JPH08321277A - 質量分析計のキャリブレーションガス導入装置 - Google Patents
質量分析計のキャリブレーションガス導入装置Info
- Publication number
- JPH08321277A JPH08321277A JP7126200A JP12620095A JPH08321277A JP H08321277 A JPH08321277 A JP H08321277A JP 7126200 A JP7126200 A JP 7126200A JP 12620095 A JP12620095 A JP 12620095A JP H08321277 A JPH08321277 A JP H08321277A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- calibration gas
- mass
- gas
- ion source
- calibration
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- Pending
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】キャリブレーションガス１を真空系５に導入す
る際、キャリブレーションガス１のマススペクトルにお
ける質量数の比率を計算し、コンピュータ１６により微
調整可能なバルブ４を開閉することによって、キャリブ
レーションガス１の流量を調整する。また、コンピュー
タ１６に登録済みのキャリブレーションガス１の任意の
マススペクトル強度と、測定中のキャリブレーションガ
ス１の任意のマススペクトル強度を同一条件で感度比較
し、イオン源６の汚れ検知を実施する。そして、イオン
源６の汚れを検知した場合はブザー１７を鳴らす。 【効果】キャリブレーションガス流量の最適化、及び質
量数補正時のキャリブレーションガス流量調整の自動
化、さらにイオン源の汚れ検知と検知器の長寿命化を図
ることができる。
る際、キャリブレーションガス１のマススペクトルにお
ける質量数の比率を計算し、コンピュータ１６により微
調整可能なバルブ４を開閉することによって、キャリブ
レーションガス１の流量を調整する。また、コンピュー
タ１６に登録済みのキャリブレーションガス１の任意の
マススペクトル強度と、測定中のキャリブレーションガ
ス１の任意のマススペクトル強度を同一条件で感度比較
し、イオン源６の汚れ検知を実施する。そして、イオン
源６の汚れを検知した場合はブザー１７を鳴らす。 【効果】キャリブレーションガス流量の最適化、及び質
量数補正時のキャリブレーションガス流量調整の自動
化、さらにイオン源の汚れ検知と検知器の長寿命化を図
ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は質量分析計に係り、特
に、キャリブレーションガスを用いて質量数補正をする
装置に関する。
に、キャリブレーションガスを用いて質量数補正をする
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、エレクトロンイオン化方式による
イオン化を行う質量分析計で、質量数補正時のキャリブ
レーションガス流量の調整は、キャリブレーションガス
のマススペクトルをモニタし、任意のマススペクトル強
度が得られるようキャリブレーションガスの流量つまみ
をマニュアルで調整していた。また、特にガスクロマト
グラフィと質量分析計の組合せでは、ガスクロマトグラ
フィからのキャリヤガスが質量分析計に多量に導入され
るため、真空計でキャリブレーションガスの導入量を最
適値に調整することは困難であった。
イオン化を行う質量分析計で、質量数補正時のキャリブ
レーションガス流量の調整は、キャリブレーションガス
のマススペクトルをモニタし、任意のマススペクトル強
度が得られるようキャリブレーションガスの流量つまみ
をマニュアルで調整していた。また、特にガスクロマト
グラフィと質量分析計の組合せでは、ガスクロマトグラ
フィからのキャリヤガスが質量分析計に多量に導入され
るため、真空計でキャリブレーションガスの導入量を最
適値に調整することは困難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、キ
ャリブレーションガスの流量をマニュアルで調整する必
要があった。しかし、キャリブレーションガスの流量が
多く、イオン量が過大であると、検知器であるエレクト
ロンマルチプライヤが汚れ、感度が短期間で低下すると
いう問題があった。また、イオン源の汚れにより、イオ
ン量が減少すると、キャリブレーションガスの感度を得
るためキャリブレーションガスを過大に導入しなければ
ならない。その結果、検知器であるエレクトロンマルチ
プライヤが汚れ、感度が短期間で低下するという問題が
あった。
ャリブレーションガスの流量をマニュアルで調整する必
要があった。しかし、キャリブレーションガスの流量が
多く、イオン量が過大であると、検知器であるエレクト
ロンマルチプライヤが汚れ、感度が短期間で低下すると
いう問題があった。また、イオン源の汚れにより、イオ
ン量が減少すると、キャリブレーションガスの感度を得
るためキャリブレーションガスを過大に導入しなければ
ならない。その結果、検知器であるエレクトロンマルチ
プライヤが汚れ、感度が短期間で低下するという問題が
あった。
【０００４】本発明の目的は、 （１）キャリブレーションガス流量の最適化 （２）質量数補正時のキャリブレーションガス流量の自
動調整 （３）イオン源の汚れ検知 を図った質量分析計を提供することにある。
動調整 （３）イオン源の汚れ検知 を図った質量分析計を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明はキャリブレーションテーブルの質量数補正
時、真空系に導入するキャリブレーションガス流量をマ
スパターンにより決定し、制御させるようにした。
に、本発明はキャリブレーションテーブルの質量数補正
時、真空系に導入するキャリブレーションガス流量をマ
スパターンにより決定し、制御させるようにした。
【０００６】
【作用】キャリブレーションテーブルの質量数補正を行
う際、真空系に導入するキャリブレーションガス流量
を、キャリブレーションガスのマスパターンにより決定
し制御する。これにより、 （１）キャリブレーションガス流量の最適化 （２）質量数補正時のキャリブレーションガス流量の自
動調整 （３）イオン源の汚れ検知 がなされる。
う際、真空系に導入するキャリブレーションガス流量
を、キャリブレーションガスのマスパターンにより決定
し制御する。これにより、 （１）キャリブレーションガス流量の最適化 （２）質量数補正時のキャリブレーションガス流量の自
動調整 （３）イオン源の汚れ検知 がなされる。
【０００７】
【実施例】図１は質量分析計の装置のブロック図であ
る。１はキャリブレーションガスで質量分析計における
キャリブレーションテーブルの補正を行うためのガスで
ある。真空ポンプ１２，１３及び１４を駆動し、バルブ
２及び３を開け、配管１５及び真空系５内部を真空にす
る。バルブ３を閉じ、微調整可能なバルブ４を開けるこ
とにより、キャリブレーションガス１が真空系５内部に
あるイオン源６に導入される。導入されたキャリブレー
ションガス１は、イオン源６でイオン化される。イオン
化されたキャリブレーションガス１は、質量分析部７に
導入され、特定イオンを選択する。選択されたイオンは
検知器８へと導入され、データを得ることができる。イ
オン源６の電源９，質量分析部７の電源１０、及び検知
器８の電源１１は、コンピュータ１６により制御されて
いる。
る。１はキャリブレーションガスで質量分析計における
キャリブレーションテーブルの補正を行うためのガスで
ある。真空ポンプ１２，１３及び１４を駆動し、バルブ
２及び３を開け、配管１５及び真空系５内部を真空にす
る。バルブ３を閉じ、微調整可能なバルブ４を開けるこ
とにより、キャリブレーションガス１が真空系５内部に
あるイオン源６に導入される。導入されたキャリブレー
ションガス１は、イオン源６でイオン化される。イオン
化されたキャリブレーションガス１は、質量分析部７に
導入され、特定イオンを選択する。選択されたイオンは
検知器８へと導入され、データを得ることができる。イ
オン源６の電源９，質量分析部７の電源１０、及び検知
器８の電源１１は、コンピュータ１６により制御されて
いる。
【０００８】以上の構成により成り立っている質量分析
計で、キャリブレーションガス１のマススペクトル図２
の質量数１９７と質量数２１９のマススペクトル強度比
率から、キャリブレーションガス１の導入量を決定す
る。質量数１９７と質量数219の比率は、Ｎ：１にす
る。Ｎはある定数で、真空系５内部の真空度により変化
し、キャリブレーションガス１の導入量が多い場合、Ｎ
≦１となる。また、真空度が１.０×１０-5Torr より低
真空の場合、質量数２１９のマススペクトルは、ほとん
ど出現しない。このことから、コンピュータ１６には次
のプログラムが組み込まれる。キャリブレーションガス
１を真空系５に導入し、質量数１９７と質量数２１９の
出力信号を比較する。
計で、キャリブレーションガス１のマススペクトル図２
の質量数１９７と質量数２１９のマススペクトル強度比
率から、キャリブレーションガス１の導入量を決定す
る。質量数１９７と質量数219の比率は、Ｎ：１にす
る。Ｎはある定数で、真空系５内部の真空度により変化
し、キャリブレーションガス１の導入量が多い場合、Ｎ
≦１となる。また、真空度が１.０×１０-5Torr より低
真空の場合、質量数２１９のマススペクトルは、ほとん
ど出現しない。このことから、コンピュータ１６には次
のプログラムが組み込まれる。キャリブレーションガス
１を真空系５に導入し、質量数１９７と質量数２１９の
出力信号を比較する。
【０００９】
【数１】 質量数１９７の出力信号＝質量数２１９の出力信号×Ｎ±Ｃ …（数１） の条件を満たすことにより、キャリブレーションガス１
の導入量が決定する。Ｃは補正定数で真空系５内部の真
空度により変化する。この条件を満たさず、
の導入量が決定する。Ｃは補正定数で真空系５内部の真
空度により変化する。この条件を満たさず、
【００１０】
【数２】 質量数１９７の出力信号＞質量数２１９の出力信号×Ｎ±Ｃ …（数２） である場合、真空度及びキャリブレーションガス１の導
入量不足の問題が考えられる。このため微調整可能なバ
ルブ４を閉め、約５分待つ。そして再度微調整可能なバ
ルブ４を開け、キャリブレーションガス１の流量を増加
し、数１の判定をする。また、数１及び数２のいずれの
条件も満たさず、
入量不足の問題が考えられる。このため微調整可能なバ
ルブ４を閉め、約５分待つ。そして再度微調整可能なバ
ルブ４を開け、キャリブレーションガス１の流量を増加
し、数１の判定をする。また、数１及び数２のいずれの
条件も満たさず、
【００１１】
【数３】 質量数１９７の出力信号＜質量数２１９の出力信号×Ｎ±Ｃ …（数３） である場合は、キャリブレーションガス１の導入量が過
大である。このため、微調整可能なバルブ４を閉め、キ
ャリブレーションガス１の流量を減少し、数１の判定を
する。また、コンピュータ１６に登録済みのキャリブレ
ーションガス１の質量数２１９のマススペクトル強度
と、測定中のキャリブレーションガス１の質量数２１９
のマススペクトル強度を比較し、
大である。このため、微調整可能なバルブ４を閉め、キ
ャリブレーションガス１の流量を減少し、数１の判定を
する。また、コンピュータ１６に登録済みのキャリブレ
ーションガス１の質量数２１９のマススペクトル強度
と、測定中のキャリブレーションガス１の質量数２１９
のマススペクトル強度を比較し、
【００１２】
【数４】 登録済みの質量数２１９の出力信号＞質量数２１９の出力信号×Ｍ±Ｄ …（数４） である場合、イオン源６の汚れとしてブザー１７を鳴ら
す。Ｍ及びＤはある定数で真空系５内部の真空度により
変化する。これらの動作を図３に示す。キャリブレーシ
ョンガス１のマスパターンにおける任意のマススペクト
ル強度でも数１，数２，数３，数４の質量数を変えるこ
とにより制御可能である。このように真空系５に導入さ
れるキャリブレーションガス１の導入量をマスパターン
により制御することによって、キャリブレーションガス
１の流量最適化、及び質量数補正時のキャリブレーショ
ンガス１の流量の自動調整、さらにイオン源６の汚れ検
知を実施する。
す。Ｍ及びＤはある定数で真空系５内部の真空度により
変化する。これらの動作を図３に示す。キャリブレーシ
ョンガス１のマスパターンにおける任意のマススペクト
ル強度でも数１，数２，数３，数４の質量数を変えるこ
とにより制御可能である。このように真空系５に導入さ
れるキャリブレーションガス１の導入量をマスパターン
により制御することによって、キャリブレーションガス
１の流量最適化、及び質量数補正時のキャリブレーショ
ンガス１の流量の自動調整、さらにイオン源６の汚れ検
知を実施する。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、キャリブレーションガ
スの導入量をキャリブレーションガスのマスパターンに
より制御することで、 （１）キャリブレーションガス流量の最適化 （２）質量数補正時のキャリブレーションガス流量の自
動調整 （３）イオン源の汚れ検知 （４）検知器の長寿命化 を図ることができる。
スの導入量をキャリブレーションガスのマスパターンに
より制御することで、 （１）キャリブレーションガス流量の最適化 （２）質量数補正時のキャリブレーションガス流量の自
動調整 （３）イオン源の汚れ検知 （４）検知器の長寿命化 を図ることができる。
【図１】装置全体のブロック図。
【図２】キャリブレーションガスのマススペクトル図。
【図３】自動制御のフローチャート。
１…キャリブレーションガス、２，３…バルブ、４…微
調整可能なバルブ、５…真空系、６…イオン源、７…質
量分析部、８…検知器、９…イオン源用電源、１０…質
量分析部用電源、１１…検知用電源、１２，１３，１４
…真空ポンプ、１５…配管、１６…コンピュータ、１７
…ブザー。
調整可能なバルブ、５…真空系、６…イオン源、７…質
量分析部、８…検知器、９…イオン源用電源、１０…質
量分析部用電源、１１…検知用電源、１２，１３，１４
…真空ポンプ、１５…配管、１６…コンピュータ、１７
…ブザー。
Claims (4)
- 【請求項１】エレクトロンイオン化方式によるイオン化
を行う質量分析計で、キャリブレーションガスを導入し
質量数補正を行う際、前記キャリブレーションガスのマ
スパターンによることを特徴とする質量分析計のキャリ
ブレーションガス導入装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記キャリブレーショ
ンガスを用いた質量数補正時にキャリブレーションガス
流量を自動で調整する質量分析計のキャリブレーション
ガス導入装置。 - 【請求項３】請求項１において、コンピュータに登録さ
れた前記キャリブレーションガスの任意のマススペクト
ル強度と、測定中のキャリブレーションガスの任意のマ
ススペクトル強度を同一条件で感度比較し、イオン源の
汚れを検知する質量分析計のキャリブレーションガス導
入装置。 - 【請求項４】請求項１，請求項２または請求項３の質量
分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7126200A JPH08321277A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 質量分析計のキャリブレーションガス導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7126200A JPH08321277A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 質量分析計のキャリブレーションガス導入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08321277A true JPH08321277A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=14929190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7126200A Pending JPH08321277A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 質量分析計のキャリブレーションガス導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08321277A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112008001297T5 (de) | 2007-05-15 | 2010-04-08 | ULVAC, Inc., Chigasaki-shi | Massenspektrometrieeinheit |
| US8115166B2 (en) | 2007-04-16 | 2012-02-14 | Ulvac, Inc. | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer |
| WO2019104450A1 (zh) * | 2017-11-29 | 2019-06-06 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种新型分压力质谱计校准装置及方法 |
-
1995
- 1995-05-25 JP JP7126200A patent/JPH08321277A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8115166B2 (en) | 2007-04-16 | 2012-02-14 | Ulvac, Inc. | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer |
| DE112008001297T5 (de) | 2007-05-15 | 2010-04-08 | ULVAC, Inc., Chigasaki-shi | Massenspektrometrieeinheit |
| US8138473B2 (en) | 2007-05-15 | 2012-03-20 | Ulvac, Inc. | Mass spectrometry unit |
| WO2019104450A1 (zh) * | 2017-11-29 | 2019-06-06 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种新型分压力质谱计校准装置及方法 |
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