JP3184015B2 - 超純水製造装置 - Google Patents
超純水製造装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工場、原子
力発電所、医薬製造工場等で広く使用されている超純水
製造装置に関する。
力発電所、医薬製造工場等で広く使用されている超純水
製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体製造工場、原子力発電所、
医薬製造工場等においては、電解質、微粒子、有機物
(以下、TOCと略す)等の極めて少ない超純水が使用
されている。このような超純水の製造装置としては、主
としてイオン交換樹脂を充填したイオン交換ユニット
と、逆浸透ユニットとを組合せた装置が汎用されてい
る。しかし、このようなイオン交換ユニットを使用する
システムでは、イオン交換樹脂からのTOCの溶出が大
きいため、後段の逆浸透ユニットでイオン交換樹脂から
溶出するTOCを十分に除去することができないという
問題がある。
医薬製造工場等においては、電解質、微粒子、有機物
(以下、TOCと略す)等の極めて少ない超純水が使用
されている。このような超純水の製造装置としては、主
としてイオン交換樹脂を充填したイオン交換ユニット
と、逆浸透ユニットとを組合せた装置が汎用されてい
る。しかし、このようなイオン交換ユニットを使用する
システムでは、イオン交換樹脂からのTOCの溶出が大
きいため、後段の逆浸透ユニットでイオン交換樹脂から
溶出するTOCを十分に除去することができないという
問題がある。
【0003】上述したシステムを代替する有力な手法と
して、本発明者らは先に、一価陽イオン選択透過性を有
するイオン交換膜を用いた電気透析ユニットと、逆浸透
ユニットとを組合せた超純水製造システムを提案してい
る(特願平 4-25180号)。すなわち、TOCの溶出がほ
とんどなく、特にNa+ や K+ 等の一価陽イオンを低濃度
まで除去可能な電気透析ユニットと、特に多価イオンの
除去性に優れている逆浸透膜とを組合せることで、安定
して高純度の超純水を得ることが可能となる。しかし、
上記の超純水製造システムを用いて、種々の原水水質を
処理して検討した結果、水質によっては電気透析ユニッ
トの除去性が低下することが判明した。すなわち、脱塩
が進行した場合に発生する水分裂によるイオン交換膜へ
の影響を低減するために、意図的に二価陽イオンのみを
残留させようとしたところ、結果的にはこの二価陽イオ
ン、特にCa2+、Mg2+に相対して等量に匹敵する陰イオン
の残留が認められた。原水のイオン濃度バランスやpHに
よっても異なるが、特に無機炭酸が残留する例が多かっ
た。この無機炭酸、特に HCO3 - (重炭酸イオン)は、
後段の逆浸透ユニットでは除去しにくく、結果的に上記
システムの出口水質が低下するという問題を招いてしま
う。
して、本発明者らは先に、一価陽イオン選択透過性を有
するイオン交換膜を用いた電気透析ユニットと、逆浸透
ユニットとを組合せた超純水製造システムを提案してい
る(特願平 4-25180号)。すなわち、TOCの溶出がほ
とんどなく、特にNa+ や K+ 等の一価陽イオンを低濃度
まで除去可能な電気透析ユニットと、特に多価イオンの
除去性に優れている逆浸透膜とを組合せることで、安定
して高純度の超純水を得ることが可能となる。しかし、
上記の超純水製造システムを用いて、種々の原水水質を
処理して検討した結果、水質によっては電気透析ユニッ
トの除去性が低下することが判明した。すなわち、脱塩
が進行した場合に発生する水分裂によるイオン交換膜へ
の影響を低減するために、意図的に二価陽イオンのみを
残留させようとしたところ、結果的にはこの二価陽イオ
ン、特にCa2+、Mg2+に相対して等量に匹敵する陰イオン
の残留が認められた。原水のイオン濃度バランスやpHに
よっても異なるが、特に無機炭酸が残留する例が多かっ
た。この無機炭酸、特に HCO3 - (重炭酸イオン)は、
後段の逆浸透ユニットでは除去しにくく、結果的に上記
システムの出口水質が低下するという問題を招いてしま
う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上述し
た問題に鑑み、TOCの除去性が十分であり、しかも一
価の陽イオンと一価の陰イオンを前段の電気透析ユニッ
トで十分に除去すると共に、後段の逆浸透ユニットで二
価以上の陽イオンと陰イオンを除去して、高純度の超純
水が得られ、かつ従来のようにイオン交換樹脂の再生剤
(HCl、NaOH)等のメンテナンスが不要な超純水製造シス
テムを開発することを目的として検討を重ねてきた。
た問題に鑑み、TOCの除去性が十分であり、しかも一
価の陽イオンと一価の陰イオンを前段の電気透析ユニッ
トで十分に除去すると共に、後段の逆浸透ユニットで二
価以上の陽イオンと陰イオンを除去して、高純度の超純
水が得られ、かつ従来のようにイオン交換樹脂の再生剤
(HCl、NaOH)等のメンテナンスが不要な超純水製造シス
テムを開発することを目的として検討を重ねてきた。
【0005】その結果、前述した電気透析ユニットに一
価陽イオン選択透過性膜を用いる超純水製造システムを
さらに一歩進め、一価陽イオン選択透過性膜と共に一価
陰イオン選択透過性膜を使用することで、上記の目的を
達成できることを見出し、本発明を提案するに至った。
価陽イオン選択透過性膜を用いる超純水製造システムを
さらに一歩進め、一価陽イオン選択透過性膜と共に一価
陰イオン選択透過性膜を使用することで、上記の目的を
達成できることを見出し、本発明を提案するに至った。
【0006】本発明は、上述した知見に基くものであ
り、電解質、微粒子、有機物等を十分に除去することが
できると共に、一価の陽イオンおよび陰イオン、さらに
二価以上の陽イオンおよび陰イオンの十分な除去を実現
した、高純度の純水を安定してかつ簡便に製造すること
ができる超純水製造装置を提供することを目的としてい
る。
り、電解質、微粒子、有機物等を十分に除去することが
できると共に、一価の陽イオンおよび陰イオン、さらに
二価以上の陽イオンおよび陰イオンの十分な除去を実現
した、高純度の純水を安定してかつ簡便に製造すること
ができる超純水製造装置を提供することを目的としてい
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の超純
水製造装置は、選択透過係数(P Ca Na ,2A/dm 2 ,40mi
n)が0.5未満の一価陽イオン選択透過性膜と選択透過係
数(P SO4 Cl ,2A/dm 2 ,40min)が0.5未満の一価陰イオ
ン選択透過性膜とを用い、二価陽イオンを選択的に残留
させるように構成された電気透析ユニットと、逆浸透ユ
ニットとを具備し、前記電気透析ユニットを前段に、前
記逆浸透ユニットを後段にして順に直列に接続して構成
したことを特徴としている。また、上記超純水製造装置
において、前記電気透析ユニットの前段に、酸添加装置
を含む脱炭酸装置を設置したことを特徴としている。
水製造装置は、選択透過係数(P Ca Na ,2A/dm 2 ,40mi
n)が0.5未満の一価陽イオン選択透過性膜と選択透過係
数(P SO4 Cl ,2A/dm 2 ,40min)が0.5未満の一価陰イオ
ン選択透過性膜とを用い、二価陽イオンを選択的に残留
させるように構成された電気透析ユニットと、逆浸透ユ
ニットとを具備し、前記電気透析ユニットを前段に、前
記逆浸透ユニットを後段にして順に直列に接続して構成
したことを特徴としている。また、上記超純水製造装置
において、前記電気透析ユニットの前段に、酸添加装置
を含む脱炭酸装置を設置したことを特徴としている。
【0008】本発明の超純水製造装置における電気透析
ユニットでは、一価陽イオン選択透過性膜と一価陰イオ
ン選択透過性膜とを併用している。一価陽イオン選択透
過性膜としては、一価陽イオンとして代表的なナトリウ
ムイオンと二価陽イオンとして代表的なカルシウムイオ
ンとの選択透過係数(PCa Na)が0.5未満、さらに0.2未
満の一価陽イオン選択透過性膜を好適に使用することが
できる。
ユニットでは、一価陽イオン選択透過性膜と一価陰イオ
ン選択透過性膜とを併用している。一価陽イオン選択透
過性膜としては、一価陽イオンとして代表的なナトリウ
ムイオンと二価陽イオンとして代表的なカルシウムイオ
ンとの選択透過係数(PCa Na)が0.5未満、さらに0.2未
満の一価陽イオン選択透過性膜を好適に使用することが
できる。
【0009】このような一価陽イオン選択透過性膜とし
ては、例えば特開昭 62-205135号公報に記載された膜、
すなわち第四級アンモニウム塩基と 3個以上のビニルベ
ンジル基を有するビニル化合物との重合体を、陽イオン
交換膜の少なくとも一方の表面に存在させた膜が例示さ
れる。 3個以上のビニルベンジル基を有するビニル化合
物としては、メチルアミンやエチルアミン等の一級アミ
ンと 3個以上のビニルベンジルハライドとを反応させた
化合物を用いることができる。この一価陽イオン選択透
過性膜は、上記選択透過係数が 0.2未満であり、本発明
において特に好適に使用することができる。
ては、例えば特開昭 62-205135号公報に記載された膜、
すなわち第四級アンモニウム塩基と 3個以上のビニルベ
ンジル基を有するビニル化合物との重合体を、陽イオン
交換膜の少なくとも一方の表面に存在させた膜が例示さ
れる。 3個以上のビニルベンジル基を有するビニル化合
物としては、メチルアミンやエチルアミン等の一級アミ
ンと 3個以上のビニルベンジルハライドとを反応させた
化合物を用いることができる。この一価陽イオン選択透
過性膜は、上記選択透過係数が 0.2未満であり、本発明
において特に好適に使用することができる。
【0010】また、一価陰イオン選択透過性膜として
は、一価陰イオンとして代表的な塩素イオンと二価陰イ
オンとして代表的な硫酸イオンとの選択透過係数(P
SO4 Cl)が0.5未満、さらには0.2未満の一価陰イオン選
択透過性膜を好適に使用することができる。
は、一価陰イオンとして代表的な塩素イオンと二価陰イ
オンとして代表的な硫酸イオンとの選択透過係数(P
SO4 Cl)が0.5未満、さらには0.2未満の一価陰イオン選
択透過性膜を好適に使用することができる。
【0011】このような一価陰イオン選択透過性膜とし
ては、例えば陰イオン交換膜の表面に、芳香核に 1以上
のアミノ基を有し、アルデヒド基、メチロール基と縮合
して架橋結合の発達した樹脂を形成し得る化合物と、ア
ルデヒド類との縮合物の薄層を形成させてなる膜(特公
昭36-15258号公報参照)、陰イオン交換膜の表面に、陽
イオン交換基を有する有機低分子電解質、または架橋し
ていない線状高分子電解質の薄膜を有する膜(特開昭45
-19980号公報参照)、強塩基性陰イオン交換基に変換し
得る官能基の一部を予め四級アミノ処理に対して不活性
化したイオン交換膜母体を、四級アミノ化処理した後に
過酸化物溶液と接触させるか、過酸化物溶液と接触させ
た後に四級アミノ化した膜(特公昭56-47213号公報参
照)等が挙げられる。
ては、例えば陰イオン交換膜の表面に、芳香核に 1以上
のアミノ基を有し、アルデヒド基、メチロール基と縮合
して架橋結合の発達した樹脂を形成し得る化合物と、ア
ルデヒド類との縮合物の薄層を形成させてなる膜(特公
昭36-15258号公報参照)、陰イオン交換膜の表面に、陽
イオン交換基を有する有機低分子電解質、または架橋し
ていない線状高分子電解質の薄膜を有する膜(特開昭45
-19980号公報参照)、強塩基性陰イオン交換基に変換し
得る官能基の一部を予め四級アミノ処理に対して不活性
化したイオン交換膜母体を、四級アミノ化処理した後に
過酸化物溶液と接触させるか、過酸化物溶液と接触させ
た後に四級アミノ化した膜(特公昭56-47213号公報参
照)等が挙げられる。
【0012】本発明における電気透析ユニットは、上記
した一価陽イオン選択透過性膜と一価陰イオン選択透過
性膜とを交互に配列した電気透析槽が使用される。そし
て、脱塩室に原水を提供し、濃縮室に濃縮液を提供する
ことによって、原水中の陽イオンおよび陰イオンを除去
することができる。
した一価陽イオン選択透過性膜と一価陰イオン選択透過
性膜とを交互に配列した電気透析槽が使用される。そし
て、脱塩室に原水を提供し、濃縮室に濃縮液を提供する
ことによって、原水中の陽イオンおよび陰イオンを除去
することができる。
【0013】上述したようなイオン交換膜を有する電気
透析ユニットの運転時間は、長時間であるほどイオンの
除去率は上昇するが、単位時間あたりの超純水の生産量
が低くなるため、超純水のイオン除去率と製造量との両
者を勘案して、適宜決定すればよい。
透析ユニットの運転時間は、長時間であるほどイオンの
除去率は上昇するが、単位時間あたりの超純水の生産量
が低くなるため、超純水のイオン除去率と製造量との両
者を勘案して、適宜決定すればよい。
【0014】また、本発明の超純水製造装置における逆
浸透ユニットは、公知のものを何等制限なく使用するこ
とができる。例えば、逆浸透膜としては、公知のポリア
ミド系、ポリビニルアルコール系、酢酸セルロース系等
の膜を使用することができる。また構造的には、スパイ
ルラル、ホロファイバー等の膜を使用することができ
る。逆浸透ユニットの運転条件は特に制限されず、公知
の条件をそのまま採用することができる。例えば、 5〜
30kgf/cm2 程度の圧力で運転すればよい。
浸透ユニットは、公知のものを何等制限なく使用するこ
とができる。例えば、逆浸透膜としては、公知のポリア
ミド系、ポリビニルアルコール系、酢酸セルロース系等
の膜を使用することができる。また構造的には、スパイ
ルラル、ホロファイバー等の膜を使用することができ
る。逆浸透ユニットの運転条件は特に制限されず、公知
の条件をそのまま採用することができる。例えば、 5〜
30kgf/cm2 程度の圧力で運転すればよい。
【0015】本発明の超純水製造装置は、上述した電気
透析ユニットを前段に、逆浸透ユニットを後段にして順
に直列に接続して構成したものである。また、原水の無
機炭酸塩の濃度が高い場合(例えば 50ppmCaCO3 換算以
上)には、電気透析ユニットの前段として、酸添加装置
を含む脱炭酸装置を設置することが好ましい。このよう
な脱炭酸装置としては、例えば充填物を内蔵した分散
塔、あるいは不活性ガスをばっ気して脱炭酸する装置等
が好適に使用することができる。
透析ユニットを前段に、逆浸透ユニットを後段にして順
に直列に接続して構成したものである。また、原水の無
機炭酸塩の濃度が高い場合(例えば 50ppmCaCO3 換算以
上)には、電気透析ユニットの前段として、酸添加装置
を含む脱炭酸装置を設置することが好ましい。このよう
な脱炭酸装置としては、例えば充填物を内蔵した分散
塔、あるいは不活性ガスをばっ気して脱炭酸する装置等
が好適に使用することができる。
【0016】また原水は、例えば 1μm 程度のカートリ
ッジフィルタで濾過することが好ましい。さらに、必要
に応じて、原水にアルカリ性水溶液を添加し、原水のpH
を8.0〜 9.0程度に調整してもよい。これにより、原水
中に存在する炭酸ガスを重炭酸塩とし、電気透析ユニッ
トにて重炭酸塩として除去することが可能となる。
ッジフィルタで濾過することが好ましい。さらに、必要
に応じて、原水にアルカリ性水溶液を添加し、原水のpH
を8.0〜 9.0程度に調整してもよい。これにより、原水
中に存在する炭酸ガスを重炭酸塩とし、電気透析ユニッ
トにて重炭酸塩として除去することが可能となる。
【0017】
【作用】本発明の超純水製造装置においては、電気透析
ユニットで一価陽イオン選択透過性膜と共に、一価陰イ
オン選択透過性膜を使用しているため、例えば脱塩が進
行した場合に発生する水分裂によるイオン交換膜への影
響を低減するために、意図的に二価陽イオンのみを残留
させる場合においても、逆浸透ユニット側への一価陰イ
オン、例えば HCO3 - 等の流出を防止することができ
る。そして、二価以上の陽イオンおよび陰イオンは、逆
浸透ユニットで除去することができる。
ユニットで一価陽イオン選択透過性膜と共に、一価陰イ
オン選択透過性膜を使用しているため、例えば脱塩が進
行した場合に発生する水分裂によるイオン交換膜への影
響を低減するために、意図的に二価陽イオンのみを残留
させる場合においても、逆浸透ユニット側への一価陰イ
オン、例えば HCO3 - 等の流出を防止することができ
る。そして、二価以上の陽イオンおよび陰イオンは、逆
浸透ユニットで除去することができる。
【0018】また、電気透析ユニットと逆浸透ユニット
とを組合せて用いることで、電解質、微粒子、有機物等
を十分に除去することができる。これらにより、高純度
の超純水を安定して製造することが可能となる。
とを組合せて用いることで、電解質、微粒子、有機物等
を十分に除去することができる。これらにより、高純度
の超純水を安定して製造することが可能となる。
【0019】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0020】図1は、本発明の一実施例による超純水製
造装置の概略構成を示す図である。同図において、1は
一価陽イオン選択透過性膜と一価陰イオン選択透過性膜
とを用いた電気透析ユニットであり、この電気透析ユニ
ット1には原水供給配管2が接続されている。なお、原
水としては、前述したように、 1μm 程度のカートリッ
ジフィルタで濾過したもの、酸添加装置を含む脱炭酸装
置で処理したもの、アルカリ性水溶液でpHを 8.0〜 9.0
程度に調整したもの等も用いることができる。上記電気
透析ユニット1で処理された処理水は、処理水槽3に貯
蔵された後、ポンプ4により逆浸透ユニット5に送られ
て処理される。そして、電気透析ユニット1と逆浸透ユ
ニット5の二段の処理によって得られた超純水は、超純
水貯槽6に送られる。また、逆浸透ユニット5から排出
される濃縮水は、濃縮廃水排出配管7を介して、前段の
電気透析ユニット1の濃縮室に送られて、濃縮液として
利用される。このようにすることによって、本装置から
排出する排水の量を減少させることができる。
造装置の概略構成を示す図である。同図において、1は
一価陽イオン選択透過性膜と一価陰イオン選択透過性膜
とを用いた電気透析ユニットであり、この電気透析ユニ
ット1には原水供給配管2が接続されている。なお、原
水としては、前述したように、 1μm 程度のカートリッ
ジフィルタで濾過したもの、酸添加装置を含む脱炭酸装
置で処理したもの、アルカリ性水溶液でpHを 8.0〜 9.0
程度に調整したもの等も用いることができる。上記電気
透析ユニット1で処理された処理水は、処理水槽3に貯
蔵された後、ポンプ4により逆浸透ユニット5に送られ
て処理される。そして、電気透析ユニット1と逆浸透ユ
ニット5の二段の処理によって得られた超純水は、超純
水貯槽6に送られる。また、逆浸透ユニット5から排出
される濃縮水は、濃縮廃水排出配管7を介して、前段の
電気透析ユニット1の濃縮室に送られて、濃縮液として
利用される。このようにすることによって、本装置から
排出する排水の量を減少させることができる。
【0021】次に、上記構成の超純水製造装置を用い
て、以下に示すように超純水を製造した。まず、電気透
析ユニットとしては、メチルアミンとビニルベンジルク
ロライドとを反応させて得た第四級アンモニウム塩基と
3個のビニルベンジル基を有するビニル化合物の重合体
とを陽イオン交換膜の一方の表面に存在させた一価陽イ
オン選択透過性膜(選択透過係数PCa Na=0.2) と、母体
となる一価陰イオン選択透過性膜をジメチルアミン水溶
液中で反応させた後、トリメチルアミンで処理した陰イ
オン交換膜(選択透過係数PSO4 Cl=0.07)とを、交互に
10対配列した電気透析槽(膜面積:2dm2 /枚)を使用し
た。また、逆浸透膜は、ポリアミド系複合膜を使用し
た。
て、以下に示すように超純水を製造した。まず、電気透
析ユニットとしては、メチルアミンとビニルベンジルク
ロライドとを反応させて得た第四級アンモニウム塩基と
3個のビニルベンジル基を有するビニル化合物の重合体
とを陽イオン交換膜の一方の表面に存在させた一価陽イ
オン選択透過性膜(選択透過係数PCa Na=0.2) と、母体
となる一価陰イオン選択透過性膜をジメチルアミン水溶
液中で反応させた後、トリメチルアミンで処理した陰イ
オン交換膜(選択透過係数PSO4 Cl=0.07)とを、交互に
10対配列した電気透析槽(膜面積:2dm2 /枚)を使用し
た。また、逆浸透膜は、ポリアミド系複合膜を使用し
た。
【0022】なお、上記の選択透過係数PCa Naは、次に
ようにして求めた値である。すなわち、 0.25NのNaClと
CaCl2 の 1:1の混合溶液を陽イオン交換膜の両側に置
き、 2A/dm2 で40分間の電気透析を実施して、陽イオン
交換膜中を透過して反対側へ移動したNaイオンおよびCa
イオンの量から次式によって求めた。
ようにして求めた値である。すなわち、 0.25NのNaClと
CaCl2 の 1:1の混合溶液を陽イオン交換膜の両側に置
き、 2A/dm2 で40分間の電気透析を実施して、陽イオン
交換膜中を透過して反対側へ移動したNaイオンおよびCa
イオンの量から次式によって求めた。
【0023】PCa Na=tCa・CNa/tNa・CCa (式中、tCaは陽イオン交換膜中のCaイオンの輸率を、
tNaは陽イオン交換膜中のNaイオンの輸率を、CCaは電
気透析前のCaイオンの濃度を、CNaは電気透析前のNaイ
オンの濃度を示す)また、上記の選択透過係数PSO4 Cl
は、次にようにして求めた値である。すなわち、0.1Nの
NaClとNa2 SO4 の 1:1の混合溶液を陰イオン交換膜の両
側に置き、2A/dm2 で40分間の電気透析を実施して、陰
イオン交換膜中を透過して反対側へ移動したClイオンお
よびSO4 イオンの量から次式によって求めた。
tNaは陽イオン交換膜中のNaイオンの輸率を、CCaは電
気透析前のCaイオンの濃度を、CNaは電気透析前のNaイ
オンの濃度を示す)また、上記の選択透過係数PSO4 Cl
は、次にようにして求めた値である。すなわち、0.1Nの
NaClとNa2 SO4 の 1:1の混合溶液を陰イオン交換膜の両
側に置き、2A/dm2 で40分間の電気透析を実施して、陰
イオン交換膜中を透過して反対側へ移動したClイオンお
よびSO4 イオンの量から次式によって求めた。
【0024】PSO4 Cl=tSO4 ・CCl/tCl・CSO4 (式中、tSO4 は陰イオン交換膜中のSO4 イオンの輸率
を、tClは陰イオン交換膜中のClイオンの輸率を、C
SO4 は電気透析前のSO4 イオンの濃度を、CClは電気透
析前のClイオンの濃度を示す)そして、まず表1に示す
原水を、上記電気透析ユニット1の希釈室に循環して、
70分間電流密度0.01A/dm2 で電気透析を行った。次い
で、この処理水を逆浸透ユニット5に供給して処理し
た。電気透析ユニット1による処理水、および逆浸透ユ
ニット5による処理水(超純水)中のイオン濃度を表1
に示す。なお、逆浸透ユニット5の濃縮液は、 15%を電
気透析ユニット1の濃縮室に供給し、排水の再利用を行
った。
を、tClは陰イオン交換膜中のClイオンの輸率を、C
SO4 は電気透析前のSO4 イオンの濃度を、CClは電気透
析前のClイオンの濃度を示す)そして、まず表1に示す
原水を、上記電気透析ユニット1の希釈室に循環して、
70分間電流密度0.01A/dm2 で電気透析を行った。次い
で、この処理水を逆浸透ユニット5に供給して処理し
た。電気透析ユニット1による処理水、および逆浸透ユ
ニット5による処理水(超純水)中のイオン濃度を表1
に示す。なお、逆浸透ユニット5の濃縮液は、 15%を電
気透析ユニット1の濃縮室に供給し、排水の再利用を行
った。
【0025】また、本発明との比較として、上記実施例
と同一の一価陽イオン選択透過性膜と、選択透過性のな
い陰イオン透過性膜とを用いた電気透析ユニットを使用
する以外は、上記実施例と同様にして超純水を製造し
た。この比較例による処理水中のイオン濃度を表1に併
せて示す。
と同一の一価陽イオン選択透過性膜と、選択透過性のな
い陰イオン透過性膜とを用いた電気透析ユニットを使用
する以外は、上記実施例と同様にして超純水を製造し
た。この比較例による処理水中のイオン濃度を表1に併
せて示す。
【0026】
【表1】 表1から明らかなように、電気透析ユニットの陰イオン
交換膜として一価陰イオン選択透過性膜を用い、電気透
析ユニットで一価の陰イオンを選択的に除去すると共
に、逆浸透ユニットで二価以上の陰イオンを除去するこ
とにより、陰イオン濃度および陽イオン濃度を共に極め
て減少させた超純水を得ることが可能となる。これに対
して、電気透析ユニットで選択透過性のない陰イオン交
換膜を用いると、電気透析ユニットによる処理水中の一
価陰イオンの濃度が増加し、その後逆浸透ユニットで処
理しても、一価陰イオン濃度を十分に低くすることがで
きないことが分かる。なお、超純水中のTOCは、いず
れも30μgC/l以下であった。また表1において、陽イオ
ンは原子吸光光度法で、陰イオンはイオンクロマトグラ
フ法で求めた。
交換膜として一価陰イオン選択透過性膜を用い、電気透
析ユニットで一価の陰イオンを選択的に除去すると共
に、逆浸透ユニットで二価以上の陰イオンを除去するこ
とにより、陰イオン濃度および陽イオン濃度を共に極め
て減少させた超純水を得ることが可能となる。これに対
して、電気透析ユニットで選択透過性のない陰イオン交
換膜を用いると、電気透析ユニットによる処理水中の一
価陰イオンの濃度が増加し、その後逆浸透ユニットで処
理しても、一価陰イオン濃度を十分に低くすることがで
きないことが分かる。なお、超純水中のTOCは、いず
れも30μgC/l以下であった。また表1において、陽イオ
ンは原子吸光光度法で、陰イオンはイオンクロマトグラ
フ法で求めた。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超純水製
造装置によれば、前段の電気透析ユニットで一価陽イオ
ン選択透過性膜および一価陰イオン選択透過性膜を使用
しているため、原水中の一価陽イオンと一価陰イオンが
選択的に除去され、また二価以上の陽イオンと陰イオン
は逆浸透ユニットで除去することができる。従って、本
発明の超純水製造装置を使用すれば、陽イオン濃度およ
び陰イオン濃度共に 0.1ppm 以下の超純水を安定して得
ることが可能となる。しかも、本発明によれば、電解
質、微粒子、有機物等の除去が十分な超純水を、再生剤
等のメンテナンスを不要とした上で得ることができる。
造装置によれば、前段の電気透析ユニットで一価陽イオ
ン選択透過性膜および一価陰イオン選択透過性膜を使用
しているため、原水中の一価陽イオンと一価陰イオンが
選択的に除去され、また二価以上の陽イオンと陰イオン
は逆浸透ユニットで除去することができる。従って、本
発明の超純水製造装置を使用すれば、陽イオン濃度およ
び陰イオン濃度共に 0.1ppm 以下の超純水を安定して得
ることが可能となる。しかも、本発明によれば、電解
質、微粒子、有機物等の除去が十分な超純水を、再生剤
等のメンテナンスを不要とした上で得ることができる。
【図1】 本発明の一実施例の超純水製造装置の概略構
成を示す図である。
成を示す図である。
【符号の説明】 1……電気透析ユニット 2……原水供給配管 5……逆浸透ユニット 6……超純水貯槽
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI C02F 9/00 502 C02F 9/00 502K 503 503B 504 504B (56)参考文献 特開 平4−244288(JP,A) 特開 平4−100589(JP,A) 特開 昭60−71098(JP,A) 特開 昭52−14585(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 61/44 - 61/58 C02F 1/44
Claims (2)
- 【請求項1】 選択透過係数(P Ca Na ,2A/dm 2 ,40mi
n)が0.5未満の一価陽イオン選択透過性膜と選択透過係
数(P SO4 Cl ,2A/dm 2 ,40min)が0.5未満の一価陰イオ
ン選択透過性膜とを用い、二価陽イオンを選択的に残留
させるように構成された電気透析ユニットと、逆浸透ユ
ニットとを具備し、 前記電気透析ユニットを前段に、前記逆浸透ユニットを
後段にして順に直列に接続して構成したことを特徴とす
る超純水製造装置。 - 【請求項2】 前記電気透析ユニットの前段に、酸添加
装置を含む脱炭酸装置を設置したことを特徴とする、請
求項1記載の超純水製造装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19834993A JP3184015B2 (ja) | 1993-08-10 | 1993-08-10 | 超純水製造装置 |
US08/718,440 US6187201B1 (en) | 1993-08-10 | 1996-11-04 | System for producing ultra-pure water |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19834993A JP3184015B2 (ja) | 1993-08-10 | 1993-08-10 | 超純水製造装置 |
US08/718,440 US6187201B1 (en) | 1993-08-10 | 1996-11-04 | System for producing ultra-pure water |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0747365A JPH0747365A (ja) | 1995-02-21 |
JP3184015B2 true JP3184015B2 (ja) | 2001-07-09 |
Family
ID=26510934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19834993A Expired - Fee Related JP3184015B2 (ja) | 1993-08-10 | 1993-08-10 | 超純水製造装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6187201B1 (ja) |
JP (1) | JP3184015B2 (ja) |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6780328B1 (en) * | 1997-06-20 | 2004-08-24 | Li Zhang | Fluid purification devices and methods employing deionization followed by ionization followed by deionization |
JP3687829B2 (ja) * | 1998-06-04 | 2005-08-24 | 株式会社荏原製作所 | 復水処理方法及び復水脱塩装置 |
GB2385061A (en) * | 2002-02-06 | 2003-08-13 | Accentus Plc | Process water treatment using electrodialysis |
EP1534409A4 (en) * | 2002-08-02 | 2005-09-21 | Univ South Carolina | PRODUCTION OF PURIFIED WATER AND CHEMICAL PRODUCTS OF GREAT VALUE FROM SALTWATER |
US6929748B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-08-16 | Chemitreat Pte Ltd | Apparatus and method for continuous electrodeionization |
US7470366B2 (en) * | 2004-05-07 | 2008-12-30 | Ge Mobile Water, Inc. | Water purification system and method using reverse osmosis reject stream in an electrodeionization unit |
WO2006031732A2 (en) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | University Of South Carolina | Water desalination process and apparatus |
US20060091077A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Ecolochem, Inc. | Concentrate recycle loop with filtration module |
US7501064B2 (en) * | 2005-01-06 | 2009-03-10 | Eet | Integrated electro-pressure membrane deionization system |
JP2006272186A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Denso Corp | 水封入方法および水封入装置 |
US8114259B2 (en) * | 2006-06-13 | 2012-02-14 | Siemens Industry, Inc. | Method and system for providing potable water |
US8277627B2 (en) | 2006-06-13 | 2012-10-02 | Siemens Industry, Inc. | Method and system for irrigation |
US10252923B2 (en) | 2006-06-13 | 2019-04-09 | Evoqua Water Technologies Llc | Method and system for water treatment |
AU2007259267B2 (en) * | 2006-06-13 | 2011-09-22 | Evoqua Water Technologies Llc | Method and system for providing potable water |
US10213744B2 (en) | 2006-06-13 | 2019-02-26 | Evoqua Water Technologies Llc | Method and system for water treatment |
US20080067069A1 (en) | 2006-06-22 | 2008-03-20 | Siemens Water Technologies Corp. | Low scale potential water treatment |
US7708890B2 (en) * | 2006-12-11 | 2010-05-04 | Diversified Technologies Services, Inc. | Method of rendering a radioactive and aqueous heat transfer liquid in a nuclear reactor to a reduced radwaste quantitative state and returning the remaining waste water volumes to an environmental release point for liquid effluents |
KR20100099227A (ko) | 2007-11-30 | 2010-09-10 | 지멘스 워터 테크놀로지스 코포레이션 | 수처리를 위한 시스템 및 방법 |
CN102557314A (zh) * | 2012-03-09 | 2012-07-11 | 江苏新澳电力技术有限公司 | 一种纯水制备装置 |
WO2014165984A1 (en) * | 2013-04-08 | 2014-10-16 | Saltworks Technologies Inc. | Ion exchange membranes selectively permeable to specific ions |
SG11201608886UA (en) * | 2014-04-24 | 2016-11-29 | Nutrient Recovery & Upcycling Llc | Electrodialysis stacks, systems, and methods for recovering ammonia and monovalent salts from anaerobic digestate |
MX2020000854A (es) | 2017-08-21 | 2020-07-13 | Evoqua Water Tech Llc | Tratamiento de agua salina para uso agricola y potable. |
JP2019098300A (ja) * | 2017-12-07 | 2019-06-24 | 栗田工業株式会社 | 逆浸透膜の濃縮水の処理方法 |
US10821395B2 (en) * | 2018-02-07 | 2020-11-03 | Palo Alto Research Center Incorporated | Electrochemical desalination system |
US11185823B2 (en) | 2018-11-26 | 2021-11-30 | Palo Alto Research Center Incorporated | Electrodialytic system used to remove solvent from fluid and non-fluid flows |
US11117090B2 (en) | 2018-11-26 | 2021-09-14 | Palo Alto Research Center Incorporated | Electrodialytic liquid desiccant dehumidifying system |
US11015875B2 (en) | 2019-04-17 | 2021-05-25 | Palo Alto Research Center Incorporated | Electrochemical heat pump |
US11925903B2 (en) | 2020-12-18 | 2024-03-12 | Xerox Corporation | Electrodialysis heat pump |
US12085293B2 (en) | 2021-03-17 | 2024-09-10 | Mojave Energy Systems, Inc. | Staged regenerated liquid desiccant dehumidification systems |
US11872528B2 (en) | 2021-11-09 | 2024-01-16 | Xerox Corporation | System and method for separating solvent from a fluid |
US11944934B2 (en) | 2021-12-22 | 2024-04-02 | Mojave Energy Systems, Inc. | Electrochemically regenerated liquid desiccant dehumidification system using a secondary heat pump |
US11502323B1 (en) | 2022-05-09 | 2022-11-15 | Rahul S Nana | Reverse electrodialysis cell and methods of use thereof |
US11502322B1 (en) | 2022-05-09 | 2022-11-15 | Rahul S Nana | Reverse electrodialysis cell with heat pump |
US12040517B2 (en) | 2022-11-15 | 2024-07-16 | Rahul S. Nana | Reverse electrodialysis or pressure-retarded osmosis cell and methods of use thereof |
US11855324B1 (en) | 2022-11-15 | 2023-12-26 | Rahul S. Nana | Reverse electrodialysis or pressure-retarded osmosis cell with heat pump |
WO2024129618A1 (en) | 2022-12-12 | 2024-06-20 | Mojave Energy Systems, Inc. | Liquid desiccant air conditioning system and control methods |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3510418A (en) * | 1966-02-24 | 1970-05-05 | Tokuyama Soda Kk | Ion selective membrane |
US4574049B1 (en) * | 1984-06-04 | 1999-02-02 | Ionpure Filter Us Inc | Reverse osmosis system |
JPH0759296B2 (ja) | 1988-07-27 | 1995-06-28 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置 |
CH677325A5 (ja) | 1989-04-28 | 1991-05-15 | Asea Brown Boveri | |
JP2815681B2 (ja) | 1990-06-26 | 1998-10-27 | 松下電工株式会社 | 電磁装置の製造方法 |
JPH04100589A (ja) | 1990-08-17 | 1992-04-02 | Nomura Micro Sci Kk | 水処理システムおよび水処理装置 |
JP3196286B2 (ja) | 1992-01-21 | 2001-08-06 | 株式会社デンソー | 内燃機関用スパークプラグ |
JPH05220479A (ja) | 1992-02-12 | 1993-08-31 | Nomura Micro Sci Kk | 超純水製造システム |
JP3181795B2 (ja) * | 1994-10-28 | 2001-07-03 | オルガノ株式会社 | 電解水製造装置 |
US5522995A (en) * | 1995-02-28 | 1996-06-04 | Cockrem; Michael C. M. | Process for recovering organic acids from aqueous salt solutions |
JPH10128338A (ja) * | 1996-10-29 | 1998-05-19 | Ebara Corp | 電気再生式連続脱塩装置のスケール析出防止方法及び装置 |
JP3671644B2 (ja) * | 1998-01-05 | 2005-07-13 | オルガノ株式会社 | フォトレジスト現像廃液の再生処理方法及び装置 |
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