JP3196713B2 - Manufacturing method of ceramic electronic components - Google Patents

Manufacturing method of ceramic electronic components

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JP3196713B2
JP3196713B2 JP04914998A JP4914998A JP3196713B2 JP 3196713 B2 JP3196713 B2 JP 3196713B2 JP 04914998 A JP04914998 A JP 04914998A JP 4914998 A JP4914998 A JP 4914998A JP 3196713 B2 JP3196713 B2 JP 3196713B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば積層セラミ
ックコンデンサ等のセラミック電子部品の製造方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は本発明に関する技術の背景となる
セラミック電子部品の一例としての一般的な積層セラミ
ックコンデンサの一部を破断して示す切り欠き斜視図で
ある。図4において、1はセラミック誘電体層、2は内
部電極、3は外部電極であり、内部電極2はおのおの外
部電極3に接続されている。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is a cutaway perspective view showing a part of a general multilayer ceramic capacitor as an example of a ceramic electronic component as a background of the technology relating to the present invention. In FIG. 4, 1 is a ceramic dielectric layer, 2 is an internal electrode, 3 is an external electrode, and the internal electrode 2 is connected to each external electrode 3.

【0003】以下に従来の積層セラミックコンデンサの
製造方法について説明する。まずセラミック誘電体層1
となるセラミックシートは、チタン酸バリウム等の誘電
体材料と、ポリビニルブチラール等のバインダ成分と、
ベンジルブチルフタレート等の可塑剤成分と、溶剤成分
等とを混合し、スラリー化した後、ドクターブレード法
を用いてPET等の支持体上に形成する。通常、乾燥後
のセラミックシートの厚みは約5〜50μmである。
Hereinafter, a method for manufacturing a conventional multilayer ceramic capacitor will be described. First, the ceramic dielectric layer 1
The ceramic sheet becomes a dielectric material such as barium titanate and a binder component such as polyvinyl butyral,
A plasticizer component such as benzyl butyl phthalate and a solvent component are mixed and slurried, and then formed on a support such as PET using a doctor blade method. Usually, the thickness of the dried ceramic sheet is about 5 to 50 μm.

【0004】次にポリエチレンテレフタレートフィルム
(以下PETフィルムとする)等の支持体上に、例えば
パラジウムやニッケル等の内部電極2となる導電体ペー
ストを印刷法により導電体層を複数形成し、乾燥する。
導電体層の厚みは、薄い場合には焼成時の焼結収縮によ
り、非連続的な状態となり、静電容量の低下を招く恐れ
があるために、約2〜4μmに形成する。次いでPET
フィルム上に形成した導電体層とセラミックシートとを
交互に熱転写によって積み重ね、積層体を得る。積層体
は所望の大きさに切断された後、焼成し、両端面に外部
電極3を設けていた(例えば、特公平5−25381号
公報参照)。
Next, a plurality of conductor layers are formed on a support such as a polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as a PET film) by a printing method using a conductor paste to be the internal electrode 2 such as palladium or nickel, and dried. .
When the thickness of the conductor layer is small, the conductor layer becomes discontinuous due to sintering shrinkage during firing and may cause a decrease in capacitance. Then PET
Conductive layers and ceramic sheets formed on the film are alternately stacked by thermal transfer to obtain a laminate. The laminate was cut into a desired size, fired, and provided with external electrodes 3 on both end faces (for example, see Japanese Patent Publication No. 25381/1993).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、支持体
上に形成した導電体層をセラミックシート上に熱転写す
る場合において、導電体層が支持体上からセラミックシ
ート上に完全に転写、移行しないことがある。この場合
には、焼成後内部電極2が非連続的な状態となり、十分
な静電容量が得られなかったり、ばらつきが発生すると
いった積層セラミックコンデンサとしての品質の不具合
が発生する。
However, when the conductive layer formed on the support is thermally transferred onto the ceramic sheet, the conductive layer may not be completely transferred and transferred from the support onto the ceramic sheet. is there. In this case, after firing, the internal electrodes 2 are in a discontinuous state, resulting in a failure of quality as a multilayer ceramic capacitor such that sufficient capacitance cannot be obtained or variation occurs.

【0006】そこで本発明は、支持体から導電体層を完
全にセラミックシート上に転写、移行させることによ
り、安定した電気的特性を有するセラミック電子部品を
提供することを目的とするものである。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a ceramic electronic component having stable electrical characteristics by completely transferring and transferring a conductive layer from a support onto a ceramic sheet.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のセラミック電子部品の製造方法は、セラミッ
ク成分と少なくとも1種類以上の有機物からなるセラミ
ックシートを準備するステップと、支持体上に離型層を
介して金属成分と少なくとも1種類以上の有機物からな
る導電体層を形成するステップと、この導電体層を前記
セラミックシート上に転写するステップと、さらにその
上に前記セラミックシートおよび前記導電体層を交互に
複数回転写し、積層体を得るステップと、この積層体を
焼成するステップとを有し、前記導電体層中に含まれる
有機物は、前記セラミックシート中に含まれる有機物と
少なくとも1種類以上が同一であることを特徴とするも
のであり、支持体からの離型性が従来よりも向上し、支
持体から導電体層を完全にセラミックシート上に転写、
移行させることができ、上記目的を達成することができ
る。
To achieve this object, a method for manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention comprises the steps of: preparing a ceramic sheet comprising a ceramic component and at least one or more organic substances; Forming a conductive layer made of a metal component and at least one or more organic substances via a release layer, transferring the conductive layer onto the ceramic sheet, and further forming the ceramic sheet and the multiple rotating copy a conductor layer alternately, possess obtaining a laminate, and a step of firing the laminated body, contained in the conductive layer
The organic matter is an organic matter contained in the ceramic sheet.
Characterized in that at least one kind is the same
And than, releasability from the support is improved over conventional, completely transferred onto the ceramic sheet a conductor layer from the support,
The transition can be made, and the above object can be achieved.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1記載の発明
は、セラミック成分と少なくとも1種類以上の有機物か
らなるセラミックシートを準備するステップと、支持体
上に離型層を介して金属成分と少なくとも1種類以上の
有機物からなる導電体層を形成するステップと、この導
電体層を前記セラミックシート上に転写するステップ
と、さらにその上に前記セラミックシートおよび前記導
電体層を交互に複数回転写し、積層体を得るステップ
と、この積層体を焼成するステップとを有し、前記導電
体層中に含まれる有機物は、前記セラミックシート中に
含まれる有機物と少なくとも1種類以上が同一である
ラミック電子部品の製造方法であり、支持体上に導電体
層が離型層を介して形成されているとともに、導電体層
中に含まれる有機物の少なくとも1種類以上がセラミッ
クシート中に含まれる有機物と同一であるために、導電
体層とセラミックシート間の接着性が向上し、導電体層
のセラミックシートへの移行が容易となり、支持体から
の離型性が従来よりも向上し、支持体から導電体層を完
全にセラミックシート上に転写、移行させることがで
き、安定した電気的特性を有するセラミック電子部品を
得ることができる。
The invention according to claim 1 of the embodiment of the present invention includes the steps of preparing a ceramic sheet made of at least one or more organic material and ceramic component, a metal component via a release layer on a support Forming a conductor layer made of at least one or more organic substances, transferring the conductor layer onto the ceramic sheet, and alternately rotating the ceramic sheet and the conductor layer a plurality of times on the ceramic sheet. copy, obtaining a laminate, and a step of firing the laminate possess, the conductive
Organic substances contained in the body layer are contained in the ceramic sheet.
A method for manufacturing a ceramic electronic component in which at least one kind is the same as an organic substance contained therein , wherein a conductive layer is formed on a support via a release layer , and the conductive layer
At least one of the organic substances contained in the
To be the same as the organic substance contained in Kushito, conductive
The adhesion between the body layer and the ceramic sheet is improved,
The transfer to the ceramic sheet becomes easier, the releasability from the support is improved compared to the conventional type, and the conductive layer can be completely transferred and transferred from the support to the ceramic sheet, resulting in stable electrical characteristics Can be obtained.

【0009】[0009]

【0010】[0010]

【0011】請求項に記載の発明は、離型層の大きさ
をセラミックシートよりも大きくすることを特徴とする
請求項に記載のセラミック電子部品の製造方法であ
り、導電体層をセラミックシート上に転写する際に、セ
ラミックシートと支持体の接着を防止し、セラミックシ
ート間の剥離を抑制することができる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a ceramic electronic component according to the first aspect, wherein the size of the release layer is made larger than that of the ceramic sheet. When transferring onto a sheet, adhesion between the ceramic sheet and the support can be prevented, and peeling between the ceramic sheets can be suppressed.

【0012】[0012]

【0013】以下、本発明の一実施の形態について、積
層セラミックコンデンサを例に図面を参照しながら説明
する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings, taking a multilayer ceramic capacitor as an example.

【0014】(実施の形態1)図1は本実施の形態にお
ける離型層13を介して、PETフィルムなどの支持体
であるベースフィルム12上に形成された導電体層14
を示す断面図である。
(Embodiment 1) FIG. 1 shows a conductive layer 14 formed on a base film 12 as a support such as a PET film via a release layer 13 in the present embodiment.
FIG.

【0015】図2はベースフィルム12上に形成された
セラミックシート11を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing the ceramic sheet 11 formed on the base film 12.

【0016】図3は積層工程を示す工程図である。支持
台15上に複数のセラミックシート11を転写後、ベー
スフィルム12上に離型層13を介して形成された導電
体層14を、セラミックシート11上に転写するもので
ある。
FIG. 3 is a process diagram showing a lamination process. After transferring the plurality of ceramic sheets 11 onto the support 15, the conductor layer 14 formed on the base film 12 via the release layer 13 is transferred onto the ceramic sheet 11.

【0017】図4はセラミック電子部品の一例として示
す積層セラミックコンデンサの切り欠き斜視図である。
1はセラミック誘電体層、2は内部電極、3は外部電極
であり、内部電極2はおのおの外部電極3に接続されて
いる。
FIG. 4 is a cutaway perspective view of a multilayer ceramic capacitor shown as an example of a ceramic electronic component.
1 is a ceramic dielectric layer, 2 is an internal electrode, 3 is an external electrode, and the internal electrode 2 is connected to each external electrode 3.

【0018】次にニッケルを内部電極2とする積層セラ
ミックコンデンサの製造方法について説明する。
Next, a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using nickel as the internal electrode 2 will be described.

【0019】まずチタン酸バリウム等の誘電体材料と、
ポリビニルブチラール系のバインダ成分と、可塑剤成分
としてジブチルフタレート、溶剤成分として酢酸ブチル
を混合し、スラリー化した後、ドクターブレード法を用
いて図2に示すベースフィルム12上にセラミックシー
ト11を形成する。一方、図1に示すように離型層13
を形成しておいたベースフィルム12を準備し、離型層
13上に内部電極2となる導電体層14としてニッケル
ペーストを所定のパターン状にスクリーン印刷やグラビ
ア印刷の印刷法などで形成し、乾燥する。ニッケルペー
スト中には、ニッケル粉末と溶剤の他、有機バインダ成
分が含まれている。溶剤としては、脂肪族ナフサ、芳香
族ナフサ、テルピネオール、有機バインダ成分としては
エチルセルロースを用いることが一般的である。乾燥後
のニッケルペースト中には、大部分の有機溶剤は飛散
し、金属成分と有機バインダ成分のみとなる。次に、積
層工程について図3を参照しながら説明する。まず支持
台15上に複数枚セラミックシート11を積層後、導電
体層14を被導電体層形成面側から加圧かつ加熱によ
り、セラミックシート11上に転写する。次に、セラミ
ックシート11と導電体層14を交互に所望の回数転写
し、その上にセラミックシート11を複数枚積層するこ
とによって切断前の積層体を得ることができる。導電体
層14の転写とは、加熱により導電体層14中およびセ
ラミックシート中の有機成分をやや軟化させ、加圧によ
り両者の接触面積を増大させ、両者の接着性を誘発する
と同時に離型層13からの分離を促すものである。ニッ
ケルペースト中に含まれる有機バインダとして、一般的
なエチルセルロース系を用いた場合、60℃〜140
℃、50kg/cm2〜150kg/cm2の条件で十分な転写を
行うことができる。60℃以下の場合には有機成分の十
分な軟化は望めないし、150℃以上の場合にはPET
フィルムなどのベースフィルム12が劣化してしまう。
さらに導電体層14中にセラミックシート11中に含ま
れる有機成分と同一の有機成分を混入させることは、導
電体層14とセラミックシート11間の接着力を高める
ことができるために導電体層14の転写を容易にするこ
とができる。このように本発明はニッケルペーストなど
の金属ペーストを用いて行うものであり、金属ペースト
は金属成分と有機成分とからなる場合についてのみ効果
を発揮するものである。しかしながら、高積層品を作製
する場合には、転写時の熱が積層体内部に蓄積し、有機
成分の軟化を誘発するためにセラミックシート11が伸
びて、精度良く積層を行うことができないこともある。
そのため、転写時の積層体の温度を、積層体中の有機成
分の軟化点よりも低くしておくことが好ましい。また、
離型層13がベースフィルム12よりも小さくかつセラ
ミックシート11よりも小さい場合には導電体層14を
転写するときにベースフィルム12とセラミックシート
11が直接接触し、セラミックシート11を剥離させて
しまう場合がある。その結果焼結体は構造欠陥を有し、
良品を得ることができなくなるので、離型層13の大き
さはセラミックシート11よりも大きくしておくことが
重要である。
First, a dielectric material such as barium titanate;
After mixing a polyvinyl butyral-based binder component, dibutyl phthalate as a plasticizer component, and butyl acetate as a solvent component to form a slurry, a ceramic sheet 11 is formed on the base film 12 shown in FIG. 2 using a doctor blade method. . On the other hand, as shown in FIG.
Is prepared, and a nickel paste is formed on the release layer 13 as a conductor layer 14 to be the internal electrode 2 in a predetermined pattern by screen printing or gravure printing, or the like. dry. The nickel paste contains an organic binder component in addition to the nickel powder and the solvent. It is common to use aliphatic naphtha, aromatic naphtha, terpineol as a solvent, and ethyl cellulose as an organic binder component. Most of the organic solvent is scattered in the dried nickel paste, leaving only the metal component and the organic binder component. Next, the laminating step will be described with reference to FIG. First, after laminating a plurality of ceramic sheets 11 on the support 15, the conductor layer 14 is transferred onto the ceramic sheet 11 by pressing and heating from the side where the conductor layer is formed. Next, the ceramic sheet 11 and the conductor layer 14 are alternately transferred a desired number of times, and a plurality of ceramic sheets 11 are stacked thereon to obtain a laminate before cutting. The transfer of the conductor layer 14 means that the organic components in the conductor layer 14 and the ceramic sheet are slightly softened by heating, the contact area between the two is increased by pressurization, and the adhesion between the two is induced. 13 to promote separation. When a general ethylcellulose-based organic binder is used as an organic binder contained in the nickel paste, the organic binder may be 60 ° C to 140 ° C.
° C., it is possible to perform efficient transcription under conditions of 50kg / cm 2 ~150kg / cm 2 . When the temperature is lower than 60 ° C., sufficient softening of the organic component cannot be expected.
The base film 12 such as a film is deteriorated.
Furthermore, mixing the same organic component as that contained in the ceramic sheet 11 into the conductor layer 14 can increase the adhesive force between the conductor layer 14 and the ceramic sheet 11, so that the conductor layer 14 Can be easily transferred. As described above, the present invention is carried out by using a metal paste such as a nickel paste, and the metal paste exhibits an effect only when it is composed of a metal component and an organic component. However, when manufacturing a high-laminated product, heat during transfer accumulates inside the laminated body, and the ceramic sheet 11 is stretched to induce softening of the organic component, which may prevent the lamination from being performed accurately. is there.
Therefore, it is preferable that the temperature of the laminate at the time of transfer be lower than the softening point of the organic component in the laminate. Also,
When the release layer 13 is smaller than the base film 12 and smaller than the ceramic sheet 11, the base film 12 and the ceramic sheet 11 come into direct contact when the conductor layer 14 is transferred, and the ceramic sheet 11 is peeled off. There are cases. As a result, the sintered body has structural defects,
It is important to make the size of the release layer 13 larger than that of the ceramic sheet 11 because a good product cannot be obtained.

【0020】その後積層体をチップ状に切断し、大気
中、350℃にて脱脂が行われた後、窒素、水素からな
る還元雰囲気中1300℃で焼成される。この焼成によ
りチタン酸バリウムを主成分とするセラミック誘電体層
1とニッケルを主成分とする内部電極2が同時に焼結し
た焼結体を得る。なお、焼成後の焼結体寸法は約縦3.
1mm、横1.5mmであり、内部電極2間のセラミック誘
電体層1の厚みは5μm、内部電極2の厚みは1.8μ
mであった。次いでこの焼結体の内部電極2の露出した
両端面に銅の外部電極3が形成され、図4に示す積層セ
ラミックコンデンサとなる。本発明の一実施の形態とし
て、厚み9μmのセラミックシート11と厚み2.5μ
mの導電体層14を用い、各々100枚転写、積層を行
い、そのときの導電体層14のセラミックシート11上
への転写性および焼成後の積層セラミックコンデンサの
静電容量を測定し、評価を行った。比較のために、離型
層13を形成していないベースフィルム12も準備し、
同様に導電体層14を形成し、転写性および静電容量を
離型層13を形成した場合と比較している。転写性につ
いては、導電体層14を転写後のベースフィルム12側
に残留する導電体層14の割合を全パターン重量に対す
る割合で示している。転写性および静電容量の測定結果
を(表1)に示す。
Thereafter, the laminate is cut into chips, degreased in air at 350 ° C., and fired at 1300 ° C. in a reducing atmosphere composed of nitrogen and hydrogen. By this firing, a sintered body is obtained in which the ceramic dielectric layer 1 mainly containing barium titanate and the internal electrode 2 mainly containing nickel are sintered simultaneously. The size of the sintered body after firing was about 3.
The thickness of the ceramic dielectric layer 1 between the internal electrodes 2 is 5 μm, and the thickness of the internal electrodes 2 is 1.8 μm.
m. Next, copper external electrodes 3 are formed on the exposed end faces of the internal electrodes 2 of the sintered body, and the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 4 is obtained. As an embodiment of the present invention, a ceramic sheet 11 having a thickness of 9 μm and a thickness of 2.5 μm
Using 100 m of the conductive layers 14, transfer and lamination of 100 sheets were performed, and the transferability of the conductive layers 14 onto the ceramic sheet 11 and the capacitance of the laminated ceramic capacitor after firing were measured and evaluated. Was done. For comparison, a base film 12 having no release layer 13 was also prepared,
Similarly, the transferability and the capacitance are compared with the case where the release layer 13 is formed. Regarding the transferability, the ratio of the conductive layer 14 remaining on the base film 12 side after the transfer of the conductive layer 14 is shown as a ratio to the total pattern weight. The measurement results of the transferability and the capacitance are shown in (Table 1).

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】離型層13を設けた場合については、転写
がほぼ完全に行われていることがわかる。一方、離型層
13を設けなかった場合については、導電体層14の転
写が不十分であるために十分な静電容量が得られていな
い。この結果から、ベースフィルム12上に離型層13
を介して有機成分を含む導電体層14を形成し、セラミ
ックシート11上に転写することにより、転写性を十分
に改善することができると言える。その結果、導電体層
14の転写不良による静電容量のばらつきや低下といっ
た積層セラミックコンデンサとしての致命的な不良を抑
制することができ、歩留まりの向上に対して絶大な効果
がある。
In the case where the release layer 13 is provided, it can be seen that the transfer is almost completely performed. On the other hand, when the release layer 13 was not provided, sufficient capacitance was not obtained because the transfer of the conductor layer 14 was insufficient. From this result, the release layer 13 was formed on the base film 12.
It can be said that the transferability can be sufficiently improved by forming the conductive layer 14 containing an organic component through the layer and transferring the layer onto the ceramic sheet 11. As a result, it is possible to suppress a fatal failure as a multilayer ceramic capacitor such as a variation or a decrease in capacitance due to a transfer failure of the conductor layer 14, which has a great effect on improving the yield.

【0023】以下本発明に関し、重要な点について記載
する。 (1)離型層13は、ニッケルペーストの印刷時に、は
じきが発生を防ぎ、離型層13上に精度良く導電体層1
4を形成するために、ニッケルペースト中の溶剤成分と
離型層13とのぬれ性が良いことが必要である。 (2)また離型層13は、転写時の導電体層14の離型
性が著しく劣化するのを防ぐため、ニッケルペースト中
の溶剤成分と化学反応を起こさないことが望まれる。 (3)さらに離型層13は、積層精度を向上させるた
め、積層時の圧力および熱によって軟化したり、変質し
たりしないことといった性能が要求される。 (4)さらにまた離型層13とベースフィルム12との
結合強度よりも、離型層13と導電体層14との結合強
度の方が小さくできるもので形成することが必要であ
る。 (5)本実施の形態においては厚み75μmのベースフ
ィルム12上に厚み1μmの離型層13を形成し、その
上に厚み5μmの導電体層14を形成した。離型層13
の厚みは、導電体層14の転写性への関与は少ない。重
要なことは導電体層14とベースフィルム12が必ず非
接触の状態であり、つまり、導電体層14とベースフィ
ルム12間の離型層13には欠陥等なく、また、離型層
13の導電体層14を形成する面はできるだけ平滑で水
平面にすることである。 (6)上記(1)〜(5)の性能を満足するためにアク
リル樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂またはそれらの
混合系樹脂を離型層13として用いることが有効であ
る。アクリル樹脂を用いる際は、熱的安定性を向上させ
るために、エポキシ樹脂、メラミン樹脂と混合させて用
いることが好ましい。 (7)上記(4)で記載したように、離型層13とベー
スフィルム12間の結合強度を向上させるためにベース
フィルム12の離型層13の形成面に凹凸を設けて離型
層13との接触面積を増加させることが好ましい。 (8)離型層13の軟化を防ぐために、導電体層14の
乾燥時の温度や転写時の温度については、離型層13の
軟化点以下で行う必要がある。 (9)脱バイの時の温度は、溶剤が積層体から除去で
き、かつ導電体層14中の金属成分(本実施の形態にお
いてはニッケル)の酸化が進みすぎない程度にすること
が望ましく、具体的には350℃以下で行うことが望ま
しい。 (10)導電体層14の材料としてニッケルを用いたが
銅などの卑金属やまたパラジウム、銀−パラジウムなど
の貴金属を用いてもかまわない。 (11)積層体を焼成する際は、導電体層14中の金属
成分(本実施の形態においてはニッケル)の酸化が進み
すぎて内部電極2としての役割を果たさなくならないよ
うに、還元雰囲気中で行うのである。 (12)上記実施の形態においては積層セラミックコン
デンサを例に説明したが、本発明はセラミックシートと
金属ペーストを用いて形成した導電体層との積層工程を
有する一般的なセラミック電子部品、例えば積層バリス
タ、積層サーミスタ、積層フィルタ、フェライト部品、
セラミック多層基板の製造においても同様の効果が得ら
れる。
Hereinafter, important points regarding the present invention will be described. (1) The release layer 13 prevents the occurrence of repelling during printing of the nickel paste, and the conductor layer 1 is formed on the release layer 13 with high accuracy.
In order to form No. 4, it is necessary that the solvent component in the nickel paste and the release layer 13 have good wettability. (2) It is desired that the release layer 13 does not cause a chemical reaction with the solvent component in the nickel paste in order to prevent the releasability of the conductor layer 14 during transfer from being significantly deteriorated. (3) Further, in order to improve lamination accuracy, the release layer 13 is required to have a performance of not being softened or deteriorated by pressure and heat during lamination. (4) Further, it is necessary to form the release layer 13 and the base layer 12 so that the bond strength between the release layer 13 and the conductor layer 14 can be smaller than the bond strength between the release layer 13 and the base film 12. (5) In the present embodiment, a release layer 13 having a thickness of 1 μm was formed on a base film 12 having a thickness of 75 μm, and a conductor layer 14 having a thickness of 5 μm was formed thereon. Release layer 13
Has little influence on the transferability of the conductor layer 14. What is important is that the conductive layer 14 and the base film 12 are always in a non-contact state, that is, the release layer 13 between the conductive layer 14 and the base film 12 has no defect or the like. The surface on which the conductor layer 14 is formed is to be as smooth and horizontal as possible. (6) It is effective to use an acrylic resin, an epoxy resin, a melamine resin or a mixed resin thereof as the release layer 13 in order to satisfy the performances of the above (1) to (5). When using an acrylic resin, it is preferable to use a mixture with an epoxy resin and a melamine resin in order to improve thermal stability. (7) As described in (4) above, in order to improve the bonding strength between the release layer 13 and the base film 12, unevenness is provided on the surface of the base film 12 where the release layer 13 is formed, and the release layer 13 is formed. It is preferable to increase the contact area with the metal. (8) In order to prevent the release layer 13 from softening, the temperature at the time of drying the conductive layer 14 and the temperature at the time of transfer need to be lower than the softening point of the release layer 13. (9) It is desirable that the temperature at the time of de-buying be such that the solvent can be removed from the laminate, and the oxidation of the metal component (nickel in the present embodiment) in the conductor layer 14 does not proceed too much. Specifically, it is desirable to carry out at 350 ° C. or lower. (10) Although nickel is used as the material of the conductor layer 14, a base metal such as copper or a noble metal such as palladium or silver-palladium may be used. (11) When sintering the laminate, a reducing atmosphere is used to prevent the metal component (nickel in the present embodiment) in the conductor layer 14 from being excessively oxidized and not functioning as the internal electrode 2. It is done in. (12) In the above embodiment, a multilayer ceramic capacitor has been described as an example. However, the present invention is a general ceramic electronic component having a step of laminating a ceramic sheet and a conductor layer formed using a metal paste, for example, a multilayer ceramic capacitor. Varistors, multilayer thermistors, multilayer filters, ferrite parts,
Similar effects can be obtained in the manufacture of a ceramic multilayer substrate.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上本発明によると、支持体上に離型層
を介して導電体層を形成するとともに、導電体層中に含
まれる有機物の少なくとも1種類以上をセラミックシー
ト中に含まれる有機物と同一とすることにより、支持体
から導電体層が離型し易くなりセラミックシート上への
導電体層の転写性が向上する。
As described above, according to the present invention , a conductor layer is formed on a support via a release layer, and the conductor layer is contained in the conductor layer.
At least one type of organic material
By using the same organic material as that contained in the support, the conductive layer is easily released from the support, and the transferability of the conductive layer onto the ceramic sheet is improved.

【0025】その結果、導電体層のセラミックシートへ
の転写不良による特性不良を削減でき、安定した電気的
特性を有するセラミック電子部品を、歩留まりよく製造
することができる。
As a result, it is possible to reduce defective characteristics due to poor transfer of the conductor layer to the ceramic sheet, and to manufacture ceramic electronic components having stable electric characteristics with a high yield.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態における離型層上に形成
した導電体層の断面図
FIG. 1 is a cross-sectional view of a conductor layer formed on a release layer according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態におけるベースフィルム
上に形成されたセラミックシートの断面図
FIG. 2 is a sectional view of a ceramic sheet formed on a base film according to one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施の形態における転写積層工程を
示す断面図
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a transfer lamination process in one embodiment of the present invention.

【図4】一般的な積層セラミックコンデンサの一部切り
欠き斜視図
FIG. 4 is a partially cutaway perspective view of a general multilayer ceramic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セラミック誘電体層 2 内部電極 3 外部電極 11 セラミックシート 12 ベースフィルム 13 離型層 14 導電体層 15 支持台 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic dielectric layer 2 Internal electrode 3 External electrode 11 Ceramic sheet 12 Base film 13 Release layer 14 Conductor layer 15 Support

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大宮 磨人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 稲垣 茂樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平6−295841(JP,A) 特開 平6−232000(JP,A) 特開 昭62−257790(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 4/00 - 4/40 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Mahito Omiya 1006 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. In-company (56) References JP-A-6-295841 (JP, A) JP-A-6-232000 (JP, A) JP-A-62-257790 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. . 7, DB name) H01G 4/00 - 4/40

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 セラミック成分と少なくとも1種類以上
の有機物からなるセラミックシートを準備するステップ
と、支持体上に離型層を介して金属成分と少なくとも1
種類以上の有機物からなる導電体層を形成するステップ
と、この導電体層を前記セラミックシート上に転写する
ステップと、さらにその上に前記セラミックシートおよ
び前記導電体層を交互に複数回転写し、積層体を得るス
テップと、この積層体を焼成するステップとを有し、前
記導電体層中に含まれる有機物は、前記セラミックシー
ト中に含まれる有機物と少なくとも1種類以上が同一で
あるセラミック電子部品の製造方法。
A step of preparing a ceramic sheet comprising a ceramic component and at least one or more kinds of organic substances; and a step of preparing at least one metal component on a support via a release layer.
A step of forming a conductor layer made of at least one kind of organic substance, a step of transferring the conductor layer onto the ceramic sheet, and a step of alternately transferring the ceramic sheet and the conductor layer a plurality of times thereon, and laminating the same. obtaining a body, and a step of firing the laminate possess, before
The organic substance contained in the conductor layer is the ceramic sheet.
At least one kind is the same as the organic matter contained in the
A method of manufacturing a certain ceramic electronic component.
【請求項2】 離型層の大きさは、セラミックシートよ
りも大きい請求項1に記載のセラミック電子部品の製造
方法。
2. The size of the release layer is smaller than that of the ceramic sheet.
The method for manufacturing a ceramic electronic component according to claim 1, wherein
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