JP3193752B2 - 加速度計デバイス - Google Patents

加速度計デバイス

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JP3193752B2
JP3193752B2 JP33211291A JP33211291A JP3193752B2 JP 3193752 B2 JP3193752 B2 JP 3193752B2 JP 33211291 A JP33211291 A JP 33211291A JP 33211291 A JP33211291 A JP 33211291A JP 3193752 B2 JP3193752 B2 JP 3193752B2
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    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
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    • G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は加速度計に関し、特に、
種々用途で使用する高度の信頼性と均一特性を備え、低
コストで製作するに適した加速度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】ルドルフ（Ｒｕｄｏｌｐｈ）への米国特
許第４，４８３，１９４号、コルトン（Ｃｏｌｔｏｎ）
への同第４，４３５，７３７号、ブロック（Ｂｌｏｃ
ｋ）へのＲＥ第３１，４５９号およびピッツア（Ｐｉｔ
ｚｅｒ）への米国特許第３，２４０，０７３号に示され
ているような種々タイプの容量性加速度計等は、加速度
計が衝撃、振動および激しい温度変化を受けやすいが該
加速度計は安定し、かつ正確な性能特性を示すことを要
求される航空機等での用途に一般的に使用され、あるい
は提案されている。しかしながら、これらの用途の多く
に対してそのような加速度計あるいは力変換器は限られ
た能力で、あるいは過度のコストで製造されるためそれ
らの使用は十分ではない。容量性加速度計が望ましい信
頼性と応答性を備え、一方低コストで均一に製造される
とすれば好ましいことである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は新規か
つ改良された加速度計デバイスを提供すること、特に車
両用での使用に適合し、シールした加速度計ユニットに
しっかりとかつ安定して装着した加速度計デバイスを提
供すること、信頼性と応答性を特徴とする加速度計デバ
イス即ちユニットを提供すること、および低コストで均
一性を備えて製造するよう適合した加速度計デバイスあ
るいはユニットを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】要約すれば、本発明の新
規かつ改良された加速度計デバイスは従来からプリント
回路盤等で使用されているようなセラミックあるいはそ
の他の剛性支持材料の電気絶縁性基板からなる。例えば
銅あるいはその他の金属フィルムメタライゼーション等
のような導電性表面手段が基板上に設けられ、基板上に
固定したコンデンサプレート即ち検出プレートを画成
し、かつまたコンデンサ検出プレートに近接した位置に
おいて基板上にコンデンサソースプレートコネクタ手段
を画成する。導電性手段はまた、コンデンサ検出プレー
トとソースプレートコネクタとに接続され、かつその上
に電気回路要素を受け入れ、かつ電気回路において接続
されるように配置することが好ましい回路軌道手段を基
板上に画成することが好ましい。
【０００５】通常Ｋｏｖａｒ，ＩｎｖａｒあるいはＡｌ
ｌｏｙ ４２等と称されている材料のような硬剛で弾力
性があり、好ましくは低膨張性の金属製の導電性金属プ
レート部材に取付けプレート部分と、コンデンサソース
プレート部分と、前記取付けプレート部分とソースプレ
ート部分との間を延びる一体の弾性ビーム手段とを設け
る。ビーム手段は前記金属プレート部材の取付けプレー
ト部分から、好ましくは取付けプレート部分の各端部か
ら相互に対して平行に延びる一対の弾性ビーム要素を含
み、前記対のビーム要素の遠位端を前記部材の取付けプ
レート部分から離隔した選定位置に配置させる。第２の
ビーム要素が第１の対のビーム要素の遠位端に接続さ
れ、前記部材の取付けプレート部分に向かって後方へ延
び前記部材の取付けプレート部分に隣接してコンデンサ
ソースプレートを支持する。このためソースプレートを
取付けプレートの位置に対して僅かに離隔させ大量生産
においてデバイス間でより均一で繰返し可能の初期キャ
パシタンスを達成し、取付けプレートに対する、従って
検出プレートに対するソースプレートの熱応答運動を最
小にし、そのため装置の熱ドリフトを最小にする。
【０００６】金属部材の取付けプレート部分は基板に設
けたコンデンサソースプレートコネクタ手段に対して導
電関係で基板に固定され前記部材のコンデンサソースプ
レート部分を基板上の固定あるいは検出コンデンサプレ
ートに対して選定した離隔関係で配置させることにより
選定した初期キャパシタンスを有するコンデンサを形成
し、加速力に応答して前記部材のコンデンサソースプレ
ートが運動できるようにしてキャパシタンスを加速の関
数として修正する（すなわち、検出すべき未知の加速度
が加えられたときにキャパシタンスが変化する）。本発
明の一実施例においては、金属プレート部材は平坦で、
シム手段が前記部材の取付けプレート部分とソースプレ
ートコネクタ手段との間ではんだ付け、ろう付け、溶接
あるいはエポキシ樹脂接着してソースプレート部材部分
を基板上の検出プレートに対する希望する離隔関係で取
り付ける。別の好適実施例においては、金属プレート部
材は該部材のコンデンサソースプレート部分内において
好ましくは上部と底部とでエッチングされるか、あるい
は他の方法で厚さを低減させることにより、取付けプレ
ート部材部分が基板上のソースプレートコネクタに固定
されると、コンデンサソースプレートは検出プレートに
対して希望する間隔を有することになる。希望に応じ、
金属部材はリベット手段あるいはその他の従来の手段に
よりソースプレートコネクタ手段に固定される。また、
停止手段がソースプレートコネクタ手段に取り付けられ
金属部材のコンデンサソースプレート部分上を離隔関係
で延び、加速度計デバイスに衝撃あるいはその他の加速
力が加わると検出プレートから離れる方向のソースプレ
ート部材部分の運動を制限することが好ましい。また金
属部材上で基板に対してカバーをシールし金属部材領域
から粒体あるいはその他の外部からの異物を排除するこ
とが好ましい。
【０００７】集積回路手段等の電子要素は、好ましくは
基板に取り付けることにより検出プレートとソースプレ
ートコネクタ手段とに接続し加速力あるいは加速による
装置キャパシタンスの変化に対応する出力信号を加速度
計デバイスから提供することが好ましい。加速度計デバ
イスは断熱材等製の被覆ハウジングに取り付け、ハウジ
ング内にシールされ、組み立てられた加速度計デバイス
を使用する環境から保護することが好ましい。加速度計
デバイスのその基板の一端を加速度計デバイスのハウジ
ングのベース部分に取り付けることによりデバイスコン
デンサの検出およびソースプレートを収容する基板の他
端がハウジングのベースのくぼみ上を延びることにより
金属部材を担持しているデバイスの端部をハウジングで
の熱応力から遮断することが好ましい。
【０００８】本発明の加速度計デバイスを作る方法につ
いて述べると、基板は複数の取外し可能部分を有するシ
ート材の形態で提供され、導電手段は同時に全ての部分
に溶着され、また金属部材も電子手段と共に基板の前記
部分の各々に配置され、前記部分が分離されて均一な特
性の個々の加速度計デバイスを形成する前に同時に基板
の各部分に同時にはんだ付けあるいは他の方法で固定さ
れる。
【０００９】本発明による加速度計デバイスのその他の
目的、利点および詳細は添付図面を参照した本発明の好
適実施例についての以下の詳細説明から明らかとなる。
【００１０】
【実施例】図面を参照すれば、図１の１０は本発明によ
る新規かつ改良された加速度計デバイスを示し、該デバ
イスはハウジング１４内に取り付けられ、シール材１
６．１を用いてカバーによりハウジング内でシールされ
た加速度計デバイス１２を含むものとして示されてい
る。ハウジングとカバーとは断熱性プラスチック材から
形成されることが好ましく、ハウジングのベース１４．
１はくぼみ１４．２を形成しており、加速度計デバイス
は一端１２．１がベースに取り付けられ、他端１２．２
はベースのくぼみの上を延び前記デバイスの他端がハウ
ジングと基板との境界での熱膨脹の不適合により発生す
る可能性のある熱応力から遮断する。加速度計デバイス
は使用時該デバイスを固定するための取付け孔１５を有
することが好ましい。また加速度計デバイスにはビーム
に対する損傷の危険性を低減させるための緩衝手段を備
えることが好ましい。例えば、ゴム、ポリウレタン、ス
チロフォーム等の圧縮性あるいは弾性材料製のスリーブ
１７を加速度計デバイスのハウジングの周りに取り付
け、該デバイスを落したときの衝撃による損傷を避ける
ことが好ましい。スリーブは前記デバイスの隅を被覆す
ることが好ましいが、希望に応じてデバイス全体を被覆
する。また希望に応じて弾性パッド１５を図示していな
い接着剤等により基板とベースとの間で固定させ、さら
に衝撃による損傷の危険性を低下させる。
【００１１】特に図２と図３とに示すように、加速度計
デバイス１２は電気絶縁性基板１８からなり、該基板は
例えばアルミナ等の剛性セラミック材から形成すること
が好ましいが、プリント回路盤の基板等で通常使用され
ている剛性電気絶縁材のいずれから作ってもよい。銅あ
るいはアルミナフィルムのメタライゼーション等のよう
な導電性の面手段を特に図２に示すように基板上に設
け、好ましくは基板１８の一端近傍において固定のコン
デンサプレート即ち検出プレート２０を画成し、かつ検
出プレートに近接してコンデンサソースプレートコネク
タ手段２２を画成する。ソースプレートコネクタは基板
の前記端部により近接して位置することが好ましい。導
電性手段はまた、２４において示すように回路軌道を画
成することが好ましく、該軌道は検出プレート２０とソ
ースコネクタ手段２２とに電気的に接続され、検出プレ
ートとソースプレートコネクタとを電気回路において接
続する。金属シールド層２５を図１で示すように基板の
裏側に設けることが好ましい。
【００１２】硬剛で弾性で、極めて平坦な材料製である
ことが好ましい導電性金属プレート部材２６には一端で
取付けプレート部分２８と、該取付けプレート部分に近
接しコンデンサソースプレート部分３０と、取付けプレ
ートとソースプレート部分との間を延びる一体のビーム
手段３２とが設けられている。ビーム手段は、相対的に
断面がはるかに小さい金属プレート部材の部分３２．２
によって取付けプレート部分の両側に接続された一対の
ビーム要素３２．１を有する第１のビーム手段を含む。
対のビーム要素３２．１は金属プレート部材の取付けプ
レート部分から離れる方向に相互に対して平行に延び該
対のビーム要素の遠位端３２．４を取付けプレート部分
２８からは離れた位置に位置させる。第２のビーム手段
３２．５が第１の対のビーム要素の遠位端に接続され、
プレート部材２６の取付けプレート部分２８に向かって
後方に延びる。希望に応じて、取付けプレート部分には
リベット孔３２．５等および／またははんだ調整孔また
はスロット３２．７を設ける。プレート部材は熱膨脹係
数が相対的に低い、通常Ｋｏｖａｒ Ｉｎｖａｒあるい
はＡｌｌｏｙ４２（呼称４２％ニッケル、残分鉄であ
る）のような金属材料から形成することが好ましい。
【００１３】金属プレート部材の取付けプレート２８は
基板上のコンデンサソースプレートコネクタ手段２２に
対して導電関係で固定されることによりコンデンサソー
スプレート部分３０はコンデンサ検出プレート２０に対
して選定された初期隔置関係に配置されて選定した初期
キャパシタンスを有するデバイスコンデンサを形成し、
加速力に応答してコンデンサソースプレート３０を固定
の検出コンデンサプレートに向かって、あるいは離れる
方向に運動できるようにする。金属部材は通常基板に対
して近接離隔関係で延び、コンデンサソースプレートと
検出プレートとの間の間隔は１０００分の数インチであ
り加速度計デバイスはその加速に急速に応答してキャパ
シタンスを鋭く変化させ、かつ金属プレート部材と基板
との間の空気の膜によりスキーズフィルム緩衝を提供し
てデバイスにおける金属プレート部材の振動を制限す
る。
【００１４】図４に示す本発明の一好適実施例において
は、金属部材の取付けプレート部材と基板上のソースコ
ネクタ手段２２との間にシム手段３４が配置されコンデ
ンサソースプレートと、検出プレートとの間隔を規定す
る。シム手段は金属部材の取付けプレート部分とソース
プレートコネクタ手段とにはんだ付け、ろう付け、溶接
あるいはエポキシ樹脂接着されることが好ましい。シム
と金属部材とは、相対的に熱膨張係数の低い薄くして強
力な金−錫はんだを用いて３６で示すように固定するこ
とが好ましい。その配置においては、はんだ調整用スロ
ット３２．７が薄いはんだによる接続を達成しやすく
し、かつ適正な程度のはんだ接続を保証するように金属
部材の取付け部分の下ではんだを目視観察できるように
する。代替的に希望に応じてリベット手段３８あるいは
その他の従来の取付け手段を用いて金属部材の取付けプ
レート部分２８を図５に示すようにシム３４とソースプ
レートコネクタ手段とに固定させる。本発明の別の好適
実施例においては、図６の（Ａ）において３０．１，３
０．２で示すようにソースプレート部分３０の厚さが好
ましくは両側で薄くされるようにエッチング、鋳造ある
いは機械加工することによって、金属部材の取付けプレ
ート部分２８が図示のように薄くて強力な金−錫はんだ
３６により（あるいはリベット手段等により）ソースプ
レートコネクタ手段２２に固定されるとデバイスコンデ
ンサのソースプレートと検出プレートとの間の間隔が精
密に規定され、極めて薄いはんだの厚さのみで金属部材
を基板に固定しコンデンサプレートの極めて精密な離隔
を達成する。
【００１５】本発明の好適実施例においては、デバイス
の加速に応答して検出プレート２０から離れる方向のソ
ースプレート３０の運動を制限するべく金属部材のソー
ス部分の上を延びる停止手段４０を金属部材の取付け部
分に設けている。希望に応じ、停止手段は図６の（Ａ）
に示すようにはんだ３６で、あるいは図５に示すように
リベット３８とシム３９により取り付けられる。停止手
段は図６の（Ｂ）に示すようにソースプレート３０の両
側に配置された（一方のみを図６の（Ｂ）に示す）一対
の脚４０．２を有し、理解されるようにはんだあるいは
リベット手段によって基板１８上のメタライゼーション
パッド等（図示せず）に固定されている停止プレート４
０．１からなる。停止手段４０または４０．１はソース
プレート３０上に近接隔置され金属部材のある程度の対
応したスキーズフイル空気緩衝を達成し金属部材の振動
を制限する。例えばポリイミド材製のカバー４１が金属
部材２６上の基板に固定され、デバイスおよびユニット
の後続の製造や較正の間および長期間の寿命にわたって
のユニットの使用中の金属部材領域からの粒子と異物の
進入を排除する。図１および図２を参照。
【００１６】対応する機構が対応する参照番号を有して
いる図７に示すように本発明の代替好適実施例１２ａに
おいては、一対のソースプレートコネクタ手段２２ａ，
２２ｂが共通線１９に沿って、かつ検出プレート２０ａ
の各側に設けられ、金属部材２６ａの２個の取付け部分
２８ａ，２８ｂが各々のソースプレートコネクタ手段に
接続され、そのためソースプレート３０ａは共通線を交
差し（図７に示すように延びる）垂直軸線に沿って運動
可能である。
【００１７】電子手段が回路軌道手段２４に接続され加
速度計デバイスに、理解されるようにデバイスの加速に
対応したデバイスからの出力信号を提供することができ
る電気回路を提供する。好ましくは例えば、集積回路ユ
ニット４２とデバイス端子パッド４４とが基板１８に設
けられ、かつ従来の要領で回路軌道手段２４に接続され
ている。デバイス端子はデバイスを電源に接続し選定し
た電圧をデバイスコンデンサに供給することによってデ
バイス回路は初期のデバイスキャパシタンスに対応する
出力信号を提供し、ソースプレート３０が加速に応答し
てデバイスキャパシタンスを修正するにつれてその出力
信号を修正する。集積回路は加速度計デバイスをハウジ
ングに装着した後集積回路ユニットへの電気入力により
デバイスのキャパシタンスに対して較正されるような公
知のタイプのものであることが好ましい。即ち、ハウジ
ングカバーには集積回路ユニット４２と整合したポート
４６を備えることによってテストプローブ（図示せず）
を公知の要領でポート４６に接続することが好ましい。
次いでデバイスに（例えばデバイスを回転させることに
より）選定した加速力を加え、デバイスをその加速力に
対してテストプローブを用いて較正する。次いでプロー
ブを引き出し、ポートを４８で示すようにＲＴＶシール
剤等でシールし加速度計ユニット１０を仕上げる。（そ
の中の一本を示す）電子装置からのリード線４９は典型
的には図示のようにカバーの孔を通して導かれ、図１に
示すようにシール剤４８によりシールされ加速度計ユニ
ットを実証ずみのソースに接続し、希望する出力信号を
提供する。
【００１８】加速度計デバイス１２を作る好適方法にお
いて、図８の５０で示すように基板材料のシートが処理
されてシート内で複数の取外し可能に接続した基板セク
ションを画成する。次いで、図８において５２で示すよ
うに導電性フィルム手段等を同時に全ての基板セクショ
ン上に溶着して基板セクションの各々においてコンデン
サ検出プレートと、ソースプレートコネクタ手段と回路
軌道とを画成する。次いで、シム手段３４、停止手段４
０、ターミナル４４および／またはリベット手段と共に
前述のように複数の金属部材２６と電子手段４２とを図
８で５４で示すように基板セクションの各々に溶着さ
せ、次いで全てのセクションに図８の５６で示すように
同時にはんだ付け、ろう付け、溶接あるいはエポキシ樹
脂接着してコンデンサ検出プレートとソースプレートと
を各基板セクション上の回路軌道手段２４に電気的に接
続する。希望に応じて、シム手段、金属部材および停止
手段も検出プレートとソースプレートコネクタ手段とが
回路軌道２４にはんだ付けされるのと同じステップにお
いて（前述のように）はんだ付けされるようにしてもよ
い。基板セクション１８は図８で５８において示すよう
に相互から分離され極めて均一な特性を有する複数の加
速度計デバイス１２を提供する。例えば図９において概
略図示するように、セラミック基板材料のシート６０が
６０．１で示すように区切られシートを複数の取外し可
能に接続した基板セクション１８に分割することが好ま
しい。基板シートは、前述のように金属部材２６と電子
手段４２が各基板セクション上に配置されるのと同時に
基板セクションの各々において検出プレート２０、ソー
スプレートコネクタ２２および回路軌道２４を提供する
ように従来の金属溶着および／またはエッチング技術で
処理する。シム手段３４と停止手段４０も前述のように
各基板セクション上に配置される。一好適実施例におい
ては、導電性金属端子ピン４５は共通方向に延びるキャ
リヤストリップ４４．１に設けられ、キャリヤストリッ
プは基板シート上に配置され、選定された端子が基板セ
クション１８の各々における（パット４４に対応した）
回路軌道２４の選定した部分と整合する。次いで、金属
部材、シム手段、停止手段、端子および電子手段は同時
にウエーブはんだ付けされ、はんだ付けの後、キャリヤ
ストリップ４５．１は端子から外され、基板セクション
は６２で示すように区画線に沿って分離され図９におい
て１２ａで示すように本発明の加速度計デバイスを提供
する。
【００１９】前記配置において、加速度計デバイスの各
々は低コストで精密かつ正確に製作されるようにつくら
れ、各デバイスは頑丈で、かつ安定した構造であり、か
つハウジングに容易に装着し、かつシールされ、かつ各
デバイスは公知の要領で容易に較正される。
【００２０】加速度計デバイス、ユニット並びに製作方
法の特定実施例について本発明の例示を通して説明して
きたが、本発明は特許請求の範囲に入る開示実施例の全
ての修正および均等物を全て含むものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による加速度計ユニットの軸線に沿って
視た断面図。
【図２】図１に示す加速度計ユニットに組み込まれた加
速度計デバイスに使用される基板の増尺した上面図。
【図３】図２に示す基板を組み入れた本発明による加速
度計デバイスの増尺した上面図。
【図４】図３の線４−４に沿って視た増尺した部分断面
図。
【図５】本発明の加速度計デバイスの代替実施例を示す
図４と類似の部分断面図。
【図６】本発明の加速度計デバイスの別の代替実施例を
示す図４と類似の部分断面図。
【図７】本発明の加速度計デバイスの別の代替実施例を
示す図２と類似の上面図。
【図８】加速度計デバイスを作る本発明の方法を示すブ
ロック線図。
【図９】図８に示す方法における一ステップを示す本発
明の複数の加速度計デバイスの平面図。
【符号の説明】
１０ 加速度計デバイス １２ 加速度計 １４ ハウジング １４．１ ベース １４．２ くぼみ １６ カバー １８ 基板 ２０ 固定プレート ２２ コンデンサソースプレートコネクタ ２４ 回路軌道 ２６ 金属プレート部材 ２８ 取付けプレート部材 ３０ コンデンサソースプレート部材 ３２ ビーム手段 ３４ シム部材 ４０ 停止手段 ４１ カバー ４２ 集積回路 ４４ 端子パッド ４６ ポート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 スチーブン ベリングハウス アメリカ合衆国マサチューセッツ州ノー ス アトルボロ，アパートメント イー − 11，レイクショアー ドライブ 21 (72)発明者 ケイス ダブリュ．カワテ アメリカ合衆国マサチューセッツ州アト ルボロ フォールズ，バージニア アベ ニュー 12 (72)発明者 ラリィ ケイ．ジョンソン アメリカ合衆国マサチューセッツ州ノー ス アトルボロ，ブランドン ストリー ト 21 (56)参考文献 特開 昭60−67816（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−213193（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−186498（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−138698（ＪＰ，Ｕ) 特表 平２−502756（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 15/125

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 コンデンサ検出プレートを画成する導電
    表面手段、前記検出プレートに隣接したコンデンサソー
    スプレートコネクタ手段および前記検出プレートとソー
    スプレートコネクタ手段とに接続され電気回路に接続さ
    れる回路軌道手段とを有する電気絶縁性基板と、ソース
    プレートコネクタ手段に導電関係で固定された取付けプ
    レート部分、コンデンサソースプレート部分および取付
    けプレートとソースプレート部分との間に延びる一体の
    弾性ビーム手段とを有する導電性金属プレート部材であ
    って、前記ビーム手段が取付けプレート部分から延びて
    離れ取付けプレート部分から離隔した位置にその遠位端
    を配置させた第１のビーム手段、および前記第１のビー
    ム手段の遠位端から取付けプレート部分に向かって延び
    て金属プレート部材のコンデンサソースプレート部分を
    検出プレートに対して選択した離隔関係に配置し該選択
    したキャパシタンスを通常有するコンデンサを形成し、
    かつソースプレート部分の運動をしてデバイスの加速に
    応答してキャパシタンスを修正させる第２のビーム手段
    とを含むような前記導電性金属プレート部材と、前記回
    路軌道手段に接続されデバイスの加速に対応した出力信
    号を提供する電子手段とを含むことを特徴とする加速度
    計デバイス。
  2. 【請求項２】 シム手段がコンデンサソースプレートコ
    ネクタ手段と金属プレート部材の取付けプレート部分と
    に固定され、停止部が、はんだ、溶接、ろう付けおよび
    エポキシ樹脂接着取付け手段からなる群から選択した取
    付け手段により金属プレート部材の取付けプレート部分
    に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の加
    速度計デバイス。
  3. 【請求項３】 ベースとベースくぼみとを有するハウジ
    ングと、第１の部分がベースに固定され、第２の部分が
    ベースくぼみの上方を延びてベース上にデバイスを取り
    付けることに関連した熱応力から第２の部分を遮断する
    加速度計デバイスとを含み、この加速度計デバイスがコ
    ンデンサ検出プレートとデバイスの前記第２の部分にお
    いて前記検出プレートに隣接したコンデンサソースプレ
    ートコネクタを画成し、かつ前記検出プレートとソース
    プレートコネクタとに接続され電気回路において接続さ
    れる回路軌道手段を画成する導電性手段を有する電気絶
    縁性基板と、ソースプレートコネクタに導電関係で固定
    された取付けプレート部分、コンデンサソースプレート
    部分および取付けプレートと金属プレート部材のソース
    プレート部分との間を延びて金属プレート部材のコンデ
    ンサプレート部分を検出プレートに対して離隔関係で配
    置し選択したキャパシタンスを通常有するコンデンサを
    形成し、かつソースプレート部材の運動をしてデバイス
    の加速に応答してキャパシタンスを修正させる一体の弾
    性ビーム手段を有する導電性金属プレート部材と、回路
    軌道手段に接続されてキャパシタンスとデバイス加速と
    に対応した出力信号を提供する電子手段とを含むことを
    特徴とする加速度計ユニット。
  4. 【請求項４】 前記電子手段がデバイスをハウジングの
    ベースに固定した後加速度計デバイスを較正する手段を
    含み、前記ハウジングが前記ベースに固定され加速度計
    デバイスに対して離隔関係で加速度計デバイスの上方を
    延びるカバーを有し、前記カバーが前記電子手段と整合
    し較正を可能にするポートと、較正の後前記ポートを閉
    鎖するシール手段を内部に有していることを特徴とする
    請求項３に記載の加速度計デバイス。
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