JP3175690B2 - ペレット貼付装置及びペレット貼付方法 - Google Patents
ペレット貼付装置及びペレット貼付方法Info
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- JP3175690B2 JP3175690B2 JP12404398A JP12404398A JP3175690B2 JP 3175690 B2 JP3175690 B2 JP 3175690B2 JP 12404398 A JP12404398 A JP 12404398A JP 12404398 A JP12404398 A JP 12404398A JP 3175690 B2 JP3175690 B2 JP 3175690B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップ等の
ペレットを貼り付けるペレット貼付装置及びペレット貼
付装置を用いたペレット貼付方法に関するものである。
ペレットを貼り付けるペレット貼付装置及びペレット貼
付装置を用いたペレット貼付方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハを個々の半導体チップ等の
ペレットに分割する工程において、まず、半導体ウェハ
をＵＶテープに密着、固定し、ダンシング装置により分
割した後、エアピンセット等を用いて別のＵＶテープに
移し替え、整列するという方法が用いられている（特開
平３−１７７０５０号公報等参照）。
ペレットに分割する工程において、まず、半導体ウェハ
をＵＶテープに密着、固定し、ダンシング装置により分
割した後、エアピンセット等を用いて別のＵＶテープに
移し替え、整列するという方法が用いられている（特開
平３−１７７０５０号公報等参照）。
【０００３】ここで、ダイシング後のペレットを別のＵ
Ｖテープに移し替える際に用いられる従来のペレット貼
付装置の構造及びその動作原理を図面を参照して説明す
る。図６は、従来のペレット貼付装置の構成を模式的に
説明するための斜視図であり、図７はペレットをテープ
に装着する様子を模式的に説明するための断面図であ
る。
Ｖテープに移し替える際に用いられる従来のペレット貼
付装置の構造及びその動作原理を図面を参照して説明す
る。図６は、従来のペレット貼付装置の構成を模式的に
説明するための斜視図であり、図７はペレットをテープ
に装着する様子を模式的に説明するための断面図であ
る。
【０００４】図６及び図７を参照すると、従来のペレッ
ト貼付装置は、ダイシング後の半導体ウェハーを保持す
るための供給側リング１１及び供給側リング保持部４
と、必要なペレットを抜き出して貼り付けるための収納
側リング８及び収納側リング保持部１２と、供給側リン
グ１１から収納側リング８へペレットを乗せ替えるため
のピックアップヘッド６と、を備えて構成されている。
ト貼付装置は、ダイシング後の半導体ウェハーを保持す
るための供給側リング１１及び供給側リング保持部４
と、必要なペレットを抜き出して貼り付けるための収納
側リング８及び収納側リング保持部１２と、供給側リン
グ１１から収納側リング８へペレットを乗せ替えるため
のピックアップヘッド６と、を備えて構成されている。
【０００５】また、収納側リング保持部１２は、収納側
リング８を保持すると共に、ペレットを貼付するステー
ジとしての役割を有し、表面が平坦な金属板で構成され
ている。更に、その上には、ペレットを固定するために
テープ９が取り付けられている。
リング８を保持すると共に、ペレットを貼付するステー
ジとしての役割を有し、表面が平坦な金属板で構成され
ている。更に、その上には、ペレットを固定するために
テープ９が取り付けられている。
【０００６】ピックアップヘッドには、コレット１０が
取り付けられており、コレット１０によりペレット７を
ピックアップする。
取り付けられており、コレット１０によりペレット７を
ピックアップする。
【０００７】図７を参照すると、ピックアップヘッド６
のコレット１０によりピックアップされた供給側リング
のペレット７は、収納側リング保持部１２の上に取り付
けられたテープ９上に移動し、所定の位置でコレット１
０が降下し、ペレット７をテープ９に貼り付ける。
のコレット１０によりピックアップされた供給側リング
のペレット７は、収納側リング保持部１２の上に取り付
けられたテープ９上に移動し、所定の位置でコレット１
０が降下し、ペレット７をテープ９に貼り付ける。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のペレッ
ト貼付装置は、下記記載の問題点を有している。
ト貼付装置は、下記記載の問題点を有している。
【０００９】すなわち、ペレット７を収納側リング保持
部（貼付ステージ）１２上のテープ９に貼り付ける際
に、平坦な面同士を接着するために、ペレット７とテー
プ９のそれぞれの面のなす角度によっては、テープ９と
ペレット７との間に気泡１３が入り込んでしまう、とい
うことである。収納側リングのＵＶ接着テープとペレッ
トの間に気泡、特に酸素が入り込むと、ＵＶ照射により
ＵＶ接着剤を硬化させる際に、酸素によりＵＶ接着剤の
硬化が妨げられ、接着剤が充分に硬化せず、ペレット裏
面に接着剤残り等が発生し、歩留まりが低下することな
る。
部（貼付ステージ）１２上のテープ９に貼り付ける際
に、平坦な面同士を接着するために、ペレット７とテー
プ９のそれぞれの面のなす角度によっては、テープ９と
ペレット７との間に気泡１３が入り込んでしまう、とい
うことである。収納側リングのＵＶ接着テープとペレッ
トの間に気泡、特に酸素が入り込むと、ＵＶ照射により
ＵＶ接着剤を硬化させる際に、酸素によりＵＶ接着剤の
硬化が妨げられ、接着剤が充分に硬化せず、ペレット裏
面に接着剤残り等が発生し、歩留まりが低下することな
る。
【００１０】したがって本発明は、上記問題点に鑑みて
なされたものであって、その目的は、ダイシング工程を
経たテープに貼られているペレットを、コレット等によ
りピックアップし、他のＵＶテープを貼り付けたリング
に移し替える際に、ペレットとテープの間に気泡が入り
込むことがないペレット貼付装置及びペレット貼付装置
を用いたペレット貼付方法を提供することにある。
なされたものであって、その目的は、ダイシング工程を
経たテープに貼られているペレットを、コレット等によ
りピックアップし、他のＵＶテープを貼り付けたリング
に移し替える際に、ペレットとテープの間に気泡が入り
込むことがないペレット貼付装置及びペレット貼付装置
を用いたペレット貼付方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の視点において
は、粘着性のテープにペレットを貼り付ける装置におい
て、前記テープを間にして前記ペレットと反対側にペレ
ット貼付ステージを備え、前記ペレット貼付ステージ
が、前記テープとの接触面の略中心部に、前記テープに
正圧を供給して前記テープ側に突出する突起部を形成さ
せるとともに口径が一定の第１の開口を備えるととも
に、前記第１の開口の外周部を囲繞するようにして前記
テープに負圧を供給して吸引する１又は複数の第２の開
口を備え、前記第１の開口は、前記第２の開口によって
負圧を供給した後であって前記テープに前記ペレットを
貼り付ける際に正圧を供給することを特徴とする。ま
た、前記ペレット貼付装置において、前記第１の開口が
正圧を供給する際に前記テープの突起部に前記ペレット
を押し下げて前記テープに前記ペレットを貼り付けるコ
レットを備えることが好ましい。また、前記ペレット貼
付装置において、前記粘着性のテープは、ＵＶ接着テー
プであることが好ましい。
は、粘着性のテープにペレットを貼り付ける装置におい
て、前記テープを間にして前記ペレットと反対側にペレ
ット貼付ステージを備え、前記ペレット貼付ステージ
が、前記テープとの接触面の略中心部に、前記テープに
正圧を供給して前記テープ側に突出する突起部を形成さ
せるとともに口径が一定の第１の開口を備えるととも
に、前記第１の開口の外周部を囲繞するようにして前記
テープに負圧を供給して吸引する１又は複数の第２の開
口を備え、前記第１の開口は、前記第２の開口によって
負圧を供給した後であって前記テープに前記ペレットを
貼り付ける際に正圧を供給することを特徴とする。ま
た、前記ペレット貼付装置において、前記第１の開口が
正圧を供給する際に前記テープの突起部に前記ペレット
を押し下げて前記テープに前記ペレットを貼り付けるコ
レットを備えることが好ましい。また、前記ペレット貼
付装置において、前記粘着性のテープは、ＵＶ接着テー
プであることが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について説明
する。本発明に係るペレット貼付装置は、その好ましい
一実施の形態において、半導体チップ等のペレット（図
４の７）を、粘着性を有するＵＶ接着テープ（図４の
９）を間にしてペレットと反対側に、ペレット貼付ステ
ージ（図４の１）を設け、ペレット貼付ステージが、テ
ープとの接触面の略中心部に、テープに正圧を供給して
テープ側に突出する突起部を形成させるとともに口径が
一定の第１の開口（図４の２）を備えるとともに、第１
の開口の外周部を囲繞するようにしてテープに負圧を供
給して吸引する１又は複数の第２の開口（図４の３）を
備え、第１の開口は、第２の開口によって負圧を供給し
た後であって前記テープに前記ペレットを貼り付ける際
に正圧を供給する。
する。本発明に係るペレット貼付装置は、その好ましい
一実施の形態において、半導体チップ等のペレット（図
４の７）を、粘着性を有するＵＶ接着テープ（図４の
９）を間にしてペレットと反対側に、ペレット貼付ステ
ージ（図４の１）を設け、ペレット貼付ステージが、テ
ープとの接触面の略中心部に、テープに正圧を供給して
テープ側に突出する突起部を形成させるとともに口径が
一定の第１の開口（図４の２）を備えるとともに、第１
の開口の外周部を囲繞するようにしてテープに負圧を供
給して吸引する１又は複数の第２の開口（図４の３）を
備え、第１の開口は、第２の開口によって負圧を供給し
た後であって前記テープに前記ペレットを貼り付ける際
に正圧を供給する。
【００１３】
【実施例】上記した本発明の実施の形態についてさらに
詳細に説明すべく、本発明の一実施例について図面を参
照して以下に説明する。
詳細に説明すべく、本発明の一実施例について図面を参
照して以下に説明する。
【００１４】図１乃至図４は、本発明の一実施例を説明
するための図面であり、図１は、本発明の一実施例にか
かるペレット貼付装置のペレット貼付ステージを模式的
に示す斜視図であり、図２は、ペレットの移動の様子を
模式的に示す斜視図である。また、図３（ａ）及び図３
（ｂ）は、ペレット貼付装置の収納側を説明するための
斜視図及び断面図であり、図４（ａ）及び図４（ｂ）
は、ペレットをテープに貼付する様子を示す断面図であ
る。
するための図面であり、図１は、本発明の一実施例にか
かるペレット貼付装置のペレット貼付ステージを模式的
に示す斜視図であり、図２は、ペレットの移動の様子を
模式的に示す斜視図である。また、図３（ａ）及び図３
（ｂ）は、ペレット貼付装置の収納側を説明するための
斜視図及び断面図であり、図４（ａ）及び図４（ｂ）
は、ペレットをテープに貼付する様子を示す断面図であ
る。
【００１５】図２を参照すると、ペレット貼付装置のペ
レット移動部は、例えば内径３００ｍｍφの供給側リン
グ１１を保持する供給側リング保持部４と、例えば内径
８インチφの収納側リング８を保持する収納側リング保
持部５と、供給側リング１１上のペレット７を収納側リ
ング８上に乗せ替える為のピックアップヘッド６と、収
納側リング８上のペレット７を貼り付けるエリアを移動
可能なペレット貼付ステージ１を含む。
レット移動部は、例えば内径３００ｍｍφの供給側リン
グ１１を保持する供給側リング保持部４と、例えば内径
８インチφの収納側リング８を保持する収納側リング保
持部５と、供給側リング１１上のペレット７を収納側リ
ング８上に乗せ替える為のピックアップヘッド６と、収
納側リング８上のペレット７を貼り付けるエリアを移動
可能なペレット貼付ステージ１を含む。
【００１６】また、ペレット貼付ステージ１は、図１に
示すように、その中央部にエア吹出口２、外縁部にエア
吸引口３を有する構成になっている。
示すように、その中央部にエア吹出口２、外縁部にエア
吸引口３を有する構成になっている。
【００１７】図３及び図４を参照して、収納側リング８
に張られたテープ９にペレット７を貼り付ける様子を説
明すると、供給側リング１１上のペレット７は、コレッ
ト１０を備えたピックアップヘッド６によりピックアッ
プされ、収納側リング８上に移動する。
に張られたテープ９にペレット７を貼り付ける様子を説
明すると、供給側リング１１上のペレット７は、コレッ
ト１０を備えたピックアップヘッド６によりピックアッ
プされ、収納側リング８上に移動する。
【００１８】そして、ピックアップヘッド６の動きに対
応して、収納側リング８に張られたテープ９の下に設け
られたペレット貼付ステージ１が移動する。
応して、収納側リング８に張られたテープ９の下に設け
られたペレット貼付ステージ１が移動する。
【００１９】次に、図４（ａ）に示すように、ペレット
貼り付けステージ１の外縁部に設けられた吸引口３から
吸引することによってテープ９を吸引して、ペレット貼
り付けステージ１とテープ９を密着させ、その後ペレッ
ト貼り付けステージ１の中央部のエア吹出口２からエア
を吹付ける。
貼り付けステージ１の外縁部に設けられた吸引口３から
吸引することによってテープ９を吸引して、ペレット貼
り付けステージ１とテープ９を密着させ、その後ペレッ
ト貼り付けステージ１の中央部のエア吹出口２からエア
を吹付ける。
【００２０】エアの吹き付けによって、エア吹出口２上
部のテープ９は押し上げられて凸状になり、その凸状の
頂上部にペレット７の中心が位置するようにコレット１
０を押し下げることにより、テープ９にペレット７が貼
り付けられる。
部のテープ９は押し上げられて凸状になり、その凸状の
頂上部にペレット７の中心が位置するようにコレット１
０を押し下げることにより、テープ９にペレット７が貼
り付けられる。
【００２１】この際、テープ９のペレット７が貼り付け
られる部分は、凸形状になっているため、コレット１０
の降下に伴いテープ９はペレット７の中心から徐々に外
側に向かって接触し、密着される。
られる部分は、凸形状になっているため、コレット１０
の降下に伴いテープ９はペレット７の中心から徐々に外
側に向かって接触し、密着される。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ペレットを移し替える際に、ペレットとテープの間に気
泡が入ることなく貼り付けができるという効果を奏す
る。
ペレットを移し替える際に、ペレットとテープの間に気
泡が入ることなく貼り付けができるという効果を奏す
る。
【００２３】その理由は、ペレット貼付ステージの外縁
部に設けられた吸引口でテープとペレット貼付ステージ
を密着し、ペレット貼付ステージの中央に設けられたエ
ア吹出口から空気を吹き出すことにより、その空気圧に
よりテープのペレット接着面を凸状になり、ペレット７
の中央部から徐々に外側に向かってテープ９を貼り付け
ることができるからである。
部に設けられた吸引口でテープとペレット貼付ステージ
を密着し、ペレット貼付ステージの中央に設けられたエ
ア吹出口から空気を吹き出すことにより、その空気圧に
よりテープのペレット接着面を凸状になり、ペレット７
の中央部から徐々に外側に向かってテープ９を貼り付け
ることができるからである。
【図１】本発明の一実施例に係るペレット貼付装置のペ
レット貼付ステージの構造を説明するための斜視図であ
る。
レット貼付ステージの構造を説明するための斜視図であ
る。
【図２】本発明の一実施例に係るペレット貼付装置の移
動の様子を説明するための斜視図である。
動の様子を説明するための斜視図である。
【図３】本発明の一実施例に係るペレット貼付装置の収
納側のリングの構造を説明するための図面であり、
（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、断面図である。
納側のリングの構造を説明するための図面であり、
（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、断面図である。
【図４】本発明の一実施例に係るペレット貼付装置のペ
レット貼付の様子を説明するための図面であり、（ａ）
は、エアを用いた構造の断面図であり、（ｂ）は、押し
出し治具を用いた構造の断面図である。
レット貼付の様子を説明するための図面であり、（ａ）
は、エアを用いた構造の断面図であり、（ｂ）は、押し
出し治具を用いた構造の断面図である。
【図５】従来のペレット貼付装置の収納側のリングの構
造を説明するための図面である。
造を説明するための図面である。
【図６】従来のペレット貼付装置の移動の様子を説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
【図７】従来のペレット貼付の様子を説明するための断
面図である。
面図である。
１ ペレット貼付ステージ ２ａ エア吹出口 ２ｂ 押出治具 ３ 吸引口 ４ 供給側リング保持部 ５ 収納側リング保持部 ６ ピックアップヘッド ７ ペレット ８ 収納側リング ９ テープ １０ コレット １１ 供給側リング １２ 収納側リング保持部（貼付ステージ）
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/301
Claims (5)
- 【請求項１】粘着性のテープにペレットを貼り付ける装
置において、 前記テープを間にして前記ペレットと反対側にペレット
貼付ステージを備え、前記ペレット貼付ステージが、 前記テープとの接触面の略中心部に、前記テープに正圧
を供給して前記テープ側に突出する突起部を形成させる
とともに口径が一定の第１の開口を備えるとともに、前
記第１の開口の外周部を囲繞するようにして前記テープ
に負圧を供給して吸引する１又は複数の第２の開口を備
え、前記第１の開口は、前記第２の開口によって負圧を供給
した後であって前記テープに前記ペレットを貼り付ける
際に正圧を供給する ことを特徴とするペレット貼付装
置。 - 【請求項２】前記第１の開口が正圧を供給する際に前記
テープの突起部に前記ペレットを押し下げて前記テープ
に前記ペレットを貼り付けるコレットを備えたことを特
徴とする請求項１記載のペレット貼付装置。 - 【請求項３】前記粘着性のテープは、ＵＶ接着テープで
あることを特徴とする請求項１又は２記載のペレット貼
付装置。 - 【請求項４】ダイシングされた半導体チップ等のペレッ
トを保持する供給部と、 前記供給部に保持されるペレットのうち所定のペレット
を整列してテープに貼り付ける収納部と、 前記ペレットを前記供給部から前記収納部に移動する移
動部と、 前記テープを間にして前記ペレットと反対側に設置さ
れ、前記テープとの接触面の略中心部に、前記テープに
正圧を供給して前記テープを突出させるための第１の開
口を備えるとともに、前記第１の開口の外周部を囲繞す
るようにして前記テープに負圧を供給して吸引する１又
は複数の第２の開口を備えたペレット貼付ステージと、 を備えたペレット貼付装置を用いたペレット貼付方法で
あって、 （ａ）前記ペレット貼付ステージを、前記移動部の動き
に対応して移動させる工程と、 （ｂ）前記ペレット貼付ステージの第２の開口からの負
圧で前記テープを吸引して密着させる工程と、 （ｃ）前記ペレット貼付ステージの第１の開口から供給
される空気圧により前記テープの前記ペレットが貼り付
けられる領域の少なくとも一部に、前記テープ側に突出
する突起部を形成する工程と、 （ｄ）前記ペレットを前記テープの突起部に貼り付ける
工程と、を含む、ことを特徴とするペレット貼付方法。 - 【請求項５】前記粘着性のテープは、ＵＶ接着テープで
あることを特徴とする請求項４記載のペレット貼付方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12404398A JP3175690B2 (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | ペレット貼付装置及びペレット貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12404398A JP3175690B2 (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | ペレット貼付装置及びペレット貼付方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11307482A JPH11307482A (ja) | 1999-11-05 |
| JP3175690B2 true JP3175690B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=14875604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12404398A Expired - Fee Related JP3175690B2 (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | ペレット貼付装置及びペレット貼付方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3175690B2 (ja) |
-
1998
- 1998-04-17 JP JP12404398A patent/JP3175690B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11307482A (ja) | 1999-11-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010306 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |