JP3070563B2 - Tape-type semiconductor device assembling carrier and tape-type semiconductor device manufacturing method - Google Patents
Tape-type semiconductor device assembling carrier and tape-type semiconductor device manufacturing methodInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、TAB(Tape Au
tomated Bonding)テープを使用したBGA(Ball Gr
id Array)やCSP(Chip Size Package)などのテ
ープ型半導体装置に関する。特に、このようなテープ型
半導体装置の製造方法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a TAB (Tape Au
BGA (Ball Gr) using tomated bonding tape
The present invention relates to a tape type semiconductor device such as an id Array) and a CSP (Chip Size Package). In particular, it relates to a method for manufacturing such a tape-type semiconductor device.
【0002】[0002]
【背景の技術】一般に、テープ型半導体装置を製造する
場合、金属配線パターンが形成された長尺のTABテー
プ上に複数のベアチップ(半導体チップ)の搭載、ポッ
ティングによるチップの樹脂封止、外部端子の形成(半
田ボール付け)などを順次、TABテープを搬送しなが
ら連続して行う方法が実施されている。この方法はTA
Bテープを巻いた一方のリールから他方のリールへとT
ABテープを搬送させるので、専用の設備と大きな敷設
面積が必要になる。そのため従来では、長尺のTABテ
ープを一定の長さに切って短冊状のTABテープにし、
そのテープ上に複数のベアチップを搭載した後、チップ
の樹脂封止、半田ボール付けなどの工程を既存の設備で
行なう場合があった。図16は、複数のベアチップを搭
載した短冊状のTABテープを示したものである。2. Description of the Related Art Generally, when a tape-type semiconductor device is manufactured, a plurality of bare chips (semiconductor chips) are mounted on a long TAB tape on which a metal wiring pattern is formed, resin sealing of the chips by potting, and external terminals. (Continuous solder ball formation) and the like are sequentially performed while transporting a TAB tape. This method is TA
T from one reel wound with B tape to the other reel
Since the AB tape is transported, dedicated equipment and a large laying area are required. Therefore, conventionally, a long TAB tape is cut into a certain length to make a strip-shaped TAB tape,
After mounting a plurality of bare chips on the tape, there are cases where steps such as resin sealing of the chips and solder ball attachment are performed by existing equipment. FIG. 16 shows a strip-shaped TAB tape on which a plurality of bare chips are mounted.
【0003】ところが、図16に示すような短冊状のT
ABテープ1は薄い可撓性のテープであるため、製造工
程において取り扱いづらい、つまりハンドリング性が悪
いという問題点があった。However, a strip-shaped T as shown in FIG.
Since the AB tape 1 is a thin flexible tape, there is a problem that it is difficult to handle in the manufacturing process, that is, the handling property is poor.
【0004】さらに、TABテープ1にベアチップ2を
搭載した時やチップの樹脂封止時に、TABテープ1に
「しわ」、「弛み」が発生するという問題点もある。ま
た、「しわ」等で、テープの平坦度が損なわれたり、あ
るいはTABテープ上の金属配線パターンの位置精度を
低下すると、半田ボール付けができなくなる。何故な
ら、TABテープ上にベアチップの外部端子として半田
ボールを搭載する場合、多数個の半田ボールを一度に搭
載するからである。Further, when the bare chip 2 is mounted on the TAB tape 1 or when the chip is sealed with a resin, the TAB tape 1 has a problem that "wrinkles" and "slack" occur. Also, if the flatness of the tape is impaired due to "wrinkles" or the positional accuracy of the metal wiring pattern on the TAB tape is reduced, solder balls cannot be attached. This is because when solder balls are mounted on the TAB tape as external terminals of the bare chip, a large number of solder balls are mounted at one time.
【0005】そこで本発明者らは、短冊状のTABテー
プを使ってテープ型半導体装置を製造する場合の、ハン
ドリング性の向上、「しわ」等の除去について検討し
た。その結果、既存の設備に広く使用されているマガジ
ンでのローディングに対応できるように、短冊状のTA
Bテープを金属フレームに貼り付け、これによってハン
ドリング性を向上させるとともに、「しわ」等を矯正し
ようと考えた。Accordingly, the present inventors have studied the improvement of handling properties and the removal of "wrinkles" when manufacturing a tape-type semiconductor device using a strip-shaped TAB tape. As a result, a strip-shaped TA has been developed so that it can be loaded into a magazine that is widely used for existing equipment.
The B tape was stuck on a metal frame, thereby improving the handleability and correcting "wrinkles".
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、鋭意検
討の結果、短冊状のTABテープを単に金属フレームに
貼り付けるだけでは、ハンドリング性は向上するものの
次のような問題点が解決されないことが判明した。However, as a result of diligent studies, it has been found that merely sticking a strip-shaped TAB tape to a metal frame improves the handleability but does not solve the following problems. .
【0007】第一に、図17に示すように短冊状のTA
Bテープ1の外周を単に金属フレーム3に貼り付けた場
合、テープに「しわ」等をより多く発生させてしまうと
いう問題が生じた。この理由は、フレームにテープを接
着するとき、テープ表面に設けた熱可塑性樹脂からなる
接着層が潰れて外にはみ出し、これが「しわ」の原因に
なるからである。[0007] First, as shown in FIG.
When the outer periphery of the B tape 1 is simply pasted on the metal frame 3, a problem has occurred in that more "wrinkles" and the like are generated on the tape. The reason is that when the tape is adhered to the frame, the adhesive layer made of a thermoplastic resin provided on the tape surface is crushed and protrudes outside, which causes "wrinkles".
【0008】したがって、短冊状のTABテープを単に
金属フレームに貼り付けるだけでは、外部端子となる半
田ボールの搭載を妨げたり、配線パターンの寸法精度を
低下させたりする恐れがあるという問題点は依然として
残る。Therefore, there is still a problem that merely attaching the strip-shaped TAB tape to the metal frame may hinder the mounting of the solder balls as the external terminals and may reduce the dimensional accuracy of the wiring pattern. Remains.
【0009】第二に、短冊状のTABテープの外周全部
を金属フレームに貼り付けると、金属フレームのリサイ
クルが困難になるという問題点が生じる。この理由は、
例えば完成したテープ型半導体装置を、ダイシングによ
りテープから高精度に切り取る場合、ダイシングに使用
するブレードは極薄円形(直径φ30mm)で大きく、
幅を取るため、ダイシング時に金属フレームも切断して
しまう恐れがあるからである。このように金属フレーム
のリサイクルが困難になると、金属フレームの損失がそ
のまま製品コストに跳ね返り、低コスト化を妨げてしま
うという二次的な問題も生じる。Second, when the entire outer periphery of the strip-shaped TAB tape is attached to the metal frame, there is a problem that the recycling of the metal frame becomes difficult. The reason for this is
For example, when cutting a completed tape-type semiconductor device from a tape with high precision by dicing, the blade used for dicing is very thin and circular (diameter φ30 mm) and large.
This is because the metal frame may be cut at the time of dicing to take the width. When the recycling of the metal frame becomes difficult as described above, the secondary problem that the loss of the metal frame rebounds to the product cost as it is, which hinders cost reduction.
【0010】第三に、図18に示すようにヒーター4で
加熱しながらフレーム3とTABテープ1を貼り合わせ
るため、TABテープ1に対して金属フレーム3の方が
熱膨張係数が大きいと、テープに「しわ」が発生すると
いう問題点がある。この理由は、フレーム3及びTAB
テープ1が室温になった状態ではTABテープ1よりフ
レーム3の方が縮むからである。Third, as shown in FIG. 18, since the TAB tape 1 is bonded to the frame 3 while being heated by the heater 4, if the metal frame 3 has a larger thermal expansion coefficient than the TAB tape 1, There is a problem that "wrinkles" occur. This is because frame 3 and TAB
This is because when the tape 1 is at room temperature, the frame 3 shrinks more than the TAB tape 1.
【0011】本発明の目的は、上述した実情に鑑み、テ
ープ型半導体装置の製造時のハンドリング性を向上さ
せ、テープの「しわ」等による製造不良を無くし、リサ
イクルが可能なテープ型半導体装置組立用キャリア、お
よび製品不留まりの高い、テープ型半導体装置の製造方
法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a tape-type semiconductor device assembly capable of improving the handleability at the time of manufacturing a tape-type semiconductor device, eliminating manufacturing defects due to tape "wrinkling", and recyclable. It is an object of the present invention to provide a carrier for tape and a method for manufacturing a tape-type semiconductor device with high product non-stop.
【0012】[0012]
【発明を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第一の発明は、TABテープに半導体チップを搭載
してなるテープ型半導体装置の組立用キャリアであっ
て、前記キャリアは金属薄板からなる金属フレームと、
該金属フレームの内側に突出した、短冊状の前記TAB
テープを貼り付けるための複数の取付部とから構成され
た事を特徴とする。このような構成によれば、貼付部を
金属フレームの内側に突出させたことにより、取付部に
TABテープが貼り付けられてもTABテープの外周縁
から金属フレームを遠ざけることができる。よって、T
ABテープ上に完成したテープ型半導体装置をTABテ
ープから切り取るダイシング工程においてダイサーブレ
ードが金属フレームに当たらない関係が容易に実現で
き、キャリアのリサイクルが可能となる。また、TAB
テープが金属フレームに取り付けられたため、半導体装
置の組立工程において非常にハンドリング性が向上す
る。さらに、既存の半導体製造装置に広く採用されてい
るマガジン方式にも対応しやすい。In order to achieve the above object, a first invention is a carrier for assembling a tape type semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a TAB tape, wherein the carrier is a thin metal plate. And a metal frame consisting of
The TAB in a strip shape protruding inside the metal frame.
And a plurality of attachment portions for attaching a tape. According to such a configuration, the metal frame can be kept away from the outer peripheral edge of the TAB tape even when the TAB tape is bonded to the mounting portion by protruding the sticking portion inside the metal frame. Therefore, T
In the dicing step of cutting the tape-type semiconductor device completed on the AB tape from the TAB tape, the relationship that the dicer blade does not hit the metal frame can be easily realized, and the carrier can be recycled. Also, TAB
Since the tape is attached to the metal frame, the handling is greatly improved in the process of assembling the semiconductor device. Further, it is easy to cope with a magazine system widely used in existing semiconductor manufacturing apparatuses.
【0013】また第二の発明は、第一の発明によるキャ
リアの構造に加えて、キャリアの熱膨張係数がTABテ
ープの熱膨張係数よりも小さいテープ型半導体装置組立
用キャリアを提供する。According to a second invention, in addition to the structure of the carrier according to the first invention, there is provided a tape-type semiconductor device assembling carrier in which the coefficient of thermal expansion of the carrier is smaller than that of the TAB tape.
【0014】このようなキャリアを用いてテープ型半導
体装置を製造する場合は、まず、前記キャリア及び短冊
状のTABテープとを加熱しながら、前記キャリアの取
付部に前記短冊状のTABテープの外周部を貼り付け
る。貼付け後、キャリア及びTABテープが室温になる
と、キャリアよりもTABテープの方が熱膨張係数が大
きいためにキャリアよりTABテープの方が縮み、結果
としてキャリアの取付部がTABテープを外側に引っ張
っている状態になる。これにより、貼付け後のテープに
「しわ」が発生しない。When manufacturing a tape-type semiconductor device using such a carrier, first, the outer periphery of the strip-shaped TAB tape is attached to the mounting portion of the carrier while heating the carrier and the strip-shaped TAB tape. Paste the part. When the carrier and the TAB tape reach room temperature after application, the TAB tape has a larger coefficient of thermal expansion than the carrier, so the TAB tape shrinks more than the carrier, and as a result, the mounting portion of the carrier pulls the TAB tape outward. State. As a result, "wrinkles" do not occur on the tape after application.
【0015】次に、前記キャリアに貼り付けられた前記
短冊状のTABテープ上に半導体チップを実装する。こ
のとき、TABテープは取付部により引っ張られている
状態なので、チップマウント時の熱による「しわ」の発
生は抑えられる。Next, a semiconductor chip is mounted on the strip-shaped TAB tape attached to the carrier. At this time, since the TAB tape is being pulled by the mounting portion, generation of “wrinkles” due to heat during chip mounting is suppressed.
【0016】次に、前記実装された半導体チップを液状
樹脂で封止する。このときも、TABテープは取付部に
より引っ張られている状態なので、塗布した液状樹脂を
加熱硬化する時の「しわ」の発生は抑えられる。Next, the mounted semiconductor chip is sealed with a liquid resin. Also at this time, since the TAB tape is in a state of being pulled by the attachment portion, occurrence of “wrinkles” when the applied liquid resin is heated and cured can be suppressed.
【0017】次に、前記短冊状のTABテープ上に、テ
ープ型半導体装置の外部端子となる複数個の半田ボール
を一度に載置する。このとき、TABテープは取付部に
より引っ張られている状態で平坦度を保っているため、
複数個の半田ボールが良好に置かれる。Next, a plurality of solder balls serving as external terminals of the tape type semiconductor device are mounted on the strip-shaped TAB tape at a time. At this time, since the TAB tape keeps the flatness while being pulled by the mounting portion,
A plurality of solder balls are well placed.
【0018】最後に、以上の工程を経て完成したテープ
型半導体装置をダイシングによって前記テープから切り
取る。このとき、ダイシングによって切断するため、完
成したテープ型半導体装置の外形寸法の精度が非常に高
いものとなる。Finally, the tape-type semiconductor device completed through the above steps is cut from the tape by dicing. At this time, since the semiconductor device is cut by dicing, the accuracy of the external dimensions of the completed tape-type semiconductor device becomes very high.
【0019】また第三の発明は、第一の発明によるキャ
リアの構造に加えて、前記取付部が湾曲しており、前記
取付部の先端部が前記TABテープを貼り付けるために
平坦に形成されているテープ型半導体装置組立用キャリ
アを提供する。このようなキャリアを用いてテープ型半
導体装置を製造する場合も、第二の発明によるキャリア
を用いた製法と同様にチップ実装工程、チップ封止工
程、半田ボール付け工程、ダイシング工程を行なう。但
し、この場合のテープ取付工程では、前記キャリアの湾
曲した取付部を一時的に前記金属フレームの内側に延ば
した状態で、前記キャリアの取付部に前記短冊状のTA
Bテープの外周部を貼り付ける。これにより、製造中、
TABテープを常に平坦に張った状態にすることができ
る。According to a third aspect of the present invention, in addition to the structure of the carrier according to the first aspect, the mounting portion is curved, and a tip portion of the mounting portion is formed flat for attaching the TAB tape. The present invention provides a tape-type semiconductor device assembling carrier. When a tape-type semiconductor device is manufactured using such a carrier, a chip mounting step, a chip sealing step, a solder ball attaching step, and a dicing step are performed in the same manner as in the manufacturing method using the carrier according to the second invention. However, in the tape attaching step in this case, the strip-shaped TA is attached to the attaching portion of the carrier while the curved attaching portion of the carrier is temporarily extended inside the metal frame.
Attach the outer periphery of the B tape. Due to this, during production,
The TAB tape can be always stretched flat.
【0020】また第四の発明は、第一の発明によるキャ
リアの構造に加えて、前記取付部が湾曲しており、前記
取付部の先端部が前記TABテープのスプロケットホー
ルに引っ掛かるように折り曲げられているテープ型半導
体装置組立用キャリアを提供する。このようなキャリア
を用いてテープ型半導体装置を製造する場合も、第二の
発明によるキャリアを用いた製法と同様にチップ実装工
程、チップ封止工程、半田ボール付け工程、ダイシング
工程を行なう。但し、この場合のテープ取付工程では、
前記キャリアの湾曲した取付部を一時的に前記金属フレ
ームの内側に延ばして前記短冊状のTABテープのスプ
ロケットホールに前記取付部の先端部を引っ掛け、前記
キャリアの取付部に前記短冊状のTABテープの外周部
を取付ける。これにより、製造中、TABテープを常に
平坦に張った状態にすることができる。According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the structure of the carrier according to the first aspect of the present invention, the mounting portion is curved, and a tip of the mounting portion is bent so as to be hooked on a sprocket hole of the TAB tape. The present invention provides a tape-type semiconductor device assembling carrier. When a tape-type semiconductor device is manufactured using such a carrier, a chip mounting step, a chip sealing step, a solder ball attaching step, and a dicing step are performed in the same manner as in the manufacturing method using the carrier according to the second invention. However, in the tape mounting process in this case,
The curved mounting portion of the carrier is temporarily extended to the inside of the metal frame, the tip of the mounting portion is hooked on a sprocket hole of the strip-shaped TAB tape, and the strip-shaped TAB tape is mounted on the mounting portion of the carrier. Attach the outer periphery of. Thereby, the TAB tape can always be kept flat during the manufacturing.
【0021】[0021]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0022】(第1の実施の形態)図1は、本発明の第
1の実施形態であるテープ型半導体装置組立用キャリア
に、短冊状のテープが取付けられた状態を表した斜視
図、図2は図1のA−A線断面図である。(First Embodiment) FIG. 1 is a perspective view showing a state in which a strip-shaped tape is attached to a tape-type semiconductor device assembling carrier according to a first embodiment of the present invention. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【0023】図1及び図2で示す形態のテープ型半導体
装置組立用キャリア10は、金属薄板からなる金属フレ
ーム11と、金属フレーム11の内側に突出した、短冊
状のTABテープ1を貼り付けるための複数の取付部1
2とから構成されている。短冊状のTABテープ1には
予め金属配線パターン(不図示)が形成されている。金
属フレーム11と各々の貼付部12とは一体に形成され
ている。各々の貼付部12は、後述するダイシング工程
で、完成したテープ型半導体装置(例えば、BGAやC
SP)をテープから切り取るときにダイサーブレードが
当たらない箇所に形成されている。金属フレーム11
は、取付部12にTABテープ1が貼り付けられてもT
ABテープ1の外周縁との間に隙間を有しており、ダイ
シング時のブレードが当たらない位置にある。A tape type semiconductor device assembling carrier 10 of the form shown in FIGS. 1 and 2 is used for attaching a metal frame 11 made of a thin metal plate and a strip-shaped TAB tape 1 protruding inside the metal frame 11. A plurality of mounting parts 1
And 2. A metal wiring pattern (not shown) is formed on the strip-shaped TAB tape 1 in advance. The metal frame 11 and each attaching part 12 are formed integrally. Each of the affixing portions 12 is a tape type semiconductor device (for example, BGA or C
SP) is formed at a position where the dicer blade does not hit when cutting the tape from the tape. Metal frame 11
Means that even if the TAB tape 1 is attached to the
There is a gap between the outer peripheral edge of the AB tape 1 and a position where the blade does not hit during dicing.
【0024】また、半導体装置組立用キャリア10の熱
膨張係数は、貼り付けられる短冊状のTABテープ1の
それよりも小さいものになっている。例えば、短冊状の
TABテープ1の基材をポリイミドとした場合、金属フ
レーム11の材料に銅や42アロイ(42Ni−Fe合
金)を選択する(ポリイミドの熱膨張係数300〜40
0ppm、42アロイの熱膨張係数50〜55pp
m)。The coefficient of thermal expansion of the semiconductor device assembling carrier 10 is smaller than that of the strip-shaped TAB tape 1 to be attached. For example, when the base material of the strip-shaped TAB tape 1 is polyimide, copper or a 42 alloy (42Ni—Fe alloy) is selected as the material of the metal frame 11 (the coefficient of thermal expansion of the polyimide is 300 to 40).
0 ppm, coefficient of thermal expansion of 42 alloy 50 to 55 pp
m).
【0025】次に、上記のテープ型半導体装置組立用キ
ャリア10を用いた、テープ型半導体装置の製造方法に
ついて説明する。図3〜図7の各図は本実施形態による
テープ型半導体装置の製造工程を説明するための工程図
である。Next, a method of manufacturing a tape-type semiconductor device using the tape-type semiconductor device assembling carrier 10 will be described. 3 to 7 are process diagrams for explaining the manufacturing process of the tape-type semiconductor device according to the present embodiment.
【0026】まず、図3に示すように、短冊状のTAB
テープ1を下側のヒーターブロック13に載置する。そ
して、TABテープ1の外周部にテープ型半導体装置組
立用キャリア10の取付部12を位置合わせする。その
後、上側のヒーターブロック13を下降させ、上下のヒ
ーターブロック13で加熱しながらテープ型半導体装置
組立用キャリア10の取付部12にTABテープ1を貼
り合わせる。このとき、TABテープ1上には接着材と
して熱可塑性樹脂層(例えばポリイミド)が形成されて
いる。First, as shown in FIG.
The tape 1 is placed on the lower heater block 13. Then, the mounting portion 12 of the tape-type semiconductor device assembling carrier 10 is aligned with the outer peripheral portion of the TAB tape 1. After that, the upper heater block 13 is lowered, and the TAB tape 1 is attached to the mounting portion 12 of the tape-type semiconductor device assembling carrier 10 while being heated by the upper and lower heater blocks 13. At this time, a thermoplastic resin layer (for example, polyimide) is formed on the TAB tape 1 as an adhesive.
【0027】その後、キャリア10及びTABテープ1
が室温になった状態では、テープ型半導体装置組立用キ
ャリア10よりもTABテープ1の方が熱膨張係数が大
きいためにキャリア10よりTABテープ1の方が縮
み、結果としてキャリア10の取付部12がTABテー
プ1を外側に引っ張っている状態になる。したがって、
接着材による「しわ」がテープに発生しない。Then, the carrier 10 and the TAB tape 1
Is at room temperature, the TAB tape 1 has a larger coefficient of thermal expansion than the tape-type semiconductor device assembling carrier 10, so that the TAB tape 1 contracts more than the carrier 10, and as a result, the mounting portion 12 of the carrier 10 Is pulling the TAB tape 1 outward. Therefore,
No "wrinkles" on the tape due to the adhesive.
【0028】次に、上記のようにTABテープ1を貼り
付けたキャリア10を図4に示すマガジン14に複数個
収納する。キャリア10は、図4に示すようにローダー
側のマガジン14内から一枚取り出され、ハンドラー1
5でTABテープ1上にベアチップ2が搭載される。こ
のようなチップマウントの際にはTABテープ1上の熱
可塑性樹脂を熱で溶かしてTABテープ1にベアチップ
2を接着している。その後、TABテープ1上の所望の
金属配線パターン(不図示)とベアチップ2の表面電極
とがフェースダウンボンディングによって接続される。
ボンディング終了後、複数個のベアチップ2を実装した
テープ1が貼り付けられたキャリア10は、アンローダ
ー側のマガジン14内に収納される。Next, a plurality of carriers 10 to which the TAB tape 1 has been attached as described above are stored in a magazine 14 shown in FIG. The carrier 10 is taken out from the loader side magazine 14 as shown in FIG.
At 5, the bare chip 2 is mounted on the TAB tape 1. In such a chip mounting, the bare chip 2 is adhered to the TAB tape 1 by melting the thermoplastic resin on the TAB tape 1 by heat. Thereafter, a desired metal wiring pattern (not shown) on the TAB tape 1 and a surface electrode of the bare chip 2 are connected by face-down bonding.
After the bonding is completed, the carrier 10 to which the tape 1 on which the plurality of bare chips 2 are mounted is attached is stored in the magazine 14 on the unloader side.
【0029】次に、図5に示すように、ベアチップ2の
裏面を除いてTABテープ1上にシリコーン系又はエポ
キシ系の樹脂17がシリンジ16から塗布され、ベアチ
ップ2の側面が封止される。ここで、ベアチップ2の裏
面を封止しないのは、ユーザーが必要に応じて放熱部品
を取付けられるようにユーザー側の便宜を図ったためで
ある。このようなポッティング工程でも、図4に示した
ベアチップ実装工程と同様、ローダー側のマガジンから
キャリア10が一枚取り出され、ポッティングが終了す
ると、アンローダー側のマガジンにキャリア10が収納
される。また、キャリア10のTABテープ1は取付部
12により外側に引っ張られている状態なので、塗布し
た液状樹脂を加熱硬化する時の「しわ」の発生が抑えら
れる。Next, as shown in FIG. 5, a silicone-based or epoxy-based resin 17 is applied from the syringe 16 on the TAB tape 1 except for the back surface of the bare chip 2, and the side surface of the bare chip 2 is sealed. Here, the reason why the back surface of the bare chip 2 is not sealed is that the convenience of the user is provided so that the user can attach a heat radiation component as needed. In such a potting step, as in the bare chip mounting step shown in FIG. 4, one carrier 10 is taken out from the magazine on the loader side, and when the potting is completed, the carrier 10 is stored in the magazine on the unloader side. In addition, since the TAB tape 1 of the carrier 10 is pulled outward by the attachment portion 12, the occurrence of "wrinkles" when the applied liquid resin is heated and cured can be suppressed.
【0030】次に、図6に示すように、キャリア10が
裏返しされ、TABテープ1におけるベアチップ2が実
装された面と反対側面に、テープ型半導体装置の外部端
子となる複数個の半田ボールが一度に載置される。この
ような半田ボール付け工程においても、ローダー側のマ
ガジンからキャリア10が一枚取り出され、半田ボール
付けが終了すると、アンローダー側のマガジンにキャリ
ア10が収納される。また、キャリア10のTABテー
プ1は「しわ」が無い平坦な面を保った状態にあるの
で、半田ボールの載置が容易に行なえる。Next, as shown in FIG. 6, the carrier 10 is turned over, and a plurality of solder balls serving as external terminals of the tape type semiconductor device are provided on the side of the TAB tape 1 opposite to the side on which the bare chip 2 is mounted. Placed at once. Also in such a solder ball attaching process, one carrier 10 is taken out from the magazine on the loader side, and when the solder ball attaching is completed, the carrier 10 is stored in the magazine on the unloader side. In addition, since the TAB tape 1 of the carrier 10 is in a state of maintaining a flat surface without “wrinkles”, mounting of the solder balls can be easily performed.
【0031】最後に、図7に示すように極薄円形のブレ
ード20によって、上述の工程を経て完成したテープ型
半導体装置21がTABテープ1から切り取られ、トレ
ー22に置かれる。このようなダイシング工程では、ロ
ーダー側のマガジン14からキャリア10が一枚取り出
され、完成したテープ型半導体装置21の各々が所望の
パッケージ外形に切断される。キャリア10の金属フレ
ーム11及び取付部12はダイシング時のブレードが当
たらない位置にあるため、キャリア10は破損せずに再
利用することができる。また、半導体製造分野における
通常のダイシング装置は切断箇所を画像認識しながらブ
レードを可動するため、完成したテープ型半導体装置2
1の外形寸法の精度が非常に高い。Finally, as shown in FIG. 7, the tape-type semiconductor device 21 completed through the above-described steps is cut out of the TAB tape 1 by an ultra-thin circular blade 20 and placed on a tray 22. In such a dicing process, one carrier 10 is taken out of the magazine 14 on the loader side, and each of the completed tape-type semiconductor devices 21 is cut into a desired package outer shape. Since the metal frame 11 and the mounting portion 12 of the carrier 10 are located at positions where the blades do not hit during dicing, the carrier 10 can be reused without being damaged. In addition, a normal dicing apparatus in the semiconductor manufacturing field moves a blade while recognizing a cut portion as an image.
1. The accuracy of the outer dimensions is very high.
【0032】(第2の実施の形態)図8は、本発明の第
2の実施形態であるテープ型半導体装置組立用キャリア
に、短冊状のテープが取付けられた状態を表した斜視
図、図9は図8のB−B線断面図、図10は本発明の第
2の実施形態であるテープ型半導体装置組立用キャリア
の変形例を最もよく表した断面図である。(Second Embodiment) FIG. 8 is a perspective view showing a state in which a strip-shaped tape is attached to a tape-type semiconductor device assembling carrier according to a second embodiment of the present invention. 9 is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 8, and FIG. 10 is a cross-sectional view that best illustrates a modification of the tape-type semiconductor device assembling carrier according to the second embodiment of the present invention.
【0033】図8及び図9で示す形態のテープ型半導体
装置組立用キャリア30は、金属薄板からなる金属フレ
ーム31と、金属フレーム31の内側に突出した、短冊
状のTABテープ1を取付けるための複数の取付部32
とから構成されている。短冊状のTABテープ1には予
め金属配線パターンが形成されている。金属フレーム3
1と各々の取付部32とは一体に形成されている。各々
の取付部32は湾曲しており、取付部32の先端部32
aのみがTABテープ1を貼り付けるために平坦に形成
されている。特に第1の実施形態とは、この取付部32
の形状が異なっている。なお、図9には取付部32の先
端部32aが平坦である場合を示したが、これに限ら
ず、取付部32は図10に示すような形状にしてもよ
い。すなわち、短冊状のTABテープ1が、図10に示
すようにスプロケットホール33を有する場合、取付部
32の先端部32bはスプロケットホール33に引っ掛
かるように折り曲げられていてもよい。A carrier 30 for assembling a tape type semiconductor device of the form shown in FIGS. 8 and 9 is for mounting a metal frame 31 made of a thin metal plate and a strip-shaped TAB tape 1 protruding inside the metal frame 31. Multiple mounting parts 32
It is composed of A metal wiring pattern is formed on the strip-shaped TAB tape 1 in advance. Metal frame 3
1 and each mounting part 32 are formed integrally. Each mounting portion 32 is curved, and a tip portion 32 of the mounting portion 32 is provided.
Only a is formed flat for attaching the TAB tape 1. In particular, the first embodiment refers to the mounting portion 32
Are different in shape. Although FIG. 9 shows a case where the distal end portion 32a of the mounting portion 32 is flat, the present invention is not limited to this, and the mounting portion 32 may have a shape as shown in FIG. That is, when the strip-shaped TAB tape 1 has a sprocket hole 33 as shown in FIG.
【0034】また、各々の取付部32は、後述するダイ
シング工程で、完成したテープ型半導体装置をテープか
ら切り取るときにダイサーブレードが当たらない箇所に
形成されている。金属フレーム31は、取付部32にT
ABテープ1が貼付け、あるいは引っ掛けられてもTA
Bテープ1の外周縁との間に隙間を有しており、ダイシ
ング時のブレードが当たらない位置にある。Each of the mounting portions 32 is formed at a location where the dicer blade does not come into contact with the completed tape-type semiconductor device when the completed tape-type semiconductor device is cut from the tape in a dicing process described later. The metal frame 31 has a T
Even if the AB tape 1 is stuck or hooked, TA
There is a gap between the outer peripheral edge of the B tape 1 and the blade is not in contact with the blade during dicing.
【0035】次に、上記のテープ型半導体装置組立用キ
ャリア30を用いた、テープ型半導体装置の製造方法に
ついて説明する。図11〜図15の各図は本形態による
テープ型半導体装置の製造工程を説明するための工程図
である。Next, a method of manufacturing a tape-type semiconductor device using the tape-type semiconductor device assembling carrier 30 will be described. 11 to 15 are process diagrams for explaining the manufacturing process of the tape-type semiconductor device according to the present embodiment.
【0036】まず、図11に示すように、短冊状のTA
Bテープ1を下側のヒーターブロック13に載置する。
そして、TABテープ1の外周部にテープ型半導体装置
組立用キャリア30の取付部32の先端部32aを位置
合わせする。その後、上側のヒーターブロック13を下
降させて、上下のヒーターブロック13間にキャリア3
0とTABテープ1とを挟む。このとき、キャリア10
の湾曲した取付部32が金属フレーム31の内側に一時
的に延びる。この状態で、上下のヒーターブロック13
で加熱しながらテープ型半導体装置組立用キャリア30
の取付部32にTABテープ1を貼り合わせる。なお、
TABテープ1上には接着材として熱可塑性樹脂層(例
えばポリイミド)が形成されている。First, as shown in FIG.
The B tape 1 is placed on the lower heater block 13.
Then, the leading end 32a of the mounting portion 32 of the tape-type semiconductor device assembling carrier 30 is aligned with the outer peripheral portion of the TAB tape 1. Thereafter, the upper heater block 13 is lowered, and the carrier 3 is placed between the upper and lower heater blocks 13.
0 and the TAB tape 1. At this time, the carrier 10
The curved mounting portion 32 temporarily extends inside the metal frame 31. In this state, the upper and lower heater blocks 13
Semiconductor device assembling carrier 30 while heating with
The TAB tape 1 is attached to the mounting portion 32 of the above. In addition,
On the TAB tape 1, a thermoplastic resin layer (for example, polyimide) is formed as an adhesive.
【0037】その後、キャリア30がヒーターブロック
13間から取り出されると、キャリア30の湾曲した取
付部32がそのばね性により元の状態に戻ろうとし、結
果としてキャリア30の取付部32が引張りばねのよう
に作用して、TABテープ1を外側に引っ張っている状
態になる。したがって、接着材による「しわ」がテープ
に発生しない。Thereafter, when the carrier 30 is taken out from between the heater blocks 13, the curved mounting portion 32 of the carrier 30 attempts to return to its original state due to its spring property, and as a result, the mounting portion 32 of the carrier 30 becomes a tension spring. Thus, the TAB tape 1 is pulled outward. Therefore, "wrinkles" due to the adhesive do not occur on the tape.
【0038】ただし、図10に示すように、短冊状のT
ABテープ1がスプロケットホール33を有する場合
は、キャリア30の湾曲した取付部32をそのばね性に
対抗して金属フレーム31の内側へ一時的に延ばし、取
付部32の先端部32bをスプロケットホール33に引
っ掛け、キャリア30にTABテープ1を取付ける。こ
れにより、「しわ」が発生しないように、キャリア30
の取付部32によりTABテープ1を外側に引張ってい
る状態にする。However, as shown in FIG.
When the AB tape 1 has a sprocket hole 33, the curved attachment portion 32 of the carrier 30 is temporarily extended to the inside of the metal frame 31 to oppose its spring property, and the distal end portion 32b of the attachment portion 32 is attached to the sprocket hole 33. And attach the TAB tape 1 to the carrier 30. As a result, the carrier 30 is prevented from wrinkling.
The TAB tape 1 is pulled outward by the attaching portion 32 of the above.
【0039】次に、上記のようにTABテープ1を貼り
付けたキャリア30を図12に示すマガジン14に複数
個収納する。キャリア30は、図12に示すようにロー
ダー側のマガジン14内から一枚取り出され、ハンドラ
ー15でテープ1上にベアチップ2が搭載される。この
ようなチップマウントの際にはTABテープ1上の熱可
塑性樹脂を熱で溶かしてTABテープ1にベアチップ2
を接着している。このときも、キャリア30のTABテ
ープ1は取付部32により外側に引っ張られている状態
なので、チップマウント時の熱による「しわ」の発生は
抑えられる。その後、TABテープ1上の所望の金属配
線パターン(不図示)とベアチップ2の表面電極とがフ
ェースダウンボンディングによって接続される。ボンデ
ィング終了後、複数個のベアチップ2を実装したTAB
テープ1が貼り付けられたキャリア30は、アンローダ
ー側のマガジン14内に収納される。Next, a plurality of carriers 30 to which the TAB tape 1 has been attached as described above are stored in the magazine 14 shown in FIG. As shown in FIG. 12, one carrier 30 is taken out of the magazine 14 on the loader side, and the bare chip 2 is mounted on the tape 1 by the handler 15. In such a chip mounting, the thermoplastic resin on the TAB tape 1 is melted by heat and the bare chip 2 is attached to the TAB tape 1.
Is glued. Also at this time, since the TAB tape 1 of the carrier 30 is pulled outward by the mounting portion 32, generation of "wrinkles" due to heat at the time of chip mounting is suppressed. Thereafter, a desired metal wiring pattern (not shown) on the TAB tape 1 and a surface electrode of the bare chip 2 are connected by face-down bonding. After bonding, TAB with multiple bare chips 2 mounted
The carrier 30 to which the tape 1 is attached is stored in the magazine 14 on the unloader side.
【0040】次に、図13に示すように、ベアチップ2
の裏面を除いてTABテープ1上にシリコーン系又はエ
ポキシ系の樹脂17がシリンジ16から塗布され、ベア
チップ2の側面が封止される。ここで、ベアチップ2の
裏面を封止しないのは、ユーザーが必要に応じて放熱部
品を取付けられるようにユーザー側の便宜を図ったため
である。このようなポッティング工程でも、図12に示
したベアチップ実装工程と同様、マガジン方式でキャリ
ア30が供給、排出される。また、キャリア30のTA
Bテープ1は取付部32により外側に引っ張られている
状態なので、塗布した液状樹脂を加熱硬化する時の「し
わ」の発生が抑えられる。Next, as shown in FIG.
A silicone-based or epoxy-based resin 17 is applied from the syringe 16 on the TAB tape 1 except for the back surface of the bare chip 2, and the side surface of the bare chip 2 is sealed. Here, the reason why the back surface of the bare chip 2 is not sealed is that the convenience of the user is provided so that the user can attach a heat radiation component as needed. Also in such a potting step, the carrier 30 is supplied and discharged in a magazine manner, similarly to the bare chip mounting step shown in FIG. Also, the TA of the carrier 30
Since the B tape 1 is pulled outward by the mounting portion 32, generation of “wrinkles” when the applied liquid resin is heated and cured can be suppressed.
【0041】次に、図14に示すように、キャリア30
が裏返しされ、TABテープ1におけるベアチップ2が
実装された面と反対側面に、テープ型半導体装置の外部
端子となる複数個の半田ボールが一度に載置される。こ
のような半田ボール付け工程においても、マガジン方式
でキャリア30が供給、排出される。また、キャリア3
0のTABテープ1は「しわ」が無い平坦な面を保った
状態にあるので、半田ボールの載置が容易に行なえる。Next, as shown in FIG.
Are turned upside down, and a plurality of solder balls serving as external terminals of the tape-type semiconductor device are mounted on the TAB tape 1 on the side opposite to the side on which the bare chip 2 is mounted. Also in such a solder ball attaching process, the carrier 30 is supplied and discharged in a magazine system. Carrier 3
Since the TAB tape 0 has a flat surface without "wrinkles", the solder balls can be easily mounted.
【0042】最後に、図15に示すように円形のブレー
ド20によって、上述の工程を経て完成したテープ型半
導体装置21がTABテープ1から切り取られ、トレー
22に置かれる。このようなダイシング工程では、ロー
ダー側のマガジン14からキャリア30が一枚取り出さ
れ、完成したテープ型半導体装置21の各々が所望のパ
ッケージ外形に切断される。キャリア30の金属フレー
ム31及び取付部32はダイシング時のブレードが当た
らない位置にあるため、キャリア30は破損せずに再利
用することができる。また、半導体製造分野における通
常のダイシング装置は切断箇所を画像認識しながらブレ
ードを可動するため、完成したテープ型半導体装置21
の外形寸法の精度が非常に高い。Finally, as shown in FIG. 15, the tape-type semiconductor device 21 completed through the above-described steps is cut from the TAB tape 1 by the circular blade 20 and placed on the tray 22. In such a dicing step, one carrier 30 is taken out of the magazine 14 on the loader side, and each of the completed tape-type semiconductor devices 21 is cut into a desired package outer shape. Since the metal frame 31 and the mounting portion 32 of the carrier 30 are located at positions where the blade does not contact during dicing, the carrier 30 can be reused without being damaged. Further, a normal dicing apparatus in the semiconductor manufacturing field moves a blade while recognizing a cut portion as an image.
Very high accuracy of external dimensions.
【0043】[0043]
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、以下に記
載する効果を奏する。According to the present invention described above, the following effects can be obtained.
【0044】請求項1及び2に係る発明では、短冊状の
TABテープを貼り付けるための貼付部を金属フレーム
の内側に突出させたことにより、TABテープ上に完成
したテープ型半導体装置をTABテープから切り取るダ
イシング工程においてダイサーブレードが金属フレーム
に当たらない関係が容易に実現できるので、キャリアの
リサイクルが可能となる。また、TABテープを金属フ
レームに取り付ける事により、半導体装置の組立工程に
おいて非常にハンドリング性が向上する。さらに、既存
の半導体製造装置に広く採用されているマガジン方式に
よってキャリアを製造装置に供給、排出させる事ができ
る。According to the first and second aspects of the present invention, the tape-type semiconductor device completed on the TAB tape is formed by projecting the sticking portion for sticking the strip-shaped TAB tape inside the metal frame. In the dicing step of cutting from the metal frame, the relationship that the dicer blade does not hit the metal frame can be easily realized, so that the carrier can be recycled. Further, by attaching the TAB tape to the metal frame, the handling property is greatly improved in the process of assembling the semiconductor device. Further, the carrier can be supplied to and discharged from the manufacturing apparatus by a magazine method widely used in existing semiconductor manufacturing apparatuses.
【0045】上記請求項1及び2に係る発明の効果に加
えて、請求項3及び4に係る発明では、テープの「し
わ」を無くすためにTABテープとキャリアとの熱膨張
係数差を特に意識することなく、TABテープとキャリ
アの材料を自由に設定することができる。In addition to the effects of the first and second aspects of the present invention, in the third and fourth aspects of the present invention, the difference in the coefficient of thermal expansion between the TAB tape and the carrier is particularly considered in order to eliminate "wrinkles" in the tape. The material of the TAB tape and the carrier can be freely set without performing the above.
【0046】請求項5に係る発明では、請求項2に記載
した、TABテープよりも熱膨張係数を大きくしたキャ
リアを用い、キャリア及び短冊状のTABテープを加熱
しながら貼り付けると、室温状態ではキャリアよりTA
Bテープの方が縮み、結果としてキャリアの取付部がT
ABテープを外側に引っ張っている状態になる。これに
より、テープ型半導体装置の製造段階で、常にTABテ
ープを平坦に張った状態にすることができる。よって、
テープの「しわ」等による製造不良が生じない。According to the fifth aspect of the present invention, when the carrier having a larger thermal expansion coefficient than the TAB tape according to the second aspect is used and the carrier and the strip-shaped TAB tape are affixed while being heated, at room temperature, TA from carrier
The B tape shrinks, and as a result, the mounting portion of the carrier is T
The AB tape is pulled outward. This allows the TAB tape to be always stretched flat at the stage of manufacturing the tape-type semiconductor device. Therefore,
There is no production failure due to "wrinkles" of the tape.
【0047】請求項6に係る発明では、請求項3に記載
したように取付部を湾曲させ、取付部の先端部のみをT
ABテープを貼り付けるために平坦に形成したキャリア
を用い、湾曲した取付部を一時的に金属フレームの内側
に延ばした状態で、取付部に短冊状のTABテープの外
周部を貼り付けると、キャリアの取付部がTABテープ
を外側に引っ張っている状態になる。これにより、テー
プ型半導体装置の製造段階で、常にTABテープを平坦
に張った状態にすることができる。よって、テープの
「しわ」等による製造不良が生じない。According to the sixth aspect of the present invention, as described in the third aspect, the mounting portion is curved, and only the tip end of the mounting portion is T-shaped.
When a flat carrier is used to attach the AB tape, and the curved attachment portion is temporarily extended to the inside of the metal frame, and the outer peripheral portion of the strip-shaped TAB tape is attached to the attachment portion, the carrier Is pulling the TAB tape outward. This allows the TAB tape to be always stretched flat at the stage of manufacturing the tape-type semiconductor device. Therefore, manufacturing failure due to “wrinkles” of the tape does not occur.
【0048】請求項7に係る発明では、請求項4に記載
したように取付部を湾曲させ、取付部の先端部のみをT
ABテープのスプロケットホールに引っ掛かるように折
り曲げたキャリアを用い、湾曲した取付部を一時的に金
属フレームの内側に延ばして短冊状のTABテープのス
プロケットホールに取付部の先端部を引っ掛け、取付部
に短冊状のTABテープの外周部を取付けると、キャリ
アの取付部がTABテープを外側に引っ張っている状態
になる。これにより、テープ型半導体装置の製造段階
で、常にTABテープを平坦に張った状態にすることが
できる。よって、テープの「しわ」等による製造不良が
生じない。According to the seventh aspect of the present invention, as described in the fourth aspect, the mounting portion is curved, and only the tip end of the mounting portion is T-shaped.
Using a carrier bent so as to be hooked on the sprocket hole of the AB tape, temporarily extend the curved mounting portion to the inside of the metal frame, hook the tip of the mounting portion on the sprocket hole of the strip-shaped TAB tape, and attach it to the mounting portion. When the outer peripheral portion of the strip-shaped TAB tape is mounted, the mounting portion of the carrier pulls the TAB tape outward. This allows the TAB tape to be always stretched flat at the stage of manufacturing the tape-type semiconductor device. Therefore, manufacturing failure due to “wrinkles” of the tape does not occur.
【図1】本発明の第1の実施形態によるテープ型半導体
装置組立用キャリアに、短冊状のテープが取付けられた
状態を表した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a state in which a strip-shaped tape is attached to a tape-type semiconductor device assembling carrier according to a first embodiment of the present invention.
【図2】図1のA−A線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図3】本発明の第1の実施形態によるテープ型半導体
装置組立用キャリアに短冊状のテープを貼り付ける工程
を表した図である。FIG. 3 is a view showing a step of attaching a strip-shaped tape to the tape-type semiconductor device assembling carrier according to the first embodiment of the present invention.
【図4】図3に示した工程を経たテープ上にベアチップ
を実装する工程を表した図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a process of mounting a bare chip on the tape after the process illustrated in FIG. 3;
【図5】図4に示した工程を経たテープ上のベアチップ
をポッティング封止する工程を表した図である。FIG. 5 is a view showing a step of potting and sealing a bare chip on a tape after the step shown in FIG. 4;
【図6】図5に示した工程を経たテープ上に半田ボール
を載置する工程を表した図である。FIG. 6 is a view showing a step of placing a solder ball on the tape after the step shown in FIG. 5;
【図7】図6に示した工程を経て完成したテープ型半導
体装置をテープから切り離す工程を表した図である。FIG. 7 is a diagram showing a step of separating the tape-type semiconductor device completed through the step shown in FIG. 6 from the tape.
【図8】本発明の第2の実施形態であるテープ型半導体
装置組立用キャリアに、短冊状のテープが取付けられた
状態を表した斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a state in which a strip-shaped tape is attached to a tape-type semiconductor device assembling carrier according to a second embodiment of the present invention.
【図9】図8のB−B線断面図である。FIG. 9 is a sectional view taken along line BB of FIG. 8;
【図10】本発明の第2の実施形態であるテープ型半導
体装置組立用キャリアの変形例を最もよく表した断面図
である。FIG. 10 is a sectional view best illustrating a modification of the tape-type semiconductor device assembling carrier according to the second embodiment of the present invention.
【図11】本発明の第2の実施形態によるテープ型半導
体装置組立用キャリアに短冊状のテープを貼り付ける工
程を表した図である。FIG. 11 is a view showing a step of attaching a strip-shaped tape to a tape-type semiconductor device assembling carrier according to a second embodiment of the present invention.
【図12】図11に示した工程を経たテープ上にベアチ
ップを実装する工程を表した図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a process of mounting a bare chip on the tape after the process illustrated in FIG. 11;
【図13】図12に示した工程を経たテープ上のベアチ
ップをポッティング封止する工程を表した図である。FIG. 13 is a view showing a step of potting and sealing a bare chip on a tape after the step shown in FIG. 12;
【図14】図13に示した工程を経たテープ上に半田ボ
ールを載置する工程を表した図である。FIG. 14 is a view illustrating a step of placing a solder ball on the tape after the step illustrated in FIG. 13;
【図15】図14に示した工程を経て完成したテープ型
半導体装置をテープから切り離す工程を表した図であ
る。15 is a diagram illustrating a step of separating the tape-type semiconductor device completed through the step illustrated in FIG. 14 from the tape.
【図16】従来のテープ型半導体装置組立用キャリアと
して、複数のベアチップを搭載した短冊状のテープを示
した平面図である。FIG. 16 is a plan view showing a strip-shaped tape on which a plurality of bare chips are mounted, as a conventional tape-type semiconductor device assembling carrier.
【図17】図16のテープの外周を単に金属フレームに
貼り付けた場合を表した平面図である。FIG. 17 is a plan view showing a case where the outer periphery of the tape of FIG. 16 is simply attached to a metal frame.
【図18】図17に示したフレームとテープを接着する
ための工程を表した側面図である。FIG. 18 is a side view illustrating a step for bonding the frame and the tape illustrated in FIG. 17;
1 短冊状のテープ 2 ベアチップ 10、30 テープ型半導体装置組立用キャリア 11、31 金属フレーム 12、32 取付部 13 ヒーターブロック 14 マガジン 15 ハンドラー 16 シリンジ 17 樹脂 18 ボールプレーサー 19 半田ボール 20 ブレード 21 テープ型半導体装置 22 トレー 32a、32b 先端部 33 スプロケットホール REFERENCE SIGNS LIST 1 strip-shaped tape 2 bare chip 10, 30 tape-type semiconductor device assembling carrier 11, 31 metal frame 12, 32 mounting portion 13 heater block 14 magazine 15 handler 16 syringe 17 resin 18 ball placer 19 solder ball 20 blade 21 tape type Semiconductor device 22 Tray 32a, 32b Tip 33 Sprocket hole
Claims (7)
なるテープ型半導体装置の組立用キャリアであって、 前記キャリアは金属薄板からなる金属フレームと、該金
属フレームの内側に突出した、短冊状の前記TABテー
プを貼り付けるための複数の取付部とから構成された事
を特徴とするテープ型半導体装置組立用キャリア。1. A carrier for assembling a tape-type semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a TAB tape, the carrier comprising: a metal frame formed of a thin metal plate; and a strip-shaped member protruding inside the metal frame. A carrier for assembling a tape type semiconductor device, comprising: a plurality of attachment portions for attaching the TAB tape.
Bテープの熱膨張係数よりも小さい請求項1に記載のテ
ープ型半導体装置組立用キャリア。2. The thermal expansion coefficient of the carrier is equal to the TA.
2. The tape-type semiconductor device assembling carrier according to claim 1, wherein the carrier is smaller than a coefficient of thermal expansion of the B tape.
の先端部が前記TABテープを貼り付けるために平坦に
形成されている請求項1に記載のテープ型半導体装置組
立用キャリア。3. The tape-type semiconductor device assembling carrier according to claim 1, wherein said mounting portion is curved, and a tip portion of said mounting portion is formed flat for attaching said TAB tape.
の先端部が前記TABテープのスプロケットホールに引
っ掛かるように折り曲げられている請求項1に記載のテ
ープ型半導体装置組立用キャリア。4. The tape-type semiconductor device assembling carrier according to claim 1, wherein said mounting portion is curved, and a tip portion of said mounting portion is bent so as to be hooked on a sprocket hole of said TAB tape.
プ型半導体装置を製造する方法であって、 前記キャリア及び短冊状のTABテープとを加熱しなが
ら、前記キャリアの取付部に前記短冊状のTABテープ
の外周部を貼り付ける工程と、 前記キャリアに貼り付けられた前記短冊状のTABテー
プ上に半導体チップを実装する工程と、 前記実装された半導体チップを液状樹脂で封止する工程
と、 前記短冊状のTABテープ上に、テープ型半導体装置の
外部端子となる複数個の半田ボールを一度に載置する工
程と、 以上の工程を経て完成したテープ型半導体装置をダイシ
ングによって前記テープから切り取る工程とを有するテ
ープ型半導体装置の製造方法。5. A method for manufacturing a tape-type semiconductor device using the carrier according to claim 2, wherein the carrier and the strip-shaped TAB tape are heated while the strip-shaped TAB tape is attached to the mounting portion of the carrier. A step of attaching an outer peripheral portion of the TAB tape, a step of mounting a semiconductor chip on the strip-shaped TAB tape attached to the carrier, and a step of sealing the mounted semiconductor chip with a liquid resin. Placing a plurality of solder balls at one time on the strip-shaped TAB tape as external terminals of the tape-type semiconductor device; and dicing the tape-type semiconductor device completed through the above steps from the tape by dicing. A method of manufacturing a tape-type semiconductor device having a cutting step.
プ型半導体装置を製造する方法であって、 前記キャリアの湾曲した取付部を一時的に前記金属フレ
ームの内側に延ばした状態で、前記キャリアの取付部に
前記短冊状のTABテープの外周部を貼り付ける工程
と、 前記キャリアに貼り付けられた前記短冊状のTABテー
プ上に半導体チップを実装する工程と、 前記実装された半導体チップを液状樹脂で封止する工程
と、 前記短冊状のTABテープ上に、テープ型半導体装置の
外部端子となる複数個の半田ボールを一度に載置する工
程と、 以上の工程を経て完成したテープ型半導体装置をダイシ
ングによって前記テープから切り取る工程とを有するテ
ープ型半導体装置の製造方法。6. A method of manufacturing a tape-type semiconductor device using the carrier according to claim 3, wherein the curved mounting portion of the carrier is temporarily extended inside the metal frame. A step of attaching an outer peripheral portion of the strip-shaped TAB tape to a mounting portion of a carrier; a step of mounting a semiconductor chip on the strip-shaped TAB tape attached to the carrier; A step of sealing with a liquid resin, a step of mounting a plurality of solder balls serving as external terminals of the tape-type semiconductor device on the strip-shaped TAB tape at a time, and a tape type completed through the above steps. Cutting the semiconductor device from the tape by dicing.
プ型半導体装置を製造する方法であって、 前記キャリアの湾曲した取付部を一時的に前記金属フレ
ームの内側に延ばして前記短冊状のTABテープのスプ
ロケットホールに前記取付部の先端部を引っ掛け、前記
キャリアの取付部に前記短冊状のTABテープの外周部
を取付ける工程と、 前記キャリアに貼り付けられた前記短冊状のTABテー
プ上に半導体チップを実装する工程と、 前記実装された半導体チップを液状樹脂で封止する工程
と、 前記短冊状のTABテープ上に、テープ型半導体装置の
外部端子となる複数個の半田ボールを一度に載置する工
程と、 以上の工程を経て完成したテープ型半導体装置をダイシ
ングによって前記テープから切り取る工程とを有するテ
ープ型半導体装置の製造方法。7. A method for manufacturing a tape-type semiconductor device using the carrier according to claim 4, wherein a curved mounting portion of the carrier is temporarily extended inside the metal frame to form the strip-shaped semiconductor device. A step of hooking a tip end of the mounting portion on a sprocket hole of the TAB tape and mounting an outer peripheral portion of the strip-shaped TAB tape on a mounting portion of the carrier; A step of mounting a semiconductor chip; a step of sealing the mounted semiconductor chip with a liquid resin; and forming a plurality of solder balls serving as external terminals of the tape-type semiconductor device on the strip-shaped TAB tape at a time. A tape-type semiconductor having a mounting step and a step of dicing the tape-type semiconductor device completed through the above steps from the tape by dicing Method of manufacturing location.
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---|---|---|---|
JP10005668A JP3070563B2 (en) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | Tape-type semiconductor device assembling carrier and tape-type semiconductor device manufacturing method |
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