JP3159629B2 - ドリル送出機構付き超音波加工装置及びこれに用いる線状ドリル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、加工用ドリルに縦振動
あるいは捩じれ振動等の超音波振動を与えながら、ファ
インセラミクス等の難削材に微細孔を形成し、あるいは
これを研削する超音波加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ファインセラミックス、ファイン
カーボン等の難削材に対する微細孔の加工には主として
超音波加工装置が使用されており、かかる目的で使用さ
れる従来の超音波加工装置としては、微小直径（例えば
直径０．０７〜０．１ｍｍ程度）の線状ドリルが装着さ
れると共に、当該ドリルに２０ｋＨｚ以上の超音波振動
振動を印加する超音波振動子を備えたものが一般的であ
る。

【０００３】そして、このような加工装置では、上記ド
リルとワークとを適当な加工圧で当接させると共に、ワ
ークの加工面とドリルとの当接位置には砥粒が分散され
た研削油剤を供給し、この状態で超音波振動子によって
ドリルに超音波振動を印加すると、かかる印加によって
生じたドリルの縦振動あるいは捩じれ振動に伴って砥粒
に運動エネルギが与えられ、ドリルの進出に伴いワーク
に微細孔が形成され、あるいは既にワークに形成されて
いた微細孔の下孔を研削することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
して行われる超音波加工では、ワークのみならずドリル
の先端も徐々に磨耗していくので、加工時間の累積に伴
い定期的にドリルの交換を行うことが要求される。しか
し、微細孔の加工に用いられる線状ドリルは前述のよう
にその直径が非常に小さいことから、加工中における磨
耗が特に激しく、かかる交換作業を頻繁に行わなければ
ならなかった。このため、例えばファインセラミクスに
微細孔を形成してなる光ファイバケーブルの接続コネク
タ等においては、その生産効率を高めることが困難であ
り、結果的に製品コストが嵩んでしまうという問題点が
あった。

【０００５】また、上記線状ドリルは超音波加工装置に
設けられたコレットチャックによって把持固定されるの
であるが、当該線状ドリルはその直径が非常に小さいこ
とから、コレットチャックへの装着時における芯出しが
困難であり、一回のドリル交換作業に長時間を要する
他、交換後におけるワークの加工精度の維持が難しいと
いう問題点もあった。

【０００６】本発明はこのような問題点に鑑みなされた
ものであり、その目的とするところは、線状ドリルの交
換作業を行うことなく長時間連続して加工を行うことが
でき、ワークに対する微細孔の加工精度及び加工効率を
著しく高めることが可能な超音波加工装置を提供するこ
とにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】すなわち、上記目的を達
成する本発明の超音波加工装置は、線状ドリルに超音波
振動を与えながら被加工物に微細孔を形成する超音波加
工装置であって、先端が上記被加工物に当接すると共
に、ガイドパイプ内を進退自在に貫通する長尺な線状ド
リルと、上記ガイドパイプが貫通する超音波振動子と、
この超音波振動子の先端に固定され、上記ガイドパイプ
内から被加工物に向けて線状ドリルを連続的に送り出す
と共に、当該線状ドリルを把持固定するドリル送出手段
とから構成され、線状ドリルの磨耗に応じて当該ドリル
を被加工物に向けて連続的に送り出して使用されるもの
である。

【０００８】このような技術的手段において、上記ドリ
ル送出手段としては、上記線状ドリルを被加工物へ向け
て所定量ずつ連続的に送出し、且つ、超音波加工に当た
り送出された線状ドリルを確実に把持し得るものであれ
ば、その構成を適宜設計変更しても差し支えない。

【０００９】このドリル送出手段としては、例えばシャ
ープペンシルにおける芯送り出し機構の如く、上記線状
ドリルが進退自在に貫通すると共に、先端には当該線状
ドリルを把持するチャック爪を備えたチャックパイプ
と、このチャックパイプが進退自在に貫通すると共に、
上記チャック爪を締め付けるチャック座が形成されたチ
ャックガイドと、上記ガイドパイプの先端と上記チャッ
クパイプの後端とを連結して、当該ガイドパイプの進退
に応じてチャックパイプをチャックガイドに対して進退
させるノック部材とから構成することができる。このよ
うな構成によれば、上記ガイドパイプが進出した際にチ
ャック爪が開き、線状ドリルがチャックパイプから送り
出される一方、上記ガイドパイプが後退した際にチャッ
ク爪が線状ドリルを把持固定するので、ガイドパイプの
進退に応じて線状ドリルが被加工物へ向けて所定量ずつ
連続的に送出される。

【００１０】また、このようなチャック爪を用いたドリ
ル送出手段においては、線状ドリルを把持するチャック
爪の先端が僅かずつではあるが磨耗するので、超音波加
工の累積時間に応じてチャック爪を交換できるよう、上
記ドリル送出手段が超音波振動子に対して着脱自在であ
ることが好ましい。

【００１１】更に、上記線状ドリルを送出するためにガ
イドパイプを進退させる手段としては、例えばシャープ
ペンシルの如く後端方向に向かって弾性部材で付勢され
たガイドパイプを適宜手動で押圧するようにしても良い
が、線状ドリルの磨耗量に応じて自動的にこれを送出す
るという観点からすれば、上記ガイドパイプの後端にピ
ストン部材を設け、このピストン部材を空気圧、水圧あ
るいは油圧等の流体圧力に応じて進退させるのが好まし
い。

【００１２】一方、本発明の超音波加工装置に用いる線
状ドリルとしては、例えば超硬タングステン、ピアノ線
等から形成された一様な径を有するもの（以下、台金）
であれば差し支えないが、上記ドリル送出手段が線状ド
リルを所定量ずつ送り出すことを考慮した場合、当該線
状ドリルには所定間隔毎にドリル送出手段の把持部を形
成すると共に、この把持部の外径を台金の外径よりも大
きく設定するのが好ましい。把持部の外径を大きく設定
する手法としては、台金の外周に把持部となるパイプを
所定間隔毎に嵌合させても良いし、台金の外周に所定間
隔毎にメッキ処理を施すようにしても良い。このように
把持部の外径を大きく設定すれば、ドリル送出手段で線
状ドリルの把持部を確実に保持することができる。

【００１３】また、超音波加工の実施に当たっては、線
状ドリルと被加工物の当接位置に砥粒が分散された研削
油剤を供給する必要があるが、予め台金に砥粒が電着さ
れた線状ドリルを使用することで、研削油剤中に砥粒を
分散させる手間を省略することができる。この場合、砥
粒は台金の長手方向に沿って一様に電着する必要はな
く、前述した把持部の間にのみ電着しておけば良い。

【００１４】ところで、超音波加工の実施中においては
線状ドリルと被加工物の当接位置に対して前述した研削
油剤を供給してやる必要があるが、上記線状ドリルは非
常に細いものなので、かかる当接位置の側方から研削油
剤を供給すると、線状ドリルの先端に振れが発生し、被
加工物に対する微細孔の加工精度が悪化する懸念があ
る。この点に関し、本発明では線状ドリルが挿通してい
るガイドパイプが超音波振動子を貫通しているので、上
記ガイドパイプ及びドリル送出手段を取り巻くように研
削却液の供給通路を配設し、この供給通路がガイドパイ
と共に超音波振動子を貫通するように構成すれば、かか
る研削油剤は線状ドリルの長手方向に沿って被加工物と
の当接位置に供給されることとなり、線状ドリルの先端
の振れを防止して加工精度の向上を図ることができる。

【００１５】

【作用】このような技術的手段からなる本発明によれ
ば、超音波振動子を貫通するガイドパイプ内を線状ドリ
ルが貫通しており、上記超音波振動子の先端に固定され
たドリル送出手段が上記線状ドリルを被加工物に向けて
連続的に送り出し、且つ、これを把持固定するので、加
工時間の累積に伴い線状ドリルの先端が磨耗してきた場
合でも、上記ドリル送出手段で線状ドリルを送り出すこ
とにより、線状ドリルの交換作業を行うことなく連続し
て加工を継続することができる。

【００１６】また、このように線状ドリルの交換作業を
行う必要がないので、従来交換作業の度に必要であった
線状ドリルの芯出し作業は一切不要となり、しかも超音
波加工装置に対する線状ドリルの取付精度を常に所定の
精度に維持することができる。

【００１７】

【実施例】以下、添付図面に基づいて本発明の超音波加
工装置を詳細に説明する。◎第一実施例 図１は本発明を適用した超音波加工装置の第一実施例を
示すものである。同図において、符号１は先端が被加工
物（図示せず）に当接すると共にこの装置を上下に貫通
する長尺な線状ドリル、符号２は上記線状ドリル１に超
音波振動を与えるための振動子１０並びに線状ドリルを
連続的に送出するためのドリル送出手段２０が収納され
た加工ヘッド、符号３は上記線状ドリル１を振動子１０
と共に正逆両方向へ回転させるサーボモータ、符号４は
研削油剤を当該装置に取り込むための取り入れ口４１が
形成された研削油剤供給ユニット、符号５は上記ドリル
送出手段２０に対して線状ドリル１の送り出しを行わし
めるエアシリンダユニットである。

【００１８】先ず、上記加工ヘッド２について説明す
る。加工ヘッド２の先端には上記ドリル送出手段２０が
配設されており、当該装置を貫通する線状ドリル１を把
持固定すると共に、上記エアシリンダユニット５の動作
に応じて線状ドリル１を加工ヘッド２の先端から被加工
物に向けて所定量ずつ繰り出すように構成されている。

【００１９】図２に示すように、上記ドリル送出手段２
０は、上記線状ドリル１が進退自在に貫通すると共に先
端にチャック爪２１を備えたチャックパイプ２２と、こ
のチャックパイプ２２が進退自在に貫通すると共に、先
端に上記チャック爪２１を締め付けるチャック座２３が
形成されたチャックガイド２４と、上記チャックパイプ
２２の後端に固定されると共に上記チャックガイド２４
との間にスプリング２５が介装されたノック部材２６と
から構成されており、上記ノック部材２６をチャックガ
イド２４に向けて適宜押圧することにより、シャープペ
ンシルの芯送り出し機構の如く上記チャック爪２１から
線状ドリル１が繰り出されるようになっている。すなわ
ち、ノック部材２６を押圧するとチャック爪２１がチャ
ック座２３から浮き上がって開放され、線状ドリル１が
チャックパイプ内から送り出される一方、ノック部材２
６の押圧を解除すると、チャック爪２１がチャック座２
３に引き込まれ、線状ドリル１がチャック爪２１によっ
て把持固定されるものである。

【００２０】上記ノック部材２６は後に詳述するエアシ
リンダユニット５によって適宜押圧されるが、かかるエ
アシリンダユニット５の押圧力をノック部材２６に伝達
する手段としては線状ドリル１と共に当該装置を貫通す
るガイドパイプ６が用いられている。図２においてノッ
ク部材２６に連結されているパイプ６がこのガイドパイ
プであり、線状ドリル１はこのガイドパイプ６内を挿通
してエアシリンダユニット５からドリル送出手段２０ま
で送り込まれている。

【００２１】また、上記チャックガイド２４の先端には
チャック爪２１から繰り出される線状ドリル１を案内す
るガイドキャップ２７が取付られているが、線状ドリル
１の一部分に極端な曲げ応力が集中するのを防止するた
め、かかるガイドキャップ２７の先端部２７ａは直径の
異なる幾つかのパイプを入れ子式に連結して構成されて
いる。

【００２２】図３は本実施例の装置で使用される線状ド
リル１を示すものである。この線状ドリル１は直径０．
０７〜０．１２ｍｍ程度の極細台金線１ａの周囲にダイ
ヤモンド砥粒１ｂを一様に電着して形成されており、加
工に際して外部から砥粒を供給しなくても被加工物の研
削加工が行えるようになっている。

【００２３】しかし、台金線１ａの周囲にダイヤモンド
砥粒１ｂを一様に電着した場合には、ドリル送出手段２
０のチャック爪２１がダイヤモンド砥粒１ｂの上から線
状ドリル１を把持することになり、線状ドリル１に印加
される超音波振動の影響でチャック爪２１が早期に磨耗
することが懸念される。従って、図４に示すように、台
金線１ａの周囲にダイヤモンド砥粒１ｂを所定間隔で電
着し、台金線１ａが露出している部分をチャック爪２１
の把持部１ｃとするのが好ましい。

【００２４】また、前述したように線状ドリル１はその
直径が極端に細いものなので、そのままの台金線１ａを
チャック爪２１で把持したのでは、線状ドリル１の固定
不確実なものとなる懸念がある。従って、図５に示すよ
うに、チャック爪２１による把持部１ｄの径をダイヤモ
ンド砥粒１ｂの電着部のそれよりも大きく設定し、この
大径把持部１ｄをチャック爪２１で把持するのが好まし
い。把持部１ｄの径を大きく設定する方法としては、台
金線１ａの周囲にパイプを嵌合させる方法や、メッキ処
理によって台金線１ａの径を太らせる方法がある。

【００２５】図６は、上記ドリル送出手段２０によって
図５に示す線状ドリル１を把持固定した状態を示すもの
である。この図に示されるように、線状ドリル１はその
大径把持部１ｄがチャック爪２１に固定されて使用さ
れ、線状ドリル１をチャック爪２１から繰り出す場合に
は、次の大径把持部１ｄがチャック爪２１によって把持
固定される。また、チャック爪２１から繰り出された最
初の把持部１ｄはカッタによって線状ドリル１から切り
落とされ、これによって線状ドリル１の先端にはダイヤ
モンド砥粒１ｂの電着部が準備されることになる。

【００２６】一方、図２において、線状ドリル１を案内
するガイドキャップ２７の周囲にはこれを取り囲むよう
にして研削油剤の注油パイプ２８が配列されており、前
述した研削油剤供給ユニット４から送られてきた研削油
剤が線状ドリル１の先端目がけて注がれるようになって
いる。上記研削油剤供給ユニット４から注油パイプ２８
に至るまでの研削油剤の送油は、上記ガイドパイプ６を
取り囲むようにして配設された研削油剤の供給パイプ７
によって行われる。この供給パイプ７はガイドパイプ６
と共に上記サーボモータ３及び超音波振動子１０を貫通
しており、上記ドリル送出手段２０を覆うように配設さ
れた連結パイプ２９によって上記注油パイプ２８に連結
されている。また、図２中のＡ−Ａ断面に示されるよう
に、上記供給パイプ７は被覆パイプ８によってガイドパ
イプ６の周囲に取りまとめられている。

【００２７】このように、本実施例では超音波振動子１
０を貫通する線状ドリル１に沿って研削油剤の供給パイ
プ７を設け、線状ドリル１の先端に対しては当該ドリル
１の長手方向から研削油剤を注油するようにしたので、
被加工物の研削加工中において線状ドリル１の先端に振
れが発生するのを可及的に防止できるようになってい
る。

【００２８】尚、上記供給パイプ７及び被覆パイプ８と
しては、図７に示すように、研削油剤の送油通路７′が
開設された多孔パイプ８′を用い、上記ガイドパイプ６
を多孔パイプ８′の中心に挿通させるようにしても良
い。このように構成すれば、多数の供給パイプ７を被覆
パイプ８で束ねる手間を省略することができる。

【００２９】次に、上記線状ドリル１を超音波振動子１
０と共に回転させるための構成について説明する。上記
加工ヘッド２のハウジング２ａには上記サーボモータ３
の出力軸３０に連結されたロータ１１が内装されてお
り、かかるロータ１１は上記ハウジング２ａに対して回
転自在に支承されている。

【００３０】図８は上記ロータ１１を示すものである。
このロータ１１はロータ本体１１ａ及びこれに固定され
るロータカバー１１ｂとから構成されており、これらの
結合によって形成される中空部内に後述する超音波振動
子１０及びホーン１２が収納されている。また、上記ロ
ータ本体１１ａの外周面にはその円周方向に沿ったスリ
ップリング１３が２箇所に設けられており、このスリッ
プリング１３は上記超音波振動子１０の圧電素子１０ａ
に接続されている。従って、このスリップリング１３に
対してハウジング２ａ側から付勢された給電ブラシ１４
を摺接させることで、回転するロータ１１内の超音波振
動子１０に電源を接続することができるようになってい
る。

【００３１】ロータ１１内に収容される超音波振動子１
０は、図９に示されるように、上記環状電極１３からの
リード線が接続された圧電素子１０ａと、この圧電素子
１０ａを挟むようにして互いに固定された前面板１０ｂ
及び裏打板１０ｃとから構成され、上記前面板１０ｂの
一端に形成された延長部１５が圧電素子１０ａ及び裏打
板１０ｃを貫通している。また、上記前面板１０ｂの外
周面には超音波振動の節となる位置に対応してフランジ
部１６が設けられており、ロータカバー１１ｂをロータ
本体１１ａに固定した際に上記フランジ部１６がこれら
の間に挟み込まれ、超音波振動子１０がロータ１１の内
周面に対して非接触で固定されるようになっている。

【００３２】一方、図８に示すように、上記前面板１０
ｂには当該超音波振動子１０で発生した超音波振動を前
述のドリル送出手段２０に伝達するホーン１２が固定さ
れており、かかるホーン１２の先端には前述のドリル送
出手段２０を装着するための収容室１７が形成されてい
る。この実施例において上記ドリル送出手段２０はホー
ン１２に対して着脱自在であり、上記収容室１７にドリ
ル送出手段２０を装着した際に、ドリル送出手段２０の
ノック部材２６がガイドパイプ６と連結され、且つ、連
結パイプ２９が被覆パイプ８と連結されるようになって
いる（図２参照）。また、ホーン１２に対するドリル送
出手段２０の固定は、当該ドリル送出手段２０を収容室
１７に装着した後に、ホーン１２の先端に止めキャップ
１８を螺合させて行う。従って、かかる止めキャップ１
８を外せば容易にドリル送出手段２０を交換することが
できる。

【００３３】尚、この実施例においてホーン１２は前面
板１０ｂに形成された雌ねじ１９に螺合し、超音波振動
子１０と強固に固定されている。また、前面板１０ｂの
延長部１５及びホーン１２の先端部はボールブッシュ９
を介してロータ本体１１ａあるいはロータカバー１１ｂ
に夫々支承されており、かかるボールブッシュ９がロー
タ本体１１ａ及びロータカバー１１ｂに対する超音波振
動の伝播を防止している。

【００３４】そして、以上のように構成された本実施例
の装置の加工ヘッド２においては、サーボモータ３の出
力軸３０が回転すると、これに連結されたロータ１１が
回転を生じ、線状ドリル１を超音波振動子１０と共に回
転させながら被加工物に対して研削加工を施すことがで
きるものである。

【００３５】一方、超音波振動子１０の発熱によるロー
タ１１の寸法精度の変化を抑えるため、本実施例の加工
ヘッド２のハウジング２ａには圧搾空気が対流する空冷
ジャケット３１が設けられている。かかる圧搾空気は前
述の研削液供給ユニットに形成された空気取り入れ口４
２から当該装置に取り込まれ、中空状に形成されたサー
ボモータ３の出力軸３０を介して上記加工ヘッド２のハ
ウジング２ａ内に送り込まれる。

【００３６】次に、上記ガイドパイプ６を介してドリル
送出手段２０のノック部材２６を押圧するエアシリンダ
ユニット５について説明する。かかるユニット５１は、
図１０に示すように、空圧室が形成されたシリンダ部材
５２と、上記ガイドパイプ６に連結されると共に線状ド
リル１が貫通する動作ロッド５３と、この動作ロッド５
３に固定されると共にシリンダ部材５２の内部を進退す
るピストン部材５４と、上記空圧室に作動空気を送り込
むポート５５，５６を備えたハウジング５７とから構成
されている。尚、図中において、符号５８はガイドパイ
プ６の回転を上記動作ロッド５３に伝達することなく両
者を連結するクラッチ部材である。

【００３７】このような構成のもと、ポート５５を通じ
てシリンダ部材５２の空圧室へ作動空気を圧送すると、
ピストン部材５４は動作ロッド５３を引き戻し、ガイド
パイプ６のノック部材２６の押圧が解除される。その結
果、ドリル送出手段２０ではチャック爪２１が線状ドリ
ル１を把持固定する。一方、ポート５６を通じてシリン
ダ部材５２の空圧室へ作動空気を圧送すると、ピストン
部材５４は動作ロッド５３を押圧し、ガイドパイプ６が
ノック部材２６を押圧する。その結果、ドリル送出手段
２０ではチャック爪２１が開き、線状ドリル１がガイド
キャップ２７の先端から繰り出される。従って、圧搾空
気を導くポートを適宜切り替えることによってドリル送
出手段２０が作動し、線状ドリル１が加工ヘッド２から
被加工物に向けて所定量ずつ繰り出される。尚、図１０
はピストン部材５４が動作ロッド５３を引き戻している
状態を示している。

【００３８】そして、以上のように構成された本実施例
の超音波加工装置によれば、上記エアシリンダユニット
５を動作させることにより、ドリル送出手段２０から連
続的に線状ドリル１が繰り出されるので、線状ドリル１
の先端が磨耗した場合であっても、線状ドリル１の交換
作業を行うことなく連続的に被加工物の研削加工を実施
することができるものである。

【００３９】◎第二実施例 次に、本発明の超音波加工装置の第二実施例について説
明する。前述の第一実施例では予めダイヤモンド砥粒が
電着された線状ドリル１を用いたが、この実施例の装置
では研削油剤中に砥粒を分散させ、線状ドリル１として
は砥粒が未電着の台金線を用いるようにした。

【００４０】このため、図１１のＢ−Ｂ断面に示される
ように、ガイドパイプ６の周囲を供給パイプ７ａ，７ｂ
で二重に取り囲み、一方の供給パイプ７ａを研削油剤用
の供給パイプに、他方の供給パイプ７ｂを砥粒用の供給
パイプとし、ドリル送出手段２０を覆う連結パイプ２９
内において砥粒が研削油剤中に分散されるようにした。
また、図示はしないが、第一実施例の研削油剤供給ユニ
ット４には砥粒専用の取り入れ口を設け、上記砥粒用供
給パイプ７ｂが研削油剤用供給パイプ７ａと共にサーボ
モータ３及び超音波振動子１０を貫通するように構成し
た。

【００４１】このように研削油剤と砥粒とを別々に当該
装置に取り入れるようにしたのは、砥粒の過剰供給を防
止するためである。すなわち、研削油剤は絶えず線状ド
リル１の先端に供給している必要があるが、砥粒は研削
加工の進展状況に応じて断続的に供給すれば足りるから
である。従って、本実施例では砥粒の無駄使いを防止し
ながら、前述の第一実施例と同様、線状ドリル１の交換
を行うことなく連続的に被加工物の研削加工を実施する
ことができる。

【００４２】尚、この第二実施例におけるその他の構成
は前述の第一実施例と同じなので、ここではその説明を
省略する。

【００４３】また、前述の第一実施例及び第二実施例で
はサーボモータ３の出力軸３０を加工ヘッド２のロータ
１１に直接連結したが、サーホモータを加工ヘッド２と
隣接配置し、タイミングベルトやギヤを用いてサーボモ
ータの出力軸の回転をロータ１１に伝達するようにして
も良い。

【００４４】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の超音
波加工装置によれば、加工時間の累積に伴い線状ドリル
の先端が磨耗してきた場合でも、上記ドリル送出手段で
線状ドリルを送り出すことにより、線状ドリルの交換作
業を行うことなく被加工物に対して連続して加工を施す
ことができるので、手間のかかる線状ドリルの交換作業
が不要となり、加工効率を著しく高めることが可能とな
る。

【００４５】また、線状ドリルの交換作業が不要となる
ことから、超音波加工装置に対する線状ドリルの取付精
度が損なわれることもないので、常に所定の精度を維持
して被加工物に加工を施すことができ、被加工物の加工
精度の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の超音波加工装置の第一実施例を示す
概略構成図である。

【図２】 第一実施例に係るドリル送出手段を示す拡大
図である。

【図３】 第一実施例の超音波加工装置に使用する線状
ドリルを示す斜視図である。

【図４】 図３に示す線状ドリルにチャック爪の把持部
を形成したものを示す斜視図である。

【図５】 図４に示す線状ドリルの把持部を太らせたも
のを示す斜視図である。

【図６】 図５に示す線状ドリルのドリル送出手段にお
ける把持固定状態を示す斜視透視図である。

【図７】 第一実施例に係る供給パイプ及び被覆パイプ
の変形例を示す断面図である。

【図８】 第一実施例に係る加工ヘッドのロータを示す
断面図である。

【図９】 第一実施例に係る超音波振動子を示す正面図
である。

【図１０】 第一実施例に係る研削油剤供給ユニット及
びエアシリンダユニットを示す拡大図である。

【図１１】 第二実施例に係るドリル送出手段の周辺を
示す拡大図である。

【符号の説明】

１…線状ドリル、６…ガイドパイプ、１０…超音波振動
子、２０…ドリル送出手段、２１…チャック爪、２２…
チャックパイプ、２３…チャック座、２４…チャックガ
イド、２６…ノック部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23B 37/00 B24B 1/04 B24D 5/00,7/18 B26D 7/08

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 線状ドリルに超音波振動を与えながら被
   加工物に微細孔を形成する超音波加工装置であって、 先端が上記被加工物に当接すると共に、ガイドパイプ内
   を進退自在に貫通する長尺な線状ドリルと、上記ガイド
   パイプが貫通する超音波振動子と、この超音波振動子の
   先端に固定され、上記ガイドパイプ内から被加工物に向
   けて線状ドリルを連続的に送り出すと共に、当該線状ド
   リルを把持固定するドリル送出手段とから構成されるこ
   とを特徴とする超音波加工装置。
2. 【請求項２】 上記ドリル送出手段は、上記線状ドリル
   が進退自在に貫通すると共に、先端には当該線状ドリル
   を把持するチャック爪を備えたチャックパイプと、この
   チャックパイプが進退自在に貫通すると共に、上記チャ
   ック爪を締め付けるチャック座が形成されたチャックガ
   イドと、上記ガイドパイプの先端と上記チャックパイプ
   の後端とを連結して、当該ガイドパイプの進退に応じて
   チャックパイプをチャックガイドに対して進退させるノ
   ック部材とから構成されることを特徴とする請求項１記
   載の超音波加工装置。
3. 【請求項３】 上記ドリル送出手段が超音波振動子に対
   して脱着自在であることを特徴とする請求項２記載の超
   音波加工装置。
4. 【請求項４】 流体圧力に応じて進退するピストン部材
   を上記ガイドパイプの後端に連結したことを特徴とする
   請求項２又は請求項３記載の超音波加工装置。
5. 【請求項５】 研削油剤を上記線状ドリルの先端に供給
   する液通路が上記ガイドパイプ及びドリル送出手段を取
   り巻くように設けられ、上記ガイドパイプと共に超音波
   振動子を貫通していることを特徴とする請求項１又は請
   求項２記載の超音波加工装置。
6. 【請求項６】 請求項２記載の超音波加工装置に用いら
   れる線状ドリルであって、 一様な径を有する長尺な台金の長手方向に沿って上記チ
   ャック爪の把持部が所定間隔で形成されると共に、当該
   把持部の径が上記台金の径よりも大きいことを特徴とす
   る線状ドリル。
7. 【請求項７】 請求項２記載の超音波加工装置に用いら
   れる線状ドリルであって、 一様な径を有する長尺な台金の長手方向に沿って砥粒電
   着部が間欠的に形成されると共に、互いに隣接する砥粒
   電着部の間が上記チャック爪の把持部となっていること
   を特徴とする線状ドリル。
8. 【請求項８】 上記把持部の外径が上記砥粒電着部と同
   等あるいはそれ以上の径に形成されていることを特徴と
   する請求項７記載の線状ドリル。