JP3212411B2 - 半導体加速度センサ及びそれを用いた半導体加速度検出装置 - Google Patents

半導体加速度センサ及びそれを用いた半導体加速度検出装置

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JP3212411B2
JP3212411B2 JP10814693A JP10814693A JP3212411B2 JP 3212411 B2 JP3212411 B2 JP 3212411B2 JP 10814693 A JP10814693 A JP 10814693A JP 10814693 A JP10814693 A JP 10814693A JP 3212411 B2 JP3212411 B2 JP 3212411B2
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acceleration sensor
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板上に形成さ
れ、自動車のエアバックシステムにおける衝突検出部等
に用いられる半導体加速度センサ及びそれを用いた半導
体加速度検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、次のような文献に記載されるものがあった。 文献1;アイーイーイーイー トランス エレクトロン
デバイシーズ(IEEETrans. Electron Devices)、
D−26[12](1979-12)、(米)、Lynn Michelle
Roylance,James B Angell 著“A Batch-Fabricated Sil
icon Accelerometer”P.1911-1917 文献2;電子情報通信学会論文誌、J75-C-II[10]( 19
92-10)、白井,裏,江刺“2線式シリコン容量形加速度
センサ”P.554-562 文献3;テクニカル ダイジェスト オブ ザ イレブ
ンス センサ シンポジウム(Technical Digest of Se
nsor Symposium) 、(1992)、電気学会、Matsumoto,Esas
hi著“Integrated Capacitive Accelerometer with Nov
el Electrostatic Force Balancing”P.47-50 近年、半導体基板上に形成された超小型半導体加速度セ
ンサが、多く開発されている。これらの加速度センサの
多くは、異方性エッチング等の技術を用いてシリコン
(Si)を加工することにより、3次元的な形状とされ
ている。従来の技術における半導体加速度センサは、加
速度の変化に伴う半導体圧電素子の抵抗(ピエゾ抵抗)
の抵抗値変化、或いは微小な容量の変化を検知してい
る。
【0003】第1の従来例 図2は、半導体加速度センサの第1の従来例を示す平面
図であり、図3は図2の断面図を示している。図2は、
文献1に示されているピエゾ抵抗の抵抗値変化から、加
速度を検出する半導体加速度センサ10である。半導体
加速度センサ10は、ガラス11−シリコン基板12−
ガラス11のサンドイッチ構造である。シリコン基板1
2は1枚の基板から作成され、加速度を受けると撓む片
持ち梁(カンチレバービーム)13と撓まない固定部か
らなっている。半導体加速度センサ10の中心部に、そ
のカンチレバービーム13が置され、カンチレバービ
ーム13の先端には、加速度を感知する重錘体14が構
成されている。カンチレバービームの根元は、シリコン
の幅が狭い梁(ビーム)部分15となっていて、重錘体
14がビーム部分13,15で支えられている。上下の
ガラスカバー11とカンチレバービーム13との間は、
空間であり、該カンチレバービーム13が振動できる構
成となっている。そのビーム15部分の上部には、Pタ
イプのピエゾ抵抗16aが形成され、カンチレバービー
ム13以外の固定部分には、温度補償用のピエゾ抵抗1
6bが形成されている。半導体加速度センサ10は、さ
らに高濃度のP+ タイプで構成されてピエゾ抵抗16
a,16bにそれぞれ接続された導体17と、その導体
17に接続された電極18とを有している。各電極18
は、リード線19と導電性エポキシで接続されている。
次に、半導体加速度センサ10の動作を図2,図3を参
照しつつ説明する。図3において、半導体加速度センサ
10が上下方向に加速度を受けると、重錘体14が振動
する。重錘体14の振動によってビーム部分15に応力
が加って撓み、ピエゾ抵抗16aの抵抗値が変化する。
一方、ピエゾ抵抗16bは、加速度に影響されず環境温
度の変化により、抵抗値が変化する。各ピエゾ抵抗16
a,16bの抵抗値の変化が、電極及びリード線を介し
て、外部の検出器で検出される。外部の検出器で環境温
度の変化よる抵抗値の変動が除去されて加速度が求め
られる。
【0004】第2の従来例 図4は、半導体加速度センサの第2の従来例を示す平面
図であり、図5は、図4の断面図を示している。図4
は、文献23に示されている微小な容量の変化から、
加速度を検出する半導体加速度センサ20である。加速
度センサ20は、ガラスカバー21−シリコン基板22
−ガラスカバー21のサンドイッチ構造である。各ガラ
スカバー21の内側には、チタン(Ti)の上に酸化し
にくい白金(Pt)をつけた2層膜の電極23が、それ
ぞれ形成されている。加速度センサ20の中央部には、
加速度が与えられたときに振動する重錘体24があり、
該重錘体24の表面と電極23,23との間でコンデン
サC1,C2がそれぞれ構成されている。重錘体24は
シリコンで構成され、重錘体24が、シリコンオキシナ
イトライド(SiON)で構成された複数の梁(ビー
ム)25で支えられている。半導体加速度センサ20に
は、さらに、容量検出用の回路26,26と電極27
27がシリコン基板22上に形成されている。次に、図
4及び図5を参照しつつ半導体加速度センサ20の動作
を説明する。図5において、半導体加速度センサ20が
上下方向に加速度を受けると、重錘体24が上下に振動
する。この重錘体24の振動により、ガラスカバー2
,21上の電極23,23とシリコン重錘体24間の
距離が変化し、コンデンサC1,C2の容量値が変化す
る。この容量値の変化を検出することにより、加速度が
求められる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体加速度センサにおいては、次のような課題があっ
た。加速度をうけて振動する振動体を有する加速度セン
サでは、振動体の構造等で決まる固有振動によってその
能力が制限される。即ち、突発的で衝撃的な加速度を検
出するためには、固有振動数が高く、使用可能周波数の
バンド幅の広い加速度センサが必要である。しかるに、
従来の半導体加速度センサ10,20では、加速度をう
けて振動をする図2,図3のカンチレバービーム13或
いは図4,図5の重錘体24の持つ固有振動数によって
制限を受け、固有振動数を高めた構造とすると、振動体
の変位が減少して検出感度が低下する。また、逆に、感
度を高めると、使用可能な周波数のバンド幅が狭くなっ
ていた。即ち、圧電素子の抵抗(ピエゾ抵抗)の抵抗値
変化、或いは微小なキャパシタンスの変化を検知して加
速度を求める従来の半導体加速度センサ10,20で
は、このことを解決することが困難であった。本発明
前記従来技術が持っていた課題として、周波数のバ
ンド幅を広くできない或いは感度を高められない点につ
いて解決した半導体加速度センサ及びそれを用いた半導
体加速度検出装置を提供するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】記課題を解決するため
に、本発明のうちの第1の発明は、加速度の印加によっ
て撓む片持ち梁状のカンチレバービームが半導体基板に
形成された半導体加速度センサにおいて、前記半導体基
板に設けられ、光信号を入力する入力用光ファイバを固
定する第1の接続部と、前記半導体基板に設けられ、光
信号を出力する出力用光ファイバを固定する第2の接続
部と、前記カンチレバービーム上に蛇行状に形成され、
かつ入力端が前記第1の接続部を介して前記入力用光フ
ァイバに接続されると共に、出力端が前記第2の接続部
を介して前記出力用光ファイバに接続された光導波路と
を設けている。そして、前記光導波路は、前記カンチレ
バービームの撓み量に応じて長さが変化し、前記入力光
用光ファイバからの光信号の経路長を変えて前記出力用
光ファイバへ出力する構成にしている。第2の発明は、
加速度の印加によって撓む片持ち梁状のカンチレバービ
ームが半導体基板に形成された半導体加速度センサに
いて前記半導体基板に設けられ、光信号を入出力する
入出力用光ファイバを固定する接続部と、前記半導体基
板上に設けられ前記光信号を反射する反射鏡と、前記
カンチレバービーム上に蛇行状に形成され、かつ一端が
前記接続部を介して前記光ファイバに接続され、他端が
前記反射鏡に接続された光導波路とを設けている。そし
前記光導波路は前記カンチレバービームの撓み量
に応じて経路長が変り、その経路中を前記光ファイバか
らの入力光信号を前記反射鏡へ伝送し、かつ前記反射鏡
からの反射光を前記光ファイバへ出力する構成にしてい
る。
【0007】第3の発明は、第1の発明の半導体加速度
センサにおいて、前記第1第2の接続部及び前記光導
波路と同一構造のものを前記半導体基板上に設けてい
る。第4の発明は、第2の発明の半導体加速度センサに
おいて、前記接続部、前記反射鏡及び前記光導波路と同
一構造のものを前記半導体基板上に設けている。第5の
発明は、半導体加速度検出装置において、第1の発明の
半導体加速度センサと、前記出力用光ファイバからの光
信号と参照光信号との位相差を検出する位相差検出回路
と、前記位相差検出回路の出力信号に応じた電圧を生成
するドリフト補償回路と、前記カンチレバービームと対
抗する箇所に設けられ、前記ドリフト補償回路の出力信
号に基づき、クーロン力で前記カンチレバービームの変
位を制御する電極とを、備えている。第6の発明は、半
導体加速度検出装置において、第2の発明の半導体加速
度センサと、前記光ファイバからの光信号と参照光信号
との位相差を検出する位相差検出回路と、前記位相差検
出回路の出力信号に応じた電圧を生成するドリフト補償
回路と、前記カンチレバービームと対抗する箇所に設け
られ、前記ドリフト補償回路の出力信号に基づき、クー
ロン力で前記カンチレバービームの変位を制御する電極
とを、備えている。第7の発明は、半導体加速度検出装
置において、第4の発明の半導体加速度センサと、前記
各接続部からの出力光信号間の位相差を検出する位相差
検出回路と、前記位相差検出回路の出力信号に応じた電
圧を生成するドリフト補償回路と、前記カンチレバービ
ームと対抗する箇所に設けられ、前記ドリフト補償回路
の出力信号に基づき、クーロン力で前記カンチレバービ
ームの変位を制御する電極とを、備えている。
【0008】
【作用】第1〜第7の発明によれば、以上のように半導
体加速度センサを構成したので、接部が光ファイバと
光導波路を接合ている。半導体基板の成す平面に対し
て垂直な方向(或いは、それに近い方向)の加速度を
片持ち梁状のカンチレバービームが感知して撓むと、そ
のカンチレバービームの撓みにより、蛇行状に形成され
光導波路の長さが変化する。光導波路の長さの変化
は、伝送される光信号の位相を変化させる。その位相の
変化から加速度が求められる。第2の発明によれば、反
射鏡が光導波路を通る光信号の経路長を長くし、位相の
変化を2倍にして出力する。第3及び第4の発明によれ
ば、同一温度状況下の、加速度によって位相の変化する
センシング用光信号及び位相の変化をしない参照光信号
が出力される。第5、第6及び第7の発明によれば、加
速度によって位相の変化した光信号と参照光信号との
位相差に基づいた制御用電圧が電極に帰還される。その
電圧から、カンチレバービームの変位に応じた加速度が
検出されると共に、該カンチレバービームに復元力が与
えられる。従って、前記課題を解決できるのである。
【0009】
【実施例】第1の実施例 図1は、本発明の第1の実施例の半導体加速度センサ3
0を示す平面図であり、図6は、図1の中央断面図であ
る。半導体加速度センサ30は、シリコン基板31から
フォトリソ工程と異方性エッチング工程を経て形成され
ている。半導体加速度センサ30は、加速度が与えられ
たときに撓むカンチレバービーム32と、カンチレバー
ビーム32の先端に設けられて該加速度を感知する重錘
体37と、入出力用光ファイバF1,F2を固定する2
個のV字型の溝33とが備えられている。カンチレバー
ビームの根元は、振動による応力が加わりやすいように
薄く仕上げられたビーム部34とされ、そのカンチレバ
ービーム32上には、光ファイバF1,F2に接続され
て光信号OP1を通す光導波路35が、蛇行して走って
いる。光導波路35は、カンチレバービーム32の形成
前に、気相成長(CVD)法によって二酸化珪素(Si
2 )を1μm形成してパターン化したものである。V
字型の溝33,33は、光ファイバの第1第2の接続
部で光ファイバF1,F2を固定したとき、該光ファイ
バF1,F2の中心が光導波路35の中心に位置する形
状となっている。また、半導体加速度センサ30には、
カンチレバービーム32が衝撃的な加速度を受けたと
き、該カンチレバービーム32の破損を防止するガラス
のストッパ36が設けられている。
【0010】次に、この半導体加速度センサの加速度検
出原理を説明する。図7及び図8は、カンチレバービー
ム32の動作を説明するための概略図である。図7及び
図8を参照しつつ加速度検出原理を説明する。図7及び
図8は、図1及び図6のカンチレバービーム32と光導
波路35を示している。図7は加速度を受けていないと
き、図8は加速度を受けたときの状態をそれぞれ示して
いる。なお、図7において、Lはカンチレバービーム3
2の長さ、Yはカンチレバービーム32の厚さの1/2
の値をそれぞれ示している。半導体加速度センサ30に
加速度を与えると、カンチレバービーム32の先端に力
が加わり、該カンチレバービーム32が、図7の状態か
ら撓んで湾曲し、図8の様になる。湾曲の曲率半径が長
さLに対して非常に大きい場合に、その加わった力を
W、カンチレバービーム32のヤング率をE、カンチレ
バービーム32の先端のずれをZとすると、 Z=WL3 /(3EI) ……………………(1) で表すことができる。ここで、Iはカンチレバービーム
32の断面Sの慣性モーメントであり、 I=∫Y2 ds ……………………(2) である。
【0011】光導波路35が、カンチレバービーム32
の上側にn回往復して形成されて、光導波路35の経路
長nLであるとする。湾曲の曲率半径が長さLに対して
非常に大きくてZが小さい場合に、光導波路35の経
長の変化ΔLは、ポアソン比を無視して ΔL=−4πnYZ/L ……………………(3) となる。
【0012】以上のように、加速度等によるカンチレバ
ービーム32の振動は、光導波路35の経路長に変化を
もたらす。この経路長の変化ΔLに基づいて光導波路3
5を通る光信号の位相がずれる。この光信号の位相のず
れは、例えば、図9に示す光干渉計で参照光信号との位
相差として検出される。図9は、その位相差から加速度
を求める半導体加速度検出装置を示している。この半導
体加速度検出装置は、レーザダイオード等の光源41
と、光源41の出力光を受けて順方向光のみを出力する
光アイソレータ42と、入力光をセンシング用光信号O
P1と参照用光信号OP2に分岐するフォトカプラ43
と、光ファイバF1を介して光信号OP1を入力し、光
ファイバF2から出力する半導体加速度センサ30と、
光ファイバF2,F3からの光信号OP1,OP2を干
渉させて出力するフォトカプラ44と、フォトカプラ4
4の出力光を電気信号に変換するフォトダイオードの受
光器45,45と、受光器45,45の出力信号を差動
増幅するアンプ46とを備えている。この装置には、鉛
(Pb)、ジルコニウム(Zr)、チタン(Ti)及び
酸素(O)で構成された圧電セラミックス(PZT)シ
リンダ47が設けられ、フォトカプラ43,44間を繋
ぐ光ファイバF3が、シリンダ47に巻装されている。
シリンダ47には、アンプ46の出力に基づいた電圧
が、ドリフト補償用回路48を介して帰還される構成と
なっている。各光ファイバF1〜F3は、単一モード光
ファイバであり、フォトカプラ43,44とでマッハツ
ェンダー型の干渉計を構成している。
【0013】光源41からの光信号は、フォトカプラ4
3で分岐され、一方はセンシング用光信号OP1として
半導体加速度センサ30に入力され、加速度を受けて光
信号OP1の位相がずれてフォトカプラ44へ出力され
る。他方の光信号OP2は、参照光信号として、フォト
カプラ44へ出力される。フォトカプラ44は、光信号
OP1,OP2の位相差変動を干渉光として出力する。
この検出された位相差ΔΦは、レーザ光の波長をλとす
ると、 ΔΦ=8π2 nYZ/(Lλ) ……………………(4) となる。干渉光は受光器45,45を介して、アンプ4
力され、そしてアンプ46が、位相差変動に応じ
て差動増幅された電気信号を出力する。ドリフト補償用
回路48は、アンプ46の出力信号に基づいた帰還電圧
Vddを生成してシリンダ47に与えている。電圧Vd
dは、光信号OP1,OP2間の位相差が無い状態にな
るようにシリンダ47へ印加される。即ち、シリンダ4
7に電圧Vddが印加されることによってシリンダ47
の直径が変動し、光信号OP1,OP2の経路長の変化
が等しくなるような電圧Vddが印加される。帰還電圧
Vddを測定することによって加速度が求められる。
【0014】以上のように、本実施例では、次のような
利点を生じている。 (a)カンチレバービーム32の撓みから生じる経路長
の変化ΔLを、光信号の位相差として検出しているの
で、微量の変化分を検出することが可能となる。特に、
光導波路35は蛇行状に形成されているので、経路長を
長くすることができ、そのため感度を向上させることが
できる。従って、抵抗値変化、或いは容量の変化を検知
する従来のセンサに比べて、感度の高い半導体加速度セ
ンサを実現できる。 (b)(a)により、使用可能周波数のバンド幅を高く
設定できる。 (c)加速度の検出に光信号OP1,OP2を使用して
いるので、半導体加速度センサ30の近傍に発生する電
気的な雑音に対して強い。
【0015】第2の実施例 図10は、本発明の第2の実施例の半導体加速度センサ
50を示す平面図であり、図11は図10の中央断面図
である。半導体加速度センサ50は、一体のシリコン基
板51からエッチング等の工程を経て形成されている。
半導体加速度センサ50は、加速度が与えられたときに
撓むカンチレバービーム52と、カンチレバービーム5
2の先端に設けられて加速度を感知する重錘体53と、
入力用光ファイバF4a,F5a及び出力用光ファイバ
F4b,F5bをそれぞれ固定する接続部の4個のV字
型の溝54と、カンチレバービーム52上に数回往復し
て形成された第1の光導波路55と、光導波路55と同
じ長さで、基板51の振動しない部分に数回往復して形
成された第2の光導波路56とを、有している。
【0016】カンチレバービーム52の先端部の重錘体
53の幅は、広くされていると共に、上部に電極57が
形成されている。光導波路55において、一方の端部に
入力用光導波路55aと出力用光導波路55bとが光導
波路結合部58aで結合され、他端は、反射鏡59で終
端されている。同様に、光導波路56において、一方の
端部に入力用光導波路56aと出力用光導波路56bと
が光導波路結合器58bで結合され、他端は反射鏡60
で終端されている。半導体加速度センサ50は、ガラス
カバー61で蓋をされ、該ガラスカバー61の内側の前
記電極57と対向する位置に、制御用電極62が固着さ
れている。電極62は、外部からのリード線63とガラ
スカバー61に開けられた穴64を介して導電性エポキ
シ65で接続されている。図10の半導体加速度センサ
50は、感度をあげるために真空密封されている。
【0017】次に、この半導体加速度センサ50の動作
を説明する。半導体加速度センサ50も、図1,図6の
半導体加速度センサ30と同様に、加速度を受けると、
カンチレバービーム52が撓む。カンチレバービーム5
2が撓むと、カンチレバービーム52及び光導波路55
が湾曲する。そのため、光導波路55の経路長がΔL変
化する。ただし、半導体加速度センサ50では、反射鏡
59を用いていることにより、光導波路55の経路長
が、第1の実施例の場合に比べ、実質上2倍となる。
のため、図7,8において、光導波路55の経路長は2
nLとなり、第1の実施例の式(3)による経路長の変
化ΔLが、 ΔL=−8πnYZ/L ……………………(5) となる。一方、光導波路56は、加速度による路長の
変化はない。
【0018】図12は、上記、光導波路55の加速度に
よる経路長の変化を検出して該加速度を求める半導体加
速度検出装置の構成図である。図12には、レーザダイ
オード等の光源71と、光源71の出力光を受けて順方
向光のみを出力する光アイソレータ72と、入力光をセ
ンシング用光信号OP1と参照用光信号OP2とに分岐
するフォトカプラ73と、光ファイバF4aを介して光
信号OP1を入力して光ファイバF4bから出力する共
に、光ファイバF5aを介して光信号OP2を入力して
光ファイバF5bから出力する半導体加速度センサ50
と、光ファイバF4b,F5bからの光信号OP1,O
P2を干渉させて出力するフォトカプラ74と、フォト
カプラ74の出力光を電気信号に変換するフォトダイオ
ードの受光器75,75と、受光器75,75の出力信
号を差動増幅するアンプ76と、アンプ76の出力信号
に基づいた電圧を生成して半導体加速度センサ50の電
極62に帰還させるドリフト補償用回路77とを、備え
ている。各光ファイバは、単一モード光ファイバであ
り、フォトカプラ73,74とでマッハツェンダー型の
干渉計を構成し、マッハツェンダー型の干渉計、受光器
75,75及びアンプ76で位相差検出回路が構成され
ている
【0019】光源71からの光信号は、フォトカプラ7
3で分岐され、一方はセンシング用光信号OP1として
光ファイバF4aを介して光導波路55に入力され、そ
の光信号OP1は、加速度を受けて位相がずれてフォト
カプラ74へ出力される。他方の光信号OP2は、参照
光信号として、光ファイバF5aを介して光導波路56
に入力されフォトカプラ74へ出力される。ここで、光
信号OP1に存在していた温度変動による位相のずれ
が、光信号OP2と比較されることにより除去される。
フォトカプラ74は、光信号OP1,OP2の加速度変
化による位相差ΔΦのみを検出して干渉光として出力す
る。この検出された位相差ΔΦは、レーザ光の波長をλ
とすると、 ΔΦ=16π2 nYZ/(Lλ) ……………………(4) となる。干渉光は受光器75,75を介して、アンプ7
6に入力され、そのアンプ76が、位相差変動に応じて
差動増幅された電気信号を出力する。ドリフト補償用回
路77は、アンプ76の出力から電圧Vddを生成し、
この電圧Vddは、半導体加速度センサ50の電極62
に帰還されると共に測定されて加速度が求められる。帰
還電圧Vddは、電極57,62に電荷を誘起し、誘起
された電荷によってガラスカバー61とカンチレバービ
ーム52間にクーロン力が発生する。クーロン力によ
り、加速度をうけて変位したカンチレバービーム52が
復元する。
【0020】次に、半導体加速度センサ50の製作方法
を説明する。図13は、シリコン基板から半導体加速度
センサの製作過程を説明する図である。図13を参照し
つつ半導体加速度センサ50の製作方法を説明する。な
お、図13では、光導波路55,56の折り返しをそれ
ぞれ1回と、簡略化した形で示している。図13の
(A)に示すように、Si基板51上に、Si3 4
81を減圧気相成長(LPCVD)法により形成する。
フォトレジストをマスクとしてCF4+O2 でエッチング
してSi3 4 層に窓82を開け、Siを露出させる。
その後、LPCVD法により、ホウ素(B)をドープし
た高濃度P++Siを図13の(A)に示すように、窓8
2に選択的にエピタキシャル成長させる。次に、図13
の(B)のように、図10のカンチレバービーム52に
当たる部分の周辺83と、V字型の溝54に当たる部分
のSi3 4 層をエッチングで除去する。その後、クロ
ム(Cr)/金(Au)を蒸着し、フォトレジストをマ
スクとしてAuのエッチャントでカンチレバービーム5
2の先端に重錘体53を兼ねる電極57を形成する。次
に、図13の(C)のように、SiO2 をスパッタによ
り成膜し、Crをマスクとしてエッチングで光導波路5
5,56を形成する。光導波路55,56の先端にAl
の反射鏡59,60をフォトレジストをマスクとしてC
rのエッチャントでエッチングで形成する。最後に、ハ
イドラジン水溶液により、V字型の溝54及びカンチレ
バービーム52を形成する。
【0021】以上のように、本実施例では、次のような
利点を生じている。 (d)第1の実施例と同様に、カンチレバービーム52
の撓みから生じる経路長の変化ΔLを、光信号の位相差
として検出しているので、微量の変化分を検出すること
が可能となる。しかも、光導波路55,56は蛇行状に
形成されているので、経路長を長くすることができ、そ
のため感度を向上させることができる。従って、抵抗値
変化、或いは容量の変化を検知する従来のセンサに
て、感度の高い半導体加速度センサを実現できる。 (e)(d)により、使用可能周波数のバンド幅を高く
設定できる。 (f)反射鏡59,60を光導波路55,56に設けて
光信号OP1,OP2の経路長を2倍としている。その
ため、検出感度も2倍となる。 (g)半導体加速度センサ内に温度補償用の光導波路5
6を設け、温度変化による測定誤差を補正しているの
で、測定値の信頼性が高くなっている。
【0022】なお、本発明は、上記実施例に限定されず
種々の変形が可能である。その変形例としては、例えば
次のようなものがある。 (I)第1の実施例において、カンチレバービーム32
が、気体の流体抵抗を受けないようにガラスカバーで蓋
をし、真空密閉の構造にすると、さらに測定精度が高く
なる。 (II)第2の実施例において、用途に応じて反射鏡5
9,60を使用せず、光信号OP1、OP2を光導波路
55,56の一方端部から入力して他方の端部へ出力す
る構成としてもよい。 (III)第1の実施例のように、参照光信号用の光導波路
を同一基板上に形成しない半導体加速度センサにおい
て、第2の実施例と同様に、検出用の光導波路に反射鏡
を設けて、感度を高める構造にすることもできる。
た、図1に示す第1の実施例の半導体加速度センサに、
さらに図1の溝33,33及び光導波路35と同一構造
の参照光信号用のものを基板30の振動しない部分に設
け、温度変化による測定誤差を補正して加速度測定値の
信頼性を向上させることも可能である。 (IV) 第1の実施例の半導体加速度センサにおいて、カ
ンチレバービーム32と該カンチレバービーム32に対
向した位置にそれぞれ電極を設け、第2の実施例の半導
体加速度検出装置を用いて加速度を求める構成にして
も、従来に比べて感度を高める効果がある。
【0023】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1〜第7
の発明によれば、半導体基板の成す平面に対して垂直
(或いは、それに近い方向)の加速度を受けて撓む片持
ち梁状のカンチレバービームを半導体基板に設け、その
カンチレバービーム上に光信号を通す光導波路を形成
加速度による光信号位相のずれを検出して加速度
を求める構成にしているので、微量の加速度の変化分を
検出することができる。特に、光導波路は蛇行状に形成
されているので、経路長を長くすることができ、そのた
め感度を向上させることができる。従って、抵抗値変
化、或いは容量の変化を検知する従来のセンサに比べ
感度の高い半導体加速度センサを実現できる。感度
が高いので、測定周波数領域を広げることも可能とな
る。また、半導体製造工程で作製される構造となってい
るので、小型で大量生産可能な半導体加速度センサを実
現できる。第2の発明によれば、光信号の位相を検出す
る半導体加速度センサの光導波路端部に、反射鏡を設け
ているので、第1の発明に比べ、光信号の経路長2倍
にすることができ、そのためさらに検出感度を向上させ
ることができる。第3及び第4の発明によれば、温度変
化による光信号の位相のずれを補償するための光導波路
半導体基板上に設けている。そのため、加速度を受け
て位相の変化した光信号から、温度による変動を相殺し
て位相差を検出することが可能となり、測定値の信頼性
を高めることができる。第〜第7の発明によれば、位
相差検出回路によって加速度に応じた位相差を検出し、
ドリフト補償回路によってその位相差に基づいた帰還電
圧を生成し、その帰還電圧によってカンチレバービーム
に復元力を与ると共に、その帰還電圧から加速度を求め
る構成している。そのため、カンチレバービームのク
リープや、動作の非直線性等の影響を少なくすることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の半導体加速度センサを
示す平面図である。
【図2】第1の従来例の半導体加速度センサを示す平面
図である。
【図3】図2の断面図である。
【図4】第2の従来例の半導体加速度センサを示す平面
図である。
【図5】図4の断面図である。
【図6】図1の断面図である。
【図7】カンチレバービームの動作を説明する図であ
る。
【図8】カンチレバービームの動作を説明する図であ
る。
【図9】第1の実施例の半導体加速度検出装置の構成図
である。
【図10】第2の実施例の半導体加速度センサを示す平
面図である。
【図11】図10の断面図である。
【図12】第2の実施例の半導体加速度検出装置の構成
図である。
【図13】半導体加速度センサの製造方法を示す図であ
る。
【符号の説明】
12,22,31,51 半導体基板 13,32,52 カンチレバービーム 33,54 光ファイバ固定溝(接続
部) 35,55 センシング用光導波路 56 温度補償用光導波路 59,60 反射鏡 62 制御用の電極 F1,F4a,F5a 入力用光ファイバ F2,F4b,F5b 出力用光ファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 毛利 幹雄 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電 気工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−240865(JP,A) 特開 平3−170015(JP,A) 特開 平5−107071(JP,A) 特開 平2−251189(JP,A) 特開 昭62−247209(JP,A) 特開 平5−60781(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01P 15/03 G01P 15/08 G01P 9/04 G01C 19/56

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加速度の印加によって撓む片持ち梁状の
    カンチレバービームが半導体基板に形成された半導体加
    速度センサにおいて、 前記半導体基板に設けられ、光信号を入力する入力用光
    ファイバを固定する第1の接続部と、 前記半導体基板に設けられ、光信号を出力する出力用光
    ファイバを固定する第2の接続部と、 前記カンチレバービーム上に蛇行状に形成され、かつ入
    力端が前記第1の接続部を介して前記入力用光ファイバ
    に接続されると共に、出力端が前記第2の接続部を介し
    て前記出力用光ファイバに接続された光導波路とを設
    け、 前記光導波路は前記カンチレバービームの撓み量に応じ
    て長さが変化し、前記入力用光ファイバからの光信号の
    経路長を変えて前記出力用光ファイバへ出力する構成に
    したことを特徴とする半導体加速度センサ。
  2. 【請求項2】 加速度の印加によって撓む片持ち梁状の
    カンチレバービームが半導体基板に形成された半導体加
    速度センサにおいて、前記半導体基板に設けられ、 光信号を入出力する入出力
    用光ファイバを固定する接続部と、 前記半導体基板上に設けられ、前記光信号を反射する反
    射鏡と、 前記カンチレバービーム上に蛇行状に形成され、かつ一
    端が前記接続部を介して前記光ファイバに接続され、他
    端が前記反射鏡に接続された光導波路とを設け、 前記光導波路は前記カンチレバービームの撓み量に応じ
    て経路長が変り、その経路中を前記光ファイバからの入
    力光信号を前記反射鏡へ伝送し、かつ前記反射鏡からの
    反射光を前記光ファイバへ出力する構成したことを特
    徴とする半導体加速度センサ。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の半導体加速度センサにお
    いて、 前記第1第2の接続部及び前記光導波路と同一構造の
    ものを前記半導体基板上に設けたことを特徴とする半導
    体加速度センサ。
  4. 【請求項4】 請求項2記載の半導体加速度センサにお
    いて、 前記接続部、前記反射鏡及び前記光導波路と同一構造の
    ものを前記半導体基板上に設けたことを特徴とする半導
    体加速度センサ。
  5. 【請求項5】 請求項1記載の半導体加速度センサと、 前記出力用光ファイバからの光信号と参照光信号との位
    相差を検出する位相差検出回路と、 前記位相差検出回路の出力信号に応じた電圧を生成する
    ドリフト補償回路と、 前記カンチレバービームと対抗する箇所に設けられ、前
    記ドリフト補償回路の出力信号に基づき、クーロン力で
    前記カンチレバービームの変位を制御する電極とを、 備えたことを特徴とする半導体加速度検出装置。
  6. 【請求項6】 請求項2記載の半導体加速度センサと、 前記光ファイバからの光信号と参照光信号との位相差を
    検出する位相差検出回路と、 前記位相差検出回路の出力信号に応じた電圧を生成する
    ドリフト補償回路と、 前記カンチレバービームと対抗する箇所に設けられ、前
    記ドリフト補償回路の出力信号に基づき、クーロン力で
    前記カンチレバービームの変位を制御する電極とを、 備えたことを特徴とする半導体加速度検出装置。
  7. 【請求項7】 請求項4記載の半導体加速度センサと、 前記各接続部からの出力光信号間の位相差を検出する位
    相差検出回路と、 前記位相差検出回路の出力信号に応じた電圧を生成する
    ドリフト補償回路と、 前記カンチレバービームと対抗する箇所に設けられ、前
    記ドリフト補償回路の出力信号に基づき、クーロン力で
    前記カンチレバービームの変位を制御する電極とを、 備えたことを特徴とする半導体加速度検出装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7981478B2 (en) 2005-12-30 2011-07-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Fluoropolymer coating compositions containing adhesive polymers and substrate coating process
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Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62247209A (ja) * 1986-04-21 1987-10-28 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ジヤイロスコ−プ
JPH087227B2 (ja) * 1988-03-23 1996-01-29 株式会社日立製作所 加速度センサ
JPH02251189A (ja) * 1989-03-24 1990-10-08 Nippondenso Co Ltd 光集積回路装置
JPH03170015A (ja) * 1989-11-28 1991-07-23 Japan Aviation Electron Ind Ltd 振動ジャイロスコープ
JPH0560781A (ja) * 1991-09-05 1993-03-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 加速度測定装置
JP2842959B2 (ja) * 1991-10-18 1999-01-06 日立電線株式会社 光励起導波路型ループレーザ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7981478B2 (en) 2005-12-30 2011-07-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Fluoropolymer coating compositions containing adhesive polymers and substrate coating process
US8012542B2 (en) 2005-12-30 2011-09-06 E.I. Du Pont De Nemours And Company Fluoropolymer coating compositions containing adhesive polymers and substrate coating process
US8124221B2 (en) 2006-12-21 2012-02-28 E. I. Du Pont De Nemours And Company Crosslinkable vinyl fluoride copolymer coated film and process for making same
US8168297B2 (en) 2007-04-23 2012-05-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Fluoropolymer coated film, process for forming the same, and fluoropolymer liquid composition

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