JP3187976B2 - 部品装着装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板上に電子部品を装
着する部品装着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、装着しようとする部品と基板上の
装着個所を画像処理によって認識し、認識結果を装着動
作に反映させる部品装着装置が種々提案されている。例
えば特開平４−２０６６００号公報には、装着ヘッドに
撮像装置を取り付け、装着ヘッドの部品吸着搬送用シャ
フトの周囲に、反射面がノズル軸に対して一定の傾斜角
を持つ平面反射鏡を取り付け、さらに吸着ノズルに吸着
された部品の下側の位置に移動可能に照明装置を設け、
平面反射鏡から反射する光を撮像装置に入射させる「電
子部品検出装置」が開示されている。そして、その発明
の詳細な説明の欄に、吸着ノズルに吸着された部品を撮
像する光路に加えて、基板表面の位置決めマークを撮像
する光路を設け、両光路をビームスプリッタによって共
通化して撮像装置に導く、実施例が記載されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような電子部品検
出装置では、部品を撮像するときと基板の位置決めマー
クを撮像するときに、２種類の画像が同時に撮像装置に
入射しないよう、両光路を交互に遮断するシャッタ機構
が必要である。また、部品像を撮像装置に導く反射鏡
が、吸着ノズル上方の部品吸着搬送用シャフトに設けら
れているため、このシャフト径より小さい部品は、正し
く外形を認識できない場合がある。このため前記公報の
発明の詳細な説明の欄には、吸着ノズル部用反射鏡を設
けて小部品に対応し、小部品画像を撮像装置に導く第２
の反射鏡を設ける、実施例が記載されている。しかしな
がら、この実施例においては、基板表面の位置決めマー
ク等を単一の撮像装置に取り込むことが難しいと考えら
れる。従って本発明は、光路を遮断するシャッタ機構を
設けず、かつＩＣ等の大部品から相当小さい部品に至る
まで、部品と基板表面の位置決めマーク等の認識を単一
の撮像装置で行う装着ヘッド部を有した、部品装着装置
を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明では、垂直下向き
に撮像手段を配置し、その下に前方から水平に進入する
部品像を上方に反射し、背後から水平に進入する光を下
方に反射し、かつ下方から進入する基板のパターン像を
上方に透過する４５°ハーフミラ−と、この４５°ハー
フミラ−の背後に、部品像が進入してくる方向に向けて
照明手段を配置する。或いは、水平横向きに撮像手段を
配置し、その前方に水平方向から進入する部品像を透過
し、上方から進入する光を透過し、かつ下方から進入す
る基板のパターン像を撮像手段方向へ水平に反射する４
５°ハーフミラ−と、この４５°ハ−フミラ−の上方
に、基板のパターン像が進入してくる方向に向けて照明
手段を配置する。そして、いずれにおいても、基板のパ
ターン像の撮像時に照明手段を点灯して、その照明光の
一部で基板表面を照らし、部品像の撮像時には照明手段
を消灯して、部品を装着すべき基板のパターン位置とそ
の部品の吸着保持状態を撮像する。撮像した画像を認識
することにより吸着位置ずれとパターン位置ずれを検知
し、両ずれ量を補正して部品を装着する。

【０００５】また本発明では、Ｘ−Ｙ移動する部品装着
部に装着ヘッドと撮像手段を垂直下向きに配置し、装着
ヘッド下端に設けた吸着ノズルの上下移動空間に、その
４５°の反射面に平行な方向に進入または退出し、進入
時には吸着ノズルに吸着された部品の像を水平方向に反
射する４５°ミラーを設け、前記上下移動空間の周囲
に、吸着された部品を背後から照らし出す透過照明部を
配置する。撮像手段の下には、水平方向から進入する部
品像を上方に反射し、かつ下方から進入する基板のパタ
ーン像を上方に透過する４５°ハーフミラ−を配置す
る。そして、４５°ハ−フミラ−の背後に、部品像が進
入してくる方向に向けて反射照明部を配置し、基板のパ
ターン像の撮像時に反射照明部を点灯して、その照明光
の一部で基板表面を照らし、部品像の撮像時には反射照
明部を消灯して透過照明部を点灯し、部品の保持状態と
その部品を装着すべき基板のパターン位置を撮像する。
撮像した画像を認識することにより吸着位置ずれとパタ
ーン位置ずれを検知し、両ずれ量を補正して部品を装着
する。

【０００６】さらに本発明では、Ｘ−Ｙ移動する部品装
着部に撮像手段を水平横向きに、部品装着ヘッドを垂直
下向きに配置し、装着ヘッド下端に設けた吸着ノズルの
上下移動空間に、その４５°の反射面に平行な方向に進
入または退出し、進入時には吸着ノズルに吸着された部
品の像を水平方向に反射する４５°ミラーを設け、前記
上下移動空間の周囲に、吸着された部品を背後から照ら
し出す透過照明部を配置する。撮像手段の前方には、水
平方向から進入する部品像を透過し、かつ下方から進入
する基板のパターン像を撮像手段方向へ水平に反射する
４５°ハーフミラ−を配置する。そして、４５°ハ−フ
ミラ−の上方に、基板のパターン像が進入してくる方向
に向けて反射照明部を配置し、基板のパターン像の撮像
時に反射照明部を点灯して、その照明光の一部で基板表
面を照らし、部品像の撮像時には反射照明部を消灯して
透過照明部を点灯し、部品の保持状態とその部品を装着
すべき基板のパターン位置を撮像する。撮像した画像を
認識することにより吸着位置ずれとパターン位置ずれを
検知し、両ずれ量を補正して部品を装着する。

【０００７】

【作用】単一の撮像手段で、部品と基板パターンの像が
選択的に取り込まれる。また、４５°ハ−フミラ−と、
これに付設する照明装置の動作制御により、シャッター
を用いることなく撮像対象が切り替わる。そして、吸着
ノズルの上下移動軸に対して４５°に配置されたミラー
が、その４５°の反射面に平行な方向に進入するため、
４５°ミラーの移動停止を待たずに、部品の全体像が写
し出されると共に画像の取り込みを開始し、吸着保持さ
れた部品が部品装着位置へ移動する間に部品像が認識さ
れる。さらに、装着前に、その部品を装着すべき基板パ
ターン像が認識されて、部品の吸着位置ずれと基板のパ
ターン位置ずれが検知され、両ずれ量を補正して部品の
装着が行われる。

【０００８】

【実施例】本発明部品装着装置の一実施例について、図
に基づき説明する。図１は本発明の部品装着装置の一実
施例を示す概略図である。部品装着装置１は箱型のベー
ス１０を有し、その上に、Ｘ−Ｙステージ２、部品装着
部３、コンベア部４、第１部品供給部５が配置されてい
る。６はベース１０の傍らに配置された第２部品供給部
であり、ベース１０上に設けた部品仮位置決め台７上に
部品を供給する。また、ベース１０には、画像処理手段
８、制御手段９が内蔵されている。

【０００９】次に、本発明の主旨である部品装着部３に
ついて詳述する。図２は本発明の部品装着装置の一実施
例における部品装着部３の概略正面図である。部品装着
部３は、Ｘ−Ｙステージ２に吊り下げ状態で支持されて
おり、カバー部の中に図２の機構を備えている。３０は
Ｘ−Ｙステージ２の下面に取り付けた部品装着部の支持
板で、その正面に、装着ヘッド３１を上下運動させる直
線運動ユニット３１１を垂直に取り付ける。直線運動ユ
ニット３１１は、図示しないボールネジ、ボールナッ
ト、直線案内軸受、サーボモータ等からなり、ボールナ
ットに固定されて上下動するスライダ３１２に、装着ヘ
ッド３１が取り付けられる。

【００１０】装着ヘッド３１は、垂直下向きにスライダ
３１２に取り付けられ、自身の下端に、部品を吸着する
吸着ノズル３２を保持する。吸着ノズル３２は上部に正
方形の反射板３２１を有し、この反射板３２１は、自身
の中心位置にノズル本体が貫通する形で取り付けられて
いる。３３は、吸着ノズル３２に吸着された部品を背後
から照らし出す透過照明部で、その円筒形部材３３１の
内周面に一定間隔を置いてリング状に配置された複数個
のＬＥＤ３３２を有し、下端には、これらのＬＥＤの光
が後述する４５°ミラーに直接映らないよう、鍔のつい
た円筒形の遮光板３３３を設ける。透過照明部３３は、
吸着ノズル３２の下方に位置し、円筒形部材３３１の中
心が、部品装着ヘッドの中心と同一となるよう支持板３
０に固定されている。そして、円筒形部材３３１及び遮
光板３３３は、部品吸着または装着時、図３に示すよう
に、ＬＥＤ３３２で囲まれた空間及び遮光板の中空部
を、吸着ノズルと装着ヘッドの一部が通り抜けられる大
きさになっている。

【００１１】３４は、吸着ノズルに保持された部品が透
過照明部３３内の所定位置で停止したとき、ＬＥＤ３３
２及び反射板３２１によって照らし出された部品像を水
平方向に反射する、４５°ミラーである。４５°ミラー
３４は、装着ヘッド３１の上下移動軸に対して、４５°
の角度で直線移動するよう、移動手段３５に、中継板３
４１を介して取り付けられる。

【００１２】移動手段３５は、図示しないタイミングベ
ルト、プーリ、サーボモータと、直線案内軸受３５１及
び、これに沿って直線移動するスライダ３５２とで構成
される。この直線案内軸受３５１は、水平面から上方に
４５°の角度で支持板３０に取り付けて、スライダ３５
２の一部は、前記タイミングベルトの歯と噛み合わせ
る。そして、サーボモータとプーリによってタイミング
ベルトが指定量回転すると、スライダ３５２が、直線案
内軸受３５１に沿って指定量直線移動する。中継板３４
１は、断面Ｌ字形で、スライダ３５２の下側面に一端が
取り付けられ、図２で云う手前側に突出面を有し、この
突出面の上面に、４５°ミラー３４を固定している。こ
うして、４５°ミラー３４を、部品吸着及び装着時に吸
着ノズル３２の上下移動空間から４５°上方に退避さ
せ、部品認識時に吸着ノズル３２の真下に、４５°方向
から進入させる。

【００１３】３６はアングル３６１を介し支持板３０に
取り付けられた４５°ハーフミラーで、部品認識位置に
ある４５°ミラー３４と対向する位置に配置され、４５
°ミラー３４からの水平反射画像を垂直上方に反射し、
かつ下方から進入してくる基板Ｐのパターン像を垂直上
方に透過する。アングル３６１は断面Ｌ字形であり、両
端部で４５°ハーフミラー３６の上辺と下辺をそれぞれ
支持してその反射面を４５°に固定し、４５°ミラー３
４に対向させている。またアングル３６１は、４５°ハ
ーフミラーの下方から進入してくる画像を遮らないよう
に、４５°ハーフミラーの平面投影に相当する部分に、
開口部３６２を設けている。さらにアングル３６１は、
４５°ハーフミラーの背後に位置する部分に、後述する
反射照明部３７の取り付け面を有している。

【００１４】３７は、４５°ハーフミラーの背後に位置
し、４５°ミラーからの水平反射画像に向き合う反射照
明部である。反射照明部３７は、基板３７１とこれに一
定間隔のマトリックス状に配設された複数個のＬＥＤ３
７２からなり、ＬＥＤ配設面が４５°ハーフミラー側を
向くよう、基板３７１をアングル３６１に直立固定す
る。３８は、４５°ハーフミラー３６が垂直に反射する
画像と、垂直に透過する画像とを取り込む撮像手段で、
４５°ハーフミラー３６の真上に位置するよう支持板３
０に垂直下向きに取り付ける。また、４５°ハーフミラ
ー３６と撮像手段３８の取り付け位置は、図２のよう
に、撮像手段３８から基板Ｐ上に至る距離と、撮像手段
３８から４５°ハーフミラー３６と４５°ミラー３４を
それぞれ経由して部品Ａの裏面に至るまでの距離が、等
しくなるように配置する。

【００１５】８は、撮像手段３７が取り込む画像を認識
・処理する画像処理手段で、その処理結果に基づいて、
制御手段９が部品装着動作を制御する。また、制御手段
９は、装着ヘッドの上下移動量、すなわち直線運動ユニ
ット３１１におけるスライダ３１２の移動量によって、
移動手段３５のサーボモータの回転を指令してスライダ
３５２を直線移動させ、４５°ミラー３４を、部品吸着
及び部品装着時に吸着ノズル３２の上下移動空間から退
避させ、部品認識時に吸着ノズルの真下に進入させる働
きをする。

【００１６】このような構成を有する本実施例の部品装
着装置の動作について説明する。部品を装着しようとす
る基板Ｐが、コンベア部４上を搬送され、図示しない基
板位置決め機構によって保持されると、まず、制御手段
９は、Ｘ−Ｙステージ２を駆動し、部品装着部３の部品
装着ヘッド３１を、例えば、第２部品供給部６から部品
仮位置決め台７上に供給された部品Ａの真上に停止させ
る。そして、図示しないサーボモータを駆動し、スライ
ダ３１２、すなわち装着ヘッド３１を下降させる。この
時、４５°ミラー３４は上昇端にあり、吸着ノズル３２
の上下移動空間から離れているため、吸着ノズル３２は
部品Ａに到達し、これを吸着保持する。

【００１７】部品吸着後、制御手段９は、装着ヘッド３
１を上昇させ、かつ上昇途中の所定位置（吸着保持され
た部品Ａの下端が、４５°方向から進入してくる４５°
ミラー３４に接触しない位置）に達したとき、移動手段
３５の図示しないサーボモータを所定量回転させる。す
ると、スライダ３５２が、直線案内軸受３５１に沿って
移動し、４５°ミラー３４を、吸着ノズルの上下移動空
間に、４５°方向から進出させる。

【００１８】吸着ノズルが部品を認識する高さに達する
と、制御手段９は、装着ヘッド３１の上昇を停止し、図
２に示すように、透過照明部３３内の所定位置に部品Ａ
を停止させ、ＬＥＤ３３２を点灯させる。この時、４５
°ミラー３４は移動途中であるが、ミラーが４５°方向
から部品Ａの真下に進入してくるため、移動が停止して
いなくとも、図２で云う部品Ａの左端部が、４５°ミラ
ー３４に写った時点で、撮像手段３８が部品Ａの裏面像
を取り込み、画像処理手段８に入力を開始できる。すな
わち、４５°ミラー３４が、その反射面の方向に、反射
面と直角の運動成分を含むことなく移動する限り、部品
Ａの裏面と４５°ミラー３４との距離は一定であり、撮
像手段３８の焦点距離に部品Ａの裏面があるという位置
関係はミラー３４の移動期間中を通じて変わることがな
い。４５°ミラー３４が部品Ａの下に進入して行けば、
その反射面上に、後に部品Ａの裏面全体像を構成すべき
部分像が次第に大きさを増して現れ、対面している４５
°ハーフミラー３６にも対応する像が現れ、これが垂直
上方に反射され、撮像手段３８の撮像視野に送り込まれ
ることになる。部品Ａの全体像を得た時が画像処理手段
８への入力開始時点である。

【００１９】画像処理手段８が、入力された部品Ａの画
像情報の認識を行っている間に、制御手段９は、Ｘ−Ｙ
ステージ２を駆動し、撮像手段３８を、コンベア部４に
位置決めされた基板Ｐの、部品Ａを装着すべき位置の上
に移動させる。画像処理手段８は、撮像手段の移動途中
で部品Ａの画像認識を終え、その認識結果、すなわち部
品Ａの吸着位置ずれ情報を制御手段９に伝える。また、
制御手段９は、部品Ａの裏面像の取り込み終了後、移動
手段３５の図示しないサーボモータを所定量逆回転さ
せ、スライダ３５２及び４５°ミラー３４を、４５°上
方に退避させ、反射照明部３７のＬＥＤ３７２を点灯さ
せる。撮像手段３８が部品Ａの装着パターン上に停止す
ると、反射照明部３７の光の一部が４５°ハーフミラー
３６によって垂直下方に反射して基板表面を照らし出
し、基板位置決めマークもしくはランドパターン像など
の基板パターン像を撮像手段３８に取り込み、画像処理
手段８へ入力する。この時、４５°ミラー３４は吸着ノ
ズルの上下移動空間から退避しているため、４５°ハー
フミラー３６に向かって部品像が水平方向から進入せ
ず、基板パターン像のみが４５°ハーフミラー３６を垂
直上方に透過して、撮像手段３８に入ることになる。

【００２０】画像処理手段８が、入力された基板パター
ンの画像情報の認識を行っている間に、制御手段９は、
Ｘ−Ｙステージ２を駆動し、装着ヘッド３１を、前記吸
着位置ずれ量だけ補正して基板Ｐの装着位置上に停止さ
せ、吸着ノズル３２を下降させる。画像処理手段８は、
吸着ノズルの下降途中で基板パターン像の画像認識を終
え、その認識結果、すなわち基板Ｐの支持位置ずれ情報
（部品を装着すべき基板パターンが、あるべき位置から
どれだけずれて支持されているかを示す情報）を制御手
段９に伝える。そして、制御手段９は、再度Ｘ−Ｙステ
ージ２を駆動し、装着ヘッド３１を、前記支持位置ずれ
量だけ補正して基板Ｐの装着位置上に移動させながら、
吸着ノズル３２の下降を終え、部品Ａを基板Ｐ上に装着
する。

【００２１】図４は、本実施例における部品装着部３の
他の実施態様を示す概略正面図であり、図２に示す部品
装着部との相違点のみを説明する。４５°ハーフミラー
３６は、図２の４５°ハーフミラー３６と同位置に支持
されるが、アングル３６１及び反射照明部３７は、図２
の時の位置に対し、４５°ハ−フミラ−３６そのものを
対称軸として線対称の位置に配置される。すなわち、ア
ングル３６１は、４５°ハーフミラー３６に水平方向か
ら進入してくる画像を遮らないように、４５°ハーフミ
ラーの立面投影に相当する部分に、開口部３６２を設け
ている。そして、アングル３６１の４５°ハーフミラー
３６の上方に位置する部分に、反射照明部３７が固定さ
れる。撮像手段３８は、図４に示すように、４５°ハー
フミラー３６の背後に位置し、４５°ミラー３４からの
水平反射画像を取り込むよう、水平横向きに取り付け
る。撮像手段３８は、４５°ハーフミラー３６が水平に
反射する画像と、水平に透過する画像とを取り込むこと
になり、４５°ハーフミラー３６と撮像手段３８の取り
付け位置は、図４のように、撮像手段３８から４５°ハ
ーフミラー３６を経由して基板Ｐ上に至る距離と、撮像
手段３８から４５°ミラー３４を経由して部品Ａの裏面
に至るまでの距離が、等しくなるように配置する。

【００２２】図４の部品装着部を用いた場合の動作を、
前述した図２の部品装着部の動作と比較し、相違点のみ
を説明する。４５°ミラー３４が前述の動作によって部
品Ａの裏面像を水平方向に反射すると、４５°ハーフミ
ラー３６を透過して、撮像手段３８に取り込まれる。撮
像手段３８が画像処理手段８に部品Ａの画像情報を入力
し、画像処理手段８が部品Ａの画像情報の認識を行って
いる間に、制御手段９は、Ｘ−Ｙステージ２を駆動し、
４５°ハーフミラー３６を、コンベア部４に位置決めさ
れた基板Ｐの部品Ａを装着すべき位置に移動させる。画
像処理手段８は、４５°ハーフミラー３６の移動途中で
部品Ａの画像認識を終え、その認識結果、すなわち部品
Ａの吸着位置ずれ情報を制御手段９に伝える。また、制
御手段９は、部品Ａの裏面像の取り込み終了後、前述の
動作と同様に４５°ミラー３４を４５°上方に退避さ
せ、反射照明部３７のＬＥＤ３７２を点灯させる。４５
°ハーフミラー３６が部品Ａの装着パターン上に停止す
ると、反射照明部３７の光の一部が４５°ハーフミラー
３６を垂直下方に透過して基板表面を照らし出す。する
と、４５°ハーフミラー３６が基板位置決めマークもし
くはランドパターン像などの基板パターン像を水平方向
に反射し、撮像手段３８がこれを取り込んで、画像処理
手段８へ入力する。この時、４５°ミラー３４は吸着ノ
ズルの上下移動空間から退避しているため、４５°ハー
フミラー３６に向かって部品像が水平方向から進入せ
ず、基板パターン像のみが４５°ハーフミラー３６を水
平方向に反射して、撮像手段３８に入ることになる。こ
の後前述と同様の動作を行い、部品Ａを基板Ｐ上に装着
する。

【００２３】

【発明の効果】このように本発明の部品装着装置によ
り、単一の撮像手段で部品認識と基板パターンの認識が
可能である。その上、照明装置のオンオフ動作のみで画
像を交互に取り込むため、光路遮断用のシャッター手段
を必要とせず、また、４５°ハーフミラーを部品像の反
射と照明手段からの光の基板への反射とパターン像の透
過、或いは部品像及び照明手段からの光の透過とパター
ン像の反射とに兼用することができ、部品装着部の軽量
化が可能となり、部品装着装置全体の小型化に貢献でき
る。さらに、部品像或いはパターン像がミラーにて反射
或いは透過する回数を極力少なくし、撮像手段に至る経
路を極力短くすることができ、撮像手段での部品認識と
基板パターンの認識との精度を向上することができる。

【００２４】また、部品吸着ノズルの上下移動軸に対し
て４５°に配置されたミラーが、その４５°の反射面に
平行な方向に進入するため、４５°ミラーの移動停止を
待たずに、部品の全体像が写し出されると共に画像の取
り込みを開始でき、吸着保持された部品が部品装着位置
へ移動する間に部品像の認識が可能である。そして、装
着前に、その部品を装着すべき基板パターン像を認識し
て、部品の吸着位置ずれと基板のパターン位置ずれを検
知し、両ずれ量が補正されて部品の装着を行うため、装
着精度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明部品装着装置の一実施例の構成を示す概
略斜視図である。

【図２】本実施例における部品装着部の構成を示す概略
正面図である。

【図３】本実施例における部品装着部の動作を説明する
概略正面図である。

【図４】本実施例における部品装着部の他の実施例を示
す概略正面図である。

【符号の説明】

１ 部品装着装置 ２ Ｘ−Ｙステージ ３ 部品装着部 ３１ 部品装着ヘッド ３２ 吸着ノズル ３３ 透過照明部 ３４ ４５°ミラー ３５ 移動手段 ３６ ４５°ハーフミラー ３７ 反射照明部 ３８ 撮像手段 ８ 画像処理手段 ９ 制御手段 Ａ 部品 Ｐ 基板

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸着保持した部品を移送して基板上の所
   定位置に装着する間に、部品の保持状態とその部品を装
   着すべき基板のパターン位置を画像認識し、吸着位置ず
   れとパターン位置ずれを検知し、両ずれ量を補正して部
   品を装着する装置であって、 垂直下向きに配置する撮像手段と、 前記撮像手段の下に配置され、前方から水平に進入する
   部品像を上方に反射し、背後から水平に進入する光を下
   方に反射し、かつ下方から進入する基板のパターン像を
   上方に透過する４５°ハーフミラ−と、 前記４５°ハ−フミラ−の背後に、部品像が進入してく
   る方向に向けて配置する照明手段と、 前記基板のパターン像の撮像時に前記照明手段を点灯さ
   せて、その照明光の一部で基板表面を照らし、部品像の
   撮像時には前期照明手段を消灯させる制御手段を設ける
   ことを特徴とする部品装着装置。
2. 【請求項２】 Ｘ−Ｙ移動する部品装着部に設けた部品
   装着ヘッドで部品を吸着し、吸着された部品の保持状態
   とその部品を装着すべき基板のパターン位置を画像認識
   し、吸着位置ずれとパターン位置ずれを検知し両ずれ量
   を補正して部品を基板上の所定位置に装着する装置であ
   って、 部品装着ヘッドの下端に設け部品吸着及び装着時に下方
   に進出する、吸着ノズルと、 前記吸着ノズルが上下移動する空間の周囲に配置し、吸
   着された部品を背後から照らし出す透過照明部と、 前記吸着ノズルの上下移動空間に、その４５°の反射面
   に平行な方向に進入または退出し、進入時には吸着ノズ
   ルに吸着された部品の像を水平方向に反射させる４５°
   ミラーと、 前記４５°ミラーを、その反射面に平行な方向への移動
   により、部品吸着及び装着時に吸着ノズルの上下移動空
   間から退避させ、部品の画像認識時に吸着ノズルの真下
   に進入させる移動手段と、 吸着ノズルの真下に進入した時の前記４５°ミラーに対
   向し、前記水平反射部品像を垂直上方に反射させ、かつ
   自身の下方から進入する基板のパターン像を垂直上方に
   透過させる４５°ハーフミラーと、 前記４５°ハ−フミラ−の背後に配置し、基板上を照ら
   し出す反射照明部と、 前記垂直反射部品像と基板パターン像を取り込む撮像手
   段と、 前記撮像手段が取り込んだ部品像と基板パターン像を認
   識する画像認識手段と、 前記基板パターン像及び部品像の撮像に対応して、前記
   透過照明部、移動手段、反射照明部を制御し、かつ前記
   画像認識手段の認識結果に基づき装置動作を制御する制
   御手段とを備えることを特徴とする部品装着装置。
3. 【請求項３】 吸着保持した部品を移送して基板上の所
   定位置に装着する間に、部品の保持状態とその部品を装
   着すべき基板のパターン位置を画像認識し、吸着位置ず
   れとパターン位置ずれを検知し、両ずれ量を補正して部
   品を装着する装置であって、 水平横向きに配置する撮像手段と、 前記撮像手段の前方に配置され、水平方向から進入する
   部品像を透過し、上方から進入する光を透過し、かつ下
   方から進入する基板のパターン像を撮像手段方向へ水平
   に反射する４５°ハーフミラ−と、 前記４５°ハ−フミラ−の上方に、基板のパターン像が
   進入してくる方向に向けて配置する照明手段と、 前記基板のパターン像の撮像時に前記照明手段を点灯さ
   せて、その照明光の一部で基板表面を照らし、部品像の
   撮像時には前期照明手段を消灯させる制御手段を設ける
   ことを特徴とする部品装着装置。
4. 【請求項４】 Ｘ−Ｙ移動する部品装着部に設けた部品
   装着ヘッドで部品を吸着し、吸着された部品の保持状態
   とその部品を装着すべき基板のパターン位置を画像認識
   し、吸着位置ずれとパターン位置ずれを検知し両ずれ量
   を補正して部品を基板上の所定位置に装着する装置であ
   って、 部品装着ヘッドの下端に設け部品吸着及び装着時に下方
   に進出する、吸着ノズルと、 前記吸着ノズルが上下移動する空間の周囲に配置し、吸
   着された部品を背後から照らし出す透過照明部と、 前記吸着ノズルの上下移動空間に、その４５°の反射面
   に平行な方向に進入または退出し、進入時には吸着ノズ
   ルに吸着された部品の像を水平方向に反射させる４５°
   ミラーと、 前記４５°ミラーを、その反射面に平行な方向への移動
   により、部品吸着及び装着時に吸着ノズルの上下移動空
   間から退避させ、部品の画像認識時に吸着ノズルの真下
   に進入させる移動手段と、 吸着ノズルの真下に進入した時の前記４５°ミラーに対
   向し、前記水平反射部品像を透過させ、かつ自身の下方
   から進入する基板のパターン像を水平方向に反射させる
   ４５°ハーフミラーと、 前記４５°ハ−フミラ−の上方に配置し、基板上を照ら
   し出す反射照明部と、前記水平反射部品像と基板パター
   ン像を取り込む撮像手段と、 前記撮像手段が取り込んだ部品像と基板パターン像を認
   識する画像認識手段と、 前記基板パターン像及び部品像の撮像に対応して、前記
   透過照明部、移動手段、反射照明部を制御し、かつ前記
   画像認識手段の認識結果に基づき装置動作を制御する制
   御手段とを備えることを特徴とする部品装着装置。