JP3194270B2 - 超音波流量計 - Google Patents

超音波流量計

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JP3194270B2 JP06489895A JP6489895A JP3194270B2 JP 3194270 B2 JP3194270 B2 JP 3194270B2 JP 06489895 A JP06489895 A JP 06489895A JP 6489895 A JP6489895 A JP 6489895A JP 3194270 B2 JP3194270 B2 JP 3194270B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば気体や液体など
の流体の流量を測定することのできる超音波流量計に係
り、特に小型の超音波流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】超音波流量計は、流速測定型の流量計で
あり流量は測定した流速に管断面積等を乗ずることによ
り求められる。従って、流速を精度良くかつ正確に測定
することが重要である。この超音波による流速測定は、
超音波ビームの伝播時間の逆数差を求めて行う。
【0003】図8に示すように、電気−音響変換手段と
しての1対の超音波送受波器(トランスデューサ)1,
2を測定管20の管壁に相対して取付け交互に超音波ビ
ームを伝播させて測定を行う。流れの方向に対して上流
側、下流側に設けられたトランスデューサ1,2から測
定管20の内部を横切るように発射された超音波ビーム
を双方で切替えてこれら順逆方向の伝播時間t1 ,t2
を繰り返し計測する。この計測された時間を逆数にする
ことにより、音速Cの影響がなくなり以下の式が得られ
る。
【0004】
【数1】
【0005】
【数2】
【0006】
【数3】
【0007】 ただし、L:超音波の伝播路長(L=D/sinθ) D:管内径 C:気体中の音速 θ:超音波伝播路と管軸のなす角 V:超音波伝播路上の線平均流速
【0008】しかしながら、超音波流量計は、音響パス
に沿った平均流速を計測する装置である。そして、測定
管内の流速分布は、流量により変化する。この流量を得
るためには流速分布変化の補正が必要となる。そして、
この体積流量Qは、計測された線平均流速V、測定部の
断面積Aと流速分布補正係数Kh から計算される。すな
わち、
【0009】
【数4】
【0010】ここで、Kh は測定された線平均流速と管
断面の平均流速の比であり、レイノルズ数の関数であ
る。
【0011】
【数5】
【0012】層流域におけるKh は理論的に計算するこ
とが可能であり、Kh =0.75(一定)が得られてい
る。ここで、レイノルズ数が2320より小さい場合の
流れは層流と呼ばれ、その分布は一定で変わらない。
【0013】以上のような理論式を用い図1のような装
置を用いて図8に示す測定管内の流れについて実験を行
った。すなわち、図1は、膜式ガスメータ5、超音波流
量計6、PDガスメータ7、音速ノズル8、真空ポンプ
9をシリーズで接続し、音速ノズル8で校正を行うもの
である。また、図8に示す超音波送受波器1,2は直径
4mmのピエゾセラミック素子であり、周波数は200
kHzである。そして、この測定管は、内径直径が2
5.4mmのストレートなパイプである。上記超音波送
受波器1,2は、図8に示す傾斜角θは15度で測定管
に対して取付けられている。
【0014】図9に示すグラフは、上記装置により円管
でダイレクトビームパスの測定された流速分布補正係数
h を縦軸に示し、横軸にレイノルズ数とL/h(リッ
トル/時間)での流量を示す。図に示す流量測定範囲は
25〜5000L/hの範囲の幅広い流量範囲にて実験
を行った。計測されたKh は、層流と乱流の領域の両方
において理論値と良く一致していることが確認された。
図に示すように層流から乱流への突然の遷移が観察さ
れ、その遷移域における測定されたKh の再現性は非常
に高い。ここで、乱流は一般にレイノルズ数が約400
0以上の流れをいう。
【0015】なお、図示してはいないが、図8に示す円
管を用いて傾斜角45度のダイレクトビームパスと、図
4に示すような傾斜角度45度のV反射ビームパスにつ
いても実験を行った。傾斜角度45度のダイレクトビー
ムパスと傾斜角度45度のV反射ビームパスの測定され
た流速分布補正係数Kh も理論値と一致する。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の超音波
流量計は、測定管として円管を用いこの円管に電気−音
響変換手段としての超音波送受波器を取り付けるため、
小さな流量から幅広い流量範囲まで高精度な流量測定を
行うことには問題がある。すなわち、層流、遷移域、乱
流にまたがって測定を行うときに
【数4】に示す式から明らかなように流速分布補正係数
h が大きく変化するため高精度な流量測定を行うこと
ができない。しかも、この流速分布補正係数Kh は、レ
イノルズ数の関数であるため、温度、圧力等に起因する
ため外乱による影響が大きく、一層補正が困難となると
いう問題がある。
【0017】上記のような測定管として円管を用いた場
合の流量測定には、管内流速分布の影響を受けるので測
定部の上流を十分長くかつ真っ直ぐなものを用いなけれ
ばならない。一般的には測定部前の直管長(直径Dに対
して30D以上)を長くとることが必要であるといわれ
ている。したがって、測定部の上流、下流側の測定管の
曲がりがある場合には正確な流量測定を行うことができ
ない。
【0018】そこで、本発明は、従来の問題点に鑑みて
なされたものであって、小さな流量から幅広い流量範
囲、すなわち層流、遷移域、乱流にまたがって測定を行
うときであっても補正が容易で測定部前の直管長を短く
することができるとともに、測定部の上流、下流の測定
管の曲がり等による影響を受けることのない超音波流量
計を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明による超音波流量
計は、一方の電気−音響変換手段(1)から出射された
超音波を測定管内の被測定流体中を透過させて他方の電
気−音響変換手段(2)で受波する電気−音響変換手段
(1,2)を一対設け、前記電気−音響変換手段(1,
2)を双方で切替えて超音波伝播時間を測定して測定管
内部の流量測定を行う超音波流量計であって、前記測定
管(10)は、該測定管(10)の内部に上流側から下
流側に被測定流体が流れる測定管開口部(10a)を有
し、該測定管開口部(10a)は、該測定管(10)の
軸方向に対して直角な断面形状が短辺の横幅W、長辺の
高さhでなる長方形で形成され、該長方形の一方の横幅
Wの面であって前記測定管(10)の上流側に前記一方
の電気−音響変換手段(1)が設けられ、前記一方の
幅Wの面に対向する他方の横幅Wの面であって前記測定
(10)内の流れに対して交差させて下流側に前記他
方の電気−音響変換手段(2)を対向配置させて設け、
前記測定管開口部(10a)の横幅Wと高さhのアスペ
クト比が、1:2以上であることを特徴とするものであ
る。また、本発明による超音波流量計は、一方の電気−
音響変換手段(1)から出射された超音波を測定管内の
被測定流体中を透過させて他方の電気−音響変換手段
(2)で受波する電気−音響変換手段(1,2)を一対
設け、前記電気−音響変換手段(1,2)を双方で切替
えて超音波伝播時間を測定して測定管内部の流量測定を
行う超音波流量計であって、前記測定管(10)は、該
測定管(10)の内部に上流側から下流側に被測定流体
が流れる測定管開口部(10a)を有し、該測定管開口
部(10a)は、該測定管(10)の軸方向に対して直
角な断面形状が短辺の横幅W、長辺の高さhでなる長方
形で形成され、該長方形の一方の横幅Wの面であって前
記測定管(10)の上流側に前記一方の電気−音響変換
手段(1)が設けられ、該電気−音響変換手段(1)か
ら出射された超音波を他方の横幅Wの面で反射させ、こ
の反射された超音波を下流側で受波する他方の電気−音
響変換手段(2)を前記一方の横幅Wの面に設け、前記
測定管開口部(10a)の横幅Wと高さhのアスペクト
比が、1:2以上であることを特徴とするものである。
【0020】
【作用】上記超音波流量計は、測定管が測定管の軸方向
に対して直角な断面形状が長方形であるので、層流、遷
移域、乱流にまたがって測定を行うときであっても補正
が容易で測定部前の直管長を短くすることができるとと
もに、測定部の上流、下流の測定管の曲がり等による影
響を受けることがない。
【0021】
【実施例】次に、本発明の実施例について添付図面を参
照しつつ説明する。なお、従来の装置と同一の構成及び
機能を有するものについては同じ符号を用いて説明す
る。
【0022】本発明に係る装置は、図1に示す構成の装
置を用いている。図1は、膜式ガスメータ5、超音波流
量計6、PDガスメータ7、音速ノズル8、真空ポンプ
9をシリーズで接続し、音速ノズル8で校正を行うもの
である。また、図2に示す超音波送受波器1,2は直径
4mmのピエゾセラミック素子であり、周波数は200
kHzである。
【0023】図2に示す測定管は、図2(b)にて明ら
かなように測定管の軸方向に対して直角な断面形状が長
方形のものを用いている。このような長方形の測定管を
用いることにより2次元的な流れになる可能性が高いた
めである。この長方形、すなわち角ダクトは、測定管開
口部10aの横幅(短辺)Wが6mmで、高さ(長辺)
hが30mmである。超音波送受波器1,2は、図2に
示すように傾斜角15度で測定管内の流れに対して交差
するように対向して測定管に取付けられている。
【0024】図3に示すグラフは、上記装置により断面
形状が長方形の角ダクトでダイレクトビームパスの測定
された流速分布補正係数Kh を縦軸に示し、横軸にレイ
ノルズ数とL/hでの流量を示している。ここで、角ダ
クトにおけるレイノルズ数の算出は、一般的に使われる
水力直径における円の等価直径として求めている。円管
でみられた流れの遷移の影響は観察されず、遷移領域に
おいて流速分布補正係数Kh が変化しない。
【0025】図4は、超音波送受波器1から出射された
超音波を他方の面で反射させて超音波送受波器2で受波
することにより超音波伝播時間を測定して測定管内部の
流量測定を行うV反射ビームの超音波流量計が示されて
いる。図4に示す測定管は、図4(b)にて明らかなよ
うに測定管の軸方向に対して直角な断面形状が長方形で
あり、この測定管開口部10aの横幅Wが6mmで、高
さ方向のhを18mm,24mm,30mm,42mm
に変えた。したがって、角ダクトのアスペクト比は1:
3〜1:7の4種類の実験を行った。
【0026】図5に示すグラフは、図4の超音波流量計
を用いて4種類のアスペクト比における角ダクトの測定
された流速分布補正係数Kh を示す。図5にて明らかな
ようにこの4種類のアスペクト比の違いによる角ダクト
には大きな違いが見られなかったが、僅かな差は、超音
波送受波器1から超音波送受波器2の長さLの設計値と
実装値の違いにより起こるものと解される。しかしなが
ら、流れの影響は観察されなかった。
【0027】次に、図6(a)乃至(c)は、超音波送
受波器1から出射された超音波を他方の面で反射させて
超音波送受波器2で受波することにより超音波伝播時間
を測定して測定管内部の流量測定を行うV反射ビームの
超音波流量計である点は図4に示すものと同様である
が、ストレートな測定部の上流と下流に90度屈曲した
エルボーを異なった3つの取付角度で接続したものであ
る。そして、測定管開口部10aの横幅Wは6mmで、
高さhは30mmである。
【0028】図7に示すように流速分布補正係数Kh
は、ビームに対する曲りの影響は僅かであり、測定管の
上流、下流の影響を受けにくいことを示している。な
お、上記のような屈曲したエルボーは、本実験では上
流、下流の夫々に取り付けられている。従って、測定管
が円管の場合のように直径Dに対して30倍以上の直管
長を必要としないのは勿論であるが、図6に示す10
b、すなわち上流側の超音波送受波器1の取付部直前の
直管長であればたりる。よって、極めて短かな測定管で
あっても高精度な流量測定を行うことができる。
【0029】以上のように、図1乃至図7に示すような
実施例において種々の実験を行ったが、角ダクトの横幅
Wと高さhのアスペクト比は、1:2以上であればよ
い。また、横幅Wは超音波が伝播すればよいので2mm
以上、高さhが4mm以上のものであれば流速分布補正
係数Kh への影響がないことが確認された。
【0030】また、本発明は、超音波送受波器1,2は
直径4mmのピエゾセラミック素子であり、周波数20
0KHzのものを用い、また傾斜角が15度,45度で
取り付けられているが、これらの材質、周波数、傾斜角
に限定されるものではなく適宜変えて構成することがで
きる。また本発明は前述した各実施例の構成に限らず、
これら各実施例が含む構成の一部ずつを互いに組み合わ
せることなどにより、多岐に亘る構成を実現できること
は勿論である。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように本発明による超音波
流量計においては、小さな流量から幅広い流量範囲まで
高精度な流量測定を行うことができる効果がある。特に
流れの遷移領域を避けることのできない小型で安価な超
音波流量計には好適である。また、本発明によれは、層
流、遷移域、乱流にまたがって測定を行うときであって
も流速分布補正係数Kh が大きく変化しないので補正が
容易であり、高精度な流量測定を行うことができる。ま
た、本発明によれば、測定部の直管長を短くすることが
でき、また測定部の上流、下流の測定管の曲がり等によ
る影響を受けることがないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に係る超音波流量計の装置の概
要を示すブロック図である。
【図2】図2(a)は、超音波流量計を示し、図2
(b)は測定管の断面形状を示す図である。
【図3】図3は、図2を用いて測定したレイノルズ数と
流速分布補正係数Kh の関係を示すグラフである。
【図4】図4(a)は、V反射ビームの超音波流量計を
示し、図4(b)は測定管の断面形状を示す図である。
【図5】図5は、図4を用いて測定したレイノルズ数と
流速分布補正係数Kh の関係を示すグラフである。
【図6】図6(a)乃至(c)は、ストレートな測定部
の上流と下流に90度屈曲したエルボーを異なった3つ
の取付角度で接続した超音波流量計を示し、図6(d)
は測定管の断面形状を示す図である。
【図7】図7は、図6(a)乃至(c)を用いて測定し
たレイノルズ数と流速分布補正係数Kh の関係を示すグ
ラフである。
【図8】図8(a)は、従来の超音波流量計を示し、図
8(b)は測定管の断面形状を示す図である。
【図9】図9は、図8を用いて測定したレイノルズ数と
流速分布補正係数Kh の関係を示すグラフである。
【符号の説明】 1,2 超音波送受波器(電気−音響変
換手段) 5 膜式ガスメータ 6 超音波流量計 7 PDガスメータ 8 音速ノズル 9 真空ポンプ 10 測定管 20 測定管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 特許法第30条第1項適用申請有り 「THE 4th TRIENNIAL INTERNATIONAL S YMPOSIUM ON FLUID CONTRO L,FLUID MEASUREMENT,AND V ISUALIZATION FLUCOME’94,TO ULOUSE(REANCE)29 August −01 September 94 VOLUME 1,STU DY ON CHARACTERISTICS OF A ULTRASONIC GAS FLOWMETE R FOR A RANGE OF SMALL FL OW RATES」に発表 (72)発明者 吉田 政史 東京都羽村市栄町3−1−5 株式会社 カイジョー内 審査官 飯野 茂 (56)参考文献 特開 平5−223608(JP,A) 特開 昭60−35220(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01F 1/66

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方の電気−音響変換手段(1)から出
    射された超音波を測定管内の被測定流体中を透過させて
    他方の電気−音響変換手段(2)で受波する電気−音響
    変換手段(1,2)を一対設け、前記電気−音響変換手
    段(1,2)を双方で切替えて超音波伝播時間を測定し
    て測定管内部の流量測定を行う超音波流量計であって、
    前記測定管(10)は、該測定管(10)の内部に上流
    側から下流側に被測定 流体が流れる測定管開口部(10a)を有し、該測定管
    開口部(10a)は、該測定管(10)の軸方向に対し
    て直角な断面形状が短辺の横幅W、長辺の高さhでなる
    長方形で形成され、該長方形の一方の横幅Wの面であっ
    て前記測定管(10)の上流側に前記一方の電気−音響
    変換手段(1)が設けられ、前記一方の横幅Wの面に
    する他方の横幅Wの面であって前記測定管(10)
    の流れに対して交差させて下流側に前記他方の電気−音
    響変換手段(2)を対向配置させて設け、前記測定管開口部(10a)の横幅Wと高さhのアスペ
    クト比が、1:2以上であること を特徴とする超音波流
    量計。
  2. 【請求項2】 一方の電気−音響変換手段(1)から出
    射された超音波を測定管内の被測定流体中を透過させて
    他方の電気−音響変換手段(2)で受波する電気−音響
    変換手段(1,2)を一対設け、前記電気−音響変換手
    段(1,2)を双方で切替えて超音波伝播時間を測定し
    て測定管内部の流量測定を行う超音波流量計であって、 前記測定管(10)は、該測定管(10)の内部に上流
    側から下流側に被測定流体が流れる測定管開口部(10
    a)を有し、該測定管開口部(10a)は、該測定管
    (10)の軸方向に対して直角な断面形状が短辺の横幅
    W、長辺の高さhでなる長方形で形成され、該長方形の
    一方の横幅Wの面であって前記測定管(10)の上流側
    に前記一方の電気−音響変換手段(1)が設けられ、該
    電気−音響変換手段(1)から出射された超音波を他方
    横幅Wの面で反射させ、この反射された超音波を下流
    側で受波する他方の電気−音響変換手段(2)を前記一
    方の 横幅Wの面に設け、前記測定管開口部(10a)の横幅Wと高さhのアスペ
    クト比が、1:2以上であること を特徴とする超音波流
    量計。
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