JP3191873B2 - 半導体測定装置 - Google Patents
半導体測定装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体装置の検査工程で使用する半導体
測定装置に関するものである。
測定装置に関するものである。
第３図は従来の半導体測定装置の構成を示すブロック
図である。図において、１は半導体測定装置の制御を行
う制御部、５は測定対象品種である被測定半導体装置、
２は該被測定半導体装置５に信号を与える信号発生部、
３は上記被測定半導体装置５の出力の測定を行う測定
部、４は本半導体測定装置で被測定半導体装置５を測定
する場合に測定条件を整える測定周辺回路、６は制御部
１に命令及び測定結果の出力を行う入出力装置である。
又、第４図は検査工程での処理の流れを示す図である。
図である。図において、１は半導体測定装置の制御を行
う制御部、５は測定対象品種である被測定半導体装置、
２は該被測定半導体装置５に信号を与える信号発生部、
３は上記被測定半導体装置５の出力の測定を行う測定
部、４は本半導体測定装置で被測定半導体装置５を測定
する場合に測定条件を整える測定周辺回路、６は制御部
１に命令及び測定結果の出力を行う入出力装置である。
又、第４図は検査工程での処理の流れを示す図である。
次に第３図と第４図とを用いて動作について説明す
る。
る。
まず装置各部の機能チエック作業を以下のように行な
う。
う。
第１に、信号発生部２及び測定部３の機能診断作業を
行う。すなわち予め作成され４た診断プログラムを、入
出力装置６から制御部１に読み込ませ、これを実行する
ことにより、信号発生部２及び測定部３の機能診断作業
を行う。この段階で正常動作しないと判断されれば、修
理を行い再び機能診断作業を行う（ステップS1）。
行う。すなわち予め作成され４た診断プログラムを、入
出力装置６から制御部１に読み込ませ、これを実行する
ことにより、信号発生部２及び測定部３の機能診断作業
を行う。この段階で正常動作しないと判断されれば、修
理を行い再び機能診断作業を行う（ステップS1）。
第２に、上記機能診断において、正常動作が確認され
た場合、測定対象品種５に適合した測定周辺回路４を、
信号発生部２及び測定部３に接続し、予め作成された測
定周辺回路４の動作を確認するための測定プログラムを
入出力装置６から制御装置１に読み込ませ実行させるこ
とにより、測定周辺回路４が正常動作することを確認す
る。この段階で異常があった場合は修理を行い再び確認
する（ステップS2）。
た場合、測定対象品種５に適合した測定周辺回路４を、
信号発生部２及び測定部３に接続し、予め作成された測
定周辺回路４の動作を確認するための測定プログラムを
入出力装置６から制御装置１に読み込ませ実行させるこ
とにより、測定周辺回路４が正常動作することを確認す
る。この段階で異常があった場合は修理を行い再び確認
する（ステップS2）。
ここで、測定周辺回路４の正常動作が確認されれば、
第３に、測定対象品種５を測定するために作成された測
定プログラムを入出力装置６から制御部１に読み込ま
せ、基準サンプル、つまり測定対象品種５を測定する場
合の基準となる被測定半導体装置で予め作成したものを
個々の測定対象品種５を実際に測定する場合と同一の状
態にして、測定プログラムを実行させて試験測定を行い
入出力装置６に測定結果データを表示させこれを確認す
る。測定結果データに異常がある場合は、原因を追求し
対策を行った上、再度試験測定をし測定結果データを確
認する（ステップS3）。
第３に、測定対象品種５を測定するために作成された測
定プログラムを入出力装置６から制御部１に読み込ま
せ、基準サンプル、つまり測定対象品種５を測定する場
合の基準となる被測定半導体装置で予め作成したものを
個々の測定対象品種５を実際に測定する場合と同一の状
態にして、測定プログラムを実行させて試験測定を行い
入出力装置６に測定結果データを表示させこれを確認す
る。測定結果データに異常がある場合は、原因を追求し
対策を行った上、再度試験測定をし測定結果データを確
認する（ステップS3）。
以上の作業により装置各部の機能チェック及び修正が
終了すると、第４に、入出力装置６より測定対象品種５
の所定の測定結果データを出力するために必要な項目を
制御部１に設定する（ステップS4）。その項目として
は、測定対象品種の名称と、検査工程名と、検査対象の
半導体装置の一組を認識するための番号（以下、ロット
IDと記す）と、投入数量と、測定対象の半導体装置の計
画されている取れ率（以下、計画歩留と記す）と、測定
対象の半導体装置の不良率管理限界と、測定結果の出力
項目の設定とがある。
終了すると、第４に、入出力装置６より測定対象品種５
の所定の測定結果データを出力するために必要な項目を
制御部１に設定する（ステップS4）。その項目として
は、測定対象品種の名称と、検査工程名と、検査対象の
半導体装置の一組を認識するための番号（以下、ロット
IDと記す）と、投入数量と、測定対象の半導体装置の計
画されている取れ率（以下、計画歩留と記す）と、測定
対象の半導体装置の不良率管理限界と、測定結果の出力
項目の設定とがある。
上記の項目の設定が完了すると、第５に、個々の測定
対象品種の実際の測定を開始する（ステップS5）。
対象品種の実際の測定を開始する（ステップS5）。
この時の測定の動作を第３図を用いて説明する。
まず、制御部１は与えられた測定プログラムに従っ
て、信号発生部２と測定部分３と測定周辺回路４とを設
定し、測定対象品種５を測定可能な状態にする。次に、
測定対象品種５で信号が発生すると、これを測定部３に
より測定し、この測定データを制御部１に送る。制御部
１ではこのデータをもとに測定対象品種５の良否判定及
び測定結果出力のための処理が行われる。以上の動作が
繰り返され、測定プログラムが終了すると、同様に次の
半導体装置が測定される。
て、信号発生部２と測定部分３と測定周辺回路４とを設
定し、測定対象品種５を測定可能な状態にする。次に、
測定対象品種５で信号が発生すると、これを測定部３に
より測定し、この測定データを制御部１に送る。制御部
１ではこのデータをもとに測定対象品種５の良否判定及
び測定結果出力のための処理が行われる。以上の動作が
繰り返され、測定プログラムが終了すると、同様に次の
半導体装置が測定される。
このようにして、測定対象品種５の全数の測定が完了
すると、第６に、制御部１により入出力装置６へ測定結
果を出力し検査工程での処理が終了する（ステップS
6）。
すると、第６に、制御部１により入出力装置６へ測定結
果を出力し検査工程での処理が終了する（ステップS
6）。
ところが、従来の半導体測定装置では、測定対象品種
を測定可能な状態にするまでの作業（以下、セットアッ
プという）は人が行わねばならず、このためセットアッ
プの時間を要するという問題点や、指示及び項目の設定
ミスやぬけが発生するなどの問題点があった。
を測定可能な状態にするまでの作業（以下、セットアッ
プという）は人が行わねばならず、このためセットアッ
プの時間を要するという問題点や、指示及び項目の設定
ミスやぬけが発生するなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、測定対象品種のセットアップを自動化で
き、これによりセットアップ時間の短縮を図るととも
に、指示及び項目の設定ミスやもれをなくすことができ
る半導体測定装置を得ることを目的とする。
れたもので、測定対象品種のセットアップを自動化で
き、これによりセットアップ時間の短縮を図るととも
に、指示及び項目の設定ミスやもれをなくすことができ
る半導体測定装置を得ることを目的とする。
この発明に係る半導体測定装置は、被測定半導体装置
の品種及び測定項目に応じて測定プログラムを設定し、
該設定された測定プログラムに基づいて、該品種に応じ
た測定周辺回路を介して検査，診断のための測定を行う
半導体測定装置であって、被測定半導体装置に対し測定
用の信号を発生する信号発生手段と、上記測定用の信号
に対する上記被測定半導体装置の応答信号を測定する測
定手段と、上記被測定半導体装置に対する測定条件を整
える測定周辺回路と、上記信号発生手段，上記測定手
段，上記測定周辺回路を制御する制御手段と、上記制御
手段に対する命令を入力し上記被測定半導体装置の測定
結果の出力を行う入出力手段と、上記被測定半導体装置
の測定品種に対応した本半導体測定装置の測定機能が正
常に動作しているか否かを診断するための情報、及び上
記入出力手段より測定品種の所定の測定結果データを出
力するために必要な項目、を記載した情報記録媒体か
ら、上記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導
体測定装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診
断するための情報及び上記入出力手段より測定品種の所
定の測定結果データを出力するために必要な項目を読み
取る読み取り手段と、上記読み取り手段により読み取っ
た情報を解析し当該解析結果に応じて上記制御手段に指
示を行う指示手段とを備え、上記制御手段は、上記入出
力手段から入力される、上記測定機能を診断する測定機
能診断プログラムを当該制御手段にロードし、上記指示
手段は、上記読み取り手段が読み取った上記被測定半導
体装置の測定品種に対応した本半導体測定装置の測定機
能が正常に動作しているか否かを診断するための情報に
基づき、ロードされた上記測定機能診断プログラムを実
行するように上記制御手段に指示を行い、上記制御手段
は上記指示手段の指示に応じて上記測定機能診断プログ
ラムを実行することにより上記測定手段および上記信号
発生手段の機能診断を実行し、上記制御手段は、上記入
出力手段から入力される、上記測定周辺回路を診断する
測定周辺回路診断プログラムを当該制御手段にロード
し、上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取った上
記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体測定
装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診断する
ための情報に基づき、ロードされた上記測定周辺回路診
断プログラムを実行するように上記制御手段に指示を行
い、上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記測
定周辺回路診断プログラムを実行することにより上記測
定周辺回路の機能診断を実行し、上記制御手段は、上記
入出力手段から入力される、上記被測定半導体装置の測
定プログラムを当該制御手段にロードし、上記指示手段
は、上記読み取り手段が読み取った、上記入出力手段よ
り測定品種の所定の測定結果データを出力するために必
要な項目に基づき、ロードされた上記測定プログラムに
対し被測定半導体装置のその品種や実行条件を選択して
実行するように上記制御手段に指示を行い、上記制御手
段は上記指示手段の指示に応じて上記測定プログラムを
実行することにより上記被測定半導体装置を測定すべく
上記測定手段および上記信号発生手段を制御して、本半
導体測定装置の診断および被測定半導体装置の基準サン
プルによる測定確認を行うことによりセットアップを自
動的に実行するものとしたものである。
の品種及び測定項目に応じて測定プログラムを設定し、
該設定された測定プログラムに基づいて、該品種に応じ
た測定周辺回路を介して検査，診断のための測定を行う
半導体測定装置であって、被測定半導体装置に対し測定
用の信号を発生する信号発生手段と、上記測定用の信号
に対する上記被測定半導体装置の応答信号を測定する測
定手段と、上記被測定半導体装置に対する測定条件を整
える測定周辺回路と、上記信号発生手段，上記測定手
段，上記測定周辺回路を制御する制御手段と、上記制御
手段に対する命令を入力し上記被測定半導体装置の測定
結果の出力を行う入出力手段と、上記被測定半導体装置
の測定品種に対応した本半導体測定装置の測定機能が正
常に動作しているか否かを診断するための情報、及び上
記入出力手段より測定品種の所定の測定結果データを出
力するために必要な項目、を記載した情報記録媒体か
ら、上記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導
体測定装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診
断するための情報及び上記入出力手段より測定品種の所
定の測定結果データを出力するために必要な項目を読み
取る読み取り手段と、上記読み取り手段により読み取っ
た情報を解析し当該解析結果に応じて上記制御手段に指
示を行う指示手段とを備え、上記制御手段は、上記入出
力手段から入力される、上記測定機能を診断する測定機
能診断プログラムを当該制御手段にロードし、上記指示
手段は、上記読み取り手段が読み取った上記被測定半導
体装置の測定品種に対応した本半導体測定装置の測定機
能が正常に動作しているか否かを診断するための情報に
基づき、ロードされた上記測定機能診断プログラムを実
行するように上記制御手段に指示を行い、上記制御手段
は上記指示手段の指示に応じて上記測定機能診断プログ
ラムを実行することにより上記測定手段および上記信号
発生手段の機能診断を実行し、上記制御手段は、上記入
出力手段から入力される、上記測定周辺回路を診断する
測定周辺回路診断プログラムを当該制御手段にロード
し、上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取った上
記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体測定
装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診断する
ための情報に基づき、ロードされた上記測定周辺回路診
断プログラムを実行するように上記制御手段に指示を行
い、上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記測
定周辺回路診断プログラムを実行することにより上記測
定周辺回路の機能診断を実行し、上記制御手段は、上記
入出力手段から入力される、上記被測定半導体装置の測
定プログラムを当該制御手段にロードし、上記指示手段
は、上記読み取り手段が読み取った、上記入出力手段よ
り測定品種の所定の測定結果データを出力するために必
要な項目に基づき、ロードされた上記測定プログラムに
対し被測定半導体装置のその品種や実行条件を選択して
実行するように上記制御手段に指示を行い、上記制御手
段は上記指示手段の指示に応じて上記測定プログラムを
実行することにより上記被測定半導体装置を測定すべく
上記測定手段および上記信号発生手段を制御して、本半
導体測定装置の診断および被測定半導体装置の基準サン
プルによる測定確認を行うことによりセットアップを自
動的に実行するものとしたものである。
この発明においては、上述のように構成したので、人
が行っていたセットアップ作業を自動化でき、これによ
り測定対象品種のセットアップ時間を短縮して装置の効
率的な利用が可能となる。又、人手による操作が省略さ
れたことで誤操作がなくなり確実なセットアップが可能
になり、測定対象の品種に高い品質が得られる。
が行っていたセットアップ作業を自動化でき、これによ
り測定対象品種のセットアップ時間を短縮して装置の効
率的な利用が可能となる。又、人手による操作が省略さ
れたことで誤操作がなくなり確実なセットアップが可能
になり、測定対象の品種に高い品質が得られる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例による半導体測定装置の
構成を示し、図において１は半導体測定装置の制御を行
う制御部、５は測定対象品種である被測定半導体装置、
２は被測定半導体装置５に測定用信号を与える信号発生
部、３は被測定半導体装置５の出力の測定を行う測定
部、４は半導体測定装置により被測定半導体装置５を測
定する場合に測定条件を整える測定周辺回路、６は制御
部１に対して、命令及び測定結果の出力を行う入出力装
置である。
構成を示し、図において１は半導体測定装置の制御を行
う制御部、５は測定対象品種である被測定半導体装置、
２は被測定半導体装置５に測定用信号を与える信号発生
部、３は被測定半導体装置５の出力の測定を行う測定
部、４は半導体測定装置により被測定半導体装置５を測
定する場合に測定条件を整える測定周辺回路、６は制御
部１に対して、命令及び測定結果の出力を行う入出力装
置である。
また、７は上記被測定半導体装置５に取付けられた検
移票、８は該検移票７に記載されたバーコード、９はバ
ーコード７を読み取る読み取り装置、10は読み取り装置
９からのデータを解析し制御部１に指示を出す指示部で
ある。又、第２図は検査工程での本装置の処理の流れを
示すフローチャート図である。
移票、８は該検移票７に記載されたバーコード、９はバ
ーコード７を読み取る読み取り装置、10は読み取り装置
９からのデータを解析し制御部１に指示を出す指示部で
ある。又、第２図は検査工程での本装置の処理の流れを
示すフローチャート図である。
次に第１図と第２図とを用いて動作について説明す
る。
る。
第１に、測定対象品種５に適合した測定周辺回路４を
信号発生部２及び測定部３に接続する（ステップA1）。
信号発生部２及び測定部３に接続する（ステップA1）。
第２に、検移票７に記載されたバーコード８を読み取
り装置９で読み取り、指示部10にデータを送る（ステッ
プA2）。
り装置９で読み取り、指示部10にデータを送る（ステッ
プA2）。
第３に、指示部10では読み取り装置９からのデータを
解析し、制御部１に指示を与える（ステップA3）。この
指示を受け、上記制御部１では、信号発生部２及び測定
部３が正常動作を行うかどうかの機能診断と、測定周辺
回路４の正常動作の確認と、測定プログラムの制御部１
への読み込みと、基準サンプルを用いて装置全体として
測定が正常に行われるかどうかの測定確認と、測定対象
品種５のどのような測定結果をデータとして出力するか
の設定とが自動的に行われる。
解析し、制御部１に指示を与える（ステップA3）。この
指示を受け、上記制御部１では、信号発生部２及び測定
部３が正常動作を行うかどうかの機能診断と、測定周辺
回路４の正常動作の確認と、測定プログラムの制御部１
への読み込みと、基準サンプルを用いて装置全体として
測定が正常に行われるかどうかの測定確認と、測定対象
品種５のどのような測定結果をデータとして出力するか
の設定とが自動的に行われる。
上記の設定及び指示の実行時に異常が発生した場合
は、入出力装置６にて異常の内容を表示し、実行を中止
する。この表示に従って修復作業を行う。修復作業が完
了すれば、上記の設定及び指示の実行を再開させる。
は、入出力装置６にて異常の内容を表示し、実行を中止
する。この表示に従って修復作業を行う。修復作業が完
了すれば、上記の設定及び指示の実行を再開させる。
以上の設定及び修復処理が正常に行われ、これが終了
すれば、第４に、測定対象品種の測定を開始する（ステ
ップA4）。
すれば、第４に、測定対象品種の測定を開始する（ステ
ップA4）。
この時の測定の動作を第１図を用いて説明する。
まず、制御部１は与えられた測定プログラムに従っ
て、信号発生部２と測定部３と測定周辺回路４とを設定
し、測定対象品種を測定可能な状態にする。次に、測定
対象品種５で発生した信号を測定部３により測定し、測
定データを制御部１に送る。制御部１ではこのデータを
もとに測定対象品種５の良否判定及び測定結果出力のた
めの処理が行われる。以上の測定動作がいくつかの項目
について繰り返され測定プログラムが終了すると、同様
に次の半導体装置も測定される。
て、信号発生部２と測定部３と測定周辺回路４とを設定
し、測定対象品種を測定可能な状態にする。次に、測定
対象品種５で発生した信号を測定部３により測定し、測
定データを制御部１に送る。制御部１ではこのデータを
もとに測定対象品種５の良否判定及び測定結果出力のた
めの処理が行われる。以上の測定動作がいくつかの項目
について繰り返され測定プログラムが終了すると、同様
に次の半導体装置も測定される。
このようにして、測定対象品種５の全数の測定が完了
すると、第５に、制御部１により入出力装置６へ測定結
果を出力し、ここで該結果を表示あるいは記録し、検査
工程での処理が終了する（ステップA5）。
すると、第５に、制御部１により入出力装置６へ測定結
果を出力し、ここで該結果を表示あるいは記録し、検査
工程での処理が終了する（ステップA5）。
このように本実施例では、被半導体測定装置５にバー
コードにより測定のためのデータが表示された検移票７
を取付けるとともに、そのバーコード表示を読み取る装
置９と、そのデータの解析及び制御部１への測定のため
の指示を行なう指示部10とを設け、測定対象品種を測定
可能状態にするための処理（セットアップ）を自動的に
行なうようにしたので、従来人が行っていたセットアッ
プ作業を自動化でき、これにより測定対象品種のセット
アップ時間を短縮して装置の効率的な利用を図ることが
できる。又、人手による操作が省略されたことで誤操作
がなくなり確実なセットアップが可能になり、測定対象
の品種に高い品質が得られるなどの効果がある。
コードにより測定のためのデータが表示された検移票７
を取付けるとともに、そのバーコード表示を読み取る装
置９と、そのデータの解析及び制御部１への測定のため
の指示を行なう指示部10とを設け、測定対象品種を測定
可能状態にするための処理（セットアップ）を自動的に
行なうようにしたので、従来人が行っていたセットアッ
プ作業を自動化でき、これにより測定対象品種のセット
アップ時間を短縮して装置の効率的な利用を図ることが
できる。又、人手による操作が省略されたことで誤操作
がなくなり確実なセットアップが可能になり、測定対象
の品種に高い品質が得られるなどの効果がある。
なお、上記実施例ではバーコードを用いて必要な情報
を検移票に記載した場合について示したが、その情報の
記載は磁気及び光を用いて記録するようにしてもよい。
又、読み取り装置としては検移票の記録方法がどのよう
なものであっても、それに対応して読み取れる機能をも
ったものを用いればよい。
を検移票に記載した場合について示したが、その情報の
記載は磁気及び光を用いて記録するようにしてもよい。
又、読み取り装置としては検移票の記録方法がどのよう
なものであっても、それに対応して読み取れる機能をも
ったものを用いればよい。
以上のように、この発明に係る半導体測定装置によれ
ば、被測定半導体装置の品種及び測定項目に応じて測定
プログラムを設定し、該設定された測定プログラムに基
づいて、該品種に応じた測定周辺回路を介して検査，診
断のための測定を行う半導体測定装置であって、被測定
半導体装置に対し測定用の信号を発生する信号発生手段
と、上記測定用の信号に対する上記被測定半導体装置の
応答信号を測定する測定手段と、上記被測定半導体装置
に対する測定条件を整える測定周辺回路と、上記信号発
生手段，上記測定手段，上記測定周辺回路を制御する制
御手段と、上記制御手段に対する命令を入力し上記被測
定半導体装置の測定結果の出力を行う入出力手段と、上
記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体測定
装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診断する
ための情報、及び上記入出力手段より測定品種の所定の
測定結果データを出力するために必要な項目、を記載し
た情報記録媒体から、上記被測定半導体装置の測定品種
に対応した本半導体測定装置の測定機能が正常に動作し
ているか否かを診断するための情報及び上記入出力手段
より測定品種の所定の測定結果データを出力するために
必要な項目を読み取る読み取り手段と、上記読み取り手
段により読み取った情報を解析し当該解析結果に応じて
上記制御手段に指示を行う指示手段とを備え、上記制御
手段は、上記入出力手段から入力される、上記測定機能
を診断する測定機能診断プログラムを当該制御手段にロ
ードし、上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取っ
た上記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体
測定装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診断
するための情報に基づき、ロードされた上記測定機能診
断プログラムを実行するように上記制御手段に指示を行
い、上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記測
定機能診断プログラムを実行することにより上記測定手
段および上記信号発生手段の機能診断を実行し、上記制
御手段は、上記入出力手段から入力される、上記測定周
辺回路を診断する測定周辺回路診断プログラムを当該制
御手段にロードし、上記指示手段は、上記読み取り手段
が読み取った上記被測定半導体装置の測定品種に対応し
た本半導体測定装置の測定機能が正常に動作しているか
否かを診断するための情報に基づき、ロードされた上記
測定周辺回路診断プログラムを実行するように上記制御
手段に指示を行い、上記制御手段は上記指示手段の指示
に応じて上記測定周辺回路診断プログラムを実行するこ
とにより上記測定周辺回路の機能診断を実行し、上記制
御手段は、上記入出力手段から入力される、上記被測定
半導体装置の測定プログラムを当該制御手段にロード
し、上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取った、
上記入出力手段より測定品種の所定の測定結果データを
出力するために必要な項目に基づき、ロードされた上記
測定プログラムに対し被測定半導体装置のその品種や実
行条件を選択して実行するように上記制御手段に指示を
行い、上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記
測定プログラムを実行することにより上記被測定半導体
装置を測定すべく上記測定手段および上記信号発生手段
を制御して、本半導体測定装置の診断および被測定半導
体装置の基準サンプルによる測定確認を行うことにより
セットアップを自動的に実行するものとしたので、セッ
トアップの自動化が可能となり、これによりセットアッ
プ時間の短縮を図ることができ、また制御部に対する指
示及び設定ミスやもれを無くすことができる半導体測定
装置を得ることができる。
ば、被測定半導体装置の品種及び測定項目に応じて測定
プログラムを設定し、該設定された測定プログラムに基
づいて、該品種に応じた測定周辺回路を介して検査，診
断のための測定を行う半導体測定装置であって、被測定
半導体装置に対し測定用の信号を発生する信号発生手段
と、上記測定用の信号に対する上記被測定半導体装置の
応答信号を測定する測定手段と、上記被測定半導体装置
に対する測定条件を整える測定周辺回路と、上記信号発
生手段，上記測定手段，上記測定周辺回路を制御する制
御手段と、上記制御手段に対する命令を入力し上記被測
定半導体装置の測定結果の出力を行う入出力手段と、上
記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体測定
装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診断する
ための情報、及び上記入出力手段より測定品種の所定の
測定結果データを出力するために必要な項目、を記載し
た情報記録媒体から、上記被測定半導体装置の測定品種
に対応した本半導体測定装置の測定機能が正常に動作し
ているか否かを診断するための情報及び上記入出力手段
より測定品種の所定の測定結果データを出力するために
必要な項目を読み取る読み取り手段と、上記読み取り手
段により読み取った情報を解析し当該解析結果に応じて
上記制御手段に指示を行う指示手段とを備え、上記制御
手段は、上記入出力手段から入力される、上記測定機能
を診断する測定機能診断プログラムを当該制御手段にロ
ードし、上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取っ
た上記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体
測定装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診断
するための情報に基づき、ロードされた上記測定機能診
断プログラムを実行するように上記制御手段に指示を行
い、上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記測
定機能診断プログラムを実行することにより上記測定手
段および上記信号発生手段の機能診断を実行し、上記制
御手段は、上記入出力手段から入力される、上記測定周
辺回路を診断する測定周辺回路診断プログラムを当該制
御手段にロードし、上記指示手段は、上記読み取り手段
が読み取った上記被測定半導体装置の測定品種に対応し
た本半導体測定装置の測定機能が正常に動作しているか
否かを診断するための情報に基づき、ロードされた上記
測定周辺回路診断プログラムを実行するように上記制御
手段に指示を行い、上記制御手段は上記指示手段の指示
に応じて上記測定周辺回路診断プログラムを実行するこ
とにより上記測定周辺回路の機能診断を実行し、上記制
御手段は、上記入出力手段から入力される、上記被測定
半導体装置の測定プログラムを当該制御手段にロード
し、上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取った、
上記入出力手段より測定品種の所定の測定結果データを
出力するために必要な項目に基づき、ロードされた上記
測定プログラムに対し被測定半導体装置のその品種や実
行条件を選択して実行するように上記制御手段に指示を
行い、上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記
測定プログラムを実行することにより上記被測定半導体
装置を測定すべく上記測定手段および上記信号発生手段
を制御して、本半導体測定装置の診断および被測定半導
体装置の基準サンプルによる測定確認を行うことにより
セットアップを自動的に実行するものとしたので、セッ
トアップの自動化が可能となり、これによりセットアッ
プ時間の短縮を図ることができ、また制御部に対する指
示及び設定ミスやもれを無くすことができる半導体測定
装置を得ることができる。
第１図はこの発明の一実施例による半導体測定装置の構
成を示す図、第２図はこの半導体測定装置の検査工程に
おける処理の流れを示す図、第３図は従来の半導体測定
装置の一例の構成を示す図、第４図は従来の半導体装置
の検査工程における処理の流れを示す図である。 １……制御部、２……信号発生部、３……測定部、４…
…測定周辺回路、５……測定対象品種（被測定半導体装
置）、６……入出力装置、７……検移票、８……検移票
に記載されたバーコード、９……読み取り装置、10……
指示部。 なお図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
成を示す図、第２図はこの半導体測定装置の検査工程に
おける処理の流れを示す図、第３図は従来の半導体測定
装置の一例の構成を示す図、第４図は従来の半導体装置
の検査工程における処理の流れを示す図である。 １……制御部、２……信号発生部、３……測定部、４…
…測定周辺回路、５……測定対象品種（被測定半導体装
置）、６……入出力装置、７……検移票、８……検移票
に記載されたバーコード、９……読み取り装置、10……
指示部。 なお図中同一符号は同一又は相当部分を示す。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−54874（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−85880（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−82880（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−41173（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−15859（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−57588（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】被測定半導体装置の品種及び測定項目に応
じて測定プログラムを設定し、該設定された測定プログ
ラムに基づいて、該品種に応じた測定周辺回路を介して
検査，診断のための測定を行う半導体測定装置であっ
て、 被測定半導体装置に対し測定用の信号を発生する信号発
生手段と、 上記測定用の信号に対する上記被測定半導体装置の応答
信号を測定する測定手段と、 上記被測定半導体装置に対する測定条件を整える測定周
辺回路と、 上記信号発生手段，上記測定手段，上記測定周辺回路を
制御する制御手段と、 上記制御手段に対する命令を入力し上記被測定半導体装
置の測定結果の出力を行う入出力手段と、 上記被測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体測
定装置の測定機能が正常に動作しているか否かを診断す
るための情報、及び上記入出力手段より測定品種の所定
の測定結果データを出力するために必要な項目、を記載
した情報記録媒体から、上記被測定半導体装置の測定品
種に対応した本半導体測定装置の測定機能が正常に動作
しているか否かを診断するための情報及び上記入出力手
段より測定品種の所定の測定結果データを出力するため
に必要な項目を読み取る読み取り手段と、 上記読み取り手段により読み取った情報を解析し当該解
析結果に応じて上記制御手段に指示を行う指示手段とを
備え、 上記制御手段は、上記入出力手段から入力される、上記
測定機能を診断する測定機能診断プログラムを当該制御
手段にロードし、 上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取った上記被
測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体測定装置
の測定機能が正常に動作しているか否かを診断するため
の情報に基づき、ロードされた上記測定機能診断プログ
ラムを実行するように上記制御手段に指示を行い、 上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記測定機
能診断プログラムを実行することにより上記測定手段お
よび上記信号発生手段の機能診断を実行し、 上記制御手段は、上記入出力手段から入力される、上記
測定周辺回路を診断する測定周辺回路診断プログラムを
当該制御手段にロードし、 上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取った上記被
測定半導体装置の測定品種に対応した本半導体測定装置
の測定機能が正常に動作しているか否かを診断するため
の情報に基づき、ロードされた上記測定周辺回路診断プ
ログラムを実行するように上記制御手段に指示を行い、 上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記測定周
辺回路診断プログラムを実行することにより上記測定周
辺回路の機能診断を実行し、 上記制御手段は、上記入出力手段から入力される、上記
被測定半導体装置の測定プログラムを当該制御手段にロ
ードし、 上記指示手段は、上記読み取り手段が読み取った、上記
入出力手段より測定品種の所定の測定結果データを出力
するために必要な項目に基づき、ロードされた上記測定
プログラムに対し被測定半導体装置のその品種や実行条
件を選択して実行するように上記制御手段に指示を行
い、 上記制御手段は上記指示手段の指示に応じて上記測定プ
ログラムを実行することにより上記被測定半導体装置を
測定すべく上記測定手段および上記信号発生手段を制御
して、本半導体測定装置の診断および被測定半導体装置
の基準サンプルによる測定確認を行うことによりセット
アップを自動的に実行することを特徴とする半導体測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17565888A JP3191873B2 (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | 半導体測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17565888A JP3191873B2 (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | 半導体測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0224583A JPH0224583A (ja) | 1990-01-26 |
| JP3191873B2 true JP3191873B2 (ja) | 2001-07-23 |
Family
ID=15999951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17565888A Expired - Fee Related JP3191873B2 (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | 半導体測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3191873B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2670982A1 (fr) * | 1990-12-21 | 1992-06-26 | Thomson Consumer Electronics | Procede de synchronisation de fonctions de commande avec des signaux video dans un recepteur de television et dispositif de mise en óoeuvre. |
| JPH0552958U (ja) * | 1991-11-15 | 1993-07-13 | アジアエレクトロニクス株式会社 | 検査装置 |
| JPH08153049A (ja) * | 1994-11-29 | 1996-06-11 | Iwaki Electron Corp Ltd | メモリ試験装置 |
-
1988
- 1988-07-13 JP JP17565888A patent/JP3191873B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0224583A (ja) | 1990-01-26 |
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