JP3184932U - 静電防止の基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】静電防止の基板収納容器を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの静電導出部品１８が設置され、静電導出部品は基板収納容器内に設置されて基板を載置する載置サポートフレーム１４及び基板収納容器の外側に設置されたハンドル１６に電気的に接続され、導電経路を形成する。設備と基板収納容器の二つのハンドルの接触により、基板上に残留する静電荷が導電経路を通り接地端に伝わり、基板上に残留する静電荷が減少し、基板が摩擦により静電放電の現象を発生するのを防止し、これにより基板が静電気により損壊するのを防止する。
【選択図】図１

Description

本考案は一種の基板収納容器に係り、特に一種の、基板の静電荷を導出して基板が摩擦により静電放電を発生するのを防止できる基板収納容器を指す。

現在、半導体装置を製造する時に使用するウエハー、磁性保存ディスク基板及び液晶ディスプレイパネル用基板等の基板は、基板で半導体装置を製造する前に、精密で貴重な基板は不断に各製造工程に運送されて処理されなければならない。しかし、このような基板は極めて容易に環境の影響を受けて損壊し、たとえば、塵埃、静電放電、振動及び閉じ込めガス（ｇａｓｅｏｕｓ ｃｏｎｔａｉｎｍｅｎｔ）の影響を受けて損壊しやすい。

灰塵及び周辺大気からの微粒子等の形式の汚染物が基板に付着すると、それに対して復元不能な損害を形成する。集積回路のサイズが不断に縮小され、集積回路に対して汚染を形成する粒子サイズもまたより小さいものへと変わり、これにより、いかに汚染物を最低とするかが極めて重要となった。半導体産業は複雑な方法、たとえば、クリーンルームを採用して、基板が環境の影響を受けるのを防止している。

以上から、製造工程中の各ステップにおいて基板を保護する必要があることがわかる。現在、基板収納容器を使用して基板を収容することで、外界環境から基板を隔離し、これにより基板が環境を影響を受けて損壊するのを防止している。上述の基板収納容器は、前開放式ポッドシステム（Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ ｓｙｓｔｅｍ，ＦＯＵＰ）のようなものがある。基板収納容器は運送過程中に、十分に強固に基板を挟持できるが、基板は基板収納容器と摩擦して微粒子形式の汚染物を発生しやすく、ゆえに、現在、基板収納容器の材質には、耐磨耗のプラスチック材料が使用されて基板と基板収納容器が微粒子を発生するのを防止している。

周知の基板（たとえば、ウエハー或いは半導体装置に使用される基板）は基板収納容器に保存され、基板収納容器は運送過程中に振動を発生し、基板と基板収納容器が摩擦して大量の静電荷を発生し、静電荷は基板に残留し得る。基板収納容器より基板を取り出す時、基板と基板収納容器が接触し摩擦することで静電放電（ＥＳＤ）の破壊現象を発生し得て、基板収納容器より取り出される基板を損壊する。これにより、基板に残留する静電荷を除去して、基板の静電気による損壊を防止する必要がある。

本考案の目的は、一種の静電防止の基板収納容器を提供することにあり、それは少なくとも一つの静電導出部品を具え、静電導出部品を介して基板と接触する装置に電気的に接続され、基板に残留する静電荷を接地端に導出し、こうして基板と基板収納容器が発生する静電放電の破壊現象を発生して損壊するのを防止する。

上述の目的を達成するため、一種の静電防止の基板収納容器を提供し、それは、
左側壁と右側壁を具えたポッド本体、
該左側壁と該右側壁にそれぞれ設置されると共に該ポッド本体内に位置し、且つ少なくとも一つの基板を支持する二つの載置サポートフレーム、
該左側壁と該右側壁にそれぞれ設置されると共に、該ポッド本体外に位置する二つのハンドル、
該左側壁或いは該右側壁に嵌め込まれると共に、対応する該載置サポートフレームと電気的に接続されて、第１導電経路を形成し、該基板の静電荷は該第１導電経路を通り接地端に伝わる少なくとも一つの静電導出部品、
以上を包含する。

本考案は一種の静電防止の基板収納容器を提供し、それは、基板に残留する静電荷を導出することで、基板と基板収納容器の摩擦により発生する静電放電を防止し、これにより基板の歩留りをアップする。

本考案の第１実施例の基板収納容器の表示図である。 図１のＡ区域の拡大図である。 図１のＡ区域のもう一つの拡大図である。 本考案の第１実施例の第１静電導出部品のポッド本体への組み付けの表示図である。 本考案の第１実施例の基板収納容器の使用状態図である。 本考案の第２実施例の第２静電導出部品のポッド本体への組み付けの表示図である。 本考案の第２実施例の基板収納容器の使用状態図である。

本考案の技術内容、構造特徴、達成する目的を詳細に説明するため、以下に実施例を挙げ並びに図面を組み合わせて説明する。

周知基板（たとえば、ウエハー或いは半導体装置に使用される基板）は基板収納容器に保存され、基板収納容器は運送過程中に振動を発生し得て、基板と基板収納容器の摩擦により大量の静電荷を発生し、静電荷が基板に残留し得る。基板が基板収納容器より取り出される前に、基板に残留する静電荷は導出されず、基板が基板収納容器より取り出されると、基板は基板収納容器との摩擦により静電放電を発生し、静電放電は基板を破壊する。上述の問題を鑑み、本考案は一種の静電防止の基板収納容器を提供し、それは、基板を基板収納容器より取り出す前に、少なくとも一つの静電導出部品により基板に残留する静電荷を導出し、基板と基板収納容器の間に静電放電が発生するのを防止し、これにより基板の静電破壊を防止する。

図１を参照されたい。それは本考案の第１実施例の基板収納容器の表示図である。図示されるように、本実施例は一種の基板収納容器１を提供し、それは前開放式ポッドとされる。基板収納容器は、ＦＯＵＰとされる。基板収納容器１はポッド本体１０とドア１２を包含し、ポッド本体１０は、上部１０１、底部１０２、左側壁１０３、右側壁１０４及び後壁１０５を具えている。左側壁１０３及び右側壁１０４はそれぞれ後壁１０５の両側に設置され、並びに相互に対応する。左側壁１０３、右側壁１０４及び後壁１０５は上部１０１と上部１０１に対向する底部１０２の間に設けられ、並びにポッド本体１０内に収容空間１０６を形成する。上部１０１、左側壁１０３、底部１０２、及び右側壁１０４の包囲により開口１０７が形成され、開口１０７と収容空間１０６は連通する。ドア１２はポッド本体１０の開口１０７を密封するのに用いられ、これにより収容空間１０６は密閉されて、少なくとも一つの基板（たとえばウエハー）が、収容空間１０６内に収容されて運送される。上述のポッド本体１０とドア１２の材質は、絶縁材料が使用され、ゆえに、ポッド本体１０とドア１２は絶縁体とされる。

本実施例の基板収納容器１は、さらに二つの載置サポートフレーム１４を包含し、二つの載置サポートフレーム１４はそれぞれポッド本体１０の左側壁１０３及び右側壁１０４に設置され、並びに相互に対応する。各載置サポートフレーム１４は、本体１４０及び複数のリブ１４１を具え、これらリブ１４１は本体１４０において離間配列され、これによりこれらリブ１４１の間に複数の載置凹溝１４２が形成され、左側壁１０３の載置サポートフレーム１４に設置されたこれら載置凹溝１４２は、右側壁１０４に設置された載置サポートフレーム１４のこれら載置凹溝１４２に対応する。基板は対応するこれら載置凹溝１４２内に設置され、並びに載置凹溝１４２の近隣のリブ１４１と接触し、リブ１４１は基板を支持し、基板をポッド本体１０の収容空間１０６内に水平に支持する。基板収納容器１はさらに二つのハンドル１６を包含し、二つのハンドル１６はそれぞれ左側壁１０３及び右側壁１０４の外側表面に設置され、並びに相互に対応する。基板収納容器１の二つのハンドル１６は、設備（たとえば、搬送設備）の設置に供され、設備のロボットアーム或いは載置ブラケットが二つのハンドル１６を挟持或いは載置し、基板収納容器１を持ち上げ及び搬送する。

基板が基板収納容器１に積載され並びに次の工程に運送される時、基板収納容器１は運送過程中に振動を発生し、基板と載置サポートフレーム１４のリブ１４１、ポッド本体１０の側壁或いはドア１２の接触摩擦により、基板は大量の静電荷を帯び、基板が摩擦により静電放電を発生するのを防止するためには、基板に在留する静電荷の数量を減らさなければならない。ゆえに、本実施例の基板収納容器１にはさらに二つの第１静電導出部品１８が設けられる。図２Ａ及び図２Ｂを参照されたい。二つの第１静電導出部品１８はそれぞれ左側壁１０３及び右側壁１０４に嵌設され、並びに対応する載置サポートフレーム１４と電気的に接続され、基板の静電荷は載置サポートフレーム１４及び第１静電導出部品１８を通り接地端へと導出され、これにより基板に残留する静電荷が減らされて、基板とポッド本体１０の間に静電放電の現象が発生するのが防止される。

図３も同時に参照されたい。それは本考案の第１実施例の第１静電導出部品のポッド本体への組み付けの表示図である。図示されるように、二つの第１静電導出部品１８の構造は同じであるため、以下に左側壁１０３に設置される第１静電導出部品１８を以て詳細に説明する。本実施例の左側壁１０３は第１取付け部１０３１を具え、本実施例の第１取付け部１０３１は穿孔とされ、並びに左側壁１０３を貫通する。第１静電導出部品１８は第１本体１８０を具え、第１本体１８０は第１取付け部１０３１に嵌設され、第１本体１８０は第１表面１８１及び第１表面１８１に背向する第２表面１８２を具えている。第１表面１８１は左側壁１０３の内側表面上に露出し、並びにポッド本体１０の収容空間１０６に向いている。第２表面１８２は左側壁１０３の外側表面上に露出し、並びにポッド本体１０外部に向いている。第１表面１８１は少なくとも一つの第１電気接続部１８１１を具え、第１電気接続部１８１１が左側壁１０３に設置された載置サポートフレーム１４と接触し、第２表面１８２は少なくとも一つの第２電気接続部１８２１を具え、第２電気接続部１８２１は左側壁１０３より突出し、並びに左側壁１０３に設置されたハンドル１６に嵌設され、第２電気接続部１８２１はハンドル１６の表面において露出する。上述の第１取付け部１０３１が穿孔とされるのはわずかに一つの実施例であって、第１取付け部１０３１はその他の形態とされてもよく、ただ第１静電導出部品１８の第１電気接続部１８１１と載置サポートフレーム１４を接触させ及び第２電気接続部１８２１を左側壁１０３及びハンドル１６の表面において露出させればよく、これについては詳しく説明しない。

図４も併せて参照されたい。それは本考案の第１実施例の基板収納容器の使用状態図である。図示されるように、載置サポートフレーム１４及び第１静電導出部品１８間を電気的に接続するため、載置サポートフレーム１４及び第１静電導出部品１８はいずれも導電材料を含有し、載置サポートフレーム１４及び第１静電導出部品１８が導体とされ、こうして、載置サポートフレーム１４及び第１静電導出部品１８が第１導電経路を形成し、こうして基板２の静電荷が第１導電経路Ｐ１に沿って接地端３１に伝えられる。上述の導電材料はカーボンブラック粉末、炭素繊維、金属繊維、塗金属炭素繊維或いは金属粉末とされ得る。

上述の接地端３１は設備３の接地端３１とされ、本実施例の基板収納容器１の二つのハンドル１６は設備３のロボットアーム或いはブラケットに設置され、こうして設備３のロボットアーム或いはブラケットは第１静電導出部品１８の第２電気接続部１８２１と接触でき、載置サポートフレーム１４及び第１静電導出部品１８が形成する第１導電経路Ｐ１は設備３の接地端３１と電気的に接続する。このとき、基板２の静電荷は第１導電経路Ｐ１に沿って接地端３１に伝わり、有効に基板２に残留する静電荷が減少し、基板２がポッド本体１０、ドア及び二つの載置サポートフレーム１４との摩擦により発生する静電放電の現象が防止され、これにより、基板２の損壊率が下がる。

図５及び図６を参照されたい。それは本考案の第２実施例の第２静電導出部品のポッド本体への組付けの表示図及び基板収納容器の使用状態図である。図示されるように、基板２に残留する静電荷をスピーディーに減らすため、本実施例の基板収納容器１はさらに二つの第２静電導出部品１９を包含する。二つの第２静電導出部品１９は底部１０２に嵌設され、並びにそれぞれ対応する載置サポートフレーム１４及び底部１０２に設置された底板１１に電気的に接続される。こうして、載置サポートフレーム１４、第２静電導出部品１９及び底板１１が第２導電経路Ｐ２を形成し、基板２に残留する静電荷は第２導電経路Ｐ２に沿って導出される。

上述の基板収納容器１の底部１０２は、二つの第２取付け部１０２１を具え、本実施例の第２取付け部１０２１は穿孔とされ、底部１０２を貫通する。第２取付け部１０２１に設置される第２静電導出部品１９は第２本体１９０を具え、第２本体１９０は第２取付け部１０２１に嵌設される。第２本体１９０は第１表面１９１及び第１表面１９１に背向する第２表面１９２を具えている。第２本体１９０の第１表面１９１は収容空間１０６に向けられ、並びに少なくとも一つの第１電気接続部１９１１を具え、第１電気接続部１９１１は対応する載置サポートフレーム１４と接触する。第２本体１９０の第２表面１９２は基板収納容器１の外部に向けられ、並びに少なくとも一つの第２電気接続部１９２１を具え、第２電気接続部１９２１は底板１１と接触する。二つの載置サポートフレーム１４、二つの第２静電導出部品１９及び底板１１は導電材料を含有し、並びに二つの載置サポートフレーム１４、二つの第２静電導出部品１９及び底板１１はそれぞれ導体とされ、ゆえに、第２静電導出部品１９の第１電気接続部１９１１及び第２電気接続部１９２１は載置サポートフレーム１４及び底板１１に電気的に接続されて、第２導電経路Ｐ２を形成する。

基板収納容器１が底板１１と連結された設備４（たとえば充気設備）に設置される時、載置サポートフレーム１４、第２静電導出部品１９及び底板１１の形成する第２導電経路Ｐ２は設備４の接地端４１と電気的に接続され、こうして、基板２に残留する静電荷は、第２導電経路Ｐ２及び設備４を通り接地端４１に伝わり、基板２の静電荷の数量が減り、有効に、基板とポッド本体１０、ドア及び二つの載置サポートフレーム１４の摩擦により発生する静電放電及びそれによる基板２の損壊が防止され、これと同時に第１静電導出部品１８及び第２静電導出部品１９により基板２の静電荷導出が加速される。本実施例の設備４は第１実施例で使用する設備と同一のものとされ得るため、ここでは詳しく説明しない。

以上からわかるように、本考案は一種の静電防止の基板収納容器を提供し、それは少なくとも一つの静電導出部品が設置されて、静電導出部品が、基板収納容器内に設置されて基板を載置する載置サポートフレーム及び基板収納容器の外側に設置されたハンドルに電気的に接続されて、導電経路を形成する。設備が基板収納容器の二つのハンドルと接触することで、導電経路と設備の接地端が電気的に接続され、こうして基板に残留する静電荷が導電経路を通り設備の接地端に伝送され、こうして基板上に残留する静電荷が減らされて、基板が摩擦により発生する静電放電の現象が防止され、これにより基板が静電により損壊するのが防止される。

以上述べたことは、本考案の実施例にすぎず、本考案の実施の範囲を限定するものではなく、本考案の実用新案登録請求の範囲に基づきなし得る同等の変化と修飾は、いずれも本考案の実用新案登録請求範囲のカバーする範囲内に属するものとする。

本考案は新規性、進歩性及び産業上の利用価値を有し、実用新案登録の要件を満たしていることに疑いはなく、ここに実用新案登録出願をいたす次第です。

１ 基板収納容器
１０ ポッド本体
１０１ 上部
１０２ 底部
１０２１ 第２取付け部
１０３ 左側壁
１０３１ 第１取付け部
１０４ 右側壁
１０５ 後壁
１０６ 収容空間
１０７ 開口
１２ ドア
１４ 載置サポートフレーム
１４０ 本体
１４１ リブ
１４２ 載置凹溝
１６ ハンドル
１８ 第１静電導出部品
１８０ 第１本体
１８１ 第１表面
１８１１ 第１電気接続部
１８２ 第２表面
１８２１ 第２電気接続部
１９ 第２静電導出部品
１９０ 第２本体
１９１ 第１表面
１９１１ 第１電気接続部
１９２ 第２表面
１９２１ 第２電気接続部
２ 基板
３ 設備
３１ 接地端
Ｐ１ 第１導電経路
４ 設備
４１ 接地端
Ｐ２ 第２導電経路

Claims (10)

1. 静電防止の基板収納容器において、
   左側壁と右側壁を具えたポッド本体、
   該左側壁と該右側壁にそれぞれ設置されると共に該ポッド本体内に位置し、且つ少なくとも一つの基板を支持する二つの載置サポートフレーム、
   該左側壁と該右側壁にそれぞれ設置されると共に、該ポッド本体外に位置する二つのハンドル、
   該左側壁或いは該右側壁に嵌設されると共に、対応する該載置サポートフレームと電気的に接続されて、第１導電経路を形成し、該基板の静電荷を該第１導電経路に沿って接地端に伝える少なくとも一つの静電導出部品、
   以上を包含することを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
2. 請求項１記載の静電防止の基板収納容器において、これら載置サポートフレーム及び該第１静電導出部品はそれぞれ導体とされることを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
3. 請求項１記載の静電防止の基板収納容器において、該第１静電導出部品は該左側壁或いは該右側壁の第１取付け部に嵌設されることを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
4. 請求項３記載の静電防止の基板収納容器において、該第１静電導出部品は、
   該第１取付け部に嵌設されると共に、第１表面及び該第１表面に背向する第２表面を具えた第１本体、
   該第１表面に設置されると共に、対応する該載置サポートフレームに電気的に接続された少なくとも一つの第１電気接続部、及び、
   該第２表面に設置されると共に、該左側壁或いは該右側壁より突出する少なくとも一つの第２電気接続部、
   以上を包含することを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
5. 請求項１記載の静電防止の基板収納容器において、該接地端は設備の接地端とされ、該設備は該第１静電導出部品に接触し、該第１導電経路は該接地端に電気的に接続することを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
6. 請求項１記載の静電防止の基板収納容器において、さらに、
   該ポッド本体の底部に設置されると共に、該ポッド本体外に位置する底板、
   該底部に嵌設されると共に、対応する該載置サポートフレーム及び該底板と電気的に接続されて第２導電経路を形成し、該基板の静電荷を該第２導電経路に沿って該接地端に伝える少なくとも一つの第２静電導出部品、
   以上を包含することを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
7. 請求項６記載の静電防止の基板収納容器において、該第２静電導出部品及び該底板はそれぞれ導体とされることを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
8. 請求項６記載の静電防止の基板収納容器において、該第２静電導出部品は該底部の第２取付け部に嵌設されることを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
9. 請求項８記載の静電防止の基板収納容器において、該第２静電導出部品は、
   該第１取付け部に嵌設されると共に、第１表面及び該第１表面に背向する第２表面を具えた第２本体、
   該第１表面に設置されると共に、対応する該載置サポートフレームに電気的に接続された少なくとも一つの第１電気接続部、及び、
   該第２表面に設置されると共に、対応する該底板に電気的に接続される少なくとも一つの第２電気接続部、
   以上を包含することを特徴とする、静電防止の基板収納容器。
10. 請求項６記載の静電防止の基板収納容器において、該接地端は設備の接地端とされ、該設備は該第１静電導出部品及び該底板と接触し、該第１導電経路及び該第２導電経路は該接地端に電気的に接続されることを特徴とする、静電防止の基板収納容器。

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