JP3171050B2 - 電子線照射窓 - Google Patents
電子線照射窓Info
- Publication number
- JP3171050B2 JP3171050B2 JP07704295A JP7704295A JP3171050B2 JP 3171050 B2 JP3171050 B2 JP 3171050B2 JP 07704295 A JP07704295 A JP 07704295A JP 7704295 A JP7704295 A JP 7704295A JP 3171050 B2 JP3171050 B2 JP 3171050B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- electron beam
- window foil
- foil
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子線源から出射され
た電子線の取り出し口である開口部を窓箔で気密の覆う
ようにした電子線照射窓に関するもので、詳しくは、前
記開口部を提供する電子線照射用窓枠に前記窓箔を気密
に固定するための窓箔押え板に関するものである。
た電子線の取り出し口である開口部を窓箔で気密の覆う
ようにした電子線照射窓に関するもので、詳しくは、前
記開口部を提供する電子線照射用窓枠に前記窓箔を気密
に固定するための窓箔押え板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来の電子線照射装置における
要部の縦断面図で、電子線照射用窓枠（例えばスキャン
バケットの電子線出口部）１に対する窓箔２の取り付け
構造を示している。この場合、前記電子線照射用窓枠１
は、図示略の電子線源から出射された電子線の取り出し
口である開口部３とこの開口部３の外側周囲に張り出し
たフランジ部４とを有した構造のものである。
要部の縦断面図で、電子線照射用窓枠（例えばスキャン
バケットの電子線出口部）１に対する窓箔２の取り付け
構造を示している。この場合、前記電子線照射用窓枠１
は、図示略の電子線源から出射された電子線の取り出し
口である開口部３とこの開口部３の外側周囲に張り出し
たフランジ部４とを有した構造のものである。
【０００３】また、前記窓箔２は、前記開口部３を気密
に覆うことによって電子線照射用窓枠１内を真空に維持
するもので、前記開口部３の輪郭形状に対応した例えば
長方形状をなし、前記フランジ部４に対向する部分に
は、押圧されることによって潰れてシール性能を高める
シール線５が装備されている。このシール線５は、通
常、直径略０．７５ｍｍ程度で温度変化による変形の小
さいアルミニウム線や、金線が用いられる。
に覆うことによって電子線照射用窓枠１内を真空に維持
するもので、前記開口部３の輪郭形状に対応した例えば
長方形状をなし、前記フランジ部４に対向する部分に
は、押圧されることによって潰れてシール性能を高める
シール線５が装備されている。このシール線５は、通
常、直径略０．７５ｍｍ程度で温度変化による変形の小
さいアルミニウム線や、金線が用いられる。
【０００４】前記窓箔２は、図示のように、締め付けボ
ルト７によって前記フランジ部４にねじ止めされる窓箔
押え板８により前記シール線５と共に前記フランジ部４
に締め付け固定される。前記窓箔押え板８は、図６に示
すように、平坦な板材の中央に電子線を通過させるため
の開口９を形成した構造をなし、前記開口９の周囲が前
記窓箔２の外周周縁及び前記シール線５をフランジ部４
に挟みつける押え部１０として機能する。押え部１０に
は、前記締め付けボルト７が螺合する雌ねじ部１１が適
当なピッチで形成されている。
ルト７によって前記フランジ部４にねじ止めされる窓箔
押え板８により前記シール線５と共に前記フランジ部４
に締め付け固定される。前記窓箔押え板８は、図６に示
すように、平坦な板材の中央に電子線を通過させるため
の開口９を形成した構造をなし、前記開口９の周囲が前
記窓箔２の外周周縁及び前記シール線５をフランジ部４
に挟みつける押え部１０として機能する。押え部１０に
は、前記締め付けボルト７が螺合する雌ねじ部１１が適
当なピッチで形成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに、従来の電子線照射装置では、窓箔２をフランジ部
４に固定する窓箔押え板８は、平坦な板状で、フランジ
部４側に面した表面全体で押圧するように、前記シール
線５を挟み込む。
うに、従来の電子線照射装置では、窓箔２をフランジ部
４に固定する窓箔押え板８は、平坦な板状で、フランジ
部４側に面した表面全体で押圧するように、前記シール
線５を挟み込む。
【０００６】しかし、基材の幅方向に長尺であるため、
締め付けボルト７の締め付けによってねじれが生じ易
く、前記シール線５を全周にわたって均等に押圧するこ
とができず、前記シール線５の一部がフランジ部４に対
する密着性が不十分な箇所が生じて、電子線照射用窓枠
１内での真空性能が低下する虞があった。
締め付けボルト７の締め付けによってねじれが生じ易
く、前記シール線５を全周にわたって均等に押圧するこ
とができず、前記シール線５の一部がフランジ部４に対
する密着性が不十分な箇所が生じて、電子線照射用窓枠
１内での真空性能が低下する虞があった。
【０００７】また、例えば、前記押え部１０から前記シ
ール線５に作用する押圧力が、前記窓箔押え板８の長辺
側と短辺側とで大きくばらつく結果、シール線５の潰れ
代がばらつき、窓箔２に皺の発生等を招いて窓箔２の寿
命を低下させるという問題も生じている。
ール線５に作用する押圧力が、前記窓箔押え板８の長辺
側と短辺側とで大きくばらつく結果、シール線５の潰れ
代がばらつき、窓箔２に皺の発生等を招いて窓箔２の寿
命を低下させるという問題も生じている。
【０００８】そこで、本発明の目的は上記課題を解消す
ることにあり、窓箔押え板による窓箔の押圧力を、前記
窓箔の窓枠に対向する部分に装備されたシール線の全周
にわたって均一化することができ、従って、前記シール
線の潰れ代のばらつきを無くしてシール性能を向上さ
せ、高い真空性能を得ると同時に、窓箔の皺の発生等に
よる寿命の低下を防止することのできる電子線照射窓を
提供することである。
ることにあり、窓箔押え板による窓箔の押圧力を、前記
窓箔の窓枠に対向する部分に装備されたシール線の全周
にわたって均一化することができ、従って、前記シール
線の潰れ代のばらつきを無くしてシール性能を向上さ
せ、高い真空性能を得ると同時に、窓箔の皺の発生等に
よる寿命の低下を防止することのできる電子線照射窓を
提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、電
子線の取り出し開口部を形成する窓枠と、前記窓枠の開
口部を覆う窓箔と、前記窓箔と窓枠との間を気密にする
シール線と、前記窓枠の開口部に対応する開口部を有
し、前記窓箔の外周周縁と前記シール線を挟んで前記窓
枠にねじ止めされる窓箔押さえ板とからなる電子線照射
窓において、前記窓箔押え板は、前記窓箔の外周周縁と
対向する位置および前記ねじ止め位置が平坦面であると
ともに、前記平坦面に続く外周周縁部に前記窓枠に当接
する突起が設けられていることを特徴とする電子線照射
装置の窓箔冷却装置とすることにより達成される。
子線の取り出し開口部を形成する窓枠と、前記窓枠の開
口部を覆う窓箔と、前記窓箔と窓枠との間を気密にする
シール線と、前記窓枠の開口部に対応する開口部を有
し、前記窓箔の外周周縁と前記シール線を挟んで前記窓
枠にねじ止めされる窓箔押さえ板とからなる電子線照射
窓において、前記窓箔押え板は、前記窓箔の外周周縁と
対向する位置および前記ねじ止め位置が平坦面であると
ともに、前記平坦面に続く外周周縁部に前記窓枠に当接
する突起が設けられていることを特徴とする電子線照射
装置の窓箔冷却装置とすることにより達成される。
【００１０】
【作用】本発明の上記構成によれば、窓箔押え板は、ね
じの締め付けによって窓箔押え板の開口側の周縁部と外
縁側の前記突起との二位置が窓枠に圧接される構成をな
し、前記押え板の開口側の周縁部で前記窓箔を窓枠に固
定する。従って、押え板部の面全体を窓枠に圧接するよ
うにしていた従来の場合と異なり、ねじれが生じたとし
ても、そのねじれ分は窓枠から離間している押え板部の
内奥部（前記突起と内縁部との中間の部分）の変形によ
り吸収することができ、各部のねじによる締め付け力を
適宜調整することによって、窓箔押え枠による窓箔の押
圧力を、該窓箔の外周部に装備されたシール線の全周に
わたって均一化することができる。
じの締め付けによって窓箔押え板の開口側の周縁部と外
縁側の前記突起との二位置が窓枠に圧接される構成をな
し、前記押え板の開口側の周縁部で前記窓箔を窓枠に固
定する。従って、押え板部の面全体を窓枠に圧接するよ
うにしていた従来の場合と異なり、ねじれが生じたとし
ても、そのねじれ分は窓枠から離間している押え板部の
内奥部（前記突起と内縁部との中間の部分）の変形によ
り吸収することができ、各部のねじによる締め付け力を
適宜調整することによって、窓箔押え枠による窓箔の押
圧力を、該窓箔の外周部に装備されたシール線の全周に
わたって均一化することができる。
【００１１】従って、前記シール線の潰れ代のばらつき
を無くしてシール性能を向上させ、高い真空性能を得る
と同時に、窓箔の皺の発生等による寿命の低下を防止す
ることができる。
を無くしてシール性能を向上させ、高い真空性能を得る
と同時に、窓箔の皺の発生等による寿命の低下を防止す
ることができる。
【００１２】
【実施例】図１は、本発明の一実施例における電子線照
射装置の窓箔の取り付け構造を示す縦断面図であり、図
２は図１の実施例の電子線照射装置における窓箔押え枠
の平面図である。
射装置の窓箔の取り付け構造を示す縦断面図であり、図
２は図１の実施例の電子線照射装置における窓箔押え枠
の平面図である。
【００１３】この一実施例における電子線照射装置の窓
箔の取り付け構造は、図１に示すように、電子線源（図
示なし）から出射された電子線の取り出し口である開口
部３と該開口部３の外側周囲に張り出したフランジ部４
を有してなる電子線照射用窓枠１と、前記開口部３を気
密に覆うための窓箔２と、該窓箔２の外周縁を挟んで前
記窓枠１のフランジ部４にねじ止めされる押え板部３５
によって前記窓箔２を前記窓枠１のフランジ部４に固定
する窓箔押え枠１６とを具備し、また、窓枠１のフラン
ジ部４に密着させる窓箔２の外周部には、前記窓枠１の
フランジ部４によって押圧されることによって潰れてシ
ール性能を高めるシール線５が装備されている。
箔の取り付け構造は、図１に示すように、電子線源（図
示なし）から出射された電子線の取り出し口である開口
部３と該開口部３の外側周囲に張り出したフランジ部４
を有してなる電子線照射用窓枠１と、前記開口部３を気
密に覆うための窓箔２と、該窓箔２の外周縁を挟んで前
記窓枠１のフランジ部４にねじ止めされる押え板部３５
によって前記窓箔２を前記窓枠１のフランジ部４に固定
する窓箔押え枠１６とを具備し、また、窓枠１のフラン
ジ部４に密着させる窓箔２の外周部には、前記窓枠１の
フランジ部４によって押圧されることによって潰れてシ
ール性能を高めるシール線５が装備されている。
【００１４】なお、前記窓箔押え枠１６以外の構成部材
は、図５に示した従来の電子線照射装置のものと共通で
ある。従って、構成が従来のものと同一の構成部材は、
同一の番号を付することによって説明を省略し、以下で
は、改善された窓箔押え枠１６について詳述する。
は、図５に示した従来の電子線照射装置のものと共通で
ある。従って、構成が従来のものと同一の構成部材は、
同一の番号を付することによって説明を省略し、以下で
は、改善された窓箔押え枠１６について詳述する。
【００１５】前記窓箔押え枠１６には、平坦面からなる
押え板部３５とその平坦面に続く外縁側に前記窓枠１の
フランジ部４に当接する突起３７が設けられ、前記窓枠
１のフランジ部４にねじ止めするためのねじ止め部（雌
ねじ部）３６がその平坦面に形成されている。したがっ
て、前記ねじ止め部３６に螺合した締め付けボルト７の
締め付けによって押え板部３５の内縁部３９と外縁側の
前記突起３７との二位置が前記窓箔固定用フランジ部４
に圧接され、これにより押え板部３５の内縁部３９で前
記窓箔２を前記シール線５を介して窓枠１のフランジ部
４に挾持固定する。
押え板部３５とその平坦面に続く外縁側に前記窓枠１の
フランジ部４に当接する突起３７が設けられ、前記窓枠
１のフランジ部４にねじ止めするためのねじ止め部（雌
ねじ部）３６がその平坦面に形成されている。したがっ
て、前記ねじ止め部３６に螺合した締め付けボルト７の
締め付けによって押え板部３５の内縁部３９と外縁側の
前記突起３７との二位置が前記窓箔固定用フランジ部４
に圧接され、これにより押え板部３５の内縁部３９で前
記窓箔２を前記シール線５を介して窓枠１のフランジ部
４に挾持固定する。
【００１６】枠形に組まれた押え板部３５の内縁部３９
は、従来の窓箔押え枠８と同様に長円形の開口４０を形
成しているが、この開口４０の大きさは、例えば長辺方
向の寸法Ｌ１が１９００ｍｍ，短辺方向の寸法Ｌ２が２
３０ｍｍとされ、また、前記突起３７の突出長Ｔ１は
０．４ｍｍ程度である。
は、従来の窓箔押え枠８と同様に長円形の開口４０を形
成しているが、この開口４０の大きさは、例えば長辺方
向の寸法Ｌ１が１９００ｍｍ，短辺方向の寸法Ｌ２が２
３０ｍｍとされ、また、前記突起３７の突出長Ｔ１は
０．４ｍｍ程度である。
【００１７】ここで、図１に示すように、窓枠１のフラ
ンジ部４に当接する押え板部３５の内縁部３９および突
起３７から、締め付けボルト７による締め付け位置まで
の距離をそれぞれａ，ｂとすると、締め付けボルト７に
よって締め付け力Ｆ１が加えられたとき、その締め付け
力Ｆ１は、ねじ止め部３６からの距離に応じて配分さ
れ、内縁部３９が窓箔２を押圧する力Ｆ２は、Ｆ２＝Ｆ
１×ａ／（ａ＋ｂ）となる。
ンジ部４に当接する押え板部３５の内縁部３９および突
起３７から、締め付けボルト７による締め付け位置まで
の距離をそれぞれａ，ｂとすると、締め付けボルト７に
よって締め付け力Ｆ１が加えられたとき、その締め付け
力Ｆ１は、ねじ止め部３６からの距離に応じて配分さ
れ、内縁部３９が窓箔２を押圧する力Ｆ２は、Ｆ２＝Ｆ
１×ａ／（ａ＋ｂ）となる。
【００１８】以上のように構成された一実施例の電子線
照射装置１５では、窓箔押え枠１６の押え板部３５は、
締め付けボルト７の締め付けによって内縁部３９と外縁
側の突起３７との二位置が窓枠１のフランジ部４に圧接
される構成をなし、該押え板部３５の内縁部３９で前記
窓箔２を前記シール線５を介して窓枠１のフランジ部４
に固定する。
照射装置１５では、窓箔押え枠１６の押え板部３５は、
締め付けボルト７の締め付けによって内縁部３９と外縁
側の突起３７との二位置が窓枠１のフランジ部４に圧接
される構成をなし、該押え板部３５の内縁部３９で前記
窓箔２を前記シール線５を介して窓枠１のフランジ部４
に固定する。
【００１９】このような構成では、押え板部の面全体を
窓枠１のフランジ部４に圧接するようにしていた従来の
場合と異なり、窓箔押え枠１６自体にねじれが生じたと
しても、そのねじれ分は窓箔固定用フランジ部４から離
間している押え板部３５の内奥部（前記突起３７と内縁
部３９との中間の部分）の変形により吸収することがで
き、各部の締め付けボルト７による締め付け力を適宜調
整することによって窓箔押え枠１６による窓箔２の押圧
力を、該窓箔２の外周部に装備されたシール線５の全周
にわたって均一化にすることができる。
窓枠１のフランジ部４に圧接するようにしていた従来の
場合と異なり、窓箔押え枠１６自体にねじれが生じたと
しても、そのねじれ分は窓箔固定用フランジ部４から離
間している押え板部３５の内奥部（前記突起３７と内縁
部３９との中間の部分）の変形により吸収することがで
き、各部の締め付けボルト７による締め付け力を適宜調
整することによって窓箔押え枠１６による窓箔２の押圧
力を、該窓箔２の外周部に装備されたシール線５の全周
にわたって均一化にすることができる。
【００２０】従って、前記シール線５の潰れ代のばらつ
きを無くしてシール性能を向上させ、高い真空性能を得
ると同時に、窓箔２の皺の発生等による寿命の低下を防
止することができる。
きを無くしてシール性能を向上させ、高い真空性能を得
ると同時に、窓箔２の皺の発生等による寿命の低下を防
止することができる。
【００２１】なお、この実施例では、押え板部３５の外
縁側に突設する突起３７は長尺の突条としたが、適宜の
長さに分断された突起としてもよい。また、突起３７は
一体形成しているが、該突起部分を別体とて、溶接等に
よって後から接合するようにしてもよい。
縁側に突設する突起３７は長尺の突条としたが、適宜の
長さに分断された突起としてもよい。また、突起３７は
一体形成しているが、該突起部分を別体とて、溶接等に
よって後から接合するようにしてもよい。
【００２２】図３および図４は、電子線照射装置を使用
した例を示す磁化膜製造装置の側面図であり、図４は図
３の前記磁化膜製造装置の正面図である。この磁化膜製
造装置は、プラスティックフルムを基材として、その表
面に磁性塗料を塗布し、棒磁石を塗膜面に対して直立し
た状態で基材１９の表面上に整列して固化し、高品質の
高密度用途に適した垂直磁化膜を連続生産する装置であ
る。
した例を示す磁化膜製造装置の側面図であり、図４は図
３の前記磁化膜製造装置の正面図である。この磁化膜製
造装置は、プラスティックフルムを基材として、その表
面に磁性塗料を塗布し、棒磁石を塗膜面に対して直立し
た状態で基材１９の表面上に整列して固化し、高品質の
高密度用途に適した垂直磁化膜を連続生産する装置であ
る。
【００２３】この磁化膜製造装置１７では、基材支持移
送ローラ２０上を水平方向に移動する基材１９を上下か
ら挟むように対向して第１および第２の磁石部材２１，
２２の両極が空隙２３を形成し、基材１９の表面に対し
て垂直に交差する磁界を発生している。上側の磁極を形
成している第１の磁石部材２１の上部には、電子線照射
装置１５が組込まれている。
送ローラ２０上を水平方向に移動する基材１９を上下か
ら挟むように対向して第１および第２の磁石部材２１，
２２の両極が空隙２３を形成し、基材１９の表面に対し
て垂直に交差する磁界を発生している。上側の磁極を形
成している第１の磁石部材２１の上部には、電子線照射
装置１５が組込まれている。
【００２４】この電子線照射装置１５では、最上部に設
置された電子線源２５から放射された電子線２６は、磁
性塗膜の硬化に最も適したエネルギーまで加速され、前
記電子線源２５の下流に配備された扇形の部分２７で走
査されて前記第１の磁石部材２１の貫通孔２８に導入さ
れ、電子線２６の取り出し口である開口部３に配置して
ある電子線照射用窓枠（グリル）１の間を通り抜け、窓
箔２を透過して前記基材１９の表面を照射する。
置された電子線源２５から放射された電子線２６は、磁
性塗膜の硬化に最も適したエネルギーまで加速され、前
記電子線源２５の下流に配備された扇形の部分２７で走
査されて前記第１の磁石部材２１の貫通孔２８に導入さ
れ、電子線２６の取り出し口である開口部３に配置して
ある電子線照射用窓枠（グリル）１の間を通り抜け、窓
箔２を透過して前記基材１９の表面を照射する。
【００２５】余分な電子線２６は、全て下方の第２の磁
石部材２２に吸収され、また、前記第１の磁石部材２１
の開口部３や電子線照射用窓枠１の部分でも電子線吸収
による発熱を伴うので、両磁石部材２１，２２には冷却
孔３２を多数配置して、冷却パイプ３３より冷媒を循環
させて冷却するように構成されている。なお、第１およ
び第２の磁石部材２１，２２は、励磁コイル３４によっ
て励磁される電磁石である。
石部材２２に吸収され、また、前記第１の磁石部材２１
の開口部３や電子線照射用窓枠１の部分でも電子線吸収
による発熱を伴うので、両磁石部材２１，２２には冷却
孔３２を多数配置して、冷却パイプ３３より冷媒を循環
させて冷却するように構成されている。なお、第１およ
び第２の磁石部材２１，２２は、励磁コイル３４によっ
て励磁される電磁石である。
【００２６】このように構成された装置にあっては、本
発明に係る窓箔の取り付け構造は、磁石部材２１の電子
線２６の取り出し口である開口部３に配置してある電子
線照射用窓枠（グりル）１における窓箔２の取り付け構
造に使用される。
発明に係る窓箔の取り付け構造は、磁石部材２１の電子
線２６の取り出し口である開口部３に配置してある電子
線照射用窓枠（グりル）１における窓箔２の取り付け構
造に使用される。
【００２７】
【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
窓箔押え枠の押え板部は、ねじの締め付けによって内縁
部と外縁側の前記突起との二位置が窓枠部に圧接される
構成をなし、該押え板部の内縁部で前記窓箔を窓枠部に
固定するため、窓箔押え枠にねじれが生じたとしても、
そのねじれ分は窓枠部から離間している押え板部の内奥
部の変形により吸収することができ、各部のねじによる
締め付け力を適宜調整することによって、窓箔押え枠に
よる窓箔の押圧力を、該窓箔の外周部に装備されたシー
ル線の全周にわたって均一化することができる。従っ
て、前記シール線の潰れ代のばらつきを無くしてシール
性能を向上させ、高い真空性能を得ると同時に、窓箔の
皺の発生等による寿命の低下を防止することができる。
窓箔押え枠の押え板部は、ねじの締め付けによって内縁
部と外縁側の前記突起との二位置が窓枠部に圧接される
構成をなし、該押え板部の内縁部で前記窓箔を窓枠部に
固定するため、窓箔押え枠にねじれが生じたとしても、
そのねじれ分は窓枠部から離間している押え板部の内奥
部の変形により吸収することができ、各部のねじによる
締め付け力を適宜調整することによって、窓箔押え枠に
よる窓箔の押圧力を、該窓箔の外周部に装備されたシー
ル線の全周にわたって均一化することができる。従っ
て、前記シール線の潰れ代のばらつきを無くしてシール
性能を向上させ、高い真空性能を得ると同時に、窓箔の
皺の発生等による寿命の低下を防止することができる。
【図１】本発明の一実施例における電子線照射装置の窓
箔の取り付け構造を示す縦断面図である。
箔の取り付け構造を示す縦断面図である。
【図２】図１のＢ−Ｂ線に沿う方向から見た一実施例の
窓箔押え枠の平面図である。
窓箔押え枠の平面図である。
【図３】一実施例の電子線照射装置を使用した磁化膜製
造装置の側面図である。
造装置の側面図である。
【図４】図３に示した磁化膜製造装置の正面図である。
【図５】従来の電子線照射装置における窓箔の取り付け
構造を示す縦断面図である。
構造を示す縦断面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ線に沿う方向から見た従来の窓箔
押え枠の平面図である。
押え枠の平面図である。
１ 電子線照射用窓枠 ２ 窓箔 ３ 開口部 ４ 窓枠のフランジ部 ５ シール線 ７ 締め付けボルト １６ 窓箔押え枠 ３５ 押え板部 ３７ 突起 ３９ 内縁部
Claims (1)
- 【請求項１】 電子線の取り出し開口部を形成する窓枠
と、前記窓枠の開口部を覆う窓箔と、前記窓箔と窓枠と
の間を気密にするシール線と、前記窓枠の開口部に対応
する開口部を有し、前記窓箔の外周周縁と前記シール線
を挟んで前記窓枠にねじ止めされる窓箔押さえ板とから
なる電子線照射窓において、前記窓箔押え板は、前記窓
箔の外周周縁と対向する位置および前記ねじ止め位置が
平坦面であるとともに、前記平坦面に続く外周周縁部に
前記窓枠に当接する突起が設けられていることを特徴と
する電子線照射窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07704295A JP3171050B2 (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 電子線照射窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07704295A JP3171050B2 (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 電子線照射窓 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233999A JPH08233999A (ja) | 1996-09-13 |
| JP3171050B2 true JP3171050B2 (ja) | 2001-05-28 |
Family
ID=13622727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07704295A Expired - Lifetime JP3171050B2 (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 電子線照射窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3171050B2 (ja) |
-
1995
- 1995-02-23 JP JP07704295A patent/JP3171050B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08233999A (ja) | 1996-09-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5561342A (en) | Electron beam exit window | |
| TW430852B (en) | Method and apparatus for deflecting charged particles | |
| NL8300520A (nl) | Inrichting voor de gecombineerde productie van elektrische energie en warmte. | |
| JP3171050B2 (ja) | 電子線照射窓 | |
| US20130048102A1 (en) | Gasket and motor-driven compressor | |
| JPH11195622A (ja) | ウエハのメッキ用治具 | |
| JP2000169962A (ja) | スパッタリング装置および水冷カソード | |
| JP2794183B2 (ja) | プラズマ装置 | |
| JPH1187941A (ja) | 防爆容器 | |
| JPH0583899A (ja) | 回転電機のターミナルボツクス | |
| JPH06243963A (ja) | マイクロ波加熱装置 | |
| JPH05223997A (ja) | 照射窓 | |
| JP3962510B2 (ja) | 照射装置の粒子線取出窓構造 | |
| JPS607045A (ja) | 液冷式投射形陰極線管 | |
| JPS58159644A (ja) | 密閉型電動圧縮機 | |
| CN86100615A (zh) | 扬声器及其制造方法 | |
| JPH04168945A (ja) | 回転電機 | |
| US4626098A (en) | Copying frame for producing offset plates | |
| CN206460904U (zh) | 一种户外柱上真空断路器保护壳 | |
| JPS6134852Y2 (ja) | ||
| JPH02272399A (ja) | 軟ｘ線取出し窓 | |
| JPS62209901A (ja) | マイクロ波発振器の周波数可変機構 | |
| KR970017867A (ko) | 이중 섀도우 마스크를 구비한 컬러 음극선관 장치 | |
| JPH08178185A (ja) | 乾式ガスホルダのシール装置 | |
| JP3182364B2 (ja) | 陰極線管パネルの露光装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090323 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100323 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100323 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110323 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120323 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130323 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140323 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |