JP2671445B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents

Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

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JP2671445B2
JP2671445B2 JP63268481A JP26848188A JP2671445B2 JP 2671445 B2 JP2671445 B2 JP 2671445B2 JP 63268481 A JP63268481 A JP 63268481A JP 26848188 A JP26848188 A JP 26848188A JP 2671445 B2 JP2671445 B2 JP 2671445B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビデオテープレコーダ,液晶テレビ,OA機
器等の電気製品に広く用いられている積層セラミックコ
ンデンサ等の積層セラミック電子部品の製造方法に関す
るものであり、他にも広く多層セラミック基板,積層バ
リスタ,積層圧電素子等の積層セラミック電子部品を製
造する際においても、利用可能なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a monolithic ceramic electronic component such as a monolithic ceramic capacitor that is widely used in electric products such as video tape recorders, liquid crystal televisions, and OA equipment. In addition, it can be widely used for manufacturing multilayer ceramic electronic components such as multilayer ceramic substrates, multilayer varistors, and multilayer piezoelectric elements.

従来の技術 近年、電子部品の分野において、回路基板の高密度化
に伴い、積層セラミックコンデンサ等のますますの微小
化及び高性能化が望まれている。ここでは、積層セラミ
ックコンデンサを例に採り説明する。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of electronic components, with miniaturization of circuit boards, further miniaturization and higher performance of multilayer ceramic capacitors and the like have been desired. Here, a multilayer ceramic capacitor will be described as an example.

第6図は、積層セラミックコンデンサの一部を断面に
て示す図である。第6図において、1はセラミック誘電
体層、2は内部電極、3は外部電極である。前記内部電
極2は、2ケの外部電極3に交互に接続されている。
FIG. 6 is a view showing a part of a monolithic ceramic capacitor in a cross section. In FIG. 6, 1 is a ceramic dielectric layer, 2 is an internal electrode, and 3 is an external electrode. The internal electrodes 2 are alternately connected to two external electrodes 3.

従来、積層セラミックコンデンサは、以下のような製
造方法によって製造されていた。
Conventionally, a laminated ceramic capacitor has been manufactured by the following manufacturing method.

まず、所定の大きさに切断されたセラミック生シート
に、所定の電極インキを印刷し、前記電極インキを乾燥
させ、電極インキ膜とし、この電極インキ膜の形成され
たセラミック生シートを必要枚数だけ積層し、セラミッ
ク生積層体とし、このセラミック生積層体を所望する形
状に切断し、焼成し、外部電極を取付けて完成させてい
た。
First, a predetermined electrode ink is printed on a ceramic raw sheet cut to a predetermined size, and the electrode ink is dried to form an electrode ink film. The required number of ceramic raw sheets on which the electrode ink film is formed is formed. Lamination was performed to obtain a ceramic green laminate, and this ceramic green laminate was cut into a desired shape, fired, and external electrodes were attached to complete the ceramic green laminate.

しかし、このようなセラミック生シート上に電極イン
キを直接印刷する方法は、電極インキをセラミック生シ
ート上に印刷する際に、電極インキに含まれる溶剤によ
って(通常、市販されている電極インキ中には30重量%
程度のジエチレングリコールモノブチルエーテル等の溶
剤が含まれている)セラミック生シートが膨潤したり、
侵されたりすることが問題になっていた。さらに、セラ
ミック生シートが薄くなるほど、セラミック生シート自
体にピンホールも発生しやすくなるため、内部電極同志
のショートが発生してしまう問題点があった。
However, such a method of directly printing the electrode ink on the ceramic raw sheet is based on the solvent contained in the electrode ink when printing the electrode ink on the ceramic raw sheet (usually, in a commercially available electrode ink). Is 30% by weight
Contains a solvent such as diethylene glycol monobutyl ether to a certain extent)
Being invaded was a problem. Furthermore, as the ceramic raw sheet becomes thinner, pinholes are more likely to be generated in the ceramic raw sheet itself, so that there is a problem that a short circuit between the internal electrodes occurs.

従来より、この問題に対して、いくつかのアプローチ
が採られていた。
Traditionally, several approaches have been taken to address this problem.

第7図は、セラミック生シートの上にスクリーン印刷
法により電極インキを印刷する様子を説明するための図
である。第7図において、4はスクリーン枠、5はスク
リーン、6は電極インキ、7はスキージ、8は台、9は
ベースフィルム、10はセラミック生シート、11は印刷さ
れた電極である。また、矢印はスキージ7の移動する方
向を示す。第7図のようにして、電極印刷されたセラミ
ック生シートを必要枚数だけ積層し、セラミック生積層
体とし、このセラミック生積層体を所望する形状に切断
し、焼成し、外部電極を取付けて完成されていた。
FIG. 7 is a diagram for explaining how electrode ink is printed on a green ceramic sheet by a screen printing method. In FIG. 7, 4 is a screen frame, 5 is a screen, 6 is electrode ink, 7 is a squeegee, 8 is a base, 9 is a base film, 10 is a ceramic green sheet, and 11 is a printed electrode. The arrow indicates the direction in which the squeegee 7 moves. As shown in FIG. 7, the required number of electrode-printed ceramic green sheets are laminated to form a ceramic green laminated body, and the ceramic green laminated body is cut into a desired shape and fired, and external electrodes are attached to complete the formation. It had been.

従来より、積層セラミックコンデンサの容量を増加さ
せようとして、誘電体層の厚みを薄くすることが試みら
れていた。ここで誘電体層の厚みを薄くするためには、
セラミック生シートを薄くする必要がある。しかし、セ
ラミック生シートが薄くなると、それ自体の機械的強度
が低下してしまう。このため、セラミック生シートの厚
みが20ミクロン程度以下になると、もはやセラミック生
シート単独では取扱うことができないという問題点(以
下、問題点1と呼ぶ)があり、薄層化には限度があっ
た。さらに、セラミック生シート表面が電極インキが印
刷される場合、セラミック生シートが電極インキによっ
て膨潤または溶解されるため(あるいはセラミック生シ
ート表面の微小な凹凸に電極インキが染み込んで)、特
にセラミック生シートが薄くなるほどショートを発生し
やすいと言う問題点(以下、問題点2と呼ぶ)もあっ
た。
Conventionally, attempts have been made to reduce the thickness of the dielectric layer in an attempt to increase the capacitance of the monolithic ceramic capacitor. Here, in order to reduce the thickness of the dielectric layer,
It is necessary to thin the ceramic green sheet. However, when the ceramic green sheet becomes thin, the mechanical strength of itself decreases. Therefore, when the thickness of the ceramic green sheet is about 20 μm or less, there is a problem that the ceramic green sheet cannot be handled alone (hereinafter referred to as “Problem 1”), and there is a limit to thinning. . Furthermore, when the electrode ink is printed on the surface of the ceramic green sheet, the ceramic green sheet is swollen or dissolved by the electrode ink (or the electrode ink is soaked into the minute irregularities on the surface of the ceramic green sheet). There is also a problem (hereinafter referred to as problem 2) that the shorter the thickness, the more likely a short circuit is to occur.

また、積層セラミックコンデンサにおいては、積層数
が増加するにつれて、内部電極に起因する積層セラミッ
クコンデンサの外観等に部分的な厚みムラ、あるいは段
差が発生してしまう。次に、第8図,第9図を用いてこ
の点についてさらに詳しく説明する。
Further, in the laminated ceramic capacitor, as the number of laminated layers increases, a partial thickness unevenness or a step difference occurs in the appearance of the laminated ceramic capacitor due to the internal electrodes. Next, this point will be described in more detail with reference to FIGS. 8 and 9.

第8図は、多層化した時の積層セラミックコンデンサ
の断面図である。第8図に示すように積層セラミックコ
ンデンサの中心部(内部電極2の積層数が多い)の厚み
Aに比べ、周辺部(内部電極2の積層数が少ない)の厚
みBが小さいことが解る。
FIG. 8 is a cross-sectional view of a monolithic ceramic capacitor when it is made into multiple layers. As can be seen from FIG. 8, the thickness B of the peripheral portion (the number of laminated internal electrodes 2 is small) is smaller than the thickness A of the central portion (the number of laminated internal electrodes 2 is large) of the multilayer ceramic capacitor.

第9図は、積層数に対する中心部と周辺部とでの厚み
の差を説明する図である。ここで、用いたセラミック生
シートの厚みは20ミクロン、内部電極の厚みは4ミクロ
ンである。第9図より、積層数が10層を超えると中心部
と周辺部とでの厚みの差が20ミクロン、つまり、用いた
セラミック生シートの厚みを超えてしまうことが解る。
この厚みムラ(電極の厚み分)による凹凸のため、積層
セラミックコンデンサとしての均一な積層ができず、デ
ラミネーション(層間剥離)やクラック(割れ)等の問
題(以下、問題点3と呼ぶ)を発生してしまうことにな
る。
FIG. 9 is a diagram for explaining a difference in thickness between a central portion and a peripheral portion with respect to the number of stacked layers. Here, the thickness of the green ceramic sheet used was 20 microns, and the thickness of the internal electrodes was 4 microns. From FIG. 9, it can be seen that when the number of laminated layers exceeds 10, the difference in thickness between the central portion and the peripheral portion exceeds 20 μm, that is, exceeds the thickness of the ceramic green sheet used.
Due to the unevenness due to this thickness unevenness (corresponding to the thickness of the electrode), uniform lamination as a monolithic ceramic capacitor cannot be performed, and problems such as delamination (delamination) and cracks (hereinafter referred to as problem 3) occur. Will occur.

従来より、これらの問題点(問題点1,問題点2及び問
題点3)に対して、いくつかのアプローチが採られてい
た。
Conventionally, several approaches have been taken for these problems (problem 1, problem 2, and problem 3).

まず、問題点1に対して考えられていたアプローチと
して、特開昭62−63413号公報では、セラミック生シー
トが取扱いやすいように、セラミック生シートをベース
フィルムに接着したままこのセラミック生シートの表面
に電極インキを印刷し、積層後、ベースフィルムを剥離
する方法が提案されている。しかし、この方法におい
て、問題点1はある程度解決できるが、問題点3に関し
ては解決できないものである。さらに、問題点2に関し
ては、セラミック生シートに染み込んだ電極インキの溶
剤は、セラミック生シートの反対側(電極インキが印刷
されていない側)がベースフィルムによって覆われてい
ることにより、この反対面から蒸発することができなく
なり、セラミック生シートの中に残ってしまう。つま
り、従来よりさらに長い時間セラミック生シートに電極
インキの溶剤が残ることになり、従来よりさらにセラミ
ック生シートが電極インキによって侵されやすくなる問
題点(問題点2)が大きくなることになる。
First, as an approach considered for the problem 1, in Japanese Patent Laid-Open No. 62-63413, the surface of a ceramic green sheet is adhered to a base film so that the ceramic green sheet can be easily handled. A method has been proposed in which an electrode ink is printed on a substrate, and after lamination, the base film is peeled off. However, in this method, although the problem 1 can be solved to some extent, the problem 3 cannot be solved. Regarding problem 2, the solvent of the electrode ink soaked into the ceramic green sheet is covered by the base film on the opposite side of the ceramic green sheet (the side on which the electrode ink is not printed). Can no longer evaporate and remains in the ceramic green sheet. That is, the solvent of the electrode ink remains on the ceramic green sheet for a longer period of time than before, and the problem (problem 2) that the ceramic green sheet is more likely to be attacked by the electrode ink becomes larger than before.

また、特公昭59−172711号公報で提案されている方法
は、ベースフィルム上に形成された電極をセラミック生
シートに埋め込み、ベースフィルムごと積層、焼成して
積層セラミックコンデンサを製造するものである。この
提案によると問題点2及び問題点3に関しては、ある程
度解決ができるが、問題点1は残ることになる。さら
に、この提案においてはベースフィルムごと焼成するた
めには、ベースフィルム自体の膜厚が1.5〜14ミクロン
程度と非常に薄いものを用いる必要がある。また、積層
数に比例して焼成されるベースフィルムの量も増加して
しまい、デラミネーションが発生しやすくなる。このた
め積層数を増すほどベースフィルムは薄くする必要があ
る。また、このような薄いベースフィルムは取扱いにく
く、機械的強度も悪く、実用的とは言えない。
Further, the method proposed in Japanese Patent Publication No. 59-172711 is to embed an electrode formed on a base film in a ceramic green sheet, and laminate and fire the entire base film to produce a multilayer ceramic capacitor. According to this proposal, although the problems 2 and 3 can be solved to some extent, the problem 1 remains. Further, in this proposal, in order to sinter the base film together, it is necessary to use a very thin base film having a thickness of about 1.5 to 14 microns. In addition, the amount of the base film to be fired increases in proportion to the number of layers, and delamination tends to occur. Therefore, it is necessary to make the base film thinner as the number of laminated layers increases. Further, such a thin base film is difficult to handle and has poor mechanical strength, so it cannot be said to be practical.

また、問題点2に対して考えられていたアプローチと
して、電極を転写しようとするものがある。すなわち、
特開昭63−31104号公報及び特開昭63−32909号公報で
は、電極インキをセラミック生シート表面に印刷するの
ではなく、熱転写することにより、電極インキの溶剤に
よる悪影響を防止しながら、セラミック生シート上に形
成し、積層セラミックコンデンサの歩留りを上げようと
する方法が提案されている。しかし、この方法では、セ
ラミック生シートと電極の両方を熱転写により交互に積
層することになる。つまり、内部電極の積層数を例えば
50層とした場合、セラミック生シートの積層で50回以
上、電極の積層で50回、最低でも合計100回以上の熱転
写を繰り返すこととなる。また、セラミック生シートが
1層のみでは、ピンホールの発生の可能性が高いため、
歩留りを上げるために、セラミック生シートの2層連続
転写が考えられる。しかし、この場合は計150回以上の
熱転写が繰り返されることとなる。さらに、各転写され
た層の熱履歴が異なる。すなわち、最初に熱転写された
層は、その後150回近く熱履歴が加えられ、一方、最後
の方に積層された層は、その後数回の熱履歴が加えられ
るだけである。一般的に、このような熱履歴が加えられ
る度にセラミック生シートは少しずつ熱変形してしまう
ため、初めに熱転写された層ほど熱履歴が大きくなり、
最後の方に積層された層に比較して変形が大きくなる。
このため、セラミック生シートが変形したり、厚みが変
化したり、あるいは電極の面積が変化したり、電極の積
層位置がずれたりし、積層後の切断時等に不良を発生さ
せやすい。さらに、均一な厚みに形成したセラミック生
シート表面に電極を後から転写することになり、どうし
ても電極の厚みに起因する積層ムラが発生してしまい、
問題点3を解決することにはならない。
Another approach that has been considered for the problem 2 is to transfer electrodes. That is,
In JP-A-63-31104 and JP-A-63-32909, it is possible to prevent the adverse effect of the solvent of the electrode ink while preventing the adverse effect of the solvent of the electrode ink by thermally transferring the electrode ink instead of printing it on the surface of the ceramic green sheet. There has been proposed a method of forming the green sheet on a green sheet to increase the yield of the monolithic ceramic capacitor. However, in this method, both the ceramic green sheets and the electrodes are alternately laminated by thermal transfer. That is, for example, the number of stacked internal electrodes is
When the number of layers is 50, thermal transfer is repeated 50 times or more by stacking the ceramic green sheets, 50 times by stacking the electrodes, and at least 100 times or more in total. Also, if the ceramic green sheet has only one layer, there is a high possibility of pinholes,
In order to increase the yield, two-layer continuous transfer of a ceramic green sheet is considered. However, in this case, thermal transfer is repeated 150 times or more in total. Furthermore, the thermal history of each transferred layer is different. That is, the first thermally transferred layer is then subjected to a thermal history of nearly 150 times, while the last laminated layer is only subjected to a few subsequent thermal history. Generally, each time such a thermal history is applied, the ceramic green sheet gradually undergoes thermal deformation, so the thermal history becomes larger for the first thermal transferred layer,
The deformation is greater than that of the layers laminated towards the end.
For this reason, the raw ceramic sheet is deformed, the thickness is changed, the area of the electrodes is changed, the lamination position of the electrodes is shifted, and defects are easily generated at the time of cutting after lamination. Furthermore, the electrodes will be transferred later to the surface of the ceramic green sheet formed to have a uniform thickness, and uneven lamination will occur due to the thickness of the electrodes,
It does not solve problem 3.

また、特開昭63−51616号公報では、フィルム上に電
極インキ膜を設けた後、セラミック生シートに電極イン
キ膜が重なるようにのぞませ、前記電極インキ膜をセラ
ミック生シートに熱転写し、このセラミック生シートを
複数枚積層して焼成することが提案されている。しか
し、この方法ではセラミック生シートの熱による積層の
前に、電極インキ膜の熱転写が必要になり、セラミック
生シートに熱履歴がかかってしまうため、精度が悪くな
ってしまう。また、電極が寸法的にしっかりしたベース
フィルムの上でなく、熱硬化性を有するセラミック生シ
ートの上に熱転写された後に熱転写されることになる。
この時、セラミック生シートのみならずベースフィルム
も電極の転写の際に熱変形を起こし、積層精度を悪化さ
せる可能性が大きくなる。このため、この方法では、耐
熱性(耐熱変形性)に優れたベースフィルムを用いるこ
とが不可欠になり、製造コストを増加させることとな
る。また、この提案においても、均一な厚みに形成した
セラミック生シート表面に、電極を後から転写すること
になり、どうしても電極の厚みに起因する積層ムラが発
生してしまい、問題点3を解決することにはならない。
Further, in JP-A-63-51616, after providing an electrode ink film on the film, the ceramic raw sheet is looked into so that the electrode ink film overlaps, and the electrode ink film is thermally transferred to the ceramic raw sheet, It has been proposed to stack and fire a plurality of this ceramic green sheets. However, in this method, the thermal transfer of the electrode ink film is required before the ceramic green sheets are laminated by the heat, and the thermal history is applied to the ceramic green sheets, resulting in poor accuracy. In addition, the electrodes are not transferred onto the dimensionally firm base film but transferred onto the ceramic green sheet having thermosetting property, and then transferred onto the ceramic green sheet.
At this time, not only the ceramic raw sheet but also the base film undergoes thermal deformation during the transfer of the electrodes, and the possibility of deteriorating the lamination accuracy increases. Therefore, in this method, it is indispensable to use a base film having excellent heat resistance (heat distortion resistance), which increases the manufacturing cost. Further, also in this proposal, the electrode is later transferred to the surface of the ceramic green sheet formed to have a uniform thickness, and the lamination unevenness due to the thickness of the electrode inevitably occurs, thereby solving the problem 3. It doesn't matter.

また、特開昭63−51617号公報では、電極の転写は、
電極パターンに一致する突部を備えた押型でフィルムを
セラミック生シート上に加熱押圧して、電極層から所定
パターンの電極をセラミック生シートに転写することが
提案されている。しかし、この場合は突部を用いるとど
うしてもその部分のセラミック生シートの厚みが変化す
ることとなる。さらに、電極の数だけ突部が必要とな
り、どうしても各突部における圧力がばらついてしまう
こととなる。このため、各電極の位置におけるセラミッ
ク生シートの厚みあるいは圧縮率がばらつくことにもな
る。また、一つの電極を転写する突部においても圧力分
布があり(一般的にはマージナルゾーンと呼ばれる現象
で、凸版印刷においてインキの濃度ムラ等の発生原因に
なっている)、セラミック生シートの厚みが変化するこ
ととなる。また、セラミック生シート自体もさらにセラ
ミック生シートの形成されたベースフィルムも積層前に
部分的な熱圧力を受けるために、不規則な変形を起こし
やすい。また、特開昭63−51616号公報と同様に、電極
が寸法的にしっかりしたベースフィルム上でなく、熱軟
化性を有するセラミック生シート上に熱転写された後
に、熱転写されることになる。この時、セラミック生シ
ートのみならずベースフィルムも電極の熱転写の際に熱
変形を起こしてしまい、積層精度を悪化させる。このた
め、耐熱性に優れたベースフィルムを用いることが不可
欠になり、製造コストを増加させる問題点がある。ま
た、この提案においても、均一な膜厚に形成したセラミ
ック生シート表面に電極を後から転写することになり、
どうしても電極の厚みに起因する積層ムラが発生してし
まい、問題点3を解決することにはならない。
In JP-A-63-51617, the transfer of the electrode is
It has been proposed to heat and press the film on the ceramic green sheet with a pressing die having protrusions that match the electrode pattern to transfer the electrodes of a predetermined pattern from the electrode layer to the ceramic green sheet. However, in this case, if the protrusion is used, the thickness of the green ceramic sheet at that portion is inevitably changed. Further, as many protrusions as the number of electrodes are required, and the pressure in each protrusion inevitably varies. For this reason, the thickness or compression rate of the ceramic green sheet at the position of each electrode also varies. In addition, there is pressure distribution even in the protrusions that transfer one electrode (generally called the marginal zone, which causes uneven density of ink in letterpress printing), and the thickness of the ceramic green sheet Will change. In addition, since the ceramic green sheet itself and the base film on which the ceramic green sheet is formed are subjected to partial heat pressure before lamination, irregular deformation is likely to occur. Further, as in Japanese Patent Laid-Open No. 63-51616, the electrodes are not transferred onto the dimensionally firm base film, but are transferred onto a ceramic green sheet having a thermal softening property, and then transferred onto the ceramic green sheet. At this time, not only the ceramic green sheet but also the base film undergoes thermal deformation during thermal transfer of the electrodes, which deteriorates the stacking accuracy. Therefore, it is essential to use a base film having excellent heat resistance, which causes a problem of increasing manufacturing cost. Also in this proposal, the electrodes will be transferred later to the surface of the ceramic green sheet having a uniform film thickness.
Inevitably, stacking unevenness due to the thickness of the electrodes occurs, and the problem 3 cannot be solved.

また、特開昭63−53912号公報のように、紫外線硬化
型樹脂を含有する内部電極となる電極インキ膜をセラミ
ック生シートに転写、積層するセラミック積層体の内部
電極形成方法が提案されている。しかし、この方法で
は、電極インキはキャリアフィルム側のみが硬化し、電
極インキの表面側(キャリアフィルムでない側)は、未
硬化または半硬化状態であり、粘着性を有している。こ
のようないわゆる生乾きの電極インキ表面は、ちょっと
したことでもごみや汚れが付着しやすく、取扱いにく
い。また、電極インキを印刷した後、表面が生乾きのた
め、キャリアフィルムを巻き取ることができない。さら
に、電極インキをセラミック生シートに転写した後、セ
ラミック生シートは、キャリアフィルムに保持されるこ
となく、積層されることになる。このため、セラミック
生シートが20ミクロン程度以下の厚みになると、セラミ
ック生シート自体の機械的強度が不足して、もはや取扱
うことはできなくなる。このため、セラミック生シート
の薄層化には限度がある。
Further, as in Japanese Patent Laid-Open No. 63-53912, there has been proposed a method of forming an internal electrode of a ceramic laminate in which an electrode ink film which is an internal electrode containing an ultraviolet curable resin is transferred and laminated on a ceramic green sheet. . However, in this method, only the carrier film side of the electrode ink is cured, and the surface side (the side not the carrier film) of the electrode ink is in an uncured or semi-cured state and has an adhesive property. Such a so-called raw dry electrode ink surface is easy to handle because dust and dirt easily adhere to it even if it is a little. Also, after printing the electrode ink, the carrier film cannot be wound up because the surface is dry. Furthermore, after transferring the electrode ink to the ceramic green sheet, the ceramic green sheet is laminated without being held by the carrier film. For this reason, when the thickness of the ceramic green sheet becomes about 20 microns or less, the mechanical strength of the ceramic green sheet itself is insufficient, and the ceramic raw sheet can no longer be handled. Therefore, there is a limit to how thin the green ceramic sheet can be made.

さらに、問題点2に対して考えられていたアプローチ
として、予めベースフィルム上に電極を形成しておくも
のがある。例えば、特開昭56−106244号公報は、ベース
フィルム上に電極インキ膜を印刷形成しておき、次にこ
の上にキャスチング法でセラミック生シートを形成する
方法である。また、特公昭40−19975号公報のように、
電極インキを塗布,乾燥後,連続的に誘電体スラリーを
塗布し、これを支持体から剥離することにより、電極埋
め込みセラミック生シートを得る方法がある。この方法
によると問題点2はある程度解決できるが、問題点1に
関しては解決できない。つまり、これらの方法により作
った電極埋め込みセラミック生シートは、ベースフィル
ムから剥離されて積層されるために、その膜厚が薄くな
ると、機械的強度が極端に減少するために、例えば20ミ
クロン以下ではもはやそれ自体では、取扱いできなくな
ると言う問題点(問題点1)があった。また、電極イン
キ膜に起因する凹凸が電極埋め込みセラミック生シート
の表面に発生し易い問題がある。
Further, as an approach that has been considered for the problem 2, there is one in which an electrode is formed on the base film in advance. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-106244 is a method in which an electrode ink film is formed by printing on a base film and then a ceramic green sheet is formed on the electrode ink film by the casting method. In addition, as in Japanese Patent Publication No. 40-19975,
There is a method of obtaining an electrode-embedded ceramic green sheet by applying an electrode ink, drying it, and then continuously applying a dielectric slurry and peeling it from a support. According to this method, the problem 2 can be solved to some extent, but the problem 1 cannot be solved. That is, the electrode-embedded ceramic green sheet made by these methods is peeled from the base film and laminated, so that when the film thickness becomes thin, the mechanical strength extremely decreases. There was a problem (problem 1) that it could no longer be handled by itself. Further, there is a problem that irregularities due to the electrode ink film are likely to occur on the surface of the green electrode-embedded ceramic green sheet.

また、電極をセラミック生シートに埋め込み積層セラ
ミックコンデンサを製造する方法として、特開昭55−12
4225号公報,特公昭62−35255号公報で提案されている
方法がある。しかし、これらの製造方法は、1枚のベー
スフィルムの上に誘電体及び電極を交互に複数層にわた
って、グラビア印刷等の方法を用いて印刷積層するもの
である。このため、やはり電極に含まれる溶剤によっ
て、セラミック生シートが侵されてしまう問題点があ
る。
Further, as a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor in which electrodes are embedded in a ceramic green sheet, there is disclosed in JP-A-55-12.
There are methods proposed in Japanese Patent No. 4225 and Japanese Patent Publication No. 62-35255. However, in these manufacturing methods, dielectrics and electrodes are alternately printed and laminated on a single base film by a method such as gravure printing over a plurality of layers. Therefore, there is also a problem that the ceramic raw sheet is affected by the solvent contained in the electrode.

さらに、特公昭60−49590号公報のように第1のセラ
ミック生シート上に、第1の電極を印刷し、次にこの電
極を覆うようにセラミック粉末を含むペーストを印刷、
乾燥させ、第1の補助セラミック層を形成し、さらに第
2のセラミック生シートを積み重ねる方法が提案されて
いる。この方法によると、内部電極間に、セラミック生
シート及び補助セラミック層が形成される(つまりセラ
ミック生シートが2重になる)ことになる。また、特公
昭62−27721号公報では、同様な方法が提案されてい
る。しかし、いずれの方法も、電極の形成された(また
は電極の埋め込まれた)セラミック生シートは、ベース
フィルムから剥離された状態で、積層されることにな
る。このため、セラミック生シートが20ミクロン程度以
下の厚みになると、セラミック生シート自体の機械的強
度が不足して、もはや取扱うことはできなくなる。この
ため、セラミック生シートの薄層化には、限度がある。
Further, as in Japanese Patent Publication No. Sho 60-49590, a first electrode is printed on the first ceramic green sheet, and then a paste containing ceramic powder is printed so as to cover the electrode.
It has been proposed to dry, form a first auxiliary ceramic layer and then stack a second green ceramic sheet. According to this method, the ceramic green sheets and the auxiliary ceramic layers are formed between the internal electrodes (that is, the ceramic green sheets are doubled). A similar method is proposed in Japanese Examined Patent Publication No. 62-21721. However, in any of the methods, the electrode-formed (or electrode-embedded) ceramic green sheet is laminated in a state of being separated from the base film. For this reason, when the thickness of the ceramic green sheet becomes about 20 microns or less, the mechanical strength of the ceramic green sheet itself is insufficient, and the ceramic raw sheet can no longer be handled. Therefore, there is a limit to how thin the green ceramic sheet can be made.

発明が解決しようとする課題 したがって、前記のような積層セラミックコンデンサ
の製造方法では、電極インキ中に含まれる溶剤の悪影響
を防止することは難しかった。また、電極インキの溶剤
の影響を避ける積層セラミックコンデンサの構成では、
20ミクロン以下の薄いセラミック生シートを用いて精度
良い積層をすることができなかった。さらに、電極イン
キの溶剤の影響を防止するため、電極を熱転写によって
セラミック生シート上に形成する場合は、セラミック生
シート自体が熱で変形しやすく、複数回以上の複雑な熱
履歴を受けるため、積層数を増加することに限度があっ
た。また、積層数が増加するにつれて、内部電極に起因
する積層ムラが発生してしまうものであった。また、電
極を単にセラミック生シートに埋め込むだけでは、セラ
ミック生シートが薄くなった時に取扱いが難しく、20ミ
クロン以下のセラミック生シートの薄層化には限度があ
った。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, in the method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor as described above, it is difficult to prevent the adverse effect of the solvent contained in the electrode ink. In addition, in the configuration of the multilayer ceramic capacitor that avoids the influence of the solvent of the electrode ink,
It was not possible to perform accurate lamination using thin ceramic green sheets of 20 microns or less. Furthermore, in order to prevent the influence of the solvent of the electrode ink, when the electrodes are formed on the ceramic raw sheet by thermal transfer, the ceramic raw sheet itself is easily deformed by heat and receives a complicated thermal history of more than one time, There was a limit to increasing the number of layers. Moreover, as the number of stacked layers increases, uneven stacking due to the internal electrodes occurs. Further, if the electrodes are simply embedded in the ceramic green sheet, it is difficult to handle when the ceramic green sheet becomes thin, and there is a limit to thinning the ceramic green sheet of 20 microns or less.

本発明は前記課題に鑑み、電極が乾燥された上にセラ
ミック生シートを形成するために、ショートを起こしに
くく、電極をセラミック生シートの内部に埋め込むこと
ができるために、電極埋め込みセラミック生シートが平
坦化でき、20ミクロン以下の薄いセラミック生シートに
おいてもベースフィルムごと積層するため、機械的強度
を保ちながら取扱うことができ、さらにセラミック生シ
ートに粘着付与剤を含むことにより、電極埋め込みセラ
ミック生シートの転写性(または被転写性)を向上さ
せ、簡単に精度良い積層を行うことのできる積層セラミ
ック電子部品の製造方法を提供するものである。
In view of the above-mentioned problems, the present invention forms a ceramic green sheet on an electrode that has been dried, so that a short circuit is unlikely to occur and the electrode can be embedded inside the ceramic green sheet. It can be flattened, and even a thin ceramic green sheet of 20 microns or less is laminated with the base film, so it can be handled while maintaining its mechanical strength. Furthermore, by including a tackifier in the ceramic green sheet, an electrode embedded ceramic green sheet The present invention provides a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component, which can improve the transferability (or transferability) of (3) and can easily and accurately perform lamination.

課題を解決するための手段 前記課題を解決するために、本発明の積層セラミック
電子部品の製造方法は、ベースフィルム上に電極を形成
し、前記電極が形成されたベースフィルム上に、粘着付
与剤を含むセラミックのスラリーを塗布し、前記セラミ
ックのスラリーを乾燥させ、前記ベースフィルム上に電
極埋め込みセラミック生シートを作り、次に前記電極埋
め込みセラミック生シートを前記支持体より剥離するこ
となく、他のセラミック生シートもしくは他の電極の上
に熱圧着させた後、前記支持体のみを剥離し、前記電極
埋め込みセラミック生シートを前記他のセラミック生シ
ートもしくは他の電極上に転写するという構成を備えた
ものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the problems, the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component of the present invention is to form an electrode on a base film, and the base film on which the electrode is formed, a tackifier. Is applied, and the ceramic slurry is dried to form an electrode-embedded ceramic green sheet on the base film. Then, the electrode-embedded ceramic green sheet is not peeled from the support. After thermocompression-bonding onto a ceramic green sheet or another electrode, only the support is peeled off, and the electrode-embedded ceramic green sheet is transferred onto the other ceramic green sheet or another electrode. It is a thing.

作用 本発明は前記した構成によって、電極が乾燥された上
にセラミック生シートを形成することにより、電極イン
キ中に含まれている溶剤によってセラミック生シートが
浸食、膨潤を起こし、ショートの原因となることを防止
することができ、多層化された積層セラミックコンデン
サを製造する際においても、電極をセラミック生シート
に埋め込むことにより、電極に起因する電極埋め込みセ
ラミック生シートの表面への段差(凹凸)の発生を低減
することができることになる。また、電極の埋め込まれ
たセラミック生シートを支持体より剥離することなく、
他のセラミック生シートもしくは他の電極の上に熱圧着
させた後、支持体のみを剥離し、前記電極埋め込みセラ
ミック生シートを転写することにより、電極埋め込みセ
ラミック生シートの積層時等での取扱いを容易にし、積
層精度も高められることとなる。さらに、この電極埋め
込みセラミック生シートに粘着付与剤を含むことによ
り、積層時において電極埋め込みセラミック生シートの
転写性(あるいは被転写性)にバラツキが発生すること
を防止しながら、より安定した転写を可能にすることが
できることとなる。
Effect of the Invention The present invention has the above-described structure, and by forming the ceramic green sheet on the dried electrode, the solvent contained in the electrode ink causes the ceramic green sheet to erode and swell, which causes a short circuit. Even when a multilayer ceramic capacitor having a multilayer structure is manufactured, by embedding the electrode in the ceramic green sheet, a step (unevenness) on the surface of the electrode-embedded ceramic green sheet due to the electrode can be prevented. Occurrence can be reduced. Also, without peeling the ceramic green sheet with the embedded electrodes from the support,
After thermocompression-bonding onto another ceramic green sheet or other electrode, only the support is peeled off and the electrode-embedded ceramic green sheet is transferred, so that the electrode-embedded ceramic green sheet can be handled when laminated. It will be easier and the stacking accuracy will be improved. Further, by including a tackifier in the electrode-embedded ceramic green sheet, more stable transfer can be achieved while preventing the transferability (or transferability) of the electrode-embedded ceramic green sheet from being varied during lamination. It will be possible.

実施例 以下、本発明の一実施例の積層セラミックコンデンサ
の製造方法及び積層方法について、図面を参照しながら
説明する。
EXAMPLES Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor and a method for laminating the same according to one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図及び第2図は、本発明の第1の実施例における
電極埋め込みセラミック生シートを積層する様子を説明
するための図である。第1図,第2図において、20は
台、21,21aはベースフィルム、22はセラミック生積層
体、23,23aは電極、24はセラミック生シート、25は電極
埋め込みセラミック生シートであり、この電極埋め込み
セラミック生シート25は電極23とセラミック生シート24
とより構成されている。26はヒータ、27は熱盤、30は転
写された電極埋め込みセラミック生シートであり、転写
された電極28と転写されたセラミック生シート29とより
構成されている。また、矢印は熱盤27の動く方向を示
す。
FIG. 1 and FIG. 2 are views for explaining the state of laminating the electrode-embedded raw ceramic sheets in the first embodiment of the present invention. In FIGS. 1 and 2, 20 is a base, 21 and 21a are base films, 22 is a ceramic green laminate, 23 and 23a are electrodes, 24 is a ceramic green sheet, and 25 is an electrode-embedded ceramic green sheet. The electrode-embedded ceramic green sheet 25 includes an electrode 23 and a ceramic green sheet 24.
It is composed of 26 is a heater, 27 is a heating plate, 30 is a transferred electrode-embedded ceramic green sheet, and is composed of a transferred electrode 28 and a transferred ceramic green sheet 29. Arrows indicate the direction in which the hot platen 27 moves.

まず、第1図を用いて説明する。まず、ベースフィル
ム21aの電極埋め込みセラミック生シート25が形成され
ていない側に、ヒータ26により加熱された熱盤27を置
く。一方、ベースフィルム21aの電極埋め込みセラミッ
ク生シート25の形成された側に、台20上に固定したベー
スフィルム21及びセラミック生積層体22を置く。この
時、第1図のようにセラミック生積層体22の表面に電極
23a、あるいは第1のセラミック生シート(図示せず)
が予め形成されていてもよい。さらには、セラミック生
積層体22の表面が直接表面に表れていてもよい。また、
ベースフィルム21はなくともよい。次に、第1図に示す
状態から、熱盤27によりセラミック生積層体22(あるい
はセラミック生積層体22の表面に予め形成された電極23
aの表面)の表面に、ベースフィルム21aの表面に形成さ
れた電極埋め込みセラミック生シート25を加熱圧着させ
る。
First, a description will be given with reference to FIG. First, a hot platen 27 heated by a heater 26 is placed on the side of the base film 21a on which the electrode-embedded ceramic raw sheet 25 is not formed. On the other hand, on the side of the base film 21a on which the electrode-embedded ceramic raw sheet 25 is formed, the base film 21 and the ceramic raw laminate 22 fixed on the table 20 are placed. At this time, as shown in FIG. 1, electrodes are formed on the surface of the ceramic green laminate 22.
23a or first ceramic green sheet (not shown)
May be formed in advance. Furthermore, the surface of the ceramic green laminate 22 may directly appear on the surface. Also,
The base film 21 may be omitted. Next, from the state shown in FIG. 1, the ceramic raw laminated body 22 (or the electrode 23 previously formed on the surface of the ceramic raw laminated body 22 by the heating plate 27 is used.
An electrode-embedded ceramic green sheet 25 formed on the surface of the base film 21a is thermocompression-bonded to the surface of (a surface).

次に、第2図を用いて説明する。この第2図は、第1
図に示す電極埋め込みセラミック生シート25を転写した
後の図である。すなわち、第2図のように、熱盤27によ
って、ベースフィルム21a上の電極埋め込みセラミック
生シート25は、セラミック生積層体22の表面(あるいは
セラミック生積層体22の表面に予め形成された電極23a
の表面)に転写され、これにより転写された電極28及び
転写されたセラミック生シート29とより構成された転写
された電極埋め込みセラミック生シート30を形成する。
Next, a description will be given with reference to FIG. This FIG.
FIG. 4 is a view after the electrode embedded ceramic raw sheet 25 shown in the figure has been transferred. That is, as shown in FIG. 2, the electrode-embedded ceramic green sheet 25 on the base film 21a is heated by the heating plate 27 so that the surface of the ceramic green laminate 22 (or the electrode 23a previously formed on the surface of the ceramic green laminate 22).
Surface), and thereby a transferred electrode-embedded ceramic green sheet 30 composed of the transferred electrode 28 and the transferred ceramic green sheet 29 is formed.

また、第3図及び第4図は、前記第1の実施例の変形
例を示し、電極23の形成されたセラミック生積層体22の
表面に、ベースフィム21bの上に形成されたセラミック
生シート24aを加熱圧着させ、転写されたセラミック生
シート24bを形成した後に、電極埋め込みセラミック生
シート25を加熱圧着する様子を示す。ここで、第1図,
第2図の工程や、第3図,第4図の工程を繰り返すこと
で多層にわたり積層することも可能である。
3 and 4 show a modification of the first embodiment, in which a ceramic green sheet 24a formed on the base film 21b is formed on the surface of the ceramic green laminate 22 having electrodes 23 formed thereon. A state is shown in which the electrode-embedded ceramic green sheet 25 is subjected to thermocompression bonding after being subjected to thermocompression bonding to form the transferred ceramic green sheet 24b. Here, FIG.
By repeating the steps of FIG. 2 and the steps of FIGS. 3 and 4, it is also possible to laminate over multiple layers.

次に、さらに詳しく説明する。まず、電極を形成する
ための電極インキとしては、市販の電極インキを用い、
適当な粘度になるようにスクリーン印刷用の溶剤を加え
て希釈した後、電極インキとして用いた(以下、簡単に
電極インキと呼ぶ)。
Next, a more detailed description will be given. First, as the electrode ink for forming the electrodes, use a commercially available electrode ink,
It was used as an electrode ink after being diluted by adding a solvent for screen printing so as to have an appropriate viscosity (hereinafter, simply referred to as an electrode ink).

次に、誘電体スラリーの作り方について説明する。ま
ず、ポリビニルブチラール樹脂(以下PVB樹脂と呼ぶ)
9重量部を、溶剤23重量部と可塑剤3重量部を混合した
中に加え、さらに粘着付与剤(通称タックファイアー)
0.5重量部を充分溶解した後、この中に粒径約1ミクロ
ンのチタン酸バリウムを主体とした誘電体粉末64重量部
を加え、セラミック製の3本ロールミルを用いて、グラ
インドメータ(JIS−K−5701記載のもの)を用いて評
価しながら充分練り、スクリーン印刷用誘電体スラリー
(以下、誘電体スラリーと呼ぶ)とした。また、溶剤
をスクリーン印刷用のものから、リバース塗布機用の混
合溶剤に変更し、添加量も増加させたリバース塗布機用
誘電体スラリー(以下、誘電体スラリーと呼ぶ)も用
意した。
Next, how to make a dielectric slurry will be described. First, polyvinyl butyral resin (hereinafter referred to as PVB resin)
Add 9 parts by weight to a mixture of 23 parts by weight of solvent and 3 parts by weight of plasticizer, and further add tackifier (commonly called tack fire).
After thoroughly dissolving 0.5 parts by weight, 64 parts by weight of a dielectric powder mainly composed of barium titanate having a particle size of about 1 micron was added to this, and a grind meter (JIS-K -5701) was thoroughly kneaded while being evaluated to obtain a screen printing dielectric slurry (hereinafter referred to as a dielectric slurry). Further, a solvent for screen coating was changed from a solvent for screen coating to a mixed solvent for a reverse coating machine, and a dielectric slurry for a reverse coating machine (hereinafter, referred to as a dielectric slurry) in which the addition amount was increased was also prepared.

また、電極インキ印刷用のベースフィルム21aとし
て、フィルム幅200ミリメートル、フィルム膜厚75ミク
ロン、長さ約300メートルのポリエチレンテレフタレー
トフィルム(以下、PETフィルムと呼ぶ)を用いた。次
に、このPETフィルム上に、スクリーン印刷法により、
前記の電極インキを一定の間隔を空けながら連続的に印
刷した。そして、印刷紙の電極インキの乾燥は、印刷機
の次に遠赤外のベルト炉を接続し、電極インキ中の溶剤
を蒸発させ、これを電極23とした。さらに、この上に前
記誘電体スラリーをベタパターンで第8図のようにス
クリーン印刷法により、2重に(誘電体スラリーを印
刷、乾燥させた後、さらに誘電体スラリーを重ねて印
刷、乾燥させる)印刷した。ここで、電子式のマイクロ
メータを用いて、でき上がった電極埋め込みセラミック
生シート25のセラミック生シート24だけの膜厚を測定し
たところ16ミクロンであった。
A polyethylene terephthalate film (hereinafter referred to as a PET film) having a film width of 200 mm, a film thickness of 75 μm, and a length of about 300 m was used as the base film 21a for electrode ink printing. Next, on this PET film, by the screen printing method,
The above electrode ink was continuously printed at regular intervals. Then, for drying the electrode ink of the printing paper, a far infrared belt furnace was connected next to the printing machine to evaporate the solvent in the electrode ink and use this as the electrode 23. Further, the above-mentioned dielectric slurry is double-printed on this with a solid pattern by a screen printing method as shown in FIG. 8 (the dielectric slurry is printed and dried, and then the dielectric slurry is further printed and dried. ) Printed. Here, when the film thickness of only the ceramic raw sheet 24 of the completed electrode-embedded ceramic raw sheet 25 was measured using an electronic micrometer, it was 16 microns.

次に、この電極埋め込みセラミック生シート25を用い
た積層セラミックコンデンサの製造方法について説明す
る。まず、厚み200ミクロンの電極の形成されていない
セラミック生積層体22を、ベースフィルム21ごと第1図
の台20上に固定した。この上に、第3図及び第4図のよ
うに、必要な積層数だけ電極埋め込みセラミック生シー
ト25を転写した。ここで、転写は温度150℃、圧力15キ
ログラム毎平方センチメートルの条件下でベースフィル
ム21aの側から熱盤27を用いて行い、電極埋め込みセラ
ミック生シート25を転写した後、ベースフィルム21aを
剥がして行った。
Next, a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor using the electrode-embedded ceramic raw sheet 25 will be described. First, a ceramic green laminate 22 having a thickness of 200 μm and having no electrodes formed thereon was fixed together with the base film 21 on the table 20 shown in FIG. As shown in FIGS. 3 and 4, a necessary number of laminated ceramic raw sheets 25 with electrodes were transferred thereon. Here, the transfer is performed using a hot platen 27 from the side of the base film 21a under the conditions of a temperature of 150 ° C. and a pressure of 15 kilograms per square centimeter, and after transferring the electrode-embedded ceramic raw sheet 25, the base film 21a is peeled off. Was.

以下、これを繰り返し、電極が第7図のように交互に
ずれるようにし、電極を51層になるようにした。そし
て、最後に焼成時のソリ対策や機械的強度を上げるため
に、電極が形成されていないセラミック生シートを厚み
200ミクロン相当転写した。このようにして得た積層体
を2.4×1.6ミリメートルのチップ状に切断した後、1300
℃で1時間焼成した。
Hereinafter, this was repeated so that the electrodes were shifted alternately as shown in FIG. 7, and the electrodes were made into 51 layers. Finally, in order to prevent warpage during firing and increase mechanical strength, the ceramic raw sheet without electrodes
200 micron equivalent was transferred. After cutting the laminate thus obtained into chips of 2.4 x 1.6 mm, 1300
Calcination was carried out at ℃ for 1 hour.

また、電極の溶剤の影響を調べるために、従来例
(1)として電極を直接セラミック生シートの上に印刷
した。これは前述と同じ組成、厚みからなるPETフィル
ム上に形成されたセラミック生シート(誘電体スラリー
を印刷、乾燥、印刷と2重にしたもの)の上に、前記
電極インキを直接第8図のようにスクリーン印刷法によ
り内部電極として印刷、乾燥し、電極の形成されたセラ
ミック生シートとした。次に、この電極の形成されたセ
ラミック生シートをPETフィルムごと転写しPETフィルム
を剥がし、電極が51層になるように転写積層した。ま
た、各条件は前述のものと同じにした。
Further, in order to investigate the influence of the solvent on the electrode, the electrode was directly printed on a ceramic green sheet as a conventional example (1). The electrode ink is directly applied onto a ceramic green sheet (dielectric slurry is printed, dried, and printed twice) formed on a PET film having the same composition and thickness as described above. By the screen printing method, the internal electrodes were printed and dried to obtain a ceramic green sheet having electrodes. Next, the ceramic raw sheet on which the electrodes were formed was transferred together with the PET film, the PET film was peeled off, and the electrodes were transferred and laminated so that the electrodes had 51 layers. Also, each condition was the same as that described above.

ここで、試料数は、n=100とした。次に、外部電極
を通常の方法を用いて形成し、ショート発生率を調べ
た。その結果を以下の第1表に示す。
Here, the number of samples was n = 100. Next, external electrodes were formed using a usual method, and the occurrence ratio of short circuits was examined. The results are shown in Table 1 below.

以上のように本発明による積層セラミック電子部品の
製造方法を用いれば、電極インキが乾燥されているため
に、ショート発生率、デラミネーション発生率ともに、
従来法に比較して、大きく改善されていることが解る。
As described above, if the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention is used, since the electrode ink is dried, both the occurrence rate of short-circuit and the incidence rate of delamination are reduced.
It can be seen that it is greatly improved as compared with the conventional method.

なおここで、本発明に用いた電極埋め込みセラミック
生シートのセラミック生シート部はそれ自体に含むPVB
樹脂の性質により熱による転写性(または接着性)を有
する。また、この電極埋め込みセラミック生シートの熱
による転写性(または接着性)は、セラミック生シート
中に含まれるPVB樹脂の含有率によって大きく変化す
る。つまり、セラミック生シート中にPVB樹脂の含有率
が多いほど、熱による転写性が向上するが、焼結時にデ
ラミネーションの発生原因となり易い(相対的にセラミ
ック粉末の含有率が低下するため)ことが考えられる。
そこで、実験に用いた粒径のセラミック粉末について、
セラミック生シート中に含まれる樹脂量に対して、転写
性とデラミネーションの発生率との関係を求めた結果
を、本発明の電極埋め込みセラミック生シートについて
調べた結果につき下記の第2表に示す。
Here, the ceramic raw sheet portion of the electrode-embedded ceramic raw sheet used in the present invention is a PVB containing itself.
Due to the nature of the resin, it has transferability (or adhesiveness) due to heat. In addition, the transferability (or adhesiveness) of this electrode-embedded ceramic raw sheet due to heat varies greatly depending on the content of the PVB resin contained in the ceramic raw sheet. In other words, the higher the content of PVB resin in the ceramic green sheet, the better the transferability due to heat, but it is likely to cause delamination during sintering (because the content of ceramic powder decreases relatively). Can be considered.
So, about the ceramic powder of the particle size used in the experiment,
The results of the relationship between the transferability and the occurrence rate of delamination with respect to the amount of resin contained in the ceramic green sheet were determined, and the results of examining the electrode embedded ceramic green sheet of the present invention are shown in Table 2 below. .

第2表より、PVB樹脂は10重量%〜40重量%程度のも
のが転写性も良く、デラミネーションを起こしにくいこ
とが解る。特に、15重量%前後のものが転写性も良く、
デラミネーションの発生も少ないことが解る。
From Table 2, it can be seen that if the PVB resin is about 10% to 40% by weight, the transferability is good and delamination is unlikely to occur. In particular, those with around 15% by weight have good transferability,
It can be seen that delamination is rare.

ここで、PVB樹脂が15重量%から10重量%と少なくな
ると、電極埋め込みセラミック生シート自体の転写性が
弱く(悪く)なる。このために電極埋め込みセラミック
生シート同志が充分密着することなく(密着不完全なま
まになるため)、積層してでき上がったセラミック生積
層体はデラミネーションが発生しやすくなる傾向がある
と考えられた。
Here, when the PVB resin is reduced from 15% by weight to 10% by weight, the transferability of the electrode-embedded ceramic green sheet itself becomes weak (worse). For this reason, it was considered that delamination is likely to occur in the ceramic green laminated body formed by laminating the electrode green ceramic raw sheets without sufficient adhesion (because the incomplete adhesion remains). .

次に、本発明のように粘着付与剤を加え、電極埋め込
みセラミック生シートの転写性を調べた。このセラミッ
ク生シートに接着性(あるいは粘着性)をもたせること
により、さらにこの電極埋め込みセラミック生シートの
転写性を向上させることができ、粘着付与剤(タックフ
ァイアー)を加え、そのデラミネーションの発生率を調
べた結果を下記の第3表に示す。
Next, a tackifier was added as in the present invention, and the transferability of the electrode-embedded ceramic green sheet was examined. By giving this ceramic green sheet adhesiveness (or tackiness), the transferability of this electrode-embedded ceramic green sheet can be further improved. A tackifier (tackfire) is added, and the delamination rate is increased. The results of the examination are shown in Table 3 below.

第3表から、粘着付与剤を添加することで、電極埋め
込みセラミック生シートの転写性を向上させることがで
きることが解る。すなわち、粘着付与剤が含まれていな
い場合には、転写性が弱い(PVB樹脂量10重量%のも
の)、あるいは転写性がなかったもの(PVB樹脂量7重
量%のもの)においても、転写性を向上させることがで
き、このためによりデラミネーション発生率を少なくす
ることができた。また、粘着付与剤を添加することによ
り電極埋め込みセラミック生シート自体の転写性を向上
させるばかりでなく、転写された後の電極埋め込みセラ
ミック生シートの被転写性をも向上することになり、こ
のためにより一層効果的な転写性の向上を図ることがで
きた。また、セラミック生シートに粘着付与剤を含むこ
とで電極埋め込みセラミック生シートの転写性及び被転
写性を向上させることができ、結果的に転写性の劣る
(つまり樹脂量の少ない)セラミック生シートを用いて
電極埋め込みセラミック生シートを製造した場合におい
ても、転写性を良くすることができることが解る。この
ことは、電極埋め込みセラミック生シートの転写に最低
限必要な樹脂量を低減できることであり、言い換える
と、セラミック生シートに含まれる樹脂の焼成時の分解
をより容易にすることになり、焼成時間を短くしたり、
あるいは焼成条件を簡単かつ安定なものにできることに
なる。また、セラミック生シートに用いる樹脂を、粘着
付与剤を主体としたものにすることも効果的である。
From Table 3, it is understood that the transferability of the electrode-embedded ceramic green sheet can be improved by adding the tackifier. That is, when the tackifier is not contained, the transferability is weak (PVB resin amount is 10% by weight) or even if the transferability is not present (PVB resin amount is 7% by weight). As a result, the delamination rate can be reduced. Further, addition of a tackifier not only improves the transferability of the electrode-embedded ceramic green sheet itself, but also improves the transferability of the electrode-embedded ceramic green sheet after being transferred. As a result, it was possible to more effectively improve the transferability. In addition, the transferability and transferability of the electrode-embedded ceramic green sheet can be improved by including a tackifier in the ceramic green sheet, and as a result, a ceramic green sheet with poor transferability (that is, a small amount of resin) can be obtained. It can be seen that transferability can be improved even when an electrode-embedded ceramic green sheet is manufactured using the same. This means that the minimum amount of resin required for transferring the electrode-embedded ceramic green sheet can be reduced. In other words, the resin contained in the ceramic green sheet can be decomposed more easily during firing, and the firing time can be reduced. Or shorten
Alternatively, the firing conditions can be made simple and stable. It is also effective to make the resin used for the ceramic green sheet mainly a tackifier.

また、粘着付与剤を加えることで電極埋め込みセラミ
ック生シートの転写温度をさらに低下させることが可能
である。通常、転写温度を低下させるためには、電極埋
め込みセラミック生シートに含まれる樹脂量を増加させ
たり、可塑剤量を増加させたりすることにより可能にな
る。また、転写温度を下げられることにより、転写に要
する時間、圧力を低下することも可能である。本発明に
おいては、樹脂量を増加させずとも(必要最少限の樹脂
量で)、電極埋め込みセラミック生シートの転写が可能
になる。一例として、下記の第4表に、粘着付与剤が添
加された場合と添加されていない場合の電極埋め込みセ
ラミック生シートの転写温度に対する転写性を調べた結
果を示す。
Further, it is possible to further lower the transfer temperature of the electrode-embedded ceramic green sheet by adding a tackifier. Usually, the transfer temperature can be lowered by increasing the amount of resin contained in the electrode-embedded ceramic green sheet or increasing the amount of plasticizer. Further, by lowering the transfer temperature, it is possible to reduce the time and pressure required for transfer. In the present invention, the electrode-embedded ceramic green sheet can be transferred without increasing the resin amount (with the minimum required resin amount). As an example, Table 4 below shows the results of examining the transferability with respect to the transfer temperature of the electrode-embedded ceramic green sheet when the tackifier was added and when it was not added.

以上のように、第4表から粘着付与剤の効果が解る。
さらに、転写性が弱い(PVB樹脂量10重量%のもの)電
極埋め込みセラミック生シートを用い、同様に転写温度
を変化させて転写性を調べた結果でも、セラミック生シ
ートに粘着付与剤を含むことで転写温度を低下させられ
る結果が得られた。
As described above, Table 4 shows the effect of the tackifier.
Furthermore, using a ceramic green sheet with embedded electrodes, which has weak transferability (PVB resin content of 10% by weight), and also examined transferability by changing the transfer temperature, the ceramic green sheet also contains a tackifier. The result is that the transfer temperature can be lowered by.

また、粘着付与剤により電極埋め込みセラミック生シ
ートの表面に、多少の粘着性が現れる場合があったが、
ベースフィルム(電極埋め込みセラミック生シートの表
面に接するベースフィルム面)に剥離処理することで、
取扱い上特に問題にはならなかった。
In addition, the tackifier may cause some stickiness on the surface of the electrode-embedded ceramic green sheet,
By peeling the base film (the surface of the base film that contacts the surface of the green electrode-embedded ceramic sheet),
There was no particular problem in handling.

ここで、PVB樹脂自体にある程度の粘着付与性がある
が、特にこのような樹脂を用いなくとも、メチルセルロ
ース,エチルセルロース等の転写性の劣る樹脂を用いる
場合においても、粘着付与剤を加えることにより容易に
転写性(及び被転写性を)向上させることができる。ま
た、樹脂によって転写性(及び被転写性)の劣るグレー
ド(重合度別等の種類)を用いた場合においても容易に
転写性(及び被転写性)を向上させることができる。
Here, the PVB resin itself has a certain degree of tackifying property, but even if such a resin having poor transferability such as methyl cellulose or ethyl cellulose is used, it is easy to add the tackifier The transferability (and the transferability) can be improved. Further, the transferability (and transferability) can be easily improved even when a grade (type such as polymerization degree) having poor transferability (and transferability) is used depending on the resin.

また、硬化型樹脂、重合型樹脂であっても、硬化後、
重合後であっても、通常は熱可塑性樹脂に比較して転写
性が劣っているが、粘着付与剤を加えることにより容易
に転写性を向上させることができる。
Further, even if a curable resin or a polymerizable resin, after curing,
Even after the polymerization, the transferability is usually inferior to that of the thermoplastic resin, but the transferability can be easily improved by adding the tackifier.

次に、第5図は本発明の第2の実施例における熱ロー
ラを用いて電極埋め込みセラミック生シートを転写する
方法を説明するための図である。第5図において、31は
熱ローラであり、ヒータ26aにより一定温度に設定され
ている。そして、電極埋め込みセラミック生シート25が
セラミック生積層体22(あるいはセラミック生積層体22
の表面に予め形成された電極23aの表面)と熱ローラ31
の間を通る時、電極埋め込みセラミック生シート25は、
セラミック生積層体22の表面に転写され、転写された電
極埋め込みセラミック生シート30となる。この方法によ
ると、電極埋め込みセラミック生シートの転写を連続的
に行うことができる。
Next, FIG. 5 is a view for explaining a method of transferring an electrode-embedded raw ceramic sheet using a heat roller in the second embodiment of the present invention. In FIG. 5, reference numeral 31 denotes a heat roller, which is set at a constant temperature by a heater 26a. Then, the electrode-embedded ceramic green sheet 25 is used as the ceramic green laminate 22 (or the ceramic green laminate 22).
Surface of electrode 23a previously formed on the surface of) and heat roller 31
When passing between, the electrode embedded ceramic green sheet 25,
The electrode-embedded ceramic green sheet 30 is transferred to the surface of the ceramic green laminate 22 and transferred. According to this method, the transfer of the electrode-embedded ceramic raw sheet can be continuously performed.

また、実施例においてセラミック生シートの製造につ
いては、スクリーン印刷法を用いたが、前記誘電体スラ
リーを用いることでグラビア法によっても電極埋め込
みセラミック生シートを製造することができた。また、
セラミック生シートの製造においては、従来よりセラミ
ック業界あるいは磁気テープ業界において広く用いられ
ているグラビア法以外にもドクターブレード法,リバー
ス法等の市販の塗布機を用いることができることは言う
までもない。
Further, although the screen printing method was used for manufacturing the ceramic green sheet in the examples, the electrode-embedded ceramic green sheet could also be manufactured by the gravure method by using the dielectric slurry. Also,
Needless to say, a commercially available coater such as a doctor blade method or a reverse method can be used in the production of the ceramic green sheet in addition to the gravure method which has been widely used in the ceramic industry or the magnetic tape industry.

なお、本発明において、転写時には熱,光電子線,マ
イクロウエーブ,X線等を用いて転写を行っても良い。ま
た、PVB樹脂の種類、可塑剤の種類や添加量を変えるこ
とにより、保存安定性、転写温度の低下(室温)、積層
の高速化も可能である。また、タックファイアー(粘着
付与剤)としては、常温で粘度弾性を持ち、接着性及び
被接着性に優れ、接着後も長時間凝集力を保つものがよ
い。具体的には、ポリビニルエーテル(ポリビニルメチ
ルエーテル,ポリビニルエチルエーテル,イソブチルエ
ーテル等を含む)系、ポリイソブチレン,スチレンブタ
ジェンゴム(SBR),ブチルゴム,クロロプレンゴム,
塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体,塩化ゴム等がある。
また、広い意味ではポリビニルブチラールも含まれる。
In the present invention, the transfer may be performed by using heat, photoelectron beam, microwave, X-ray or the like. Also, by changing the type of PVB resin, the type and amount of the plasticizer, the storage stability, the lowering of the transfer temperature (room temperature), and the higher speed of lamination can be achieved. Further, as the tack fire (tackifier), one having viscoelasticity at room temperature, excellent adhesiveness and adherence, and maintaining cohesive force for a long time after the adhesion is preferable. Specifically, polyvinyl ether (including polyvinyl methyl ether, polyvinyl ethyl ether, isobutyl ether, etc.) system, polyisobutylene, styrene butadiene rubber (SBR), butyl rubber, chloroprene rubber,
Examples include vinyl chloride-vinyl acetate copolymer and chlorinated rubber.
It also includes polyvinyl butyral in a broad sense.

さらに、本発明の製造方法は、前記実施例で述べた積
層セラミックコンデンサに適用する以外に、多層セラミ
ック基板,積層バリスタ等のその他の積層セラミック電
子部品においても適用できるものである。
Further, the manufacturing method of the present invention can be applied not only to the monolithic ceramic capacitors described in the above embodiments but also to other monolithic ceramic electronic components such as a multi-layer ceramic substrate and a multi-layer varistor.

発明の効果 以上のように本発明は、ベースフィルム上に形成され
た電極の上に、粘着付与剤を含むセラミックのスラリー
を塗布し、前記セラミックのスラリーを乾燥させ、前記
ベースフィルム上に電極埋め込みセラミック生シートを
作り、次に前記電極埋め込みセラミック生シートを前記
支持体より剥離することなく、他のセラミック生シート
もしくは他の電極の上に熱圧着させた後、前記支持体の
みを剥離し、前記電極埋め込みセラミック生シートを他
のセラミック生シートもしくは他の電極上に転写するこ
とにより、電極が乾燥されていることにより、電極イン
キ中に含まれる溶剤の悪影響を極力少なくし、またセラ
ミック生シートを支持体と共に取扱うために、取扱い時
に破損することがなく、電極をセラミックのスラリー中
に埋め込むことで電極に起因する電極埋め込みセラミッ
ク生シート表面の凹凸の発生を防止でき、さらにセラミ
ックのスラリーに粘着付与剤を加えることで、より安定
した転写(及び被転写性)を得ることができ、結果的に
転写効率を上げることができる。
EFFECTS OF THE INVENTION As described above, according to the present invention, a ceramic slurry containing a tackifier is applied on an electrode formed on a base film, the ceramic slurry is dried, and an electrode is embedded on the base film. Making a ceramic green sheet, then without peeling the electrode-embedded ceramic green sheet from the support, after thermocompression bonding on another ceramic green sheet or another electrode, only peel the support, By transferring the electrode-embedded ceramic green sheet to another ceramic green sheet or another electrode, the electrode is dried, so that the adverse effect of the solvent contained in the electrode ink is minimized, and the ceramic green sheet is also used. Since it is handled together with the support, the electrode is embedded in the ceramic slurry without damage during handling. By doing so, it is possible to prevent the generation of irregularities on the surface of the electrode-embedded ceramic green sheet due to the electrode, and by adding a tackifier to the ceramic slurry, more stable transfer (and transferability) can be obtained, As a result, the transfer efficiency can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図及び第2図は本発明の第1の実施例における電極
埋め込みセラミック生シートを積層する様子を説明する
ための図、第3図及び第4図は前記第1の実施例の変形
例を説明するための図、第5図は本発明の第2の実施例
における熱ローラを用いて電極埋め込みセラミック生シ
ートを転写する方法を説明するための図、第6図は積層
セラミックコンデンサの一部を断面にて示す図、第7図
は従来例においてセラミック生シート上に電極インキを
印刷する様子を説明するための図、第8図は同じく多積
層化した時の積層セラミックコンデンサの断面図、第9
図は同じく積層数に対する中心部と周辺部とでの厚みの
差を説明する図である。 20……台、21,21a,21b……ベースフィルム、22……セラ
ミック生積層体、23,23a……電極、24,24a,24b……セラ
ミック生シート、25……電極埋め込みセラミック生シー
ト、26,26a……ヒータ、27……熱盤、28……転写された
電極、29……転写されたセラミック生シート、30……転
写された電極埋め込みセラミック生シート、31……熱ロ
ーラ。
FIG. 1 and FIG. 2 are views for explaining a state of stacking an electrode-embedded ceramic green sheet according to the first embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are modifications of the first embodiment. FIG. 5 is a diagram for explaining a method for transferring an electrode-embedded ceramic green sheet using a heat roller according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an example of a monolithic ceramic capacitor. Fig. 7 is a diagram showing a section in section, Fig. 7 is a diagram for explaining a state in which an electrode ink is printed on a ceramic green sheet in a conventional example, and Fig. 8 is a sectional view of a monolithic ceramic capacitor in the same multi-layer structure. , 9th
The figure is also a diagram for explaining the difference in thickness between the central portion and the peripheral portion with respect to the number of stacked layers. 20 …… table, 21,21a, 21b …… base film, 22 …… ceramic green laminate, 23,23a …… electrode, 24,24a, 24b …… ceramic green sheet, 25 …… electrode embedded ceramic green sheet, 26, 26a …… Heater, 27 …… Hot plate, 28 …… Transferred electrode, 29 …… Transferred ceramic green sheet, 30 …… Transferred electrode embedded ceramic green sheet, 31 …… Heating roller.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ベースフィルム上に電極を形成し、前記電
極が形成されたベースフィルム上に、粘着付与剤を含む
セラミックのスラリーを塗布し、乾燥させ、前記ベース
フィルム上に電極埋め込みセラミック生シートを作り、
次に前記電極埋め込みセラミック生シートを前記支持体
より剥離することなく、他のセラミック生シートもしく
は他の電極の上に熱圧着させた後、前記支持体のみを剥
離し、前記電極埋め込みセラミック生シートを前記他の
セラミック生シートもしくは他の電極上に転写すること
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
1. A green electrode-embedded ceramic green sheet having electrodes formed on a base film, a ceramic slurry containing a tackifier applied to the base film having the electrodes formed thereon, and the slurry being dried. Make
Next, the electrode-embedded ceramic green sheet is thermocompression-bonded onto another ceramic green sheet or another electrode without peeling from the support, and then only the support is peeled off to form the electrode-embedded ceramic green sheet. Is transferred onto the other ceramic green sheet or other electrode, and a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component is provided.
【請求項2】粘着付与剤として、ポリビニルエーテル及
びその誘導体、ポリイソブチレン,ブチルゴム,クロロ
プレンゴム,塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体,塩化ゴ
ムの内いずれか一種類以上のものを用いてなる請求項1
記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
2. A tackifier comprising at least one selected from polyvinyl ether and its derivatives, polyisobutylene, butyl rubber, chloroprene rubber, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, and chlorinated rubber. 1
A method for manufacturing the multilayer ceramic electronic component described.
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