JP3163743B2 - Resin molding equipment - Google Patents

Resin molding equipment

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JP3163743B2 JP11937292A JP11937292A JP3163743B2 JP 3163743 B2 JP3163743 B2 JP 3163743B2 JP 11937292 A JP11937292 A JP 11937292A JP 11937292 A JP11937292 A JP 11937292A JP 3163743 B2 JP3163743 B2 JP 3163743B2
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/38Cutting-off equipment for sprues or ingates
    • B29C45/382Cutting-off equipment for sprues or ingates disposed outside the mould

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は樹脂モールド装置に関
し、詳しくは、半導体装置の製造に使用され、モールド
された外装樹脂部を有する長尺なフープ状リードフレー
ムについて、その幅方向端部に付着した不所望な硬化樹
脂を分離除去する樹脂モールド装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin molding apparatus, and more particularly, to a long hoop-shaped lead frame having a molded exterior resin portion used in the manufacture of a semiconductor device and attached to an end in the width direction. The present invention relates to a resin molding device that separates and removes unwanted cured resin.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、ミニモールドタイプの半導体装
置は、長尺なフープ状の金属製リードフレームを使用す
ることにより一括して製造されるのが一般的である。こ
の種の半導体装置の主たる製造工程は、リードフレーム
上に半導体ペレットを搭載するペレットマウント工程
と、半導体ペレットとリードとを金属細線で電気的に接
続するワイヤボンディング工程と、半導体ペレットを含
む主要部分をエポキシ樹脂等の外装樹脂でモールドする
樹脂モールド工程とからなる。
2. Description of the Related Art For example, mini-mold type semiconductor devices are generally manufactured collectively by using a long hoop-shaped metal lead frame. The main manufacturing process of this type of semiconductor device includes a pellet mounting process of mounting a semiconductor pellet on a lead frame, a wire bonding process of electrically connecting the semiconductor pellet and the lead with a thin metal wire, and a main portion including the semiconductor pellet. And a resin molding step of molding with an exterior resin such as an epoxy resin.

【0003】上記樹脂モールド工程では、ワイヤボンデ
ィングを完了したリードフレームを上下金型により型締
めし、上下金型のポット及びカルからランナ及びゲート
を介してキャビティ内に注入された溶融樹脂でもって、
リードフレーム上の半導体ペレットを含む主要部分を樹
脂モールドするようにしている。この樹脂モールド後、
図7(a)(b)に示すようにリードフレーム(1)の
外装樹脂部(2)以外に、そのリードフレーム(1)の幅
方向端部に、ランナと外装樹脂部(2)との連結部分で
あるゲートと対応する不所望部分に硬化樹脂〔以下、ラ
ンナ(3)及びゲート(4)と称す〕が付着しているた
め、そのランナ(3)及びゲート(4)を分離除去する必
要がある。
In the resin molding step, the lead frame after wire bonding is clamped by upper and lower molds, and molten resin injected into the cavity from the pots and culls of the upper and lower molds via the runners and gates.
The main part including the semiconductor pellet on the lead frame is resin-molded. After this resin mold,
As shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b), in addition to the exterior resin portion (2) of the lead frame (1), the runner and the exterior resin portion (2) are attached to the width direction end of the lead frame (1). Since the cured resin (hereinafter, referred to as runner (3) and gate (4)) is attached to an undesired portion corresponding to the gate which is a connecting portion, the runner (3) and gate (4) are separated and removed. There is a need.

【0004】そこで、従来は、図8に示すようにフープ
状リードフレーム(1)を一定のテンションに張設した
状態で送り機構〔図示せず〕により定方向〔図中矢印方
向〕に移送しながら、その移送途中にて、第1〜第3の
ローラ(5)〜(7)を配置し、その移送されるリードフ
レーム(1)を第1〜第3のローラ(5)〜(7)の周面
に順次沿わせながら変曲させて方向転換する。
Therefore, conventionally, as shown in FIG. 8, the hoop-shaped lead frame (1) is transported in a fixed direction (the direction of the arrow in the figure) by a feed mechanism (not shown) in a state of being stretched at a constant tension. Meanwhile, the first to third rollers (5) to (7) are arranged during the transfer, and the lead frame (1) to be transferred is moved to the first to third rollers (5) to (7). Inflection and turn direction along the circumference of.

【0005】上記第1のローラ(5)では、図9及び図1
0に示すようにその周面(9)に沿ってリードフレーム
(1)が変曲されて方向転換し、図示斜め上方に移送さ
れるのに対して、ランナ(3)がリードフレーム(1)の
幅方向端部に沿って長く、厚肉の硬いものであるため、
上記ランナ(3)は、第1のローラ(5)の周面(9)に
沿うことなく、そのまま直進しようとする。その結果、
ランナ(3)とリードフレーム(1)の外装樹脂部(2)
との連結部分であるゲート(4)が微小であるため、そ
のゲート(4)で引きちぎられることにより、上記ラン
ナ(3)及びゲート(4)がリードフレーム(1)から分
離除去される。その後、上記リードフレーム(1)は、
第2及び第3のローラ(6)(7)を介して後工程に移送
される。尚、図10で示す(8)は第1〜第3のローラ
(5)〜(7)の周面にそれぞれ形成され、リードフレー
ム(1)の外装樹脂部(2)が収納される凹溝である。
[0005] In the first roller (5), FIG. 9 and FIG.
As shown in FIG. 0, the lead frame (1) is bent along the peripheral surface (9) and changes direction, and is transferred obliquely upward in the figure, while the runner (3) is connected to the lead frame (1). Because it is long, thick and hard along the width direction end of
The runner (3) attempts to go straight without going along the peripheral surface (9) of the first roller (5). as a result,
Outer resin part (2) of runner (3) and lead frame (1)
Since the gate (4), which is a connecting portion with the gate, is very small, the gate (4) tears off the runner (3) and the gate (4) from the lead frame (1). After that, the lead frame (1)
It is transferred to a subsequent process via the second and third rollers (6) and (7). Incidentally, (8) shown in FIG. 10 is formed on the peripheral surface of each of the first to third rollers (5) to (7), and is a concave groove for accommodating the exterior resin portion (2) of the lead frame (1). It is.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来では、
上述したように第1のローラ(5)でリードフレーム
(1)を変曲させて方向転換させることにより、上記リ
ードフレーム(1)からランナ(3)及びゲート(4)を
分離除去するようにしている。
By the way, conventionally,
As described above, the runner (3) and the gate (4) are separated and removed from the lead frame (1) by bending and changing the direction of the lead frame (1) with the first roller (5). ing.

【0007】しかしながら、上記第1のローラ(5)で
は、その周面(9)に沿って移動するリードフレーム
(1)が斜め上方に変曲する際に、直進しようとするラ
ンナ(3)に対して、そのランナ(3)をリードフレーム
(1)と連結するゲート(4)は、リードフレーム(1)
が移動する斜め上方に引っ張られることになり、上記ゲ
ート(4)を介して外装樹脂部(2)に不所望なストレス
が加わることになって、リードフレーム(1)の外装樹
脂部(2)がリードフレーム(1)に対して曲がり、その
外装樹脂部(2)から導出したリードに曲がりが生じた
り、極端には、外装樹脂部(2)に欠け等が発生したり
するという問題があった。
However, in the first roller (5), when the lead frame (1) moving along the peripheral surface (9) bends obliquely upward, the runner (3) tries to go straight. On the other hand, the gate (4) connecting the runner (3) to the lead frame (1) is
Is pulled obliquely upward to move, and an undesired stress is applied to the exterior resin portion (2) through the gate (4), so that the exterior resin portion (2) of the lead frame (1). However, there is a problem that the lead is bent with respect to the lead frame (1), and the lead derived from the exterior resin portion (2) is bent, or, in extreme cases, the exterior resin portion (2) is chipped. Was.

【0008】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、リードフレー
ムに不所望なストレスを加えることなく、それに付着し
たランナ及びゲートをリードフレームからスムーズに分
離除去し得る樹脂モールド装置を提供することにある。
In view of the above, the present invention has been proposed in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to smoothly remove runners and gates attached to a lead frame from a lead frame without applying undesired stress to the lead frame. Another object of the present invention is to provide a resin mold device that can be separated and removed.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明は、半導体ペレットを搭載
し、その半導体ペレットを含む主要部分を外装樹脂でモ
ールドした長尺なフープ状リードフレームを定方向に移
送し、その移送途中に配置された不要樹脂分離手段によ
り、そのリードフレームの幅方向端部に付着した不所望
な硬化樹脂を分離するものにおいて、上記不要樹脂分離
手段は、一直線状に移送されるリードフレームをその表
裏面から挟み込む一対のローラからなり、一方のローラ
のリードフレーム幅方向端部に、そのリードフレーム端
部より食み出すフランジを形成したことを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION As a technical means for achieving the above object, the present invention provides a long hoop-shaped lead in which a semiconductor pellet is mounted and a main part including the semiconductor pellet is molded with an exterior resin. The frame is transferred in a fixed direction, and the unnecessary resin separating means disposed in the middle of the transfer is used to separate the undesired cured resin adhered to the end in the width direction of the lead frame. It is characterized by comprising a pair of rollers for sandwiching a lead frame conveyed in a straight line from the front and back surfaces thereof, and forming a flange protruding from the end of the lead frame at the end of the one of the rollers in the width direction of the lead frame. .

【0010】また、上記一方のローラのフランジの外側
端部周縁に、その周方向に沿ってテーパ面が徐々に大き
くなるテーパ部を形成することも可能である。
It is also possible to form a tapered portion on the outer peripheral edge of the flange of the one roller, the tapered surface gradually increasing in the circumferential direction.

【0011】[0011]

【作用】本発明に係る樹脂モールド装置では、移送され
るリードフレームを挟み込むローラのうち、一方のロー
ラのリードフレームより食み出すフランジが、リードフ
レーム幅方向端部の不所望な硬化樹脂をリードフレーム
移送方向と直交する方向に押圧する。このように、リー
ドフレームの移送が一直線状であり、フランジによる押
圧がそのリードフレーム移送方向と直交するため、フラ
ンジによる押圧力でもって不所望なストレスが加わるこ
となく、不所望な硬化樹脂をリードフレームからスムー
ズに分離除去できる。
In the resin molding apparatus according to the present invention, of the rollers sandwiching the lead frame to be transferred, the flange protruding from the lead frame of one of the rollers leads to the undesired cured resin at the end in the lead frame width direction. Press in the direction perpendicular to the frame transfer direction. As described above, since the lead frame is transported in a straight line, and the pressing by the flange is orthogonal to the lead frame transport direction, undesired stress is not applied by the pressing force by the flange, and the undesired cured resin is lead. Can be separated and removed smoothly from the frame.

【0012】[0012]

【実施例】本発明に係る樹脂モールド装置の実施例を図
1乃至図6に示して説明する。尚、以下の実施例では図
7のリードフレーム(1)に適用した場合を示す。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a resin molding apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. The following embodiment shows a case where the present invention is applied to the lead frame (1) shown in FIG.

【0013】本発明の不要樹脂分離手段は、図1及び図
2に示すように一直線状に移送されるリードフレーム
(1)をその表裏面から挟み込む一対のローラ(11)(1
2)〔以下、上下ローラと称す〕からなり、上ローラ(1
1)のリードフレーム幅方向両端部に、そのリードフレ
ーム(1)より食み出すフランジ(13)を形成したもの
である。
As shown in FIGS. 1 and 2, the unnecessary resin separating means of the present invention comprises a pair of rollers (11) (1) which sandwich a lead frame (1) conveyed in a straight line from its front and back surfaces.
2) The upper roller (1
A flange (13) protruding from the lead frame (1) is formed at both ends in the lead frame width direction of (1).

【0014】具体的に、上記リードフレーム(1)は、
従来と同様、一定のテンションに張設した状態で送り機
構〔図示せず〕により定方向〔図中矢印方向〕に移送さ
れ、相違する点は、一直線状に移送されることにある。
Specifically, the lead frame (1)
As in the prior art, the sheet is transferred in a fixed direction (the direction of the arrow in the figure) by a feed mechanism (not shown) while being stretched at a constant tension. The difference is that the sheet is transferred in a straight line.

【0015】また、上ローラ(11)は、ローラ本体(1
4)の一部に全周に亘って、リードフレーム(1)の外装
樹脂部(2)が収納される凹溝(15)を形成し、上記ロ
ーラ本体(14)の両端部に、後述するようにリードフレ
ーム(1)の両端に付着したランナ(3)を押圧するフラ
ンジ(13)を一体的に形成する。
The upper roller (11) is provided with a roller body (1).
A groove (15) for accommodating the exterior resin portion (2) of the lead frame (1) is formed in a part of 4) over the entire circumference, and the groove (15) is formed at both ends of the roller body (14) as described later. As described above, the flanges (13) for pressing the runners (3) attached to both ends of the lead frame (1) are integrally formed.

【0016】更に、下ローラ(12)は、上述した上ロー
ラ(11)と同様、ローラ本体(16)の一部に全周に亘っ
て、外装樹脂部(2)が収納される凹溝(17)を形成
し、上記ローラ本体(16)の両端周縁に、リードフレー
ム(1)の下面から突出するゲート(4)が収納される凹
部(18)をリードフレーム(1)のゲート(4)のピッチ
と対応させて等間隔に形成する。
Further, similarly to the above-mentioned upper roller (11), the lower roller (12) has a concave groove () in which the exterior resin portion (2) is housed in a part of the roller body (16) over the entire circumference. 17), and a recess (18) for accommodating a gate (4) protruding from the lower surface of the lead frame (1) is formed in a peripheral edge at both ends of the roller body (16). Are formed at regular intervals corresponding to the pitch of

【0017】本発明装置では、図3及び図4に示すよう
に樹脂モールドを完了したリードフレーム(1)が一直
線状に移送されてくると、上下ローラ(11)(12)間を
通過する際に不所望なランナ(3)及びゲート(4)が分
離除去される。
In the apparatus according to the present invention, as shown in FIGS. 3 and 4, when the lead frame (1), which has been completed with resin molding, is transferred in a straight line, the lead frame (1) passes between the upper and lower rollers (11) and (12). Undesired runners (3) and gates (4) are separated and removed.

【0018】即ち、リードフレーム(1)の外装樹脂部
(2)が上下ローラ(11)(12)のローラ本体(14)(1
6)の凹溝(15)(17)に収納された状態で、そのロー
ラ本体(14)(16)によりリードフレーム(1)を挟み
込む。一方、下ローラ(12)の凹部(18)にゲート
(4)が収納されると共にその凹部(18)にゲート(4)
が係止されてリードフレーム(1)がランナ(3)ごと送
り出される。この時、上ローラ(11)のフランジ(13)
が、その端面でランナ(3)を、リードフレーム(1)の
移送方向と直交する方向、即ち、図示下方に押圧する。
このように、リードフレーム(1)の移送が一直線状で
あり、フランジ(13)による押圧がそのリードフレーム
移送方向と直交するため、フランジ(13)による押圧力
でもって外装樹脂部(2)に不所望なストレスが加わる
ことなく、外装樹脂部(2)からゲート(4)ごとランナ
(3)を速やかに分離する。
That is, the exterior resin portion (2) of the lead frame (1) is made up of the roller body (14) (1) of the upper and lower rollers (11) and (12).
The lead frame (1) is sandwiched between the roller bodies (14) and (16) while being housed in the concave grooves (15) and (17) of 6). On the other hand, the gate (4) is housed in the recess (18) of the lower roller (12), and the gate (4) is accommodated in the recess (18).
Is locked, and the lead frame (1) is sent out together with the runner (3). At this time, the flange (13) of the upper roller (11)
Pushes the runner (3) at its end face in a direction perpendicular to the direction of transport of the lead frame (1), that is, downward in the figure.
As described above, since the transfer of the lead frame (1) is linear, and the pressing by the flange (13) is orthogonal to the transfer direction of the lead frame, the pressing force by the flange (13) is applied to the exterior resin portion (2). The runner (3) together with the gate (4) is quickly separated from the exterior resin part (2) without applying undesired stress.

【0019】尚、上述で説明した上ローラ(11)のフラ
ンジ(13)の端面形状は、図1及び図2に示すものに限
らず、例えば、図5と図6(a)〜(c)に示すように
フランジ(13)の外側端部周縁に、その周方向に沿って
テーパ面(19)が徐々に大きくなるテーパ部(20)を形
成するようにしてもよい。即ち、ランナ(3)を押圧す
る初期時には、小さなテーパ面(19)でもってその押圧
量を大きくとる。この初期時に押圧量を大きくとれば、
その後の押圧量は小さくても、初期の大きな押圧量の影
響でもってゲート(4)が分離しやすい状態となってい
るため、初期時以降の押圧量が小さくてもよく、それ以
降のテーパ面(19)を徐々に大きくすればよい。
The shape of the end surface of the flange (13) of the upper roller (11) described above is not limited to those shown in FIGS. 1 and 2, and for example, FIGS. 5 and 6 (a) to (c). As shown in (1), a tapered portion (20) in which the tapered surface (19) gradually increases along the circumferential direction may be formed on the outer peripheral edge of the flange (13). That is, at the initial stage of pressing the runner (3), the pressing amount is increased by the small tapered surface (19). If the pressing amount is large at this initial stage,
Although the subsequent pressing amount is small, the gate (4) is easily separated under the influence of the initial large pressing amount, so that the pressing amount after the initial stage may be small, and the tapered surface thereafter. (19) should be gradually increased.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明に係る樹脂モールド装置によれ
ば、樹脂モールドが完了したリードフレームに付着した
不所望な硬化樹脂を、上記リードフレームにストレスを
加えることなく、速やかに分離除去することができるの
で、製品の歩留まりが大幅に向上すると共に、信頼性の
高い良品質の半導体装置を提供することができてその実
用的価値は大である。
According to the resin molding apparatus of the present invention, the undesired cured resin adhering to the lead frame on which the resin molding has been completed can be quickly separated and removed without applying stress to the lead frame. As a result, the yield of products is greatly improved, and a highly reliable and high-quality semiconductor device can be provided, which has a great practical value.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例における上下ローラを示す正面
FIG. 1 is a front view showing upper and lower rollers according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の側面図FIG. 2 is a side view of FIG. 1;

【図3】図1の上下ローラでランナを分離する状態を示
す拡大部分正面図
FIG. 3 is an enlarged partial front view showing a state in which a runner is separated by upper and lower rollers in FIG. 1;

【図4】図3の部分側面図FIG. 4 is a partial side view of FIG. 3;

【図5】上ローラのフランジの変形例を示す正面図FIG. 5 is a front view showing a modification of the flange of the upper roller.

【図6】図5のフランジにおいて、(a)はA点での側
面図、(b)はB点での側面図、(c)はC点での側面
6 (a) is a side view at point A, FIG. 6 (b) is a side view at point B, and FIG. 6 (c) is a side view at point C in the flange of FIG.

【図7】(a)は樹脂モールド後のリードフレームを示
す平面図、(b)はそのリードフレームの側面図
7A is a plan view showing a lead frame after resin molding, and FIG. 7B is a side view of the lead frame.

【図8】樹脂モールド装置の従来例を示す正面図FIG. 8 is a front view showing a conventional example of a resin molding apparatus.

【図9】図8の第1のローラを示す拡大正面図FIG. 9 is an enlarged front view showing the first roller of FIG. 8;

【図10】図9の一部省略部分を含む側面図10 is a side view including a part omitted in FIG. 9.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リードフレーム 2 外装樹脂部 3 不所望な硬化樹脂〔ランナ〕 4 不所望な硬化樹脂〔ゲート〕 11 ローラ〔上ローラ〕 12 ローラ〔下ローラ〕 13 フランジ 19 テーパ面 20 テーパ部 1 Lead frame 2 Exterior resin part 3 Undesired cured resin [runner] 4 Undesired cured resin [gate] 11 Roller [upper roller] 12 Roller [lower roller] 13 Flange 19 Tapered surface 20 Tapered part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/56 B29C 45/02,45/14 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/56 B29C 45 / 02,45 / 14

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 半導体ペレットを搭載し、その半導体ペ
レットを含む主要部分を外装樹脂でモールドした長尺な
フープ状リードフレームを定方向に移送し、その移送途
中に配置された不要樹脂分離手段により、そのリードフ
レームの幅方向端部に付着した不所望な硬化樹脂を分離
するものにおいて、 上記不要樹脂分離手段は、一直線状に移送されるリード
フレームをその表裏面から挟み込む一対のローラからな
り、一方のローラの両端にリードフレームの幅よりやや
広い間隔でこのローラの径より径大なフランジを形成し
たことを特徴とする樹脂モールド装置。
1. A long hoop-shaped lead frame in which a semiconductor pellet is mounted and a main part including the semiconductor pellet is molded with an exterior resin is transferred in a fixed direction, and unnecessary resin separating means arranged in the middle of the transfer is used. In separating the undesired cured resin adhered to the width direction end of the lead frame, the unnecessary resin separating means includes a pair of rollers for sandwiching the lead frame conveyed in a straight line from the front and back surfaces, Slightly wider than the lead frame width at both ends of one roller
A resin molding apparatus wherein flanges having a diameter larger than the diameter of the roller are formed at wide intervals .
【請求項2】 一方のローラのフランジの外側端部周縁
に、その周方向に沿ってテーパ面が徐々に大きくなるテ
ーパ部を形成したことを特徴とする請求項1に記載の樹
脂モールド装置。
2. The resin molding apparatus according to claim 1, wherein a tapered portion whose tapered surface gradually increases along the circumferential direction is formed at a peripheral edge of an outer end of a flange of one of the rollers.
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