JPH0224583A - 半導体測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体装置の検査工程で使用する半導体測
定装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は従来の半導体測定装置の構成を示すブロック図
である０図において、１は半導体測定装置の制御を行う
制御部、５は測定対象品種である被測定半導体装１．２
は該被測定半導体装置５に信号を与える信号発生部、３
は上記被測定半導体装置５の出力の測定を行う測定部、
４は本半導体測定装置で被測定半導体装置５を測定する
場合に測定条件を整える測定周辺回路、６は制御部１に
命令及び測定結果の出力を行う入出力装置である。

又、第４図は検査工程での処理の流れを示す図である。

次に第３図と第４図とを用いて動作について説明する。

まず装置各部の機能チエツク作業を以下のように行なう
。

第１に、信号発生部２及び測定部３の機能診断作業を行
う。すなわち予め作成された診断プログラムを、入出力
値Ｗ６から制御部１に読み込ませ、これを実行すること
により、信号発生部２及び測定部３の機能診断作業を行
う。この段階で正常動作しないと判断されれば、修理を
行い再び機能診断作業を行う（ステップＳＬ）。

第２に、上記機能診断において、正常動作が確認された
場合、測定対象品種５に適合し７た測定周辺回路４を、
信号発生部２及び測定部３に接続し、予め作成された測
定周辺回路４の動作を確認するための測定プログラムを
入出力値Ｗ６から制御装置１に読み込ませ実行させるこ
とにより、測定周辺回路４が正常動作することを確認す
る。この段階で異常があった場合は修理を行い再び確認
する（ステップＳ２）。

ここで、測定周辺回路４の正常動作が確認されれば、第
３に、測定対象品種５を測定するために作成された測定
プログラムを入出力装置６から制御部１に読み込ませ、
基準サンプル、つまり測定対象品種５を測定する場合の
基準となる被測定半導体装置で予め作成したものを個々
の測定対象品種５を実際に測定する場合と同一の状態に
して、測定プログラムを実行させて試験測定を行い入出
力装置６に測定結果データを表示させこれを確認する。

測定結果データに異常がある場合は、原因を追求し対策
を行った上、再度試験測定をし測定結果データを６１ｍ
Ｗする（ステップＳ３）。

以上の作業により装置各部の機能チエツク及び修正が終
了すると、第４に、入出力装置６より測定対象品種５の
所定の測定結果データを出力するために必要な項目を制
御部１に設定する（ステップＳ４）、その項目としては
、測定対象品種の名称と、検査工程名と、検査対象の半
導体装置の一組を認識するための番号（以下、ロフトＩ
Ｄと記す）と、投入数量と、測定対象の半導体装置の計
画されている取れ率（以下、計画歩留と記す）と、測定
対象の半導体装置の不良率管理限界と、測定結果の出力
項目の設定とがある。

上記の項目の設定が完了すると、第５に、個々の測定対
象品種の実際の測定を開始する（ステップＳ５）。

この時の測定の動作を第３図を用いて説明する。

まず、制御部１は与えられた測定プログラムに従って、
信号発生部２と測定部分３と測定周辺回路４とを設定し
、測定対象品種５を測定可能な状態にする。次に、測定
対象品種５で信号が発生すると、これを測定部３により
測定し、この測定データを制御部１に送る。制御部１で
はこのデータをもとに測定対象品種５の良否判定及び測
定結果出力のための処理が行われる。以上の動作が繰り
返され、測定プログラムが終了すると、同様に次の半導
体装置が測定される。

このようにして、測定対象品種５の全数の測定が完了す
ると、第６に、制御部１により入出力装置６へ測定結果
を出力し検査工程での処理が終了する（ステップ３６）
。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、従来の半導体測定装置では、測定対象品種を
測定可能な状態にするまでの作業（以下、セットアツプ
という）は人が行わねばならず、このためセットアツプ
に時間を要するという問題点や、指示及び項目の設定ミ
スやぬけが発生するなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、測定対象品種のセットアツプを自動化でき、
これによりセットアツプ時間の短縮を図るとともに、指
示及び項目の設定ミスやもれをなくすことができる半導
体測定装置を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕 この発明に係る半導体測定装置は、被測定半導体装置を
、その品種及び測定項目に応じて測定プログラムを設定
するためのデー・夕を有するものとするとともに、上記
データを読み取るデータ読み取り手段と、このデータを
解析して測定制御部に測定実行のための指示を与える解
析指示手段とを有する入力インターフェイスを設け、測
定項目の初期設定と、本装置本体及びその測定周辺回路
の機能診断と、被測定半導体装置の基準サンプルを用い
た試験測定とを自動的に行な・うようにしたものである
。

〔作用〕

この発明においては、被測定半導体装置を、測定プログ
ラムｍを設定するための情報及び所定の測定結果の出力
を得るのに必要な情報を記録したものとし、この情報を
読み取る読み取り部と、この情報をもとに半導体測定装
置の制御部に測定のための指示をする指示部とを有する
入力インターフェースを設け、セットアツプを自動的に
行なうようにしたから、人が行っていたセット・アップ
作業を自動化でき、これにより測定対象品種のセットア
ツプ時間を短縮して装置の効率的な利用が可能となる。

又、人手による操作が省略されたことで誤操作がなくな
り確実なセットアツプが可能になり、測定対象の品種に
高い品質が得られる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図はこの発明の一実施例による半導体測定装置の構
成を示し、図において１は半導体測定装置の制御を行う
制御部、５は測定対象品種である被測定半導体装置、２
は被測定半導体装置５に測定用信号を与える信号発生部
、３は被測定半導体装置５の出力の測定を行う測定部、
４は半導体測定装置により被測定半導体装置５を測定す
る場合に測定条件を整える測定周辺回路、６は制御部１
に対し７で、命令及び測定結果の出力を行う入出力装置
である。

また、７は上記被測定半導体装置５に取付られた検移票
、８は該検移票７に記載されたバーコード、９はバーコ
ード７を読み取る読み取り装置、１０は読み取り装置９
からのデータを解析し制御部１に指示を出す指示部であ
る。又、第２図は検査工程での本装置の処理の流れを示
すフローチャート図である。

次に第１図と第２図とを用いて動作について説明する。

第１に、測定対象品種５に適合した測定周辺回路４を信
号発生部２及び測定部３に接続する（ステップＡｌ）。

第２に、検移票７に記載されたバーコード８を読み取り
装置９で読み取り、指示部１０にデータを送る（ステッ
プＡ２）。

第３に、指示部１０では読み取り装置９からのデータを
解析し、制御部１に指示を与える（ステップＡ３）。こ
の指示を受け、上記制御部１では、信号発生部２及び測
定部３が正常動作を行うかどうかの機能診断と、測定周
辺回路４の正常動作の確認と、測定プログラムの制御部
１への読み込みと、基準サンプルを用いて装置全体とし
て測定が正常に行われるかどうかの測定確認と、測定対
象品種５のどのような測定結果をデータとして出力する
かの設定とが自動的に行われる。

上記の設定及び指示の実行時に異常が発生した場合は、
入出力装置６にて異常の内容を表示し、実行を中止する
。この表示に従って修復作業を行う。修復作業が完了す
れば、上記の設定及び指示の実行を再開させる。

以上の設定及び修復処理が正常に行われ、これが終了す
れば、第４に、測定対象品種の測定を開始する（ステッ
プＡ４）。

この時の測定の動作を第１図を用いて説明する。

まず、制御部１は与えられた測定プログラムに従って、
信号発生部２と測定部３と測定周辺回路４とを設定し、
測定対象品種を測定可能な状態にする。次に、測定対象
品種５で発生した信号を測定部３により測定し、測定デ
ータを制御部１に送る。制御部１ではこのデータをもと
に測定対象品種５の良否判定及び測定結果出力のための
処理が行われる。以上の測定動作がいくつかの項目につ
いて繰り返され測定プログラムが終了すると、同様に次
の半導体装置も測定される。

このようにして、測定対象品種５の全数の測定が完了す
ると、第５に、制御部１により入出力装置６へ測定結果
を出力し、ここで該結果を表示あるいは記録し、検査工
程での処理が終了する（ステップＡ５）。

このように本実施例では、被半導体測定装置５にバーコ
ードにより測定のためのデータが表示された検移票７を
取付けるとともに、そのバーコード表示を読み取る装２
９と、そのデータの解析及び制御部１への測定のための
指示を行なう指示部１０とを設け、測定対象品種を測定
可能状態にするための処理（セットアツプ）を自動的に
行なうようにしたので、従来人が行っていたセットアツ
プ作業を自動化でき、これにより測定対象品種のセット
アツプ時間を短縮して装置の効率的な利用を図ることが
できる。又、人手による操作が省略されたことで誤操作
がなくなり確実なセットアツプが可能になり、測定対象
の品種に高い品質が得られるなどの効果がある。

なお、上記実施例ではバーコードを用いて必要な情報を
検移票に記載した場合について示したが、その情報の記
載は磁気及び光を用いて記録するようにしてもよい。又
、読み取り装置としては検移票の記録方法がどのような
ものであっても、それに対応して読み取れる機能をもっ
たものを用いればよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、セットアツプに必要
な情報を半導体測定装置本体に入力可能な入力インター
フェースを設けたので、セットアツプの自動化が可能と
なり、これによりセットアツプ時間の短縮を図ることが
でき、また制御部に対する指示及び設定ミスやもれを無
くすことができる半導体測定装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による半導体測定装置の構
成を示す図、第２図はこの半導体測定装置の検査工程に
おける処理の流れを示す図、第３図は従来の半導体測定
装置の一例の構成を示す図、第４図は従来の半導体装置
の検査工程における処理の流れを示す図である。 １・・・制御部、２・・・信号発生部、３・・・測定部
、４・・・測定周辺回路、５・・・測定対象品種（被測
定半導体装置）、６・・・入出力装置、７・・・検移票
、８・・・検移票に記載されたバーコード、９・・・読
み取り装置、１０・・・指示部。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定半導体装置の品種及び測定項目に応じて測
   定プログラムを設定するプログラム設定部と、該測定プ
   ログラムに基づいて、該品種に応じた周辺測定回路を介
   して検査、診断のための測定を行なう測定機能部とを有
   する半導体測定装置であって、 上記被測定半導体装置は、上記測定プログラムを設定す
   るのに必要な設定データを保持するデータ保持部を有す
   るものであり、 上記プログラム設定部は、上記設定データを読み取る読
   み取り手段と、読み取ったデータを解析して上記測定機
   能部に測定実行のための指示を行なう解析指示手段とを
   有するものであり、 上記測定機能部は、上記測定項目の初期設定を行なう設
   定手段と、本装置の機能の診断及び上記測定周辺回路の
   動作の診断を行なう診断手段と、上記被測定半導体装置
   の基準サンプルを用いて試験測定を行い測定結果の確認
   を行なう測定動作確認手段と、上記検査、診断のための
   測定結果を表示あるいは記録する装置とを備えたもので
   あることを特徴とする半導体測定装置。