JP3766206B2 - Fixing method of film substrate - Google Patents

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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム材を基板としたフィルム基板からなる半導体パッケージに関し、特に、フィルム基板をフレームで固定する固定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、BGA型及びCSP型半導体パッケージでは、絶縁基板としてセラミックスやプラスチック等が使用されるが、薄型化、軽量化、低コスト化を目的としてフィルム材を使用することもある。
【0003】
フィルム材を基板とする場合、同基板が薄過ぎるため変形を生じ易く、搬送時の取り扱いや、微細加工の実施が困難であった。
【0004】
そこで、図6及び7に示すように、熱圧着テープ30を用いてフィルム基板10を金属製の矩形平板のフレーム20に熱圧着し、固定することによって、搬送が容易となるとともに、フィルム基板10の変形、伸縮が防止され、精度よく製造を行うことができる。
【0005】
この時、フレーム20には、半導体パッケージを形成する部分に、略矩形窓40が穿設されている。
【0006】
このようにしてフレーム20に固定されたフィルム基板10は、半田ボールを配設する位置に、フィルム基板10の表裏を導通する加工が施される。
【0007】
その後、フィルム基板10の表面に、リードによる配線と、半導体素子載置部とを形成し、同半導体素子載置部に半導体素子を載置して、同半導体素子とリードとをワイヤーボンディング等により接続し、半導体素子と、リードと、ワイヤーとを、モールド樹脂にて密封封止するモールド部50を形成する(図8参照)。
【0008】
次いで、フィルム基板10裏面に半田ボールを配設し、リフローによりフィルム基板10に半田ボールを接合した後、図9に示すように、前記モールド部50の外周に沿ってフィルム基板10を切断することにより、単体のBGA型あるいはCSP型半導体パッケージが得られる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにして半導体パッケージが製造された後、半導体パッケージを切離した後のフレームには、熱圧着テープを介してフィルム基板が接着されているため、フレームとフィルム基板とを完全に分離することが困難であった。
【0010】
従って、フィルム基板の接着されたフレームは、全て産業廃棄物として粉砕廃棄されていた。
【0011】
しかし、産業廃棄物とすることにより処理コストが加わるとともに、常に新品のフレームを購入せねばならず、製造コストを押し上げる原因となっていた。
【0012】
そのため、同フレームを容易にリサイクルできる方法が要望されていた。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明では、パッケージ基板となるフィルム基板を、所定位置に複数の略矩形窓を穿設して半導体パッケージ形成部を設けたフレームに固定するフィルム基板の固定方法において、前記フレームの周縁には、前記フィルム基板がそれぞれ押し込められる複数のフィルム押込み孔を穿設し、前記フレーム上面に前記フィルム基板を載置して、前記フィルム基板上方よりパンチを前記フィルム押込み孔に圧入することにより、前記フィルム基板に凸部を形成するとともに、同凸部を前記フィルム押込み孔に嵌合させて前記フィルム基板を前記フレームに固定することを特徴とするフィルム基板の固定方法を提供せんとするものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明では、半導体パッケージの基板として、フィルム材を使用し、同フィルム材をフィルム基板としている。
【0016】
同フィルム材は薄いため、変形しやすく、取り扱いが困難であるので、金属製の矩形平板のフレームに固定して使用される。
【0017】
同フレームには、半導体パッケージ形成部に略矩形状の窓を穿設しておくとともに、フレーム周縁の所定位置に、複数のフィルム押込み孔を穿設しておく。
【0018】
前記フレーム上面にフィルム基板を載置し、フィルム基板上方より前記フィルム押込み孔にパンチを圧入することにより、フィルム基板がフィルム押込み孔に押し込まれる。
【0019】
同パンチには、パンチ先端部分にフィルム押込み孔に圧入される略円筒状の凸部を形成しており、同凸部は、フィルム基板を挟んでフィルム押込み孔と嵌合すべく、フィルム押込み孔寸法とフィルム基板厚みを考慮した寸法で凸設されている。
【0020】
同凸部をフィルム押込み孔に圧入することによって、フィルム基板にはフィルム押込み孔と嵌合する凸部が形成される。
【0021】
従って、フィルム基板に形成された凸部を、フレームに穿設されたフィルム押込み孔に嵌合させることにより、フィルム基板はフレームに固定される。
【0022】
【実施例】
本発明の実施例を、図面を用いて詳説する。
【0023】
図1に示すように、フィルム基板1となるフィルム材を固定する金属製、特に銅製の矩形平板のフレーム2には、半導体パッケージを形成する部分に、略矩形窓3を穿設しておき、さらに、フレーム2の周縁部に複数のフィルム押込み孔4を穿設している。
【0024】
そして、同フレーム2上面にフィルム基板1を載置し、図2及び3に示すように、フィルム基板1上方よりフィルム押込み孔4にパンチ5を圧入させることにより、フィルム基板1がフィルム押込み孔4に押し込まれる。
【0025】
同パンチ5には、その先端部分に、フィルム押込み孔4に圧入される略円筒状の凸部6を形成しており、同凸部6の寸法は、フィルム基板1の厚みをt1、フレーム2の厚みをt2、フィルム押込み孔4の直径をA、としたとき、略円筒状の高さHはH=t2、略円筒状の底円の直径BはB=A−2×t1としている。
【0026】
従って、前記パンチ5の凸部6をフィルム押込み孔4に圧入すると、フィルム基板1がパンチ5の凸部6によってフィルム押込み孔4に押し込まれることにより、フィルム基板1はフィルム押込み孔4周縁において引き伸ばされながら、パンチ5の凸部6に沿った凸部7を形成するとともに、フィルム押込み孔4の内面に圧接される。
【0027】
ここで、フィルム基板1に凸部7を形成するためのパンチ5の凸部6の寸法は、上記の寸法に限定するものではなく、フィルム基板1の厚みt 1や、フレーム2の厚みt 2、あるいは、フィルム押込み孔4の直径Aによっては、凸部7形成のための最適値が異なるため、フィルム基板1を固定する凸部7形成において、最適となるパンチ5の凸部6の寸法とすればよい。
【0028】
その後、パンチ5を引き抜く際に、同パンチ5をそのまま真上に引き上げただけでは、フィルム基板1に形成された凸部7が、パンチ5の凸部6とともに、フィルム押込み孔4から抜けることがあるので、図4に示すように、パンチ5を回転、または、回動させながら引き上げることによって、パンチ5のみを引き抜くことができる。
【0029】
上記のようにして、図5に示すように、フレーム2のフィルム押込み孔4に嵌合する凸部7をフィルム基板1に形成することによって、フィルム基板1をフレーム2に固定することができる。
【0030】
このとき、フィルム基板1は凸部7のフィルム押込み孔4への嵌合によりフレーム2に固定されているだけであるので、フィルム押込み孔4から凸部7を引き出す、あるいは、押し出すだけで、フレーム2からフィルム基板1を容易に分離することができるとともに、フレーム2は超音波洗浄等の簡単な洗浄処理を施すだけで再利用することができる。
【0031】
他の実施例として、フレーム2に配設されるフィルム押込み孔4の孔径は一種類だけでなく、数種類の孔径を使い分けてもよく、また、フレーム2周縁だけだけでなくフレーム2に穿設されている略矩形窓3間に形成してもよい。
【0032】
また、フレームの周縁には、位置決めや方向認識用の切り欠きや凹部等を形成しておいてもよい。
【0034】
【発明の効果】
本発明によれば、フィルム押込み孔が穿設されたフレーム上面にパッケージ基板となるフィルム基板を載置して、フィルム基板の上方よりパンチをフィルム押込み孔に圧入し、フィルム基板に凸部を形成するとともに、同凸部をフィルム押込み孔に嵌合させることにより、熱圧着テープなどの接着剤を使用せずに、フィルム基板をフレームに固定することができる。
【0035】
従って、フレームから不要となったフィルム基板を容易に剥がすことができるとともに、フレームは、超音波洗浄等の簡単な洗浄処理をするだけで、再使用が可能となり、フレームの購入量を削減することができ、製造コストを低減することができる。
【0036】
さらに、産業廃棄物の排出量も低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の説明図である。
【図2】本発明の断面説明図である。
【図3】本発明の断面説明図である。
【図4】本発明の断面説明図である。
【図5】本発明の要部断面図である。
【図6】従来の説明図である。
【図7】従来の側面説明図である。
【図8】従来の製造状態の側面説明図である。
【図9】従来の製造状態の斜視図による説明図である。
【符号の説明】
1 フィルム基板
2 フレーム
3 略矩形窓
4 フィルム押込み孔
5 パンチ
6 凸部
7 凸部
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor package including a film substrate using a film material as a substrate, and more particularly to a fixing method for fixing a film substrate with a frame.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in BGA type and CSP type semiconductor packages, ceramics, plastics, or the like are used as an insulating substrate, but a film material may be used for the purpose of reducing the thickness, weight, and cost.
[0003]
When a film material is used as a substrate, the substrate is too thin, so that it is likely to be deformed, and handling during transport and implementation of fine processing are difficult.
[0004]
Therefore, as shown in FIGS. 6 and 7, the film substrate 10 is thermocompression-bonded and fixed to a metal rectangular flat frame 20 using a thermocompression tape 30, thereby facilitating conveyance and the film substrate 10. Deformation and expansion / contraction are prevented, and manufacturing can be performed with high accuracy.
[0005]
At this time, a substantially rectangular window 40 is formed in the frame 20 at a portion where the semiconductor package is formed.
[0006]
In this way, the film substrate 10 fixed to the frame 20 is subjected to processing for conducting the front and back of the film substrate 10 at a position where the solder ball is disposed.
[0007]
Thereafter, wiring by a lead and a semiconductor element mounting portion are formed on the surface of the film substrate 10, the semiconductor element is mounted on the semiconductor element mounting portion, and the semiconductor element and the lead are connected by wire bonding or the like. The mold part 50 which seals and seals a semiconductor element, a lead | read | reed, and a wire with mold resin is formed (refer FIG. 8).
[0008]
Next, a solder ball is disposed on the back surface of the film substrate 10 and joined to the film substrate 10 by reflow, and then the film substrate 10 is cut along the outer periphery of the mold portion 50 as shown in FIG. Thus, a single BGA type or CSP type semiconductor package can be obtained.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
After the semiconductor package is manufactured as described above, since the film substrate is bonded to the frame after the semiconductor package is separated through a thermocompression tape, the frame and the film substrate must be completely separated. It was difficult.
[0010]
Therefore, all the frames to which the film substrate is bonded have been crushed and discarded as industrial waste.
[0011]
However, processing costs are added to the industrial waste, and a new frame must always be purchased, which increases the manufacturing cost.
[0012]
Therefore, a method that can easily recycle the frame has been desired.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, in the film substrate fixing method for fixing a film substrate to be a package substrate to a frame in which a plurality of substantially rectangular windows are formed at predetermined positions and a semiconductor package forming portion is provided, by the film substrate is bored a plurality of film pushing holes tucked respectively, by placing the film substrate to the frame upper surface, press-fitting the punch from above of the film substrate to the film pushing hole, the film to form a convex portion on the substrate, it is to St. provide fixing method of the film substrate, characterized in that to fix the same projections on fitted so the frame the film substrate to the film pushing hole.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In the present invention, a film material is used as the substrate of the semiconductor package, and the film material is used as the film substrate.
[0016]
Since the film material is thin, it is easily deformed and difficult to handle, and is used by being fixed to a metal rectangular flat frame.
[0017]
In the frame, a substantially rectangular window is formed in the semiconductor package forming portion, and a plurality of film pushing holes are formed in predetermined positions on the periphery of the frame.
[0018]
A film substrate is mounted on the upper surface of the frame, and a film substrate is pushed into the film pushing hole by press-fitting a punch into the film pushing hole from above the film substrate.
[0019]
The punch has a substantially cylindrical convex portion that is press-fitted into the film pressing hole at the tip of the punch, and the convex portion has a film pressing hole to be fitted with the film pressing hole across the film substrate. The projection is provided with dimensions that take into account the dimensions and the thickness of the film substrate.
[0020]
By pressing the convex portion into the film pressing hole, a convex portion that fits into the film pressing hole is formed on the film substrate.
[0021]
Therefore, the film substrate is fixed to the frame by fitting the convex portion formed on the film substrate into the film pressing hole formed in the frame.
[0022]
【Example】
Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0023]
As shown in FIG. 1, a rectangular plate 3 made of metal, particularly copper, which fixes a film material to be a film substrate 1, has a substantially rectangular window 3 formed in a portion where a semiconductor package is formed, Further, a plurality of film pushing holes 4 are formed in the peripheral edge portion of the frame 2.
[0024]
Then, the film substrate 1 is placed on the upper surface of the frame 2 and, as shown in FIGS. 2 and 3, the punch 5 is press-fitted into the film pressing hole 4 from above the film substrate 1, so that the film substrate 1 becomes the film pressing hole 4 Is pushed into.
[0025]
The punch 5 is formed with a substantially cylindrical convex portion 6 which is press-fitted into the film pushing hole 4 at the tip portion thereof. The dimension of the convex portion 6 is such that the thickness of the film substrate 1 is t1, and the frame 2 Where the thickness of the film push hole 4 is A and the diameter of the film pushing hole 4 is A, the substantially cylindrical height H is H = t2, and the diameter B of the substantially cylindrical bottom circle is B = A−2 × t1.
[0026]
Accordingly, when the convex portion 6 of the punch 5 is press-fitted into the film pushing hole 4, the film substrate 1 is pushed into the film pushing hole 4 by the convex portion 6 of the punch 5, so that the film substrate 1 is stretched at the periphery of the film pushing hole 4. As a result, a convex portion 7 is formed along the convex portion 6 of the punch 5 and is pressed against the inner surface of the film pushing hole 4.
[0027]
Here, the dimension of the convex part 6 of the punch 5 for forming the convex part 7 on the film substrate 1 is not limited to the above-mentioned dimension, but the thickness t 1 of the film substrate 1 and the thickness t 2 of the frame 2. Alternatively, since the optimum value for forming the convex portion 7 differs depending on the diameter A of the film pushing hole 4, the optimum size of the convex portion 6 of the punch 5 in forming the convex portion 7 for fixing the film substrate 1 do it.
[0028]
Thereafter, when the punch 5 is pulled out, the convex portion 7 formed on the film substrate 1 together with the convex portion 6 of the punch 5 may come off from the film pushing hole 4 only by pulling the punch 5 straight up. Therefore, as shown in FIG. 4, only the punch 5 can be pulled out by pulling the punch 5 while rotating or rotating.
[0029]
As described above, as shown in FIG. 5, the film substrate 1 can be fixed to the frame 2 by forming the projections 7 that fit into the film pushing holes 4 of the frame 2 on the film substrate 1.
[0030]
At this time, since the film substrate 1 is only fixed to the frame 2 by fitting the convex portion 7 to the film pushing hole 4, the frame 7 can be simply pulled out from the film pushing hole 4 or pushed out. The film substrate 1 can be easily separated from the frame 2, and the frame 2 can be reused only by performing a simple cleaning process such as ultrasonic cleaning.
[0031]
As another embodiment, not only one kind of hole diameter of the film pushing hole 4 disposed in the frame 2 but also several kinds of hole diameters may be used properly, and not only the peripheral edge of the frame 2 but also the frame 2 is perforated. You may form between the substantially rectangular windows 3 currently provided.
[0032]
In addition, notches and recesses for positioning and direction recognition may be formed on the periphery of the frame.
[0034]
【The invention's effect】
According to the present invention, a film substrate as a package substrate is placed on the upper surface of a frame in which a film pressing hole is formed, and a punch is press-fitted into the film pressing hole from above the film substrate to form a convex portion on the film substrate. At the same time, the film substrate can be fixed to the frame without using an adhesive such as a thermocompression bonding tape by fitting the convex portion into the film pressing hole.
[0035]
Therefore, the film substrate that is no longer needed can be easily peeled off from the frame, and the frame can be reused just by performing a simple cleaning process such as ultrasonic cleaning, reducing the amount of frame purchased. Manufacturing cost can be reduced.
[0036]
Furthermore, the amount of industrial waste discharged can also be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory sectional view of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view of the present invention.
FIG. 4 is an explanatory sectional view of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part of the present invention.
FIG. 6 is a conventional explanatory diagram.
FIG. 7 is an explanatory side view of the prior art.
FIG. 8 is a side view illustrating a conventional manufacturing state.
FIG. 9 is a perspective view of a conventional manufacturing state.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film substrate 2 Frame 3 Substantially rectangular window 4 Film pushing hole 5 Punch 6 Convex part 7 Convex part

Claims (1)

パッケージ基板となるフィルム基板 (1) を、所定位置に複数の略矩形窓 (3) を穿設して半導体パッケージ形成部を設けたフレーム (2) に固定するフィルム基板の固定方法において、
前記フレーム (2) の周縁には、前記フィルム基板 (1) がそれぞれ押し込められる複数のフィルム押込み孔 (4) を穿設し、
前記フレーム(2)上面に前記フィルム基板(1)を載置して、前記フィルム基板(1)上方よりパンチ(5)を前記フィルム押込み孔(4)に圧入することにより、前記フィルム基板(1)に凸部(7)を形成するとともに、同凸部(7)を前記フィルム押込み孔(4)に嵌合させて前記フィルム基板 (1) を前記フレーム (2) に固定することを特徴とするフィルム基板の固定方法。
In the film substrate fixing method for fixing a film substrate (1) to be a package substrate to a frame (2) provided with a semiconductor package forming portion by drilling a plurality of substantially rectangular windows (3) at predetermined positions ,
In the periphery of the frame (2), a plurality of film pressing holes (4) into which the film substrate (1) is respectively pressed are formed,
The film is placed a substrate (1) to the frame (2) upper surface, by press-fitting a punch (5) from above the film substrate (1) on the film pushing hole (4), the film substrate ( and forming a convex portion (7) 1), characterized in that fixed to the frame of the film substrate by the protrusion (7) is fitted to the film pushing hole (4) (1) (2) And fixing method of the film substrate.
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