JP3157124U - 窒化ガリウム系発光ダイオードの構造 - Google Patents
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Abstract
Description
2:低温窒化ガリウム緩衝層
3:高温窒化ガリウム緩衝層
4、54:N型ドープした窒化ガリウムのオーム接触層
5:発光層
6、56:P型ドープした窒化アルミニウムガリウムのクラッド層
7、57:P型ドープした窒化ガリウムのオーム接触層
8、58:透光導電層
9、59:第1電極
10、60:第2電極
20:基板
21:酸化亜鉛系半導体層
22:遷移層
23:第1型ドープした半導体層
24:発光層
25:第2型ドープした半導体層
32:第1遷移層
33:第2遷移層
51:凹凸パターンを形成したサファイア基板
53:ドープしていない窒化ガリウム半導体層
55:窒化インジウムガリウム多重量子井戸構造発光層
61:凹凸パターンを形成した酸化亜鉛系半導体層
Claims (29)
- 窒化ガリウム系発光ダイオードの構造において、
基板と、
前記基板の上方に形成する酸化亜鉛系半導体層と、
前記酸化亜鉛系半導体層の上方に形成する遷移層と、
前記遷移層の上方に形成する第1型ドープした半導体層と、
前記第1型ドープした半導体層の上方に形成する発光層と、
前記発光層の上方に形成する第2型ドープした半導体層と、
を含む窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。 - 前記遷移層は、金属濡れ層と窒化層を複数回の交互に重ね合わせて構成されることを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記金属濡れ層は、膜厚が1〜5原子層であるアルミニウム、ガリウムまたはインジウムのいずれかより形成することを特徴とする請求項2に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記窒化層は、膜厚が1〜5原子層である窒素原子より形成することを特徴とする請求項2に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記アルミニウム、ガリウムまたはインジウムはそれぞれ、トリメチルアルミニウム、トリメチルガリウムまたはトリメチルインジウムである前駆物質より形成されることを特徴とする請求項3に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記アルミニウム、ガリウムまたはインジウムはそれぞれ、トリエチルアルミニウム、トリエチルガリウムまたはトリエチルインジウムである前駆物質より形成されることを特徴とする請求項3に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記窒素原子は、アンモニア、ジメチルヒドラジンまたはターシャリーブチルヒドラジンのいずれかより形成されることを特徴とする請求項4に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記基板は、サファイア、炭化珪素、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化リチウムガリウム、酸化リチウムアルミニウム、スピネル、珪素、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、リン化ガリウム、ガラスまたはホウ化ジルコニウムのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記基板は、さらに凹凸パターンを形成した表面を含むことを特徴とする請求項8に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記酸化亜鉛系半導体層は、さらに凹凸パターンを形成した表面を含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記第2型ドープした半導体層の上方にさらに透光導電層を含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記透光導電層の上方にさらに第1電極を含むことを特徴とする請求項11に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記第1型ドープした半導体層の上方にさらに第2電極を含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 窒化ガリウム系発光ダイオードの構造において、
基板と、
前記基板の上方に形成する酸化亜鉛系半導体層と、
前記酸化亜鉛系半導体層の上方に形成する第1遷移層と、
前記第1遷移層の上方に形成する第2遷移層と、
前記第2遷移層の上方に形成する第1型ドープした半導体層と、
前記第1型ドープした半導体層の上方に形成する発光層と、
前記発光層の上方に形成する第2型ドープした半導体層と、
を含む窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。 - 前記第1遷移層と前記第2遷移層は、金属濡れ層と窒化層とを複数回の交互に重ね合わせて構成されることを特徴とする請求項14に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記金属濡れ層は、膜厚が1〜5原子層であり、複数回の交互に重ね合わせて構成されるアルミニウム金属濡れ層および膜厚が1〜5原子層である窒素原子より構成されることを特徴とする請求項15に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記第2遷移層は、膜厚が1〜5原子層であり、複数回の交互に重ね合わせて構成されるガリウム金属濡れ層および膜厚が1〜5原子層である窒素原子より構成されることを特徴とする請求項15に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記基板は、サファイア、炭化珪素、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化リチウムガリウム、酸化リチウムアルミニウム、スピネル、珪素、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、リン化ガリウム、ガラスまたはホウ化ジルコニウムのいずれかであることを特徴とする請求項14に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記基板は、さらに凹凸パターンを形成した表面を含むことを特徴とする請求項18に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記酸化亜鉛系半導体層は、さらに凹凸パターンを形成した表面を含むことを特徴とする請求項14に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記第2型ドープした半導体層の上方にさらに透光導電層を含むことを特徴とする請求項14に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記透光導電層の上方にさらに第1電極を含むことを特徴とする請求項21に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記第1型ドープした半導体層の上方にさらに第2電極を含むことを特徴とする請求項14に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 窒化ガリウム系発光ダイオードの構造において、
基板と、
前記基板の上方に形成する酸化亜鉛系半導体層と、
前記酸化亜鉛系半導体層の上方に形成する金属濡れ層と、
前記金属濡れ層の上方に形成する窒素原子層と、
前記窒素原子層の上方に形成する窒化ガリウム系半導体積層構造と、
を含む窒化ガリウム系発光ダイオードの構造であって、
複数回の交互に重ね合わせて構成される金属濡れ層と窒素原子層であることを特徴とする窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。 - 前記金属濡れ層は、膜厚が1〜5原子層であるアルミニウム、ガリウムまたはインジウムのいずれかより形成することを特徴とする請求項24に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記窒化ガリウム系半導体積層構造の上方にさらに透光導電層を含むことを特徴とする請求項24に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記透光導電層の上方にさらに第1電極を含むことを特徴とする請求項26に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記窒化ガリウム系半導体積層構造は、ドープしていない窒化ガリウム系半導体層、N型ドープした窒化ガリウムのオーム接触層、窒化インジウムガリウム/窒化ガリウム多重量子井戸構造発光層、P型ドープした窒化アルミニウムガリウムのクラッド層およびP型ドープした窒化ガリウムのオーム接触層から構成されることを特徴とする請求項24に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
- 前記N型ドープした窒化ガリウムのオーム接触層の上方にさらに第2電極を含むことを特徴とする請求項28に記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの構造。
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