JP3171050B2 - 電子線照射窓 - Google Patents

電子線照射窓

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JP3171050B2
JP3171050B2 JP07704295A JP7704295A JP3171050B2 JP 3171050 B2 JP3171050 B2 JP 3171050B2 JP 07704295 A JP07704295 A JP 07704295A JP 7704295 A JP7704295 A JP 7704295A JP 3171050 B2 JP3171050 B2 JP 3171050B2
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健二 岡本
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日新ハイボルテージ株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子線源から出射され
た電子線の取り出し口である開口部を窓箔で気密の覆う
ようにした電子線照射窓に関するもので、詳しくは、前
記開口部を提供する電子線照射用窓枠に前記窓箔を気密
に固定するための窓箔押え板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来の電子線照射装置における
要部の縦断面図で、電子線照射用窓枠(例えばスキャン
バケットの電子線出口部)1に対する窓箔2の取り付け
構造を示している。この場合、前記電子線照射用窓枠1
は、図示略の電子線源から出射された電子線の取り出し
口である開口部3とこの開口部3の外側周囲に張り出し
たフランジ部4とを有した構造のものである。
【0003】また、前記窓箔2は、前記開口部3を気密
に覆うことによって電子線照射用窓枠1内を真空に維持
するもので、前記開口部3の輪郭形状に対応した例えば
長方形状をなし、前記フランジ部4に対向する部分に
は、押圧されることによって潰れてシール性能を高める
シール線5が装備されている。このシール線5は、通
常、直径略0.75mm程度で温度変化による変形の小
さいアルミニウム線や、金線が用いられる。
【0004】前記窓箔2は、図示のように、締め付けボ
ルト7によって前記フランジ部4にねじ止めされる窓箔
押え板8により前記シール線5と共に前記フランジ部4
に締め付け固定される。前記窓箔押え板8は、図6に示
すように、平坦な板材の中央に電子線を通過させるため
の開口9を形成した構造をなし、前記開口9の周囲が前
記窓箔2の外周周縁及び前記シール線5をフランジ部4
に挟みつける押え部10として機能する。押え部10に
は、前記締め付けボルト7が螺合する雌ねじ部11が適
当なピッチで形成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに、従来の電子線照射装置では、窓箔2をフランジ部
4に固定する窓箔押え板8は、平坦な板状で、フランジ
部4側に面した表面全体で押圧するように、前記シール
線5を挟み込む。
【0006】しかし、基材の幅方向に長尺であるため、
締め付けボルト7の締め付けによってねじれが生じ易
く、前記シール線5を全周にわたって均等に押圧するこ
とができず、前記シール線5の一部がフランジ部4に対
する密着性が不十分な箇所が生じて、電子線照射用窓枠
1内での真空性能が低下する虞があった。
【0007】また、例えば、前記押え部10から前記シ
ール線5に作用する押圧力が、前記窓箔押え板8の長辺
側と短辺側とで大きくばらつく結果、シール線5の潰れ
代がばらつき、窓箔2に皺の発生等を招いて窓箔2の寿
命を低下させるという問題も生じている。
【0008】そこで、本発明の目的は上記課題を解消す
ることにあり、窓箔押え板による窓箔の押圧力を、前記
窓箔の窓枠に対向する部分に装備されたシール線の全周
にわたって均一化することができ、従って、前記シール
線の潰れ代のばらつきを無くしてシール性能を向上さ
せ、高い真空性能を得ると同時に、窓箔の皺の発生等に
よる寿命の低下を防止することのできる電子線照射窓を
提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、電
子線の取り出し開口部を形成する窓枠と、前記窓枠の開
口部を覆う窓箔と、前記窓箔と窓枠との間を気密にする
シール線と、前記窓枠の開口部に対応する開口部を有
し、前記窓箔の外周周縁と前記シール線を挟んで前記窓
枠にねじ止めされる窓箔押さえ板とからなる電子線照射
窓において、前記窓箔押え板は、前記窓箔の外周周縁と
対向する位置および前記ねじ止め位置が平坦面であると
ともに、前記平坦面に続く外周周縁部に前記窓枠に当接
る突起が設けられていることを特徴とする電子線照射
装置の窓箔冷却装置とすることにより達成される。
【0010】
【作用】本発明の上記構成によれば、窓箔押え板は、ね
じの締め付けによって窓箔押え板の開口側の周縁部と外
縁側の前記突起との二位置が窓枠に圧接される構成をな
し、前記押え板の開口側の周縁部で前記窓箔を窓枠に固
定する。従って、押え板部の面全体を窓枠に圧接するよ
うにしていた従来の場合と異なり、ねじれが生じたとし
ても、そのねじれ分は窓枠から離間している押え板部の
内奥部(前記突起と内縁部との中間の部分)の変形によ
り吸収することができ、各部のねじによる締め付け力を
適宜調整することによって、窓箔押え枠による窓箔の押
圧力を、該窓箔の外周部に装備されたシール線の全周に
わたって均一化することができる。
【0011】従って、前記シール線の潰れ代のばらつき
を無くしてシール性能を向上させ、高い真空性能を得る
と同時に、窓箔の皺の発生等による寿命の低下を防止す
ることができる。
【0012】
【実施例】図1は、本発明の一実施例における電子線照
射装置の窓箔の取り付け構造を示す縦断面図であり、図
2は図1の実施例の電子線照射装置における窓箔押え枠
の平面図である。
【0013】この一実施例における電子線照射装置の窓
箔の取り付け構造は、図1に示すように、電子線源(図
示なし)から出射された電子線の取り出し口である開口
部3と該開口部3の外側周囲に張り出したフランジ部4
を有してなる電子線照射用窓枠1と、前記開口部3を気
密に覆うための窓箔2と、該窓箔2の外周縁を挟んで前
記窓枠1のフランジ部4にねじ止めされる押え板部35
によって前記窓箔2を前記窓枠1のフランジ部4に固定
する窓箔押え枠16とを具備し、また、窓枠1のフラン
ジ部4に密着させる窓箔2の外周部には、前記窓枠1の
フランジ部4によって押圧されることによって潰れてシ
ール性能を高めるシール線5が装備されている。
【0014】なお、前記窓箔押え枠16以外の構成部材
は、図5に示した従来の電子線照射装置のものと共通で
ある。従って、構成が従来のものと同一の構成部材は、
同一の番号を付することによって説明を省略し、以下で
は、改善された窓箔押え枠16について詳述する。
【0015】前記窓箔押え枠16には、平坦面からなる
押え板部35とその平坦面に続く外縁側に前記窓枠1の
フランジ部4に当接する突起37が設けられ、前記窓枠
1のフランジ部4にねじ止めするためのねじ止め部(雌
ねじ部)36がその平坦面に形成されている。したがっ
て、前記ねじ止め部36に螺合した締め付けボルト7の
締め付けによって押え板部35の内縁部39と外縁側の
前記突起37との二位置が前記窓箔固定用フランジ部4
に圧接され、これにより押え板部35の内縁部39で前
記窓箔2を前記シール線5を介して窓枠1のフランジ部
4に挾持固定する。
【0016】枠形に組まれた押え板部35の内縁部39
は、従来の窓箔押え枠8と同様に長円形の開口40を形
成しているが、この開口40の大きさは、例えば長辺方
向の寸法Lが1900mm,短辺方向の寸法Lが2
30mmとされ、また、前記突起37の突出長T
0.4mm程度である。
【0017】ここで、図1に示すように、窓枠1のフラ
ンジ部4に当接する押え板部35の内縁部39および突
起37から、締め付けボルト7による締め付け位置まで
の距離をそれぞれa,bとすると、締め付けボルト7に
よって締め付け力Fが加えられたとき、その締め付け
力Fは、ねじ止め部36からの距離に応じて配分さ
れ、内縁部39が窓箔2を押圧する力Fは、F=F
×a/(a+b)となる。
【0018】以上のように構成された一実施例の電子線
照射装置15では、窓箔押え枠16の押え板部35は、
締め付けボルト7の締め付けによって内縁部39と外縁
側の突起37との二位置が窓枠1のフランジ部4に圧接
される構成をなし、該押え板部35の内縁部39で前記
窓箔2を前記シール線5を介して窓枠1のフランジ部4
に固定する。
【0019】このような構成では、押え板部の面全体を
窓枠1のフランジ部4に圧接するようにしていた従来の
場合と異なり、窓箔押え枠16自体にねじれが生じたと
しても、そのねじれ分は窓箔固定用フランジ部4から離
間している押え板部35の内奥部(前記突起37と内縁
部39との中間の部分)の変形により吸収することがで
き、各部の締め付けボルト7による締め付け力を適宜調
整することによって窓箔押え枠16による窓箔2の押圧
力を、該窓箔2の外周部に装備されたシール線5の全周
にわたって均一化にすることができる。
【0020】従って、前記シール線5の潰れ代のばらつ
きを無くしてシール性能を向上させ、高い真空性能を得
ると同時に、窓箔2の皺の発生等による寿命の低下を防
止することができる。
【0021】なお、この実施例では、押え板部35の外
縁側に突設する突起37は長尺の突条としたが、適宜の
長さに分断された突起としてもよい。また、突起37は
一体形成しているが、該突起部分を別体とて、溶接等に
よって後から接合するようにしてもよい。
【0022】図3および図4は、電子線照射装置を使用
した例を示す磁化膜製造装置の側面図であり、図4は図
3の前記磁化膜製造装置の正面図である。この磁化膜製
造装置は、プラスティックフルムを基材として、その表
面に磁性塗料を塗布し、棒磁石を塗膜面に対して直立し
た状態で基材19の表面上に整列して固化し、高品質の
高密度用途に適した垂直磁化膜を連続生産する装置であ
る。
【0023】この磁化膜製造装置17では、基材支持移
送ローラ20上を水平方向に移動する基材19を上下か
ら挟むように対向して第1および第2の磁石部材21,
22の両極が空隙23を形成し、基材19の表面に対し
て垂直に交差する磁界を発生している。上側の磁極を形
成している第1の磁石部材21の上部には、電子線照射
装置15が組込まれている。
【0024】この電子線照射装置15では、最上部に設
置された電子線源25から放射された電子線26は、磁
性塗膜の硬化に最も適したエネルギーまで加速され、前
記電子線源25の下流に配備された扇形の部分27で走
査されて前記第1の磁石部材21の貫通孔28に導入さ
れ、電子線26の取り出し口である開口部3に配置して
ある電子線照射用窓枠(グリル)1の間を通り抜け、窓
箔2を透過して前記基材19の表面を照射する。
【0025】余分な電子線26は、全て下方の第2の磁
石部材22に吸収され、また、前記第1の磁石部材21
の開口部3や電子線照射用窓枠1の部分でも電子線吸収
による発熱を伴うので、両磁石部材21,22には冷却
孔32を多数配置して、冷却パイプ33より冷媒を循環
させて冷却するように構成されている。なお、第1およ
び第2の磁石部材21,22は、励磁コイル34によっ
て励磁される電磁石である。
【0026】このように構成された装置にあっては、本
発明に係る窓箔の取り付け構造は、磁石部材21の電子
線26の取り出し口である開口部3に配置してある電子
線照射用窓枠(グりル)1における窓箔2の取り付け構
造に使用される。
【0027】
【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
窓箔押え枠の押え板部は、ねじの締め付けによって内縁
部と外縁側の前記突起との二位置が窓枠部に圧接される
構成をなし、該押え板部の内縁部で前記窓箔を窓枠部に
固定するため、窓箔押え枠にねじれが生じたとしても、
そのねじれ分は窓枠部から離間している押え板部の内奥
部の変形により吸収することができ、各部のねじによる
締め付け力を適宜調整することによって、窓箔押え枠に
よる窓箔の押圧力を、該窓箔の外周部に装備されたシー
ル線の全周にわたって均一化することができる。従っ
て、前記シール線の潰れ代のばらつきを無くしてシール
性能を向上させ、高い真空性能を得ると同時に、窓箔の
皺の発生等による寿命の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における電子線照射装置の窓
箔の取り付け構造を示す縦断面図である。
【図2】図1のB−B線に沿う方向から見た一実施例の
窓箔押え枠の平面図である。
【図3】一実施例の電子線照射装置を使用した磁化膜製
造装置の側面図である。
【図4】図3に示した磁化膜製造装置の正面図である。
【図5】従来の電子線照射装置における窓箔の取り付け
構造を示す縦断面図である。
【図6】図5のA−A線に沿う方向から見た従来の窓箔
押え枠の平面図である。
【符号の説明】
1 電子線照射用窓枠 2 窓箔 3 開口部 4 窓枠のフランジ部 5 シール線 7 締め付けボルト 16 窓箔押え枠 35 押え板部 37 突起 39 内縁部

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子線の取り出し開口部を形成する窓枠
    と、前記窓枠の開口部を覆う窓箔と、前記窓箔と窓枠と
    の間を気密にするシール線と、前記窓枠の開口部に対応
    する開口部を有し、前記窓箔の外周周縁と前記シール線
    を挟んで前記窓枠にねじ止めされる窓箔押さえ板とから
    なる電子線照射窓において、前記窓箔押え板は、前記窓
    箔の外周周縁と対向する位置および前記ねじ止め位置が
    平坦面であるとともに、前記平坦面に続く外周周縁部に
    前記窓枠に当接する突起が設けられていることを特徴と
    する電子線照射窓。
JP07704295A 1995-02-23 1995-02-23 電子線照射窓 Expired - Lifetime JP3171050B2 (ja)

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