JP3161708B2 - 超音波振動子によるスクリューロッド駆動機構 - Google Patents
超音波振動子によるスクリューロッド駆動機構Info
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- JP3161708B2 JP3161708B2 JP10674199A JP10674199A JP3161708B2 JP 3161708 B2 JP3161708 B2 JP 3161708B2 JP 10674199 A JP10674199 A JP 10674199A JP 10674199 A JP10674199 A JP 10674199A JP 3161708 B2 JP3161708 B2 JP 3161708B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波モータ駆動方法に
関するが、詳しくは超音波駆動子によるスクリューロッ
ドの駆動方法とその駆動機構に関するものである。
関するが、詳しくは超音波駆動子によるスクリューロッ
ドの駆動方法とその駆動機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のスクリューロッド駆動方法として
は、ボールネジ式による方法が一般的であり、例えば図
８に示すようなサーボモータ駆動機構がある。ここに示
すボールネジの基本的な形状は、スクリューロッドと同
一であってボールとボールナットとを組み合わせて使用
するネジ棒のことでありスクリューロッドとは区別す
る。図中３１はボールネジサーボモータ駆動機構、３２
はボールネジ、３３はボールネジ受台、３４はベアリン
グ、３５はボールナット、３６はボール、３７はカップ
リング及び３８はサーボモータである。
は、ボールネジ式による方法が一般的であり、例えば図
８に示すようなサーボモータ駆動機構がある。ここに示
すボールネジの基本的な形状は、スクリューロッドと同
一であってボールとボールナットとを組み合わせて使用
するネジ棒のことでありスクリューロッドとは区別す
る。図中３１はボールネジサーボモータ駆動機構、３２
はボールネジ、３３はボールネジ受台、３４はベアリン
グ、３５はボールナット、３６はボール、３７はカップ
リング及び３８はサーボモータである。
【０００３】本図からも明らかのように、従来方式によ
るサーボモータ駆動機構は、ボール３６の投入用ボール
ネジ３２を設け、このボールネジ３２をベアリング３
４、３４を介してボールネジ受台３３、３３間に装設
し、更にボール３６が内臓されているボールナットを前
記ボールネジ３２の部分に装設されている。更に、ボー
ルネジ３２の一端にはサーボモータ３８に連動されてい
るカップリング３７に連着されている。すなわち、ボー
ルネジ受台３３にボール３６に密封したボールナット３
５をボールネジ３２が回転できるようにセットし、更に
ボールネジ３２の一端にサーボモータ３８をカップリン
グ３７で接続したものである。そして、サーボモータ３
８を正転又は逆転させることでボールネジ３２を回転さ
せてボールナット３５をボールネジ３２の軸方向に移動
させるものである。
るサーボモータ駆動機構は、ボール３６の投入用ボール
ネジ３２を設け、このボールネジ３２をベアリング３
４、３４を介してボールネジ受台３３、３３間に装設
し、更にボール３６が内臓されているボールナットを前
記ボールネジ３２の部分に装設されている。更に、ボー
ルネジ３２の一端にはサーボモータ３８に連動されてい
るカップリング３７に連着されている。すなわち、ボー
ルネジ受台３３にボール３６に密封したボールナット３
５をボールネジ３２が回転できるようにセットし、更に
ボールネジ３２の一端にサーボモータ３８をカップリン
グ３７で接続したものである。そして、サーボモータ３
８を正転又は逆転させることでボールネジ３２を回転さ
せてボールナット３５をボールネジ３２の軸方向に移動
させるものである。
【０００４】この従来機構は、カップリング３７を介し
てサーボモータ３８の左右回転の駆動をボールネジ３２
に伝導することによって、ボールナット３５に内臓され
ているボール３６を介してボールネジ３２の軸方向にボ
ールナット３５を移動させるものである。なお、ワーク
を移動させるための負担はレールやスライダー等（図示
せず）が利用されているので、ボールネジ３２のラジア
ル方向に負担がかからないように使用されている。
てサーボモータ３８の左右回転の駆動をボールネジ３２
に伝導することによって、ボールナット３５に内臓され
ているボール３６を介してボールネジ３２の軸方向にボ
ールナット３５を移動させるものである。なお、ワーク
を移動させるための負担はレールやスライダー等（図示
せず）が利用されているので、ボールネジ３２のラジア
ル方向に負担がかからないように使用されている。
【０００５】このような従来のサーボモータ駆動機構を
用いたボールネジ式には、次のような多くの欠陥ないし
は問題点がある。 ア、ボールネジとボールナットとの組み合わせにおい
て、必ず最少限の隙間が生ずるので常にガタつきによる
障害が発生する。 イ、スムースに回転させるためにはボール・ボールナッ
ト・サーボモータ等が必要とされるので、小スペース化
や省エネルギー化においても多くの問題がある。 ウ、長い間使用することによって、ボール・ボールナッ
ト・ボールネジ間の摩耗が増大するので、ガタつきが大
きくなってバックラッシュが大きくなる。 エ、ボールネジ機構においては、必ず回転摩耗を零に近
づけることとガタを最少にしなくてはならないという矛
盾があるので多くの努力が必要となる。
用いたボールネジ式には、次のような多くの欠陥ないし
は問題点がある。 ア、ボールネジとボールナットとの組み合わせにおい
て、必ず最少限の隙間が生ずるので常にガタつきによる
障害が発生する。 イ、スムースに回転させるためにはボール・ボールナッ
ト・サーボモータ等が必要とされるので、小スペース化
や省エネルギー化においても多くの問題がある。 ウ、長い間使用することによって、ボール・ボールナッ
ト・ボールネジ間の摩耗が増大するので、ガタつきが大
きくなってバックラッシュが大きくなる。 エ、ボールネジ機構においては、必ず回転摩耗を零に近
づけることとガタを最少にしなくてはならないという矛
盾があるので多くの努力が必要となる。
【０００６】かかる従来機構の問題点を解消するため、
例えば本願出願人が開発した超音波振動によるスクリュ
ーロッドの駆動方法（特願平１０−１４０６５５号）が
ある。この駆動方法は、振動子と圧電アクチェータとを
一体にしかつスプリングを介してスクリューロッドに弾
設し、該スクリューロッドの周囲へ振動子より一定の圧
力を加えて常に大きな摩擦をスクリューロッドに与え、
かつ該振動子の右側又は左側のいずれか一方にそれぞれ
時計方向又は反時計方向に回転する電圧を加えてなるこ
とを特徴とする超音波振動によるスクリューロッド駆動
方法の提供にあり、また前記振動子の摩擦抵抗が少なく
するために電通してない振動子に微電圧を加えて微振動
させる駆動方法であり、また前記振動子とスクリューロ
ッドとの接触圧をテーパ部で受け該接触圧の強度をスプ
リングの圧縮力で決めるスクリューロッド駆動方法であ
り、また前記振動子への各電圧がＯＦＦの時にテーパ部
の接触圧で静止位置が安定しかつ摩擦抵抗が最大となる
駆動方法であり、また前記振動子の摩擦部に多少の摩耗
が生じても常にガタツキが生じることなく自動的に調整
される駆動方法である。
例えば本願出願人が開発した超音波振動によるスクリュ
ーロッドの駆動方法（特願平１０−１４０６５５号）が
ある。この駆動方法は、振動子と圧電アクチェータとを
一体にしかつスプリングを介してスクリューロッドに弾
設し、該スクリューロッドの周囲へ振動子より一定の圧
力を加えて常に大きな摩擦をスクリューロッドに与え、
かつ該振動子の右側又は左側のいずれか一方にそれぞれ
時計方向又は反時計方向に回転する電圧を加えてなるこ
とを特徴とする超音波振動によるスクリューロッド駆動
方法の提供にあり、また前記振動子の摩擦抵抗が少なく
するために電通してない振動子に微電圧を加えて微振動
させる駆動方法であり、また前記振動子とスクリューロ
ッドとの接触圧をテーパ部で受け該接触圧の強度をスプ
リングの圧縮力で決めるスクリューロッド駆動方法であ
り、また前記振動子への各電圧がＯＦＦの時にテーパ部
の接触圧で静止位置が安定しかつ摩擦抵抗が最大となる
駆動方法であり、また前記振動子の摩擦部に多少の摩耗
が生じても常にガタツキが生じることなく自動的に調整
される駆動方法である。
【０００７】更に、振動子と圧電アクチェータとを一体
にしかつベアリングを介して装設してなるスクリューロ
ッドを設け、かつ該スクリューロッドの周囲へ振動子よ
り一定の圧力をスプリングにて与え常に大きな摩擦を与
えることを特徴とする超音波振動によるスクリューロッ
ド駆動機構の提供にあり、また前記振動子の先端部が凸
型若しくは凹型のものをスクリューロッドに弾設してな
る超音波振動によるスクリューロッド駆動機構の提供に
ある。
にしかつベアリングを介して装設してなるスクリューロ
ッドを設け、かつ該スクリューロッドの周囲へ振動子よ
り一定の圧力をスプリングにて与え常に大きな摩擦を与
えることを特徴とする超音波振動によるスクリューロッ
ド駆動機構の提供にあり、また前記振動子の先端部が凸
型若しくは凹型のものをスクリューロッドに弾設してな
る超音波振動によるスクリューロッド駆動機構の提供に
ある。
【０００８】すなわち、従来より使用されているボール
ナット・ボール・ボールネジ等による加工精度ではガタ
ツキを最少限に押さえるために超精密加工精度で仕上ら
れている。そして、サーボモータとの組合せによって一
軸ロボットを形成しているのに対して、本発明では振動
子の先端部がスクリューロッドのＶ溝に常に数個圧接さ
れているので通常加工精度の仕上がりでもガタツキもな
く常に安定な状態で振動子受台がセットされている。
ナット・ボール・ボールネジ等による加工精度ではガタ
ツキを最少限に押さえるために超精密加工精度で仕上ら
れている。そして、サーボモータとの組合せによって一
軸ロボットを形成しているのに対して、本発明では振動
子の先端部がスクリューロッドのＶ溝に常に数個圧接さ
れているので通常加工精度の仕上がりでもガタツキもな
く常に安定な状態で振動子受台がセットされている。
【０００９】具体的には、図６及び図７に示すようにス
クリューロッド２２をスクリューロッド受台２３、２３
間に装着し、このスクリューロッド２２に圧電アクチャ
ータ２６を付設した振動子受台２５が嵌装されている。
すなわち、スクリューロッド受台２３、２３間にベアリ
ング２４、２４の軸受けを介してスクリューロッド２２
を装着し、更に振動子受台２５に振動子と圧電アクチャ
ータ２６とを一体形成したものをスプリング２８を圧縮
するようにスプリング係止具２９でセットしたものであ
る。このようにセットすることによって、振動子はスク
リューロッド２２の周囲へ一定の圧力をもって押さえら
れて常に大きな摩擦が与えられることになる。
クリューロッド２２をスクリューロッド受台２３、２３
間に装着し、このスクリューロッド２２に圧電アクチャ
ータ２６を付設した振動子受台２５が嵌装されている。
すなわち、スクリューロッド受台２３、２３間にベアリ
ング２４、２４の軸受けを介してスクリューロッド２２
を装着し、更に振動子受台２５に振動子と圧電アクチャ
ータ２６とを一体形成したものをスプリング２８を圧縮
するようにスプリング係止具２９でセットしたものであ
る。このようにセットすることによって、振動子はスク
リューロッド２２の周囲へ一定の圧力をもって押さえら
れて常に大きな摩擦が与えられることになる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の超
音波振動によるスクリューロッドの駆動方法に改良を加
えたところに、本発明が解決しようとする課題を有す
る。
音波振動によるスクリューロッドの駆動方法に改良を加
えたところに、本発明が解決しようとする課題を有す
る。
【００１１】
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の如き課題
を解決するために開発したものであって、ベースの両端
に固定されている軸受側板との間にベアリングを介して
装着されるスクリューロッドと、振動子に接着させかつ
回転するように振動子支持板を介して振動子ホルダーに
装着される圧電アクチュエータと、振動子支持板の挿入
部を中心にして回転可能となるようにスプリングを介し
てスクリューロッドに弾設される振動子とから構成さ
れ、前記スクリューロッドの回転により移動台をスクリ
ューロッドの軸方向に移動させかつスクリューロッドの
回転駆動源に圧電アクチュエータが固定されている振動
子をスクリューロッドの溝部に弾設し、更に前記振動子
の先端部が凸型若しくは凹型のものをスクリューロッド
に弾設して電圧の位相変えによって振動子に正転と逆転
作用とを与え、かつ振動子に超音波振動を与えて回転さ
せることを特徴とする超音波振動子によるスクリューロ
ッド駆動機構の提供にある。
を解決するために開発したものであって、ベースの両端
に固定されている軸受側板との間にベアリングを介して
装着されるスクリューロッドと、振動子に接着させかつ
回転するように振動子支持板を介して振動子ホルダーに
装着される圧電アクチュエータと、振動子支持板の挿入
部を中心にして回転可能となるようにスプリングを介し
てスクリューロッドに弾設される振動子とから構成さ
れ、前記スクリューロッドの回転により移動台をスクリ
ューロッドの軸方向に移動させかつスクリューロッドの
回転駆動源に圧電アクチュエータが固定されている振動
子をスクリューロッドの溝部に弾設し、更に前記振動子
の先端部が凸型若しくは凹型のものをスクリューロッド
に弾設して電圧の位相変えによって振動子に正転と逆転
作用とを与え、かつ振動子に超音波振動を与えて回転さ
せることを特徴とする超音波振動子によるスクリューロ
ッド駆動機構の提供にある。
【００１３】すなわち、本発明の特徴は従来の超音波振
動子によるスクリューロッドの駆動方法とその駆動機構
のうち、振動子が２個の圧電アクチェータを印可する電
圧の位相を変えて振動子の正転と逆転動作の効率化を図
るところにある。
動子によるスクリューロッドの駆動方法とその駆動機構
のうち、振動子が２個の圧電アクチェータを印可する電
圧の位相を変えて振動子の正転と逆転動作の効率化を図
るところにある。
【００１４】
【００１５】本発明の実施形態は、ベースの両端に固定
されている軸受側板との間にベアリングを介して装着さ
れるスクリューロッドと、振動子に接着させかつ回転す
るように振動子支持板を介して振動子ホルダーに装着さ
れる圧電アクチュエータと、振動子支持板の挿入部を中
心にして回転可能となるようにスプリングを介してスク
リューロッドに弾設される振動子とから構成され、前記
スクリューロッドの回転により移動台をスクリューロッ
ドの軸方向に移動させかつスクリューロッドの回転駆動
源に圧電アクチュエータが固定されている振動子をスク
リューロッドの溝部に弾設し、更に前記振動子の先端部
が凸型若しくは凹型のものをスクリューロッドに弾設し
て電圧の位相変えによって振動子に正転と逆転作用とを
与え、かつ振動子に超音波振動を与えて回転させること
を特徴とする超音波振動子によるスクリューロッド駆動
機構であるから、従来の駆動機構よりも簡単な機構であ
ると共に作動操作も簡便となる。
されている軸受側板との間にベアリングを介して装着さ
れるスクリューロッドと、振動子に接着させかつ回転す
るように振動子支持板を介して振動子ホルダーに装着さ
れる圧電アクチュエータと、振動子支持板の挿入部を中
心にして回転可能となるようにスプリングを介してスク
リューロッドに弾設される振動子とから構成され、前記
スクリューロッドの回転により移動台をスクリューロッ
ドの軸方向に移動させかつスクリューロッドの回転駆動
源に圧電アクチュエータが固定されている振動子をスク
リューロッドの溝部に弾設し、更に前記振動子の先端部
が凸型若しくは凹型のものをスクリューロッドに弾設し
て電圧の位相変えによって振動子に正転と逆転作用とを
与え、かつ振動子に超音波振動を与えて回転させること
を特徴とする超音波振動子によるスクリューロッド駆動
機構であるから、従来の駆動機構よりも簡単な機構であ
ると共に作動操作も簡便となる。
【００１６】
【実施例】以下、図面に従って本発明の実施例について
説明する。図１から図５は、本発明からなる超音波振動
子によるスクリューロッドの駆動機構を示したものであ
る。図中１はベース、２は軸受側板、３はレール、４は
スライダー、５はベアリング、６は移動台、７は振動子
支持板、８はスクリューロッド、９は圧電アクチェー
タ、１０は振動子、１１はスプリング、１２はスプリン
グ押え、１３は振動子ホルダーである。
説明する。図１から図５は、本発明からなる超音波振動
子によるスクリューロッドの駆動機構を示したものであ
る。図中１はベース、２は軸受側板、３はレール、４は
スライダー、５はベアリング、６は移動台、７は振動子
支持板、８はスクリューロッド、９は圧電アクチェー
タ、１０は振動子、１１はスプリング、１２はスプリン
グ押え、１３は振動子ホルダーである。
【００１７】本発明のスクリューロッド駆動機構は、ス
クリューロッド８をベース１の両端に固定されている軸
受側板２、２間に装着し、更にスクリューロッド８の両
端はベアリング５で支持されている。一方、電圧アクチ
ェータ９を振動子１０に接着固定したものを振動子ホル
ダ１３に挿入し、更にその振動子ホルダ１３が回転する
ように振動子支持板７に挿入し装着されている。そし
て、この振動子支持板７の挿入部を中心にして回転可能
になるようにネジ溝に振動子１０がスプリング１１でも
ってスクリューロッド８に弾設されている。なお、その
強さの調節はスプリング押え１２で行うよう構成されて
いる。すなわち、本発明の特徴とするところは移動台６
がスクリューロッド８の回転によってスクリューロッド
８の軸方向に移動させてせてスクリューロッド８の回転
駆動源に圧電アクチュータ９を接着固定した振動子１０
をスクリューロッド８の溝に弾設させ、そこに超音波振
動を与え回転させるものである。この場合、振動子１０
は２個の圧電アクチェータ９を印可する電圧の位相を変
えて正転及び逆転の動作効率をよくすると共に無駄を少
なくするものである。
クリューロッド８をベース１の両端に固定されている軸
受側板２、２間に装着し、更にスクリューロッド８の両
端はベアリング５で支持されている。一方、電圧アクチ
ェータ９を振動子１０に接着固定したものを振動子ホル
ダ１３に挿入し、更にその振動子ホルダ１３が回転する
ように振動子支持板７に挿入し装着されている。そし
て、この振動子支持板７の挿入部を中心にして回転可能
になるようにネジ溝に振動子１０がスプリング１１でも
ってスクリューロッド８に弾設されている。なお、その
強さの調節はスプリング押え１２で行うよう構成されて
いる。すなわち、本発明の特徴とするところは移動台６
がスクリューロッド８の回転によってスクリューロッド
８の軸方向に移動させてせてスクリューロッド８の回転
駆動源に圧電アクチュータ９を接着固定した振動子１０
をスクリューロッド８の溝に弾設させ、そこに超音波振
動を与え回転させるものである。この場合、振動子１０
は２個の圧電アクチェータ９を印可する電圧の位相を変
えて正転及び逆転の動作効率をよくすると共に無駄を少
なくするものである。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、ベースの両端に固定されてい
る軸受側板との間にベアリングを介して装着されるスク
リューロッドと、振動子に接着させかつ回転するように
振動子支持板を介して振動子ホルダーに装着される圧電
アクチュエータと、振動子支持板の挿入部を中心にして
回転可能となるようにスプリングを介してスクリューロ
ッドに弾設される振動子とから構成され、前記スクリュ
ーロッドの回転により移動台をスクリューロッドの軸方
向に移動させかつスクリューロッドの回転駆動源に圧電
アクチュエータが固定されている振動子をスクリューロ
ッドの溝部に弾設し、更に前記振動子の先端部が凸型若
しくは凹型のものをスクリューロッドに弾設して電圧の
位相変えによって振動子に正転と逆転作用とを与え、か
つ振動子に超音波振動を与えて回転させることを特徴と
する超音波振動子によるスクリューロッド駆動機構であ
るから、特に２個の圧電アクチュエータを印加して電圧
の位相変えることによって振動子の正転と逆転の作用効
率を高めると共に無駄を少なくすることができる。
る軸受側板との間にベアリングを介して装着されるスク
リューロッドと、振動子に接着させかつ回転するように
振動子支持板を介して振動子ホルダーに装着される圧電
アクチュエータと、振動子支持板の挿入部を中心にして
回転可能となるようにスプリングを介してスクリューロ
ッドに弾設される振動子とから構成され、前記スクリュ
ーロッドの回転により移動台をスクリューロッドの軸方
向に移動させかつスクリューロッドの回転駆動源に圧電
アクチュエータが固定されている振動子をスクリューロ
ッドの溝部に弾設し、更に前記振動子の先端部が凸型若
しくは凹型のものをスクリューロッドに弾設して電圧の
位相変えによって振動子に正転と逆転作用とを与え、か
つ振動子に超音波振動を与えて回転させることを特徴と
する超音波振動子によるスクリューロッド駆動機構であ
るから、特に２個の圧電アクチュエータを印加して電圧
の位相変えることによって振動子の正転と逆転の作用効
率を高めると共に無駄を少なくすることができる。
【００１９】なお、本発明は超音波振動子によるスクリ
ューロッドの駆動機構であるから、次のような従来と同
様な効果を有する。 ア、従来機構によるボールネジとボールとボールナット
との組み合わせによれば必ず最少限の隙間が必要となる
が、本発明機構ではその隙間を必要としない。イ、従来
機構によれば、スムーズに回転させるためにはボールと
ボールナットとサーボモータとが必要となるが、本発明
機構ではスムースに回転させる必要が全くない。すなわ
ち、本発明機構ではボールとボールナットの代わりに圧
電アクチュータと振動子のブロックに置き換えることで
よいから、サーボモータも不要となって小スペースで装
置の小型化や低コスト化を図ることができると共に省エ
ネルギーにも貢献することができる。 ウ、従来機構は長い間使用すると、ボールとボールナッ
トとボールネジとの間に摩耗減少によるガタが大きくな
りバックラッシュが大きくなるが、本発明機構によれば
そのバックラッシュも生じないのでガタツキもない。仮
に、多少摩耗しても振動子のＶ型先端が溝に常にスプリ
ングの力でスクリューロッドに押付けられるため何らの
影響もない。 エ、従来のボールネジ機構においては、必ず回転摩擦を
零に近づけることによってガタを最小にしなくてはなら
ない矛盾が生じ多大な努力を必要とするが、本発明機構
によればこのような矛盾は生じない。なお、振動子とス
クリューロッドとの間には、むしろ適当な摩擦が無けれ
ば回転駆動力が発生しないことにもなる。 オ、更に本発明機構によれば、無給油で使用することが
できるので食品・半導体・医療関係等において特に油を
嫌うところでは有効となる。
ューロッドの駆動機構であるから、次のような従来と同
様な効果を有する。 ア、従来機構によるボールネジとボールとボールナット
との組み合わせによれば必ず最少限の隙間が必要となる
が、本発明機構ではその隙間を必要としない。イ、従来
機構によれば、スムーズに回転させるためにはボールと
ボールナットとサーボモータとが必要となるが、本発明
機構ではスムースに回転させる必要が全くない。すなわ
ち、本発明機構ではボールとボールナットの代わりに圧
電アクチュータと振動子のブロックに置き換えることで
よいから、サーボモータも不要となって小スペースで装
置の小型化や低コスト化を図ることができると共に省エ
ネルギーにも貢献することができる。 ウ、従来機構は長い間使用すると、ボールとボールナッ
トとボールネジとの間に摩耗減少によるガタが大きくな
りバックラッシュが大きくなるが、本発明機構によれば
そのバックラッシュも生じないのでガタツキもない。仮
に、多少摩耗しても振動子のＶ型先端が溝に常にスプリ
ングの力でスクリューロッドに押付けられるため何らの
影響もない。 エ、従来のボールネジ機構においては、必ず回転摩擦を
零に近づけることによってガタを最小にしなくてはなら
ない矛盾が生じ多大な努力を必要とするが、本発明機構
によればこのような矛盾は生じない。なお、振動子とス
クリューロッドとの間には、むしろ適当な摩擦が無けれ
ば回転駆動力が発生しないことにもなる。 オ、更に本発明機構によれば、無給油で使用することが
できるので食品・半導体・医療関係等において特に油を
嫌うところでは有効となる。
【図１】本発明のスクリューロッド超音波駆動機構を示
した全体概要図。
した全体概要図。
【図２】図１に示した本発明駆動機構の平面図。
【図３】図１に示した本発明駆動機構の平面図。
【図４】図１に示した本発明超音波駆動機構の正面図。
【図５】図１に示した本発明の振動子接触部の説明概要
図。
図。
【図６】従来のスクリューロッド超音波駆動機構を示し
た説明概要図。
た説明概要図。
【図７】図６に示した従来の超音波駆動機構の側面図。
【図８】従来の超音波モータを示した原理機構図。
１ ベース ２ 軸受側板 ３ レール ４ スライダー ５ ベアリング ６ 移動台 ７ 振動子支持板 ８ スクリューロッド ９ 圧電アクチェータ １０ 振動子 １１ スプリング １２ スプリング押え １３ 振動子ホルダー ２１ スクリューロッド
超音波駆動機構 ２２ スクリューロッド ２３ スクリューロッド
受台 ２４ ベアリング ２５ 振動子受台 ２６ 圧電アクチェータ ２８ スプリング ２９ スプリング係止具 ３１ ボールネジサーボ
モータ駆動機構 ３２ ボールネジ ３３ ボールネジ受台 ３４ ベアリング ３５ ボールナット ３６ ボール ３７ カップリング ３８ サーボモータ
超音波駆動機構 ２２ スクリューロッド ２３ スクリューロッド
受台 ２４ ベアリング ２５ 振動子受台 ２６ 圧電アクチェータ ２８ スプリング ２９ スプリング係止具 ３１ ボールネジサーボ
モータ駆動機構 ３２ ボールネジ ３３ ボールネジ受台 ３４ ベアリング ３５ ボールナット ３６ ボール ３７ カップリング ３８ サーボモータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00 B23Q 5/44 G05D 3/00
Claims (1)
- 【請求項１】 ベースの両端に固定されている軸受側板
との間にベアリングを介して装着されるスクリューロッ
ドと、振動子に接着させかつ回転するように振動子支持
板を介して振動子ホルダーに装着される圧電アクチュエ
ータと、振動子支持板の挿入部を中心にして回転可能と
なるようにスプリングを介してスクリューロッドに弾設
される振動子とから構成され、前記スクリューロッドの
回転により移動台をスクリューロッドの軸方向に移動さ
せかつスクリューロッドの回転駆動源に圧電アクチュエ
ータが固定されている振動子をスクリューロッドの溝部
に弾設し、更に前記振動子の先端部が凸型若しくは凹型
のものをスクリューロッドに弾設して電圧の位相変えに
よって振動子に正転と逆転作用とを与え、かつ振動子に
超音波振動を与えて回転させることを特徴とする超音波
振動子によるスクリューロッド駆動機構。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10674199A JP3161708B2 (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 超音波振動子によるスクリューロッド駆動機構 |
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|---|---|---|---|
| JP10674199A JP3161708B2 (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 超音波振動子によるスクリューロッド駆動機構 |
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|---|---|
| JP2000308374A JP2000308374A (ja) | 2000-11-02 |
| JP3161708B2 true JP3161708B2 (ja) | 2001-04-25 |
Family
ID=14441357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10674199A Expired - Fee Related JP3161708B2 (ja) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | 超音波振動子によるスクリューロッド駆動機構 |
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-
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