濃度の試料をネブライザに供給
して長時間分析しているとネブライザが閉塞して分析が
不可能になるという欠点があった。また、ネブライザが
徐々に閉塞してゆくのを検知するのが困難なうえ、一
旦、ネブライザが閉塞するとすると、元通りに復元する
のが極めて困難であった。本発明は、かかる従来例の欠
点などを解決せんとして成されたものであり、ネブライ
ザが徐々に閉塞してゆくのを検知しネブライザが完全に
閉塞する前に目ずまりを除去してネブライザに与えるダ
メ―ジを少なくすることを目的とする。
な従来例においては、高濃度の試料をネブライザに供給
して長時間分析しているとネブライザが閉塞して分析が
不可能になるという欠点があった。また、ネブライザが
徐々に閉塞してゆくのを検知するのが困難なうえ、一
旦、ネブライザが閉塞するとすると、元通りに復元する
のが極めて困難であった。本発明は、かかる従来例の欠
点などを解決せんとして成されたものであり、ネブライ
ザが徐々に閉塞してゆくのを検知しネブライザが完全に
閉塞する前に目ずまりを除去してネブライザに与えるダ
メ―ジを少なくすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、高周波誘導結
合プラズマ質量分析計において、ガス調節器で圧力調節
されたアルゴンガスの流量を調節するマスフロ―コント
ロ―ラと、該コントロ―ラからネブライザに供給される
ガスの圧力を検出する圧力計と、マスフロ―コントロ―
ラからネブライザに供給されるガスの流量を検出するフ
ロ―メ―タと、圧力計で検出された圧力信号とフロ―メ
―タで検出された流量信号を演算処理しマスフロ―コン
トロ―ラへ制御信号を送出する演算・制御器とを設け、
ネブライザが閉塞し始めたとき演算・制御器からマスフ
ロ―コントロ―ラへ制御信号が発せられ、ネブライザへ
アルゴンガスが大流量若しくは脈流で供給されるように
することによって前記課題を解決したものである。
合プラズマ質量分析計において、ガス調節器で圧力調節
されたアルゴンガスの流量を調節するマスフロ―コント
ロ―ラと、該コントロ―ラからネブライザに供給される
ガスの圧力を検出する圧力計と、マスフロ―コントロ―
ラからネブライザに供給されるガスの流量を検出するフ
ロ―メ―タと、圧力計で検出された圧力信号とフロ―メ
―タで検出された流量信号を演算処理しマスフロ―コン
トロ―ラへ制御信号を送出する演算・制御器とを設け、
ネブライザが閉塞し始めたとき演算・制御器からマスフ
ロ―コントロ―ラへ制御信号が発せられ、ネブライザへ
アルゴンガスが大流量若しくは脈流で供給されるように
することによって前記課題を解決したものである。
【０００８】同様にして、本発明は、高周波誘導結合プ
ラズマ質量分析計において、ガス調節器で圧力調節され
たアルゴンガスの流量を調節するマスフロ―コントロ―
ラと、該マスフロ―コントロ―ラを迂回するようにして
設けられてたバイパス流路と、該制御信号に応じてバイ
パス流路を開閉するバイパス弁と、マスフロ―コントロ
―ラへ開閉制御信号を送出する制御器とを設け、ネブラ
イザが閉塞し始めたとき制御器からマスフロ―コントロ
―ラへ開信号が発せられ、ネブライザへアルゴンガスが
大流量に供給されるようにすることによって前記課題を
解決したものである。
ラズマ質量分析計において、ガス調節器で圧力調節され
たアルゴンガスの流量を調節するマスフロ―コントロ―
ラと、該マスフロ―コントロ―ラを迂回するようにして
設けられてたバイパス流路と、該制御信号に応じてバイ
パス流路を開閉するバイパス弁と、マスフロ―コントロ
―ラへ開閉制御信号を送出する制御器とを設け、ネブラ
イザが閉塞し始めたとき制御器からマスフロ―コントロ
―ラへ開信号が発せられ、ネブライザへアルゴンガスが
大流量に供給されるようにすることによって前記課題を
解決したものである。
【０００９】
【作用】本発明は次のように作用する。即ち、ネブライ
ザが閉塞し始めると、マスフロ―コントロ―ラとネブラ
イザの間の流路を流れるアルゴンガスの圧力が高くなる
と共に該流路を流れるガス流量が減少し始める。従っ
て、圧力計で検出された圧力信号とフロ―メ―タで検出
された流量信号などからネブライザが閉塞し始めたと演
算・制御器若しくは制御器が判断した場合、マスフロ―
コントロ―ラへ大流量信号や脈流信号が発せられ、ネブ
ライザへアルゴンガスが大流量や脈流で供給されるよう
になる。このため、ネブライザにおける初期の詰まりは
吹き飛ばされ、高価なネブライザの破損などが防止され
る。
ザが閉塞し始めると、マスフロ―コントロ―ラとネブラ
イザの間の流路を流れるアルゴンガスの圧力が高くなる
と共に該流路を流れるガス流量が減少し始める。従っ
て、圧力計で検出された圧力信号とフロ―メ―タで検出
された流量信号などからネブライザが閉塞し始めたと演
算・制御器若しくは制御器が判断した場合、マスフロ―
コントロ―ラへ大流量信号や脈流信号が発せられ、ネブ
ライザへアルゴンガスが大流量や脈流で供給されるよう
になる。このため、ネブライザにおける初期の詰まりは
吹き飛ばされ、高価なネブライザの破損などが防止され
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。図１は本発明実施例の要部を示す要部構成説明図
であり、図中、図３と同一記号は同一意味をもたせて使
用しここでの重複説明は省略する。また、２１はガス調
節器２で圧力調節されたアルゴンガスの流量を調節する
マスフロ―コントロ―ラ、２２は演算・制御器、２３は
圧力計、２４はフロ―メ―タである。
する。図１は本発明実施例の要部を示す要部構成説明図
であり、図中、図３と同一記号は同一意味をもたせて使
用しここでの重複説明は省略する。また、２１はガス調
節器２で圧力調節されたアルゴンガスの流量を調節する
マスフロ―コントロ―ラ、２２は演算・制御器、２３は
圧力計、２４はフロ―メ―タである。
【００１１】このような構成からなる本発明実施例の要
部において、ガス調節器２から導入されたアルゴンガス
（キャリアガス）は、マスフロ―コントロ―ラ２１で流
量調整されたのちフロ―メ―タ２４を経由してネブライ
ザ５に供給される。また、試料槽４内の試料４´がネブ
ライザ５で霧化されてプラズマト―チ１の内室１ａに搬
入される。
部において、ガス調節器２から導入されたアルゴンガス
（キャリアガス）は、マスフロ―コントロ―ラ２１で流
量調整されたのちフロ―メ―タ２４を経由してネブライ
ザ５に供給される。また、試料槽４内の試料４´がネブ
ライザ５で霧化されてプラズマト―チ１の内室１ａに搬
入される。
【００１２】この状態において、圧力計２３で検出され
た圧力信号とフロ―メ―タ２４で検出された流量信号は
演算・制御器２２に送出されて演算処理され、該演算・
制御器の出力信号でマスフロ―コントロ―ラ２１が制御
されてネブライザ５へ供給されるガス流量がコントロ―
ルされるようになっている。
た圧力信号とフロ―メ―タ２４で検出された流量信号は
演算・制御器２２に送出されて演算処理され、該演算・
制御器の出力信号でマスフロ―コントロ―ラ２１が制御
されてネブライザ５へ供給されるガス流量がコントロ―
ルされるようになっている。
【００１３】ところで、ネブライザ５が閉塞し始める
と、マスフロ―コントロ―ラ２１とネブライザ５の間の
流路を流れるアルゴンガスの圧力が高くなると共に該流
路を流れるガス流量が減少し始める。従って、圧力計２
３で検出された圧力信号とフロ―メ―タ２４で検出され
た流量信号からネブライザ５が閉塞し始めたと演算・制
御器２２が判断した場合、該演算・制御器からマスフロ
―コントロ―ラ２１へ大流量信号や脈流信号が発せられ
る。このため、ネブライザ５へアルゴンガスが大流量や
脈流で供給されるようになり、ネブライザ５における初
期の詰まりは吹き飛ばされる。
と、マスフロ―コントロ―ラ２１とネブライザ５の間の
流路を流れるアルゴンガスの圧力が高くなると共に該流
路を流れるガス流量が減少し始める。従って、圧力計２
３で検出された圧力信号とフロ―メ―タ２４で検出され
た流量信号からネブライザ５が閉塞し始めたと演算・制
御器２２が判断した場合、該演算・制御器からマスフロ
―コントロ―ラ２１へ大流量信号や脈流信号が発せられ
る。このため、ネブライザ５へアルゴンガスが大流量や
脈流で供給されるようになり、ネブライザ５における初
期の詰まりは吹き飛ばされる。
【００１４】一方、図２は本発明他の実施例を示す構成
断面図であり、図中、図１と同一記号は同一意味を持た
せて使用しここでの重複説明は省略する。また、２５は
ガス調節器２とネブライザ５の間にアルゴンガスを流す
主流路、２６はマスフロ―コントロ―ラ２１を迂回する
ようにして設けられてたバイパス流路、２７は後述の制
御器２８から開閉制御信号Ｓに応じてバイパス流路２６
を開閉するバイパス弁、２８はマスフロ―コントロ―ラ
へ開閉制御信号を送出する制御器である。
断面図であり、図中、図１と同一記号は同一意味を持た
せて使用しここでの重複説明は省略する。また、２５は
ガス調節器２とネブライザ５の間にアルゴンガスを流す
主流路、２６はマスフロ―コントロ―ラ２１を迂回する
ようにして設けられてたバイパス流路、２７は後述の制
御器２８から開閉制御信号Ｓに応じてバイパス流路２６
を開閉するバイパス弁、２８はマスフロ―コントロ―ラ
へ開閉制御信号を送出する制御器である。
【００１５】このような構成からなる本発明他の実施例
において、ネブライザ５が閉塞し始めると、マスフロ―
コントロ―ラ２１とネブライザ５の間の流路を流れるア
ルゴンガスの圧力が高くなると共に該流路を流れるガス
流量が減少し始める。この時、制御器２８からバイパス
弁２７へ開の制御信号が発せられてバイパス弁２７が開
にされる。このため、ネブライザ５へアルゴンガスが大
流量で供給されるようになり、ネブライザ５における初
期の詰まりは吹き飛ばされる。
において、ネブライザ５が閉塞し始めると、マスフロ―
コントロ―ラ２１とネブライザ５の間の流路を流れるア
ルゴンガスの圧力が高くなると共に該流路を流れるガス
流量が減少し始める。この時、制御器２８からバイパス
弁２７へ開の制御信号が発せられてバイパス弁２７が開
にされる。このため、ネブライザ５へアルゴンガスが大
流量で供給されるようになり、ネブライザ５における初
期の詰まりは吹き飛ばされる。
【００１６】
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、ネブライザが徐々に閉塞してゆくのを検知しネブラ
イザが完全に閉塞する前に目ずまりを除去してネブライ
ザに与えるダメ―ジを少なくすることができる高周波誘
導結合プラズマ質量分析計が実現する。
ば、ネブライザが徐々に閉塞してゆくのを検知しネブラ
イザが完全に閉塞する前に目ずまりを除去してネブライ
ザに与えるダメ―ジを少なくすることができる高周波誘
導結合プラズマ質量分析計が実現する。
【図１】本発明実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】高周波誘導結合プラズマ質量分析計の全体的な
構成説明図である。
構成説明図である。
１ プラズマト―チ、 ３ アルゴンガス供給源、 ４ 試料槽、 ４´ 試料、 ５ ネブライザ、 ７ 高周波誘導結合プラズマ、 ２１ マスフロ―コントロ―ラ ２２ 演算・制御器 ２３ 圧力計 ２４ フロ―メ―タ ２５ 主流路 ２６ バイパス流路 ２７ バイパス弁 ２８ 制御器
Claims (2)
- 【請求項１】高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励
起させ生じたイオンをノズルとスキマ―からなるインタ
―フェイスを介して質量分析計検出器に導いて検出する
ことにより前記試料中の被測定元素を分析する分析計に
おいて、ガス調節器で圧力調節されたアルゴンガスの流
量を調節するマスフロ―コントロ―ラと、該コントロ―
ラからネブライザに供給されるガスの圧力を検出する圧
力計と、前記マスフロ―コントロ―ラからネブライザに
供給されるガスの流量を検出するフロ―メ―タと、前記
圧力計で検出された圧力信号と前記フロ―メ―タで検出
された流量信号を演算処理し前記マスフロ―コントロ―
ラへ制御信号を送出する演算・制御器とを具備し、前記
ネブライザが閉塞し始めたとき前記演算・制御器から前
記マスフロ―コントロ―ラへ制御信号が発せられ、前記
ネブライザへアルゴンガスが大流量若しくは脈流で供給
されることを特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分
析計。 - 【請求項２】高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励
起させ生じたイオンをノズルとスキマ―からなるインタ
―フェイスを介して質量分析計検出器に導いて検出する
ことにより前記試料中の被測定元素を分析する分析計に
おいて、ガス調節器で圧力調節されたアルゴンガスの流
量を調節するマスフロ―コントロ―ラと、該マスフロ―
コントロ―ラを迂回するようにして設けられたバイパス
流路と、該制御信号に応じてバイパス流路を開閉するバ
イパス弁と、該バイパス弁へ開閉制御信号を送出する制
御器とを具備し、前記ネブライザが閉塞し始めたとき前
記制御器から前記バイパス弁へ開信号が発せられ、前記
ネブライザへアルゴンガスが大流量で供給されることを
特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28611491A JP3214628B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28611491A JP3214628B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121041A JPH05121041A (ja) | 1993-05-18 |
| JP3214628B2 true JP3214628B2 (ja) | 2001-10-02 |
Family
ID=17700118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28611491A Expired - Fee Related JP3214628B2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3214628B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109482404A (zh) * | 2017-09-13 | 2019-03-19 | 心诚镁行动医电股份有限公司 | 雾化器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007324008A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Hitachi High-Technologies Corp | エレクトロスプレイイオン源及びそれを備えた質量分析計 |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP28611491A patent/JP3214628B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109482404A (zh) * | 2017-09-13 | 2019-03-19 | 心诚镁行动医电股份有限公司 | 雾化器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05121041A (ja) | 1993-05-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |