JP3178294B2 - レーザ加工機 - Google Patents

レーザ加工機

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JP3178294B2
JP3178294B2 JP06940495A JP6940495A JP3178294B2 JP 3178294 B2 JP3178294 B2 JP 3178294B2 JP 06940495 A JP06940495 A JP 06940495A JP 6940495 A JP6940495 A JP 6940495A JP 3178294 B2 JP3178294 B2 JP 3178294B2
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K37/00—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレーザ加工機に関する
もので、特にレーザビームの進行方向を偏向するベンド
ミラーの構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の構造として、例えば特公平
４−６５７５９や特開平１−１１３１９３等に開示され
ているものがある。図１７は特公平４−６５７５９で示
された従来のレーザ加工機のベンドミラー取付構造を示
す断面図で、図において１はレーザビーム、２は支持
台、３は支持台２に取り付けられたベンドブロック、４
はベンドミラーホルダー、５はベンドミラー、６はベン
ドミラー押え、７はベンドミラー押え６の取付ネジ、８
は複数設けられた調整用引ネジ、９は複数設けられた調
整用押ネジ、１１は調整用引ネジ１８の部分でベンドミ
ラーホルダー４とベンドブロック３の間に設けられたバ
ネ、１０ａはベンドミラー押え６に設けられた冷却水入
口、１０ｂは冷却水出口である。
【０００３】次に作用、動作について説明すると、レー
ザビーム１はベンドミラー５により反射偏向される。レ
ーザ加工機ではレーザビーム１の進行方向を偏向調整し
最終端の加工レンズ等にレーザビーム１を入射せしめる
のに利用されている。レーザ加工機の支持台２にベンド
ブロック３を取付け、ミラーホルダー４の凹部にベンド
ミラー５を嵌入位置決めさせる。ベンドミラー押え６は
取付ネジ７によりベンドミラーホルダー４へ取付けられ
ベンドミラー５を押圧固定する。上記により一体となっ
たベンドミラー５とベンドミラーホルダー４は調整用引
ネジ８と調整用押ネジ９で取付角度の傾きが調整される
よう動作する。又ベンドミラー５は冷却水入口１０ａに
冷却水を通水することにより間接的に冷却される構成と
なっている。
【０００４】図１８は特開平１−１１３１９３で示され
た従来のレーザ加工機のベンドミラー取付構造を示す断
面図で図において１〜３、５〜９、１１は前述の図１７
と同一又は相当部分を示し説明を省略する。１２はベン
ドミラー５とベンドミラー押え６間に設けられた波ワッ
シャーである。
【０００５】次に作用、動作について説明すると、ベン
ドブロック３の傾斜面凹部にベンドミラー５を嵌入位置
決めさせ、ベンドミラー押え６により波ワッシャー１２
を介してベンドミラー５を押圧固定している。レーザビ
ーム１の偏向方向の調整はベンドミラー５と一体となっ
たベンドブロック３を前述の従来例と同様な構造により
支持台２に対する角度を調整することにより行われる。
【０００６】図１９は他の従来のベンドミラーの取付構
造の断面図で、角度調整構造は図示されていないが、図
について説明すると１３は段付ベンドミラーでレーザビ
ーム１の反射面１５とベンドブロックへの取付面１４は
同一面ではなく段差が設けられている。ベンドブロック
３の傾斜平面１６に対して段付ベンドミラー１３の取付
面１４が当接するよう取付ネジ７によりベンドブロック
３へ取付けられる。この構造の場合段付ベンドミラー１
３では反射面１５の部分のみに反射膜が施されている場
合が多く、又、実開昭６２−１５４４０３に示されるよ
うに段付ベンドミラー１３に水室や冷却フィンを設ける
場合等がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ加工機の
ベンドミラー取付構造は以上のように構成されているの
で以下のような問題点がある。図１７、図１８のベンド
ミラー取付構造においては部品の点数が多く、構造が複
雑で高価である。冷却水配管がベンドミラー押え６や段
付ベンドミラー１３に直接に付いている場合はミラー着
脱時の取扱いが煩雑である。ベンドミラー５がベンドミ
ラーホルダー４やベンドブロック３の凹部に嵌入してい
るのでベンドミラー４の取外しが困難であるという問題
点があった。レーザビーム２の光路を調整する場合、タ
ーゲットの偏向点が凹部にあるため特殊な凸型の治具が
必要となる。ベンドミラー５の取付面が凹型の場合加工
が困難で平面度が悪いので取付力により取付面に倣って
ベンドミラー５が歪み正確なレーザビームの偏向や伝送
ができない。一般にベンドミラーの反射面の平面度はレ
ーザビームの波長をλとするとλ／２０程度が必要で、
よく知られる炭酸ガスレーザやＹＡＧレーザでは波長
（λ）がそれぞれ１０．６μｍ及び１．０６μｍであ
る。ベンドミラーの取付時の歪みを許容値内とするため
には取付面の平面度も上記値程度とすることが必要であ
るが、取付面が凹型の場合は中ぐり加工となるため所望
の平面度が得られない。したがってベンドミラーの取付
面への押圧力をバネ等により加減することで歪みを少な
くする方法等がとられているが、取付面の精度が出てい
ないため押圧力を相当小さくする等調整が必要でこの場
合振動等の外力により取付位置がズレてしまうという問
題点もあった。
【０００８】一方、図１９で示された段付ベンドミラー
１３の場合はベンドミラー１３側の取付面１４が凹部の
加工となるため平面度が悪いことや取付面１４と反射面
１５の平行度が出ないためメンテナンス時の取付位置の
再現が困難で、かつ異なるミラーの取付互換性が無い等
の問題点があった。図１７、図１８ではベンドミラー５
の角度調整をする構造にバネ１１を用いているが角度調
整機構にバネを用いる構造はバネ力を越える外力に対し
て動く可能性があり、長期間に渡り角度不変とする保証
がないという問題点があった。
【０００９】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、簡単な構造で、ベンドミラーの
反射面の精度を維持し、高精度なレーザ光の偏向・伝送
ができ、光路の調整等がし易いレーザ加工機のベンドミ
ラーの取付構造を得るものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ加
工機は、レーザ光を反射するベンドミラーと、このベン
ドミラーを取り付けたベンドブロックと、このベンドブ
ロックを固定支持する支持台と、上記ベンドブロックと
上記支持台との取り付けの調整を行なう調整手段とを備
え、上記ベンドミラーに取付穴を設け、上記ベンドミラ
ーの反射面を上記ベンドブロックのベンドミラー取付用
の凹部のない傾斜平面に当接させることにより上記ベン
ドミラーを上記ベンドブロックに取り付ける構造とした
ものである。
【００１１】また、ベンドブロック内部に冷却水通路を
備えたものである。
【００１２】また、ベンドブロック側取付面と上記支持
台側取付面との間に防塵用部材を備えたものである。
【００１３】また、防塵用部材として、磁気シールを用
いたものである。
【００１４】
【００１５】また、ベンドブロックのベンドミラー取付
面に、平面度１μ以下で、面粗さ０．０５μ以下の平面
切削加工または平面研磨加工を施したものである。
【００１６】また、ベンドミラーに設ける取付穴は２ケ
所とし、ベンドブロックの取付ネジがレーザ光の偏向平
面に対し直角方向に設けられたものである。
【００１７】また、ベンドミラーの材質を、ベンドブロ
ックの材質より剛性の高い材質としたものである。
【００１８】さらに、ベンドミラーをベンドブロックに
取り付ける取付ボルトを段付ネジとし、この段付ネジと
上記ベンドミラーとの間にバネを設けて上記ベンドミラ
ーを上記ベンドブロックに押圧固定するようにしたもの
である。
【００１９】また、バネとベンドミラーとの間にワッシ
ャーを設けたものである。
【００２０】また、ベンドブロックのベンドミラー取付
部に、ベンドミラーの取付方向を制限するための案内部
材を備えたものである。
【００２１】また、案内部材として、ベンドブロックの
ベンドミラー取付部表面から突出したピンを設け、ベン
ドミラーに上記ピンが挿入されるガイド穴を設けたもの
である。
【００２２】また、ベンドミラーの反射面となる面の、
ベンドブロックと当接する部分以外の部分にのみ反射膜
を塗布したものである。
【００２３】また、ベンドミラーのうち、その取付穴近
傍部をその他の部分より断面厚さを厚くした形状とした
ものである。
【００２４】さらに、ベンドミラーのうち、その反射面
相当部をその他の部分より断面厚さを厚くした形状とし
たものである。
【００２５】また、ベンドミラーのうち、その取付穴近
傍部とその反射面相当部との間に切り欠き部を設けた断
面形状としたものである。
【００２６】また、ベンドミラーの取付穴に、裏ザグリ
部を設けたものである。
【００２７】また、ベンドミラーの取付穴の内部に、上
記ベンドミラーの材質より剛性の高い材質のスリーブを
設けたものである。
【００２８】さらに、ベンドミラーのうち、その取付穴
が設けられる外周部の材質を、上記ベンドミラーの中心
部の材質より剛性の高い材質で構成したものである。
【００２９】
【００３０】
【００３１】
【作用】この発明におけるレーザ加工機は、ベンドブロ
ックの、ベンドミラー取付部を凹部のない傾斜平面とし
たことにより、該取付部の加工を容易にするものであ
る。また、ベンドブロックとベンドミラーとが直に取り
付けられる。
【００３２】また、ベンドブロック内部に冷却水通路を
備えたことにより、ベンドミラーの取扱いと冷却水通路
の構造とが直接的に関係しないものである。
【００３３】また、防塵用部材を備えたことにより、レ
ーザ光の光路に外部から粉塵などのほこりが入ることが
ない。
【００３４】また、防塵用部材として磁気シールを用い
たことにより、摩耗などによる損傷が少ない。
【００３５】
【００３６】また、ベンドブロックのベンドミラー取付
部の精度が、更に高くなる。
【００３７】さらに、小さなベンドミラー径で、ベンド
ブロックへ取り付けられる。
【００３８】また、ベンドミラーの材質を、ベンドブロ
ックの材質より剛性の高い材質としたことにより、取付
状態でベンドミラーが歪みにくいものである。
【００３９】また、取付ボルトを段付きネジとし、バネ
を介してベンドミラーを押圧固定するようにしたことに
より、ボルトの首下ストレート部の長さ及びバネの種類
を変更することができる。
【００４０】また、バネとベンドミラーとの間にワッシ
ャーを設けたことにより、バネの力が分散されてベンド
ミラーに作用する。
【００４１】さらに、案内部材を備えたことにより、ベ
ンドミラー反射面がベンドブロックと擦れることなく着
脱できる。
【００４２】また、案内部材として、ピンとガイド穴と
いった構成を用いたことにより、案内部材が簡単かつコ
ンパクトな構成である。
【００４３】また、ベンドミラー反射面の、ベンドブロ
ックと当接する部分以外の部分にのみ反射膜を塗布した
ことにより、塗布作業が簡単である。
【００４４】また、ベンドミラーの取付穴近傍部をその
他の部分より断面厚さを厚くした形状としたことによ
り、ミラーの取付時のネジなどによる締め付け力による
変形を吸収する。
【００４５】また、ベンドミラーの反射面相当部をその
他の部分より反射面と反対側の方向に断面厚さを厚くし
た形状としたことにより、反射面相当部の剛性が上が
る。
【００４６】また、切り欠き部を設けたことにより、ベ
ンドミラーの取付穴部近傍に生じた歪みが切り欠き部を
越えて広がらない。
【００４７】さらに、裏ザグリ部を設けたことにより、
ベンドミラーの取付穴部近傍に生じた歪みが穴部近傍の
特定範囲にのみ広がる。
【００４８】また、ベンドミラーの取付穴の内部に、ミ
ラーの材質より剛性の高い材質のスリーブを設けたこと
により、ミラーの取付時の取付部材（ネジなど）による
締め付け力をスリーブで受ける。
【００４９】また、ベンドミラーのうち、その取付穴が
設けられる外周部の材質を、上記ベンドミラーの中心部
の材質より剛性の高い材質で構成したことにより、ミラ
ーの取付時の取付部材（ネジなど）による締め付け力を
高剛性部で受ける。
【００５０】
【００５１】
【００５２】
【実施例】
実施例１．図１はこの発明の実施例１を示す構造断面図
で図２は図１のＢ−Ｂ断面を、図３は図２のＣ−Ｃ断面
を示す図である。この実施例１においては、ベンドミラ
ー５のベンドブロック３への取付構造は後述するこの発
明の他の実施例の説明の中で詳述するので省略する。２
はレーザ加工機等に設けられる支持台で、８，９は支持
台２に対してベンドブロック３の傾きを調整、固定する
ため複数設けられたもので、８は調整用引ネジ、９は調
整用押ネジである。この調整用引ネジ８及び調整用押ネ
ジ９を調整することにより支持台２に対するベンドブロ
ック３の傾き、ひいてはベンドブロック３に取付けられ
たベンドミラー５の傾きが調整されるので、レーザビー
ム１の偏向方向が最終的に調整固定できる構成となって
いる。
【００５３】そしてこの実施例においては、１０ａ，１
０ｂはベンドブロック３に設けられた冷却水入口及び出
口で、これらに冷却水を通水することによりベンドミラ
ー５をベンドミラー５のベンドブロック３への当接面
（即ち傾斜平面１６）を介して間接的に冷却する構成と
なっている。
【００５４】また、この実施例において、３０はベンド
ブロック３と支持台２の間に設けられたＯリングで、外
部より光路部へのゴミ等の進入を防止するための防塵用
のシールとして作用する。
【００５５】そして、防塵用シールとしてＯリング３０
の部分に非接触型のシールである磁気シールを採用して
もよい。磁力や静電気力を利用した一般的な非接触式シ
ール構造となっている。
【００５６】この実施例においては、支持台２に対する
ベンドブロック３の傾きを調整するのに複数の調整用引
ネジ８、及び調整用押ネジ９にて行なっているが、球面
軸受やジンバル構造に回転の固定用止めネジを組合せた
ものでも良い。
【００５７】さらにこの実施例では、防塵用シールであ
るＯリング３０はパッキン、ベローズ等でも良く、本発
明と同様の効果を奏することができる。
【００５８】実施例２．次にこの発明の実施例２を図に
ついて説明する。図４は実施例２のベンドブロックを示
す構造断面図で、図５は図４に於て矢印Ａより見た平面
図を示す。図において１はレーザビーム、３はベンドブ
ロック、５はベンドミラーで、１６はベンドブロック３
のベンドミラー５を取り付けるための凹部のない傾斜平
面、１５はベンドミラー５の反射面、１７はベンドミラ
ー５の外縁部に設けられた取付穴である。
【００５９】この実施例２においては、レーザビーム１
の進行方向を図示の如く直角方向に偏向するため、設け
られるベンドミラー５の反射面１５がベンドブロック３
の凹部のない傾斜平面１６に直に当接（接触）するよう
ベンドミラー５の取付穴１７に取付ボルト７を通してベ
ンドミラー５をベンドブロック３側へ押圧固定して取り
付けられる。
【００６０】そしてこの実施例においては、ベンドブロ
ック３のベンドミラー５の反射面１５が当接し取付けら
れる傾斜平面１６は平面切削加工又は平面研磨加工が施
されている。平面切削加工は市販の超精密旋盤等を用い
れば平面度１μｍ以下、面粗さ０．０５μｍ以下の鏡面
が得られるため炭酸ガスレーザ加工機用のベンドミラー
５の反射面に要求されるのと同程度の精度が容易に確保
できる。更に高精度の鏡面が要求される場合は、平面研
磨盤等の加工機で研磨加工を実施するよう施工される。
【００６１】そしてこの実施例においては、図５に示す
如くベンドミラー５の取付穴１７は２ケ所で、ベンドブ
ロック３への取付ネジ７がレーザビーム１の偏向平面に
対して直角方向に設けられている。即ち、ベンドブロッ
ク３のレーザビームの通過穴がベンドミラー５の側へ貫
通している部分の形状は図示の破線の如く楕円であり、
この楕円の短径方向に取付ネジが設けられるよう構成し
ている。
【００６２】また、この実施例においては、ベンドミラ
ー５の材質がベンドブロック３の材質より剛性の高い材
質で構成されており、ベンドブロック３がベンドミラー
５より弾性変形しやすくベンドミラー５のベンドブロッ
ク３への取付時ベンドミラー３に歪が生じにくい構成と
なっている。
【００６３】また、この実施例ではベンドブロック３の
材質は軽量で加工性が良好でかつ市場性が豊富なアルミ
合金製でベンドミラー５の材質はアルミ合金より剛性が
高くかつ汎用的な材質で炭酸ガスレーザの場合はシリコ
ン製、ＹＡＧレーザの場合はガラス製（石英ガラス等）
を用いた構成となっている。
【００６４】また、この実施例ではベンドブロック３の
傾斜平面１６は、その全面にわたり段差のない平面状に
なっているが、ベンドミラー５が当接しない箇所が部分
的に凸状になっていても平面加工が容易にできて、ベン
ドミラー５との取付当接面が得られれば良い。
【００６５】実施例３．図６はこの発明の実施例３を示
す要部の構造断面図で、１８は先端のみ段付でネジ加工
された段付ネジで、１１はバネ、１９はワッシャーであ
る。この実施例においては、ベンドミラー５はベンドブ
ロック３に対してバネ１１により一定の押圧力で固定さ
れるようになっており、そしてバネ１１とベンドミラー
５の間にはワッシャー１９を設けて、バネ１１の押圧荷
重をワッシャー１９により分散させベンドミラー５の取
付部になるべく均等にかかる様に構成されている。
【００６６】この実施例ではワッシャー１９は取付穴１
７毎に対応して設けられているが複数の取付穴１７に渡
って設けられても良い。
【００６７】実施例４．図７はこの発明の実施例４を示
す要部の構造断面図で、ベンドミラー５の回りのベンド
ブロック３に最低３個以上の案内板２０を取付ける構造
とする。案内板２０はベンドミラー５をベンドブロック
３に取付、取外しをする際に取付方向（図１における矢
印Ａ方向）に対して直角方向にズレない様に取付方向を
制限する様作用する。この実施例４においては、案内板
２０は分割して設けられているが環状に連続してベンド
ミラー５の外周にあっても良く、ベンドミラー５の着脱
に支障がない範囲であれば他の構造でも良い。
【００６８】実施例５．図８はこの発明の実施例５を示
す要部の構造断面図で２１はベンドブロック３に突出し
て打込まれた最低２個以上のピンであり、２２はベンド
ミラー５に設けられたガイド穴である。ピン２１とガイ
ド穴２２は案内機構として作用する。
【００６９】実施例６．図９はこの発明の実施例６を示
す要部の構造断面図でベンドミラー５の反射面１５には
ベンドブロック３の傾斜平面１６に当接する面を除いて
反射膜２３がコーティングされている。図５の平面図よ
り明らかなようにコーティングの範囲は楕円形状となっ
ていてレーザビーム１を反射偏向する作用に全く支障は
ない構成となっている。
【００７０】実施例７．図１０はこの発明の実施例７を
示す要部の構造断面図で、ベンドミラー５の取付穴１７
の設けられた部分は反射部分２４より厚い断面形状とな
る構成となっている。この実施例において、厚い断面形
状となっているのは取付穴１７の周囲のみでも良く、
又、取付穴１７のあるベンドミラー５の外周部分全てで
あってもよい。
【００７１】実施例８．図１１はこの発明の実施例８を
示す要部の構造断面図で、ベンドミラー５の取付穴１７
の設けられた部分より反射部分２４の方が厚い断面形状
となる構成となっている。
【００７２】実施例９．図１２はこの発明の実施例９を
示す要部の構造断面図で、ベンドミラー５の取付穴１７
の設けられた部分と反射部分２４との間の全周にわたっ
て切欠部２５のある断面形状となる構成となっている。
【００７３】この実施例９においては、切欠部２５はベ
ンドミラー５の反射面１５と反対側に設けられている
が、反射面１５側にあってもレーザビーム１の反射、偏
向に支障のない範囲であれば良い。
【００７４】実施例１０．図１３は、この発明の実施例
１０を示す要部の構造断面図であり、ベンドミラー５の
取付穴１７の反射面１５側に裏ザグリ部２６を設けた構
成となっている。
【００７５】実施例１１．図１４は、この発明の実施例
１１を示す要部の構造断面図であり、ベンドミラー５の
取付穴１７の内部に、ベンドミラー５の材質より剛性が
高い材質でできた筒状のスリーブ２７を、打込みまたは
接着により設けた構成となっている。ここで、スリーブ
２７の下面は、ベンドミラー５の反射面と同一平面上に
あるため、ベンドミラー５をベンドブロック３に対して
着脱する場合、またミラー５自体を交換する場合などに
おいても、反射面が変形したりすることがない。
【００７６】実施例１２．図１５は、この発明の実施例
１１を示す要部の構造断面図であり、ベンドミラー５の
取付穴１７が設けられる外周部２８が、ベンドミラー５
中心部の材質より剛性が高い材質で構成されたものとな
っている。外周部２８は円環状となっている。ここで、
外周部２８の下面（ベンドブロック３への当接面）はベ
ンドミラー５中心部にある反射面と同一平面となってお
り、ベンドミラー５をベンドブロック３に対して着脱す
る場合、またミラー５自体を交換する場合などにおいて
も、反射面が変形したりすることがない。
【００７７】実施例１３．図１６は、この発明の実施例
１６を示す要部の構造断面図であり、この実施例では、
ベンドブロック３のベンドミラー５の取付位置に相当す
る部分に環状の取付座２９をベンドブロック３と一体に
埋設するよう構成されている。
【００７８】
【発明の効果】この発明は、以上に説明したように構成
されているので、以下に示すような効果を奏する。
【００７９】ベンドミラーが取り付けられたベンドブロ
ックと支持台との間で、取付状態を調整するようにした
ことにより、振動等による狂いや、経時変化などが生じ
にくい、安定したレーザ光調整機構が得られる、といっ
た効果を奏する。また、ベンドブロックの、ベンドミラ
ー取付部を凹部のない傾斜平面としたことにより、該取
付部の加工が容易となり、平面度の精度向上が図れるこ
とにより、ベンドミラーを取り付け・固定するときに、
ミラーがベンドブロックの取付部の形状に沿って変形す
ることを防止し、ひいてはベンドミラーの反射面の精度
を維持することができる、といった効果を奏する。さら
に、ベンドブロックとベンドミラーとが直に取り付けら
れるので、取り付けが容易になる、といった効果も奏す
る。
【００８０】また、ベンドブロック内部に冷却水通路を
備えたことにより、ベンドミラーの取扱いと冷却水通路
の構造とが直接的に関係せず、ベンドミラーの取付状態
が冷却水通路によって悪影響を受けず、安定した状態と
なる、といった効果を奏する。
【００８１】また、防塵用部材を備えたことにより、レ
ーザ光の光路に外部から粉塵などのほこりの侵入を防
ぎ、レーザ光の品質低下やベンドミラー表面の汚れを防
止することができる、といった効果を奏する。
【００８２】また、防塵用部材として磁気シールを用い
たことにより、摩耗などによる損傷が少なく、長期にわ
たって防塵作用を維持することができる、といった効果
を奏する。
【００８３】
【００８４】また、更に精度の高いベンドミラー取り付
けが可能となった、といった効果を奏する。
【００８５】さらに、小さなベンドミラー径で、ベンド
ブロックへの取り付けが可能となり、ひいては、部品の
小型化、省スペース化を図ることができる、といった効
果を奏する。
【００８６】また、ベンドミラーの材質を、ベンドブロ
ックの材質より剛性の高い材質としたことにより、取付
状態でベンドミラーが歪みにくく、反射面の精度を維持
することができる、といった効果を奏する。
【００８７】また、取付ボルトを段付きネジとし、バネ
を介してベンドミラーを押圧固定するようにしたことに
より、ボルトの首下ストレート部の長さ及びバネの種類
を変更することにより、容易にベンドミラーの押え力を
調整・変更することができる、といった効果を奏する。
【００８８】また、バネとベンドミラーとの間にワッシ
ャーを設けたことにより、バネの力が分散されてベンド
ミラーに作用し、ミラーの局部的な変形を防止できると
ともに、ミラーの背面に傷が付くことを防止することが
できる、といった効果を奏する。
【００８９】さらに、案内部材を備えたことにより、取
付作業時などにベンドミラー反射面がベンドブロックと
擦れることにより傷が付くことを防止できる、また、ミ
ラーが横ずれしないため、着脱が容易になる、といった
効果を奏する。
【００９０】さらに、案内部材として、ピンとガイド穴
といった構成を用いたことにより、簡単かつコンパクト
な構成で案内部材を実現できる、といった効果を奏す
る。
【００９１】また、ベンドミラー反射面の、ベンドブロ
ックと当接する部分以外の部分にのみ反射膜を塗布した
ことにより、塗布作業に関する時間及び費用の節約がで
きる、といった効果を奏する。
【００９２】また、ベンドミラーの取付穴近傍部をその
他の部分より断面厚さを厚くした形状としたことによ
り、ミラーの取付時のネジなどによる締め付け圧力によ
る変形を吸収し、ミラー全体としての歪みを低減するこ
とができ、ひいては反射面の精度を維持することができ
る、といった効果を奏する。
【００９３】また、ベンドミラーの反射面相当部をその
他の部分より断面厚さを厚くした形状としたことによ
り、反射面相当部の剛性が上り、反射面の歪みを低減
し、ひいては反射面の精度を維持することができる、と
いった効果を奏する。
【００９４】また、切り欠き部を設けたことにより、ベ
ンドミラーの取付穴部近傍に生じた歪みが切り欠き部を
越えて広がらず、取付穴部近傍に生じた歪みが反射面相
当部へ伝達することを防止できる、ひいては反射面の精
度を維持することができる、といった効果を奏する。
【００９５】さらに、裏ザグリ部を設けたことにより、
ベンドミラーの取付穴部近傍に生じた歪みは穴部近傍の
特定範囲に止まり、取付穴部近傍に生じた歪みが反射面
相当部まで伝達することを防止できる、ひいては反射面
の精度を維持することができる、といった効果を奏す
る。
【００９６】さらに、ベンドミラーの取付穴の内部に、
ミラーの材質より剛性の高い材質のスリーブを設けたこ
とにより、ミラーの取付時の取付部材（ネジなど）によ
る締め付け力をスリーブで受けることになり、取付部材
の座面の陥没が生じにくく、ネジの緩みが生じにくく、
長期にわたり良好なベンドミラーの取付状態が維持され
る、といった効果を奏する。
【００９７】また、ベンドミラーのうち、その取付穴が
設けられる外周部の材質を、上記ベンドミラーの中心部
の材質より剛性の高い材質で構成したことにより、ミラ
ーの取付時の取付部材（ネジなど）による締め付け力を
高剛性部で受けることになり、取付部材の座面の陥没が
生じにくく、ネジの緩みが生じにくく、長期にわたり良
好なベンドミラーの取付状態が維持される、といった効
果を奏する。また、締め付け力を高剛性部のみで吸収
し、締め付け力による歪みがミラーの反射面相当部まで
伝達することを防止できる、といった効果を奏する。
【００９８】
【００９９】
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施例１に係るレーザ加工機のベ
ンドミラー取付部の構造断面図である。
【図２】 図１の構造断面図のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】 図２の構造断面図のＣ−Ｃ断面図である。
【図４】 この発明の実施例２に係るレーザ加工機のベ
ンドミラー取付部の構造断面図である。
【図５】 図１の構造断面図を矢印Ａの方向から見た図
である。
【図６】 この発明の実施例３に係るベンドミラー取付
部の要部の構造断面図である。
【図７】 この発明の実施例４に係るベンドミラー取付
部の要部の構造断面図である。
【図８】 この発明の実施例５に係るベンドミラー取付
部の要部の構造断面図である。
【図９】 この発明の実施例６に係るベンドミラー取付
部の要部の構造断面図である。
【図１０】 この発明の実施例７に係るベンドミラー取
付部の要部の構造断面図である。
【図１１】 この発明の実施例８に係るベンドミラー取
付部の要部の構造断面図である。
【図１２】 この発明の実施例９に係るベンドミラー取
付部の要部の構造断面図である。
【図１３】 この発明の実施例１０に係るベンドミラー
取付部の要部の構造断面図である。
【図１４】 この発明の実施例１１に係るベンドミラー
取付部の要部の構造断面図である。
【図１５】 この発明の実施例１２に係るベンドミラー
取付部の要部の構造断面図である。
【図１６】 この発明の実施例１３に係るベンドミラー
取付部の要部の構造断面図である。
【図１７】 従来のレーザ加工機のベンドミラー取付部
の構造断面図である。
【図１８】 他の従来のレーザ加工機のベンドミラー取
付部の構造断面図である。
【図１９】 さらに他の従来のレーザ加工機のベンドミ
ラー取付部の構造断面図である。
【符号の説明】
１ レーザ光、２ 支持台、３ ベンドブロック、５
ベンドミラー、８ 調整用引ネジ、９ 調整用押ネジ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澤井 秀一 名古屋市東区矢田南五丁目１番14号 三 菱電機株式会社 名古屋製作所内 (56)参考文献 特開 平３−47688（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−111006（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−46225（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−215487（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−195885（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−2209（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭56−3678（ＪＰ，Ｂ２) 実公 平４−32648（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23K 26/06 B23K 26/04 G02B 7/198

Claims (18)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 レーザ光を反射するベンドミラーと、こ
    のベンドミラーを取り付けたベンドブロックと、このベ
    ンドブロックを固定支持する支持台と、上記ベンドブロ
    ックと上記支持台との取り付けの調整を行なう調整手段
    とを備え、上記ベンドミラーに取付穴を設け、上記ベン
    ドミラーの反射面を上記ベンドブロックのベンドミラー
    取付用の凹部のない傾斜平面に当接させることにより上
    記ベンドミラーを上記ベンドブロックに取り付ける構造
    としたことを特徴とするレーザ加工機。
  2. 【請求項２】 ベンドブロック内部に冷却水通路を備え
    たことを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工機。
  3. 【請求項３】 ベンドブロック側取付面と上記支持台側
    取付面との間に防塵用部材を備えたことを特徴とする請
    求項１または請求項２のいずれかに記載のレーザ加工
    機。
  4. 【請求項４】 防塵用部材として、磁気シールを用いた
    ことを特徴とする請求項３に記載のレーザ加工機。
  5. 【請求項５】 ベンドブロックのベンドミラー取付用平
    面部に、平面度１μ以下で、面粗さ０．０５μ以下の平
    面切削加工または平面研磨加工を施したことを特徴とす
    る請求項１〜請求項４のいずれかに記載のレーザ加工
    機。
  6. 【請求項６】 ベンドミラーに設ける取付穴は２か所と
    し、ベンドブロックの取付ネジ対応部がレーザ光の偏向
    平面に対し直角方向に設けられたことを特徴とする請求
    項１〜請求項５のいずれかに記載のレーザ加工機。
  7. 【請求項７】 ベンドミラーの材質を、ベンドブロック
    の材質より剛性の高い材質としたことを特徴とする請求
    項１〜請求項６のいずれかに記載のレーザ加工機。
  8. 【請求項８】 ベンドミラーをベンドブロックに取り付
    ける取付ボルトを段付ネジとし、この段付ネジと上記ベ
    ンドミラーとの間にバネを設けて上記ベンドミラーを上
    記ベンドブロックの押圧固定するようにしたことを特徴
    とする請求項１〜請求項７のいずれかに記載のレーザ加
    工機。
  9. 【請求項９】 バネとベンドミラーとの間にワッシャー
    を設けたことを特徴 とする請求項８に記載のレーザ加工
    機。
  10. 【請求項１０】 ベンドブロックのベンドミラー取付部
    に、ベンドミラーの取付方向を制限するための案内部材
    を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれ
    かに記載のレーザ加工機。
  11. 【請求項１１】 案内部材として、ベンドブロックのベ
    ンドミラー取付部表面から突出したピンを設け、ベンド
    ミラーに上記ピンが挿入されるガイド穴を設けたことを
    特徴とする請求項１０に記載のレーザ加工機。
  12. 【請求項１２】 ベンドミラーの反射面となる面の、ベ
    ンドブロックと当接する部分以外の部分にのみ反射膜を
    塗布したことを特徴とする請求項１〜請求項１１のいず
    れかに記載のレーザ加工機。
  13. 【請求項１３】 ベンドミラーのうち、その取付穴近傍
    部をその他の部分より断面厚さを厚くした形状としたこ
    とを特徴とする請求項１〜請求項１２のいずれかに記載
    のレーザ加工機。
  14. 【請求項１４】 ベンドミラーのうち、その反射面相当
    部をその他の部分より反射面と反対側の方向に断面厚さ
    を厚くした形状としたことを特徴とする請求項１〜請求
    項１２のいずれかに記載のレーザ加工機。
  15. 【請求項１５】 ベンドミラーのうち、その取付穴近傍
    部とその反射面相当部との間に切り欠き部を設けた断面
    形状としたことを特徴とする請求項１〜請求項１４のい
    ずれかに記載のレーザ加工機。
  16. 【請求項１６】 ベンドミラーの取付穴に、裏ザグリ部
    を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項１５のいず
    れかに記載のレーザ加工機。
  17. 【請求項１７】 ベンドミラーの取付穴の内部に、上記
    ベンドミラーの材質より剛性の高い材質のスリーブを設
    けたことを特徴とする請求項１〜請求項１６のいずれか
    に記載のレーザ加工機。
  18. 【請求項１８】 ベンドミラーのうち、その取付穴が設
    けられる外周部の材質を、上記ベンドミラーの中心部の
    材質より剛性の高い材質で構成したことを特徴とする請
    求項１〜請求項１７のいずれかに記載のレーザ加工機。
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