JP3213125B2 - 測定された信号を変換するための方法及び変換器、並びに測定装置及びピラニ測定回路 - Google Patents
測定された信号を変換するための方法及び変換器、並びに測定装置及びピラニ測定回路Info
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- G01L21/00—Vacuum gauges
- G01L21/10—Vacuum gauges by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured
- G01L21/12—Vacuum gauges by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured measuring changes in electric resistance of measuring members, e.g. of filaments; Vacuum gauges of the Pirani type
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、請求項１の前文に示す
ような信号変換方法と、請求項６の前文に示すような変
換器と、請求項１３の前文に示すような測定装置と、請
求項１６の前文に示すようなピラニ測定回路とに関す
る。
ような信号変換方法と、請求項６の前文に示すような変
換器と、請求項１３の前文に示すような測定装置と、請
求項１６の前文に示すようなピラニ測定回路とに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】センサー工学 (Sensorik) の全分野にお
いて、今まで分析装置で行なわれてきた課題を測定ヘッ
ドあるいは測定値記録計に移す傾向が見うけられる。た
とえば、アクティブ測定ブリッジ、信号増幅器あるいは
処理回路並びに線形化回路、アナログ／デジタル変換器
等が測定ヘッドに移されている。これは数年来、全圧力
測定センサーの場合にも言えることである。それによっ
て、熱的に結合した小さいスペースでも本来のセンサー
への分析電子装置のよりよいかつ安定した適合が達成可
能であり、センサーと分析装置との間の伝送ライン上の
結合した信号誤りがなくなり、測定ヘッドの出力信号、
給電装置等は、分析装置の標準化したインターフェース
において、種々の測定ヘッドが自由に変換可能であり、
種々の異なる測定ヘッド形成でも部分的に互に変換可能
である。
いて、今まで分析装置で行なわれてきた課題を測定ヘッ
ドあるいは測定値記録計に移す傾向が見うけられる。た
とえば、アクティブ測定ブリッジ、信号増幅器あるいは
処理回路並びに線形化回路、アナログ／デジタル変換器
等が測定ヘッドに移されている。これは数年来、全圧力
測定センサーの場合にも言えることである。それによっ
て、熱的に結合した小さいスペースでも本来のセンサー
への分析電子装置のよりよいかつ安定した適合が達成可
能であり、センサーと分析装置との間の伝送ライン上の
結合した信号誤りがなくなり、測定ヘッドの出力信号、
給電装置等は、分析装置の標準化したインターフェース
において、種々の測定ヘッドが自由に変換可能であり、
種々の異なる測定ヘッド形成でも部分的に互に変換可能
である。
【０００３】部分的に、そのようなアクティブセンサー
は直接、分析コンピュータのアナログ／デジタル変換器
入力に接続されている。
は直接、分析コンピュータのアナログ／デジタル変換器
入力に接続されている。
【０００４】本発明は、その１つの局面では、全体的に
測定信号であって、センサに捕捉された物理的な値の、
後に数式（４ｂ）に示す依存関係を表す値に係わるもの
であるけれども、特に熱線（例えば加熱したワイヤ）を
用いたピラニ真空計で得られた測定信号の評価に関す
る。
測定信号であって、センサに捕捉された物理的な値の、
後に数式（４ｂ）に示す依存関係を表す値に係わるもの
であるけれども、特に熱線（例えば加熱したワイヤ）を
用いたピラニ真空計で得られた測定信号の評価に関す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】通常真空計は、特殊な
測定原理ではセンサー側で検出した圧力に依存する出力
信号を有している。これは、測定ヘッドの出力信号が、
調整カーブあるいは調整表により圧力値に変換されなけ
ればならないことを意味している。基本的に分析される
ガスの熱伝導性は、約１０-2ミリバール以下の低圧力の
ときでも、約１０ミリバール以上の高圧力のときでも、
漸近的に一定値をとるが、この領域では、熱伝導性の圧
力依存性は少く、依存カーブは平らであるから、特にそ
こでは測定感度は悪い。この領域では、信号／ノイズ比
が悪いので測定は益々支障を起し易い。
測定原理ではセンサー側で検出した圧力に依存する出力
信号を有している。これは、測定ヘッドの出力信号が、
調整カーブあるいは調整表により圧力値に変換されなけ
ればならないことを意味している。基本的に分析される
ガスの熱伝導性は、約１０-2ミリバール以下の低圧力の
ときでも、約１０ミリバール以上の高圧力のときでも、
漸近的に一定値をとるが、この領域では、熱伝導性の圧
力依存性は少く、依存カーブは平らであるから、特にそ
こでは測定感度は悪い。この領域では、信号／ノイズ比
が悪いので測定は益々支障を起し易い。
【０００６】また、アナログ／デジタル変換器を使用し
て、この領域で測定するときは、この変換器はそのため
高分解能と精度を有していなければならない、そしてそ
れは、量子化誤差によりＡ／Ｄ変換器の高ステップ数を
必要とする。
て、この領域で測定するときは、この変換器はそのため
高分解能と精度を有していなければならない、そしてそ
れは、量子化誤差によりＡ／Ｄ変換器の高ステップ数を
必要とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、その一見地に
おいて、前述の測定信号から、特に熱線式真空計装置
（ Heissdraht-Vakuummeteranordnung）により調整され
た信号から、簡単な方法で容易に読み取ることができる
出力信号特性を造りだすことを目的とし、簡単にそれか
ら、センサーにより受けとられた関係値を推定できると
いう意味で簡単に読み取ることができる。
おいて、前述の測定信号から、特に熱線式真空計装置
（ Heissdraht-Vakuummeteranordnung）により調整され
た信号から、簡単な方法で容易に読み取ることができる
出力信号特性を造りだすことを目的とし、簡単にそれか
ら、センサーにより受けとられた関係値を推定できると
いう意味で簡単に読み取ることができる。
【０００８】さらに、関係値に関して、測定圧力に関す
る真空計の場合のように、大きな測定範囲、好ましくは
６０以上が、大凡そ１０％の精度で達成される。
る真空計の場合のように、大きな測定範囲、好ましくは
６０以上が、大凡そ１０％の精度で達成される。
【０００９】２つの入力信号の自然対数（ｌｎ）に比例
する２つの信号が、２つのバイポーラトランジスタのベ
ースエミッタ電圧の利用により形成され、そしてこれが
減算され、したがって入力信号商のｌｎに対応する信号
が得られることは米国特許第９８３８６３号から公知で
ある。したがって、入力信号商のｌｎに正比例する出力
信号が作り出される。
する２つの信号が、２つのバイポーラトランジスタのベ
ースエミッタ電圧の利用により形成され、そしてこれが
減算され、したがって入力信号商のｌｎに対応する信号
が得られることは米国特許第９８３８６３号から公知で
ある。したがって、入力信号商のｌｎに正比例する出力
信号が作り出される。
【００１０】さらに、ドイツ国特許第３７４２３３４
号、ドイツ国特許第３２３０４０５号（以下に論述）に
対応する英国特許第２１０５０４７号、および米国特許
第２０３０９５６号参照。
号、ドイツ国特許第３２３０４０５号（以下に論述）に
対応する英国特許第２１０５０４７号、および米国特許
第２０３０９５６号参照。
【００１１】これは請求項１の記述によるアプローチの
とき達成される。
とき達成される。
【００１２】測定値、特にピラニ計における電圧と、関
係のある、そこのダイオードネットワークによる圧力と
の間の依存性補償のための公知の費用に比べれば、本発
明によるアプローチによって生ずる費用は極めて少く、
特性曲線の定存波比もかなり少く、その上圧力もかなり
大きい範囲に亘って所望の精度で検出可能である。
係のある、そこのダイオードネットワークによる圧力と
の間の依存性補償のための公知の費用に比べれば、本発
明によるアプローチによって生ずる費用は極めて少く、
特性曲線の定存波比もかなり少く、その上圧力もかなり
大きい範囲に亘って所望の精度で検出可能である。
【００１３】Rev.Sci.Instrum ４７，第９１２頁（１９
７６年）、Ｈ．Ｒ．ハイドバーから公知のように、約１
０-4から１ミリバールの限られた圧力範囲内で、アナロ
グ乗算法を用いて圧力に依存する線形出力信号を達成す
るさらに他の公知のアプローチに対して、本発明により
実現された対数圧力依存によって、分析増幅器の所定の
信号変調率のとき、かなり大きな測定範囲が得られる。
７６年）、Ｈ．Ｒ．ハイドバーから公知のように、約１
０-4から１ミリバールの限られた圧力範囲内で、アナロ
グ乗算法を用いて圧力に依存する線形出力信号を達成す
るさらに他の公知のアプローチに対して、本発明により
実現された対数圧力依存によって、分析増幅器の所定の
信号変調率のとき、かなり大きな測定範囲が得られる。
【００１４】また、１９８８年、ブラウンシュバイク，
Ｆ．フィヴェク・ウント・ゾーン出版、Ｍ．ヴッツ等の
「真空技術の理論と実際」第４１３頁から公知であるよ
うなアナログ対数比は、５×１０-3ミリバール乃至１０
ミリバールの圧力範囲における分析にのみ可能である。
Ｆ．フィヴェク・ウント・ゾーン出版、Ｍ．ヴッツ等の
「真空技術の理論と実際」第４１３頁から公知であるよ
うなアナログ対数比は、５×１０-3ミリバール乃至１０
ミリバールの圧力範囲における分析にのみ可能である。
【００１５】本発明によれば、既述のように、６０以上
変化する関係信号を検出できる、即ち熱線式真空計にお
いて少くとも１０-3乃至１０3 ミリバールの圧力範囲を
検出可能である。
変化する関係信号を検出できる、即ち熱線式真空計にお
いて少くとも１０-3乃至１０3 ミリバールの圧力範囲を
検出可能である。
【００１６】本発明による方法の好ましい実施例の変形
例が請求項２乃至５に、本発明による変換器が請求項６
に、その好ましい実施例の変形例が請求項７乃至１２に
明記されている。
例が請求項２乃至５に、本発明による変換器が請求項６
に、その好ましい実施例の変形例が請求項７乃至１２に
明記されている。
【００１７】さらに、請求項１３の記述によれば、請求
項１に明記されているように、関係値に関連している測
定すべき信号を発し、かつ本発明による変換器と組合わ
されたセンサーが提案されており、それによって互に調
和したセットの測定値記録装置（レコーダー）／分析電
子装置ユニットが作られる。
項１に明記されているように、関係値に関連している測
定すべき信号を発し、かつ本発明による変換器と組合わ
されたセンサーが提案されており、それによって互に調
和したセットの測定値記録装置（レコーダー）／分析電
子装置ユニットが作られる。
【００１８】セットとしてのそのような測定装置の好ま
しい実施例の変形がさらに請求項１４又は１５の記述に
よって示されている。
しい実施例の変形がさらに請求項１４又は１５の記述に
よって示されている。
【００１９】第２の見地では、本発明は、１９８８年、
ブラウンシュヴァイク，Ｆ．フィーヴェク・ウント・ゾ
ーン出版、ヴッツらの「真空技術の理論と実際」、第４
１３頁に示されているように、公知のピラニ測定ブリッ
ジ回路からスタートしている。この場合、ピラニ素子
は、ホイートストンブリッジの１つのブランチに接続さ
れている。一方のブリッジ対角線上に、ブリッジ作動電
圧として、逆フィードバックのため、測定オペアンプの
出力電圧がかけられる。サム・アンド・ディファレンス
(sum-and difference) 増幅器として形成されたオペア
ンプの入力は、ホイートストンブリッジの第２の対角線
にある。ホイートストンブリッジのブランチに温度補償
抵抗が設けられており、これは手動で調整される。周囲
温度変化が圧力変化と同様にピラニ素子に影響を与え
て、測定ミスを生ずるので、温度補償が設けられてい
る。ヴッツから公知の温度補償では、後者の温度補償は
ある温度のときのみ確実に行なわれる。
ブラウンシュヴァイク，Ｆ．フィーヴェク・ウント・ゾ
ーン出版、ヴッツらの「真空技術の理論と実際」、第４
１３頁に示されているように、公知のピラニ測定ブリッ
ジ回路からスタートしている。この場合、ピラニ素子
は、ホイートストンブリッジの１つのブランチに接続さ
れている。一方のブリッジ対角線上に、ブリッジ作動電
圧として、逆フィードバックのため、測定オペアンプの
出力電圧がかけられる。サム・アンド・ディファレンス
(sum-and difference) 増幅器として形成されたオペア
ンプの入力は、ホイートストンブリッジの第２の対角線
にある。ホイートストンブリッジのブランチに温度補償
抵抗が設けられており、これは手動で調整される。周囲
温度変化が圧力変化と同様にピラニ素子に影響を与え
て、測定ミスを生ずるので、温度補償が設けられてい
る。ヴッツから公知の温度補償では、後者の温度補償は
ある温度のときのみ確実に行なわれる。
【００２０】ドイツ国特許第３２３０４０５号から、ピ
ラニ測定回路の自動温度補償のため、ブリッジのブラン
チに温度補償素子として、温度に敏感な抵抗を設けるこ
とが公知であり、この抵抗を加算増幅器の入力の前に接
続されているさらに他の抵抗と熱的に結合し、この後者
の抵抗に標準電圧から生ずる信号を温度依存で供給す
る。
ラニ測定回路の自動温度補償のため、ブリッジのブラン
チに温度補償素子として、温度に敏感な抵抗を設けるこ
とが公知であり、この抵抗を加算増幅器の入力の前に接
続されているさらに他の抵抗と熱的に結合し、この後者
の抵抗に標準電圧から生ずる信号を温度依存で供給す
る。
【００２１】本発明の第２の見地では、本発明は、ヴッ
ツによる公知の装置からスタートして、その簡易性を維
持しながら、温度補償されたピラニ測定回路を提案する
ことを目的としており、その補償は、全測定範囲に亘っ
て見るとき、前記特許公報から公知であるかなり複雑な
補償回路よりも全く正確である。
ツによる公知の装置からスタートして、その簡易性を維
持しながら、温度補償されたピラニ測定回路を提案する
ことを目的としており、その補償は、全測定範囲に亘っ
て見るとき、前記特許公報から公知であるかなり複雑な
補償回路よりも全く正確である。
【００２２】この目的のため、請求項１６の記述による
本発明のピラニ測定回路は、請求項１７及び１８による
好ましい実施例の変形に示されている。本発明を例示的
に図により説明する。
本発明のピラニ測定回路は、請求項１７及び１８による
好ましい実施例の変形に示されている。本発明を例示的
に図により説明する。
【００２３】
【実施例】熱伝導真空計、あるいはピラニ真空計の原理
は、たとえば、Ｆ．フィーヴェック・ウント・ゾーン社
第４版（１９８８年）、Ｍ．ヴッツ等の「真空技術の理
論と実際」、第４０９頁以下によって公知である。
は、たとえば、Ｆ．フィーヴェック・ウント・ゾーン社
第４版（１９８８年）、Ｍ．ヴッツ等の「真空技術の理
論と実際」、第４０９頁以下によって公知である。
【００２４】ガスの熱伝導はガス圧力の関数であるか
ら、電熱パワーは、測定すべきガス内に浸漬されている
分析器の熱線で測定される。その場合、線条温度は一定
に保たれる。パワー精算はバランスしているので、供給
された電力（パワー）ＱELは、熱導体を経て排出された
パワーに相当する。周知の如く、供給された電力ＱELと
測定すべきガス圧力Ｐとの間には下記数式（１）の関係
がある。
ら、電熱パワーは、測定すべきガス内に浸漬されている
分析器の熱線で測定される。その場合、線条温度は一定
に保たれる。パワー精算はバランスしているので、供給
された電力（パワー）ＱELは、熱導体を経て排出された
パワーに相当する。周知の如く、供給された電力ＱELと
測定すべきガス圧力Ｐとの間には下記数式（１）の関係
がある。
【数６】 ここで、εは測定セルの感度、ｇはセル配置のジオメト
リーを考慮した係数ｐ0 はゼロ圧力ｐ0 に等しい干渉効
果を意味している。図１に、供給した電力ＱELとガス電
圧Ｐとの関係が図示されている。上記式（１）をガス圧
力Ｐによって解くと次式（２）のようになる。
リーを考慮した係数ｐ0 はゼロ圧力ｐ0 に等しい干渉効
果を意味している。図１に、供給した電力ＱELとガス電
圧Ｐとの関係が図示されている。上記式（１）をガス圧
力Ｐによって解くと次式（２）のようになる。
【数７】 漸近的な考察によって容易に明らかなように、εｐｏ
は、非常に低い圧力（ｐ《１０-4ミリバール）のとき変
換した電力、ε（ｐ0 ＋１／ｇ）は、高圧力（ｐ》１バ
ール）のとき変換した電力、を示している。供給した電
力ＱELは式（３）のようになる。
は、非常に低い圧力（ｐ《１０-4ミリバール）のとき変
換した電力、ε（ｐ0 ＋１／ｇ）は、高圧力（ｐ》１バ
ール）のとき変換した電力、を示している。供給した電
力ＱELは式（３）のようになる。
【数８】 ここで、ＵD は測定ワイヤにより降下した電圧、ＲD は
温度平衡状態における測定ワイヤの電気抵抗である。ま
た、たとえば上記ヴッツの第４１３頁により、Ｕがブリ
ッジの出力電圧であれば、式（３ａ）となる。
温度平衡状態における測定ワイヤの電気抵抗である。ま
た、たとえば上記ヴッツの第４１３頁により、Ｕがブリ
ッジの出力電圧であれば、式（３ａ）となる。
【数９】 上記式（２）と式（３）、あるいは式（３ａ）から
【数１０】 が得られる。また、漸近的特性に関する上記の説明を考
慮に入れると式（４ａ）が得られる。
慮に入れると式（４ａ）が得られる。
【数１１】 ここで、Ｕはピラニ装置の出力電圧、Ｕ0 は低圧力Ｐの
ときの漸近値、Ｕ∞は高圧力Ｐのときの漸近値を示す。
ときの漸近値、Ｕ∞は高圧力Ｐのときの漸近値を示す。
【００２５】特にガス熱伝導とガス圧力の（依存）関係
に対して図１に図示されているような関係は、基本的に
は当技術において他の場所でも、たとえば非線形ネット
ワークにも生ずることがあるので、下記の原理はまた、
式（４ａ）による真空計セルにおけるＵに対応する測定
値ｘから、真空計の圧力Ｐに対応する関連した物理的値
Ｙを推定するような場合にも適しているので、下記に一
般化した表示法に変えられる。そして式（４ａ）から式
（４ｂ）が得られる。
に対して図１に図示されているような関係は、基本的に
は当技術において他の場所でも、たとえば非線形ネット
ワークにも生ずることがあるので、下記の原理はまた、
式（４ａ）による真空計セルにおけるＵに対応する測定
値ｘから、真空計の圧力Ｐに対応する関連した物理的値
Ｙを推定するような場合にも適しているので、下記に一
般化した表示法に変えられる。そして式（４ａ）から式
（４ｂ）が得られる。
【数１２】 上式は近似的に以下の式（５）によって代えられる。
【数１３】 上記式（５）を対数で表わすと、
【数１４】 あるいは、
【数１５】 また、あるいは、ピラニ真空計セルにおける電圧によ
り、
り、
【数１６】 あるいは、
【数１７】 となる。このとき、定数ａ′及びｂ′は測定装置により
左右される。圧力ｐあるいは関連するディメンションｙ
は、測定電圧Ｕあるいは測定信号ｘと対数関係で示さ
れ、そしてそれが、図１の図表と同様に、所定の出力信
号変調率のとき極めて広範囲の圧力を検出する。
左右される。圧力ｐあるいは関連するディメンションｙ
は、測定電圧Ｕあるいは測定信号ｘと対数関係で示さ
れ、そしてそれが、図１の図表と同様に、所定の出力信
号変調率のとき極めて広範囲の圧力を検出する。
【００２６】図２に、式（６）あるいは式（６ｂ）によ
るアナログプログラミングが示されている。図２では、
ピラニ真空計に関する数値も、一般化した数値も使用さ
れている。
るアナログプログラミングが示されている。図２では、
ピラニ真空計に関する数値も、一般化した数値も使用さ
れている。
【００２７】２つの異なる図１および図３に、式
（６），式（６ｂ）により後で対数で表わされる双方の
差が図示されている。
（６），式（６ｂ）により後で対数で表わされる双方の
差が図示されている。
【００２８】差信号あるいはそれに関連する信号がそれ
ぞれ関数発生ユニット５あるいは７に送られる。入力Ｅ
5 あるいはＥ7 における上記差に相当する入力信号は、
場合によって適切に変換されて、コレクタ電流ＩC1ある
いはＩC2として、それぞれバイポーラトランジスタＴ1
あるいはＴ2 に送られ、そして出力Ａ5 あるいはＡ7に
おける変換器５あるいは７の出力値として、それぞれの
ベース／エミッタ電圧ＵBE1 あるいはＵBE2 に比例して
いる信号が分析される。周知の如く、バイポーラトラン
ジスタにおけるコレクタ電力とベース／エミッタ電圧と
の間には次の関係がある。
ぞれ関数発生ユニット５あるいは７に送られる。入力Ｅ
5 あるいはＥ7 における上記差に相当する入力信号は、
場合によって適切に変換されて、コレクタ電流ＩC1ある
いはＩC2として、それぞれバイポーラトランジスタＴ1
あるいはＴ2 に送られ、そして出力Ａ5 あるいはＡ7に
おける変換器５あるいは７の出力値として、それぞれの
ベース／エミッタ電圧ＵBE1 あるいはＵBE2 に比例して
いる信号が分析される。周知の如く、バイポーラトラン
ジスタにおけるコレクタ電力とベース／エミッタ電圧と
の間には次の関係がある。
【数１８】 この場合、λを以下の式（７ａ）のように示す。
【数１９】 このとき、ｅは電子電荷、Ｋはボルツマン定数、Ｔは絶
対温度を意味する。そして更に、Ｉs はコレクタ逆電流
を表す。
対温度を意味する。そして更に、Ｉs はコレクタ逆電流
を表す。
【００２９】双方のベースエミッタ電圧に関連（依存）
した信号は、式（６），（６ａ）によりヘテロダインユ
ニット９に重ね合わされ、そして最後に、再び上記の式
により、ウエイテングユニット(Gewichtungs einheit)
１０にて線形増幅される。ヘテロダインユニット９に更
に供給されたアイデイテイブ信号によって、一方では式
（４）から式（５）への移行のとき式（５）及び式
（６）により最適と思われる近似値が考慮され、他方に
おいては逆電流差が考慮される。ユニット１０において
考慮した乗算係数によって、一方では最適近似値に適し
ていると思われる式（５）の指数ｂ、及び他方において
λが考慮される。
した信号は、式（６），（６ａ）によりヘテロダインユ
ニット９に重ね合わされ、そして最後に、再び上記の式
により、ウエイテングユニット(Gewichtungs einheit)
１０にて線形増幅される。ヘテロダインユニット９に更
に供給されたアイデイテイブ信号によって、一方では式
（４）から式（５）への移行のとき式（５）及び式
（６）により最適と思われる近似値が考慮され、他方に
おいては逆電流差が考慮される。ユニット１０において
考慮した乗算係数によって、一方では最適近似値に適し
ていると思われる式（５）の指数ｂ、及び他方において
λが考慮される。
【００３０】変換のため設けられた双方のトランジスタ
Ｔ1 及びＴ2 は、好ましくは互に調和した対として選択
され、そして熱的に密接に結合しているので、逆電流も
温度も、したがってλも実質的に同じである。
Ｔ1 及びＴ2 は、好ましくは互に調和した対として選択
され、そして熱的に密接に結合しているので、逆電流も
温度も、したがってλも実質的に同じである。
【００３１】図２による関数変換ユニットの第１の好ま
しい実施例が図３に図示されている第１のオペアンプＯ
Ｐ1 の非反転入力にピラニ測定ブリッジ電圧Ｕあるいは
測定信号ｘが送られ、反転入力に、抵抗Ｒ0 を経て、漸
近的に図１による大きな圧力値に調整されたピラニ電圧
Ｕ∞あるいはｋZ が送られる。オペアンプＯＰ1 は、第
１のバイポーラトランジスタＴ1 を経て負帰還し、その
コレクタが反転オペアンプ入力に、そのエミッタがオペ
アンプの出力に接続されている。そのベースがアースあ
るいは標準電位におかれている。
しい実施例が図３に図示されている第１のオペアンプＯ
Ｐ1 の非反転入力にピラニ測定ブリッジ電圧Ｕあるいは
測定信号ｘが送られ、反転入力に、抵抗Ｒ0 を経て、漸
近的に図１による大きな圧力値に調整されたピラニ電圧
Ｕ∞あるいはｋZ が送られる。オペアンプＯＰ1 は、第
１のバイポーラトランジスタＴ1 を経て負帰還し、その
コレクタが反転オペアンプ入力に、そのエミッタがオペ
アンプの出力に接続されている。そのベースがアースあ
るいは標準電位におかれている。
【００３２】第２のオペアンプＯＰ2 の反転入力に、非
常に小さい電圧のとき漸近的にピラニ計から発生した電
圧に相当する電圧Ｕ0 が送られ、一方さらに他の抵抗Ｒ
0 を経て、ピラニ測定電圧Ｕあるいは測定値ｘが、ＯＰ
2 の非反転入力に送られる。
常に小さい電圧のとき漸近的にピラニ計から発生した電
圧に相当する電圧Ｕ0 が送られ、一方さらに他の抵抗Ｒ
0 を経て、ピラニ測定電圧Ｕあるいは測定値ｘが、ＯＰ
2 の非反転入力に送られる。
【００３３】オペアンプＯＰ2 の非反転入力と出力との
間に、トランジスタＴ2 のベース／コレクタラインがあ
り、そのエミッタがトランジスタＴ1 のエミッタに接続
されている。変換器回路の出力はＵOUT で示されてい
る。
間に、トランジスタＴ2 のベース／コレクタラインがあ
り、そのエミッタがトランジスタＴ1 のエミッタに接続
されている。変換器回路の出力はＵOUT で示されてい
る。
【００３４】図示の回路は下記のように作動する：ＯＰ
1 ，Ｔ1 を有する右のステップは、たとえばミュンヘン
市のフランツィス出版社、ミクロスヘルピイの「アナロ
グ集積回路」第３０７頁から知られているような公知の
方法で、トランジスタ１に対するλ1 及びＩS1と、標準
電位に対する出力電圧とを発し、それは、
1 ，Ｔ1 を有する右のステップは、たとえばミュンヘン
市のフランツィス出版社、ミクロスヘルピイの「アナロ
グ集積回路」第３０７頁から知られているような公知の
方法で、トランジスタ１に対するλ1 及びＩS1と、標準
電位に対する出力電圧とを発し、それは、
【数２０】 となり、そしてこれはベース／エミッタ電圧ＵBE1 に等
しい。
しい。
【００３５】ＯＰ2 における電圧差Δには、
【数２１】 が適用されることを考慮すると、さらに、第２のオペア
ンプＯＰ2 の出力電圧に等しい回路の出力電圧には、
ンプＯＰ2 の出力電圧に等しい回路の出力電圧には、
【数２２】 が適用される。この場合、ＧはオペアンプＯＰ2 のオー
プンループの増幅度を示し、そしてさらに双方のオペア
ンプ／トランジスタステップは、式（１１）により接続
されている。
プンループの増幅度を示し、そしてさらに双方のオペア
ンプ／トランジスタステップは、式（１１）により接続
されている。
【数２３】 したがって、高いオープンループ増幅度Ｇにより出力電
圧は、式（１２）のようになる。
圧は、式（１２）のようになる。
【数２４】 但し、
【数２５】 である。図３の左のステップのＲ0 に破線で示したよう
に、双方のトランジスタＴ1 及びＴ2 の異なる逆電流Ｉ
S は、双方の抵抗Ｒ0 の調整によって補償される。
に、双方のトランジスタＴ1 及びＴ2 の異なる逆電流Ｉ
S は、双方の抵抗Ｒ0 の調整によって補償される。
【００３６】図３による変換ユニットの出力電圧に対す
る式（１２）と式（６ａ）、あるいは（６ｃ）との比較
は、線形ゾーン係数および相加 (additive) 定数まで、
上記変換路回路の出力電圧ＵOUT は、対数的にピラニ測
定装置で測定したガス電圧Ｐに左右され、その出力電圧
の対数が測定すべき圧力に比例する。
る式（１２）と式（６ａ）、あるいは（６ｃ）との比較
は、線形ゾーン係数および相加 (additive) 定数まで、
上記変換路回路の出力電圧ＵOUT は、対数的にピラニ測
定装置で測定したガス電圧Ｐに左右され、その出力電圧
の対数が測定すべき圧力に比例する。
【００３７】図４に、さらに他の好ましい変換器回路が
図示されている。再びこの回路では、測定信号としてピ
ラニブリッジの出力電圧Ｕが図示されており、かつ測定
信号ｘが一般化されている。この変換器構成において、
測定信号又は測定電圧Ｕは、抵抗Ｒ0 を経てオペアンプ
ＯＰの非反転入力に送られ、その反転入力には、小さい
電圧のとき漸近的に受け入れられる電圧値Ｕ0 が送られ
る。オペアンプＯＰの出力は、バイポーラトランジスタ
Ｔ3 のベース／コレクタラインを経てこの増幅器の非反
転入力にフィードバックされる。トランジスタＴ3 のエ
ミッタは、さらに他のトランジスタＴ4 のエミッタに接
続される。
図示されている。再びこの回路では、測定信号としてピ
ラニブリッジの出力電圧Ｕが図示されており、かつ測定
信号ｘが一般化されている。この変換器構成において、
測定信号又は測定電圧Ｕは、抵抗Ｒ0 を経てオペアンプ
ＯＰの非反転入力に送られ、その反転入力には、小さい
電圧のとき漸近的に受け入れられる電圧値Ｕ0 が送られ
る。オペアンプＯＰの出力は、バイポーラトランジスタ
Ｔ3 のベース／コレクタラインを経てこの増幅器の非反
転入力にフィードバックされる。トランジスタＴ3 のエ
ミッタは、さらに他のトランジスタＴ4 のエミッタに接
続される。
【００３８】トランジスタＴ4 のベース及びコレクタ
は、標準電位、図ではアースにおかれる。同調可能な直
流電源Ｑが、トランジスタＴ3 及びＴ4 の接続したエミ
ッタと標準電位との間に接続されている。電源Ｉ0 は、
は、標準電位、図ではアースにおかれる。同調可能な直
流電源Ｑが、トランジスタＴ3 及びＴ4 の接続したエミ
ッタと標準電位との間に接続されている。電源Ｉ0 は、
【数２６】 のように調整される。オペアンプ入力における電圧差Δ
には、更に式（９）が適用され、同様に出力電圧ＵOUT
及びトランジスタＴ3 とＴ4 の双方のベース／エミッタ
電圧には更に式（１１）が適用される。
には、更に式（９）が適用され、同様に出力電圧ＵOUT
及びトランジスタＴ3 とＴ4 の双方のベース／エミッタ
電圧には更に式（１１）が適用される。
【００３９】上記式（１４）を考慮して、さらに式（１
３）を含む式（１２）による出力電圧が得られる。
３）を含む式（１２）による出力電圧が得られる。
【００４０】ピラニ真空計の出力電圧Ｕの分析に使用さ
れる図４による好ましい装置によれば、１０-3ミリバー
ルから１０3 ミリバール、即ち６０以上の圧力範囲にお
いて、約±１０％のそれぞれ調整したガス電圧Ｐに比べ
て、圧力値に関して、変換器出力信号の精度が達成され
る。極端に大きな測定範囲から見ても、簡単な提案され
た手段によって達成されるこの精度は驚くべきことであ
る。
れる図４による好ましい装置によれば、１０-3ミリバー
ルから１０3 ミリバール、即ち６０以上の圧力範囲にお
いて、約±１０％のそれぞれ調整したガス電圧Ｐに比べ
て、圧力値に関して、変換器出力信号の精度が達成され
る。極端に大きな測定範囲から見ても、簡単な提案され
た手段によって達成されるこの精度は驚くべきことであ
る。
【００４１】提案されたアプローチ、そして特に図３及
び図４などによる有利に使用された変換器回路は、当業
者に対して、図２によるアプローチを実現する新たな可
能性を与え、少ない電子回路コストにより、関数変換器
を直接測定ヘッドあるいは測定値ｘを検出する測定値レ
コーダー内に内蔵し、あるいは、特殊と言われる場合に
は、少くとも１つのピラニ真空計セル、又はピラニ真空
計の測定セルブリッジと、変換器とを有するセンサーを
直接、真空計測定ヘッドに組み込む可能性を与える。
び図４などによる有利に使用された変換器回路は、当業
者に対して、図２によるアプローチを実現する新たな可
能性を与え、少ない電子回路コストにより、関数変換器
を直接測定ヘッドあるいは測定値ｘを検出する測定値レ
コーダー内に内蔵し、あるいは、特殊と言われる場合に
は、少くとも１つのピラニ真空計セル、又はピラニ真空
計の測定セルブリッジと、変換器とを有するセンサーを
直接、真空計測定ヘッドに組み込む可能性を与える。
【００４２】このような測定ヘッドが図５に概略的に図
示されている。
示されている。
【００４３】測定パイプ２１を有する測定ヘッドハウジ
ング２０が、真空フランジ２２で終っている。測定パイ
プ２１内に、外管２６と、ピラニ測定ワイヤ２７とを備
えて形成されたピラニ素子２４が配置されている。伝熱
性の、断熱されてハウジング２０内に取付けられたパイ
プ２６の外側に、温度補償素子２８が配置されており、
ピラニ熱線を除き、電子プレート３０上に取付けられて
いるホイートストンブリッジ素子の電気部品が配置され
ている。
ング２０が、真空フランジ２２で終っている。測定パイ
プ２１内に、外管２６と、ピラニ測定ワイヤ２７とを備
えて形成されたピラニ素子２４が配置されている。伝熱
性の、断熱されてハウジング２０内に取付けられたパイ
プ２６の外側に、温度補償素子２８が配置されており、
ピラニ熱線を除き、電子プレート３０上に取付けられて
いるホイートストンブリッジ素子の電気部品が配置され
ている。
【００４４】図３又は図４によって説明した使用したト
ランジスタの冷却体が３２で概略的に図示されている。
測定ヘッドは、プラグ接続具３４により、表示機器ある
いは測定計算機の端子３６に接続されている。電子プレ
ート３０上に、上記の測定ブリッジの他に、図４による
実施例の場合、図３又は図４による好ましい実施例に本
発明による変換器が取付けられている。
ランジスタの冷却体が３２で概略的に図示されている。
測定ヘッドは、プラグ接続具３４により、表示機器ある
いは測定計算機の端子３６に接続されている。電子プレ
ート３０上に、上記の測定ブリッジの他に、図４による
実施例の場合、図３又は図４による好ましい実施例に本
発明による変換器が取付けられている。
【００４５】図６に、一方では本発明によるピラニ測定
回路が破線で囲まれ、記号「Ｉ」で示されており、更
に、同様に囲まれた記号「II」には、図４による変換器
回路が図示されている。この変換器ブロックIIに関して
は、図４に使用したと同じ参照符号が使用されている。
回路が破線で囲まれ、記号「Ｉ」で示されており、更
に、同様に囲まれた記号「II」には、図４による変換器
回路が図示されている。この変換器ブロックIIに関して
は、図４に使用したと同じ参照符号が使用されている。
【００４６】ホイートストン測定ブリッジは、ブリッジ
ブランチのピラニ素子３８と、抵抗Ｒ1 ，Ｒ3 ，Ｒ
2 と、ＰＴＣ−抵抗素子の形で図示されるような温度に
関連（依存）したさらに他の素子とを含む。後者の素子
は、ピラニ素子３８と熱的に密接に結合されており、そ
して図５の素子２８に相当している。
ブランチのピラニ素子３８と、抵抗Ｒ1 ，Ｒ3 ，Ｒ
2 と、ＰＴＣ−抵抗素子の形で図示されるような温度に
関連（依存）したさらに他の素子とを含む。後者の素子
は、ピラニ素子３８と熱的に密接に結合されており、そ
して図５の素子２８に相当している。
【００４７】測定電圧は、サム・アンド・ディファレン
ス増幅器として作動するオペアンプＯＰpiによって測定
ブリッジ対角線にかけられ、オペアンプＯＰpiの出力信
号がブリッジ作動電圧として第２のブリッジ対角線に加
えられる。安定化キャパシタンスがＣで示されている。
ス増幅器として作動するオペアンプＯＰpiによって測定
ブリッジ対角線にかけられ、オペアンプＯＰpiの出力信
号がブリッジ作動電圧として第２のブリッジ対角線に加
えられる。安定化キャパシタンスがＣで示されている。
【００４８】ＰＴＣ−素子を有する測定ブリッジブラン
チは、中間タップを有している。後者の中間タップと、
ピラニ素子および抵抗Ｒ1 が接続されているブリッジ点
との間に基準電圧Ｕref1を有する電圧源が接続されてお
り、それぞれ抵抗Ｒを経てそれ等の接続点に接続されて
いる。室温のとき、ピラニ測定ワイヤの抵抗とＲ1 の抵
抗とは実質的に等しく、同様にＲ3 の抵抗とＰＴＣ及び
Ｒ2 の合計した抵抗とが等しい。
チは、中間タップを有している。後者の中間タップと、
ピラニ素子および抵抗Ｒ1 が接続されているブリッジ点
との間に基準電圧Ｕref1を有する電圧源が接続されてお
り、それぞれ抵抗Ｒを経てそれ等の接続点に接続されて
いる。室温のとき、ピラニ測定ワイヤの抵抗とＲ1 の抵
抗とは実質的に等しく、同様にＲ3 の抵抗とＰＴＣ及び
Ｒ2 の合計した抵抗とが等しい。
【００４９】明らかなように、このようにして唯一の温
度に関連（依存）した補償回路素子と、Ｕref1における
調整可能性とを有している最も簡単なブリッジ回路が実
現される。勿論、ＰＴＣ−素子の代りに、Ｒ3 を有する
ブリッジブランチにＮＴＣ−素子を設けることができ
る。
度に関連（依存）した補償回路素子と、Ｕref1における
調整可能性とを有している最も簡単なブリッジ回路が実
現される。勿論、ＰＴＣ−素子の代りに、Ｒ3 を有する
ブリッジブランチにＮＴＣ−素子を設けることができ
る。
【００５０】Ｔ3 及びＴ4 の双方のベース間に更に他の
ＰＴＣが接続されていて、更に他の基準電圧Ｕref2が加
えられ、それがＰＴＣ素子を熱的に密接にトランジスタ
Ｔ3，Ｔ4 に結合されているという主たる追加の特徴を
除けば、変換器ステップIIは、既に図４によって説明し
た変換器ステップに対応している。したがって、逆電流
及びλに関するトランジスタＴ3 ，Ｔ4 の相違は補償さ
れる。
ＰＴＣが接続されていて、更に他の基準電圧Ｕref2が加
えられ、それがＰＴＣ素子を熱的に密接にトランジスタ
Ｔ3，Ｔ4 に結合されているという主たる追加の特徴を
除けば、変換器ステップIIは、既に図４によって説明し
た変換器ステップに対応している。したがって、逆電流
及びλに関するトランジスタＴ3 ，Ｔ4 の相違は補償さ
れる。
【００５１】
【発明の効果】このように、本発明によれば、上述の課
題が解決され、測定信号の変換が容易に、且つ精度よく
実現される。
題が解決され、測定信号の変換が容易に、且つ精度よく
実現される。
【図１】一定温度のとき、ピラニ真空計に供給された電
力と測定ガスの電圧Ｐとの関係を示す対数図表である。
力と測定ガスの電圧Ｐとの関係を示す対数図表である。
【図２】本発明に係る変換器の基本的構成を概略的に示
した説明図である。
した説明図である。
【図３】本発明に係る変換器の好ましい実施例を示した
回路構成図である。
回路構成図である。
【図４】本発明に係る変換器の好ましい実施例を示した
回路構成図である。
回路構成図である。
【図５】本発明に係る測定ヘッドを概略的に示した断面
図である。
図である。
【図６】本発明に係るピラニ測定回路を有した測定ヘッ
ドの回路図である。
ドの回路図である。
５，７…関数発生ユニット ９…ヘテロダインユニット １０…ウエイテングユニット ２０…測定ヘッドハウジング ２１…測定パイプ ２２…真空フランジ ２４…ピラニ素子 ２６…パイプ ２７…測定ワイヤ ２８…温度補償素子 ３０…電子プレート ３２…冷却体 ３４…プラグ ３６…端子 ３８…ピラニ素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 21/12 G01D 3/02
Claims (18)
- 【請求項１】 少くとも最初の近似計算において数式
（ａ）のように、 【数１】 このとき、関係値（ｙ）に左右される信号のｙは関係
値、 ｘは測定信号、 ｋは定数を示し、関係値（ｙ，Ｐ）に関連している測定
信号（ｘ，Ｕ）の変換方法において、 数式（ｂ）によりｙが近似的に決められ、 【数２】 このとき、ｐｒｏｐは「比例」を意味し、 そしてこれ等の関数が、少なくとも２つのバイポーラト
ランジスタの使用と、 【数３】 このとき、ｙ′は出力信号である、上記式（ｃ）のｙ′
により出力信号を得るためトランジスタのコレクタ電流
とそのベースエミッタ電圧との関係の利用とによって近
似的に実現されることを特徴とする、測定された信号を
変換するための方法。 - 【請求項２】 双方のトランジスタが熱的に密接に結合
されている請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 トランジスタの異なる逆電流が調整され
る請求項１又は２に記載の方法。 - 【請求項４】 乗算定数及び更に他の加算定数の選択に
よって、関係値ｙと測定値レコーダーにおける測定値ｘ
との間の関係を考慮して、上記数式（ａ）における数式
（ｂ）の近似値が最適化される請求項１乃至３のいずれ
か１項に記載の方法。 - 【請求項５】 測定される信号がピラニ真空装置の出力
電圧であり、そしてｋN が漸近的に測定ガスの圧力減少
のときに前記装置から発する電圧であり、ｋZ が漸近的
に高圧力値に対して発せられる電圧である、請求項１乃
至４のいずれか１項に記載の方法。 - 【請求項６】 少くとも近似的に数式（ａ）のように、 【数４】 このとき、ｙは関係値、 ｘは測定信号、 ｋは定数を示し、関係値に関連している測定信号（ｘ）
の変換のための変換器において、 少くとも２つの変換用バイポーラトランジスタが設けら
れており、そのコレクタがそれぞれ （ｘ−ｋN ）及び（ｋZ −ｘ） に比例する電流を供給され、そしてその結果得られるト
ランジスタのベース／エミッタ電圧が出力信号形成のた
めに以下の数式のように 【数５】 互いに演算されることを特徴とする変換器。 - 【請求項７】 変換器がアナログ技術で設計されている
請求項６に記載の変換器。 - 【請求項８】 一方のトランジスタ（Ｔ1 ）が、そのエ
ミッタ／コレクタラインをオペアンプ（ＯＰ1 ）のフィ
ードバックラインに接続されている請求項６又は７に記
載の変換器。 - 【請求項９】 第２のトランジスタ（Ｔ2 ）が、そのコ
レクタ／ベースラインをさらに他のオペアンプ（Ｏ
Ｐ2 ）の出力と非反転入力との間に接続されており、そ
してトランジスタ（Ｔ1 ，Ｔ2 ）の双方のエミッタが接
続されており、変換器出力（ＵOUT ）が第２のオペアン
プ（ＯＰ2 ）の出力に接続されている請求項８に記載の
変換器。 - 【請求項１０】 １つのトランジスタ（Ｔ3 ）が、オペ
アンプ（ＯＰ）におけるコレクタ／ベースラインにより
出力から入力へのフィードバックラインを形成している
請求項６又は７に記載の変換器。 - 【請求項１１】 第２のトランジスタ（Ｔ4 ）のコレク
タ及びベースが標準電位に置かれており、双方のトラン
ジスタ（Ｔ3 ，Ｔ4 ）のエミッタが接続されていて、そ
して接続点が好ましくは調整可能な電源（Ｑ）によって
標準電位に置かれる請求項１０に記載の変換器。 - 【請求項１２】 トランジスタ（Ｔ3 ，Ｔ4 ）の温度依
存関係補償のため、トランジスタの少くとも１つの熱的
に結合されている更に他の温度依存回路素子、好ましく
はＰＴＣ−抵抗素子あるいはＮＴＣ−抵抗素子が設けら
れている請求項６乃至１１のいずれか１項に記載の変換
器。 - 【請求項１３】 測定信号（ｘ）を発する記録すべき関
係値のためのセンサーを有している測定装置において、 センサーが、請求項６乃至１２のいずれか１項に記載の
変換器に接続されていることを特徴とする測定装置。 - 【請求項１４】 変換器及びセンサーから測定値記録計
内に組み込まれている請求項１３に記載の装置。 - 【請求項１５】 センサーが、少くとも１つのピラニ真
空計を含む請求項１３又は１４に記載の装置。 - 【請求項１６】 ブリッジブランチ（ＰＴＣ，Ｒ2 ）が
中間タップを有し、そして抵抗素子（Ｒ）を経て、ピラ
ニ素子に接続したブリッジ点と中間タップとの間に電圧
（Ｕref1）が接続され、そして更にブリッジに温度補償
素子（ＰＴＣ）が設けられていることを特徴とする、ピ
ラニ素子を備えたブリッジ回路を有するピラニ測定回
路。 - 【請求項１７】 温度補償が、ブリッジ内の温度依存素
子のみによって、好ましくはピラニ素子（３８）に熱的
に結合されるＰＴＣ−抵抗素子又はＮＴＣ−抵抗素子に
よって行なわれる請求項１６に記載の測定回路。 - 【請求項１８】 測定ブリッジの対角線上に、サム・ア
ンド・ディファレンス増幅器が接続されており、その出
力電圧が、測定ブリッジの第２の対角線にかけられてい
る請求項１６又は１７に記載の測定回路。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH2278/92A CH684805A5 (de) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | Verfahren zur Wandlung eines gemessenen Signals, Wandler zu dessen Ausführung sowie Messanordnung. |
| CH02278/92-0 | 1992-07-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160226A JPH06160226A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3213125B2 true JP3213125B2 (ja) | 2001-10-02 |
Family
ID=4230034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17917093A Expired - Fee Related JP3213125B2 (ja) | 1992-07-20 | 1993-07-20 | 測定された信号を変換するための方法及び変換器、並びに測定装置及びピラニ測定回路 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5475623A (ja) |
| JP (1) | JP3213125B2 (ja) |
| CH (1) | CH684805A5 (ja) |
| DE (1) | DE4324119C2 (ja) |
| FR (1) | FR2693814B1 (ja) |
| IT (1) | IT1265164B1 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4445534C1 (de) * | 1994-12-20 | 1995-11-23 | Saskia Hochvakuum Und Labortec | Verfahren und Vorrichtung zum Gewinnen eines Kalibrierwerts für einen piezoelektrischen Vakuum-Druckmesser |
| US6023979A (en) | 1997-07-21 | 2000-02-15 | Helix Technology | Apparatus and methods for heat loss pressure measurement |
| US7076920B2 (en) * | 2000-03-22 | 2006-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Method of using a combination differential and absolute pressure transducer for controlling a load lock |
| US7087451B2 (en) | 2004-03-24 | 2006-08-08 | Intel Corporation | Microfabricated hot wire vacuum sensor |
| US7483795B2 (en) * | 2004-08-10 | 2009-01-27 | Robertshaw Controls Company | Pressure and temperature compensation algorithm for use with a piezo-resistive strain gauge type pressure sensor |
| JP4316007B2 (ja) | 2007-09-13 | 2009-08-19 | キヤノンアネルバテクニクス株式会社 | ピラニ真空計 |
| US8878598B2 (en) * | 2010-12-28 | 2014-11-04 | British Virgin Islands Central Digital Inc. | Sensing module |
| CH704815A1 (de) * | 2011-03-30 | 2012-10-15 | Inficon Gmbh | Gasdruckmesszellenanordnung. |
| US9429479B2 (en) * | 2012-07-18 | 2016-08-30 | Millar Instruments | Methods, devices, and systems which determine a parameter value of an object or an environment from a voltage reading associated with a common mode signal of a balanced circuit |
| DE102013219437B4 (de) * | 2013-09-26 | 2015-12-10 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bewerten einer Güte eines Vakuums |
| US10845263B2 (en) | 2018-04-17 | 2020-11-24 | Mks Instruments, Inc. | Thermal conductivity gauge |
| WO2020121576A1 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | 株式会社アルバック | 真空計及びこの真空計を備える圧力測定システム |
| EP3690417A1 (en) * | 2019-02-01 | 2020-08-05 | Sens4 A/S | Apparatus for heat-loss vacuum measurement with improved temperature compensation and extended measurement range |
| US12123794B2 (en) * | 2022-10-11 | 2024-10-22 | Mks Instruments, Inc. | Pirani gauge with model of power dissipation |
| CN115683296B (zh) * | 2022-12-30 | 2023-04-18 | 广东泓胜科技股份有限公司 | 道路称重传感器数据的动态阈值处理方法及相关设备 |
Family Cites Families (14)
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|---|---|---|---|---|
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| US4604532A (en) * | 1983-01-03 | 1986-08-05 | Analog Devices, Incorporated | Temperature compensated logarithmic circuit |
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