JP3152523B2 - 干渉縞によるｃｃｄの位置認識方法 - Google Patents
干渉縞によるｃｃｄの位置認識方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種光学機械にＣＣＤ
を位置認識して取りつける方法に関し、特に、３板式カ
ラーカメラにＣＣＤを取りつける場合のＣＣＤの位置認
識方法に関するものである。
を位置認識して取りつける方法に関し、特に、３板式カ
ラーカメラにＣＣＤを取りつける場合のＣＣＤの位置認
識方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来例の干渉縞によるＣＣＤの位置認識
方法を図１（ａ）、図１（ｂ）、図２に基づいて説明す
る。
方法を図１（ａ）、図１（ｂ）、図２に基づいて説明す
る。
【０００３】図１（ａ）は、別に印刷された縞の幅２と
縞の間隔３とが総て等しい平行明暗縞模様１をＣＣＤカ
メラに写し、カメラ倍率ｍを調整して、縞の幅２と縞の
間隔３とが総て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子４の
ピッチのｍ倍と僅かに異なる平行明暗縞模様１をＣＣＤ
上に形成するようにした状態を示す。６は位置認識の基
準になる長い縞で、上下何れの方向にでも長くなってい
れば良い。この状態で、図１（ａ）に示すように、縞の
幅２と縞の間隔３とが総て等しく且つＣＣＤ受光素子４
のピッチのｍ倍と僅かに異なるので、ＣＣＤ受光素子４
の受光量は、並んでいるＣＣＤ受光素子４の１個毎に前
記異なっている差分だけ位置がずれて変化し、その変化
はＣＣＤ受光素子４の１個について１差分になり、ＣＣ
Ｄカメラは、平行明暗縞模様１の縞の幅２や間隔３とＣ
ＣＤ受光素子４のピッチとの差で形成される干渉縞パタ
ーンを図１（ｂ）に示すように出力する。
縞の間隔３とが総て等しい平行明暗縞模様１をＣＣＤカ
メラに写し、カメラ倍率ｍを調整して、縞の幅２と縞の
間隔３とが総て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子４の
ピッチのｍ倍と僅かに異なる平行明暗縞模様１をＣＣＤ
上に形成するようにした状態を示す。６は位置認識の基
準になる長い縞で、上下何れの方向にでも長くなってい
れば良い。この状態で、図１（ａ）に示すように、縞の
幅２と縞の間隔３とが総て等しく且つＣＣＤ受光素子４
のピッチのｍ倍と僅かに異なるので、ＣＣＤ受光素子４
の受光量は、並んでいるＣＣＤ受光素子４の１個毎に前
記異なっている差分だけ位置がずれて変化し、その変化
はＣＣＤ受光素子４の１個について１差分になり、ＣＣ
Ｄカメラは、平行明暗縞模様１の縞の幅２や間隔３とＣ
ＣＤ受光素子４のピッチとの差で形成される干渉縞パタ
ーンを図１（ｂ）に示すように出力する。
【０００４】図１（ｂ）は、干渉縞パターンを形成する
ＣＣＤ受光素子４の画素濃度の変化を示す。ＣＣＤ受光
素子４の受光量７のグラフが示すように、ＣＣＤ受光素
子４の受光量７は平行明暗縞模様１の明暗に対応して隣
接順に交互に明暗を繰り返し干渉縞パターンを形成す
る。この干渉縞パターンは、図１（ａ）に示すようにＣ
ＣＤ受光素子４が平行明暗縞模様１の明暗境界上にある
範囲５においては、図１（ｂ）のＣＣＤ受光素子４の受
光量７のグラフの範囲５に示すようにＣＣＤ受光素子４
の受光量７の振幅は小さくなり、この振幅が小さくなっ
た位置を干渉縞の節と言う。又、図１（ａ）の長い縞６
近傍のように、ＣＣＤ受光素子４が平行明暗縞模様１の
幅２又は間隔３内に収まっている範囲では、ＣＣＤ受光
素子４の受光量７の振幅は大きくなり、この振幅が大き
くなった位置を干渉縞の腹という。
ＣＣＤ受光素子４の画素濃度の変化を示す。ＣＣＤ受光
素子４の受光量７のグラフが示すように、ＣＣＤ受光素
子４の受光量７は平行明暗縞模様１の明暗に対応して隣
接順に交互に明暗を繰り返し干渉縞パターンを形成す
る。この干渉縞パターンは、図１（ａ）に示すようにＣ
ＣＤ受光素子４が平行明暗縞模様１の明暗境界上にある
範囲５においては、図１（ｂ）のＣＣＤ受光素子４の受
光量７のグラフの範囲５に示すようにＣＣＤ受光素子４
の受光量７の振幅は小さくなり、この振幅が小さくなっ
た位置を干渉縞の節と言う。又、図１（ａ）の長い縞６
近傍のように、ＣＣＤ受光素子４が平行明暗縞模様１の
幅２又は間隔３内に収まっている範囲では、ＣＣＤ受光
素子４の受光量７の振幅は大きくなり、この振幅が大き
くなった位置を干渉縞の腹という。
【０００５】前記の干渉縞の節と腹とは交互に周期的に
出現し、ＣＣＤ上でのこの周期の長さをｂｍ（ｂｅｔｗ
ｅｅｎ ｏｆ Ｍｏｉｒｅ）とする。
出現し、ＣＣＤ上でのこの周期の長さをｂｍ（ｂｅｔｗ
ｅｅｎ ｏｆ Ｍｏｉｒｅ）とする。
【０００６】図１（ｂ）の８〜１０は、従来例には関係
が無く、実施例で説明する。
が無く、実施例で説明する。
【０００７】図２は、３板式カラーカメラのＣＣＤ貼り
合わせ部分を示す。ＣＣＤ貼り合わせ部分は、ＣＣＤの
素子板１５と、赤フィルタ１６と、緑フィルタ１７と、
青フィルタ１８と、プリズム１９とを有し、キセノンラ
ンプ２１の光２０が、平行明暗縞模様１を通過し、レン
ズ２２で倍率を調整され、プリズム１９で分光され、各
フィルタ１６、１７、１８を通過してＣＣＤの素子板１
５に到達する。
合わせ部分を示す。ＣＣＤ貼り合わせ部分は、ＣＣＤの
素子板１５と、赤フィルタ１６と、緑フィルタ１７と、
青フィルタ１８と、プリズム１９とを有し、キセノンラ
ンプ２１の光２０が、平行明暗縞模様１を通過し、レン
ズ２２で倍率を調整され、プリズム１９で分光され、各
フィルタ１６、１７、１８を通過してＣＣＤの素子板１
５に到達する。
【０００８】次に、従来例の干渉縞によるＣＣＤの位置
認識方法を説明する。
認識方法を説明する。
【０００９】ＣＣＤ受光素子４のピッチをｐｃｃｄ（ｐ
ｉｔｃｈ ｏｆ ＣＣＤ）、平行明暗縞模様１の縞の幅
２又は縞の間隔３をｗｓ（ｗｉｄｔｈ ｏｆ ｓｔｒｉ
ｐｅ）、カメラ倍率をｍ（ｍｕｌｔｉｐｙｌｉｎｇ ｒ
ａｔｅ）とした場合、平行明暗縞模様１の縞の幅２と縞
の間隔３とが総て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子４
のピッチのｍ倍と僅かに異なるという条件、即ち、 ｗｓ≠ｐｃｃｄ×ｍ ａｎｄ ｗｓ≒ｐｃｃｄ×ｍ が干渉縞が発生する条件である。
ｉｔｃｈ ｏｆ ＣＣＤ）、平行明暗縞模様１の縞の幅
２又は縞の間隔３をｗｓ（ｗｉｄｔｈ ｏｆ ｓｔｒｉ
ｐｅ）、カメラ倍率をｍ（ｍｕｌｔｉｐｙｌｉｎｇ ｒ
ａｔｅ）とした場合、平行明暗縞模様１の縞の幅２と縞
の間隔３とが総て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子４
のピッチのｍ倍と僅かに異なるという条件、即ち、 ｗｓ≠ｐｃｃｄ×ｍ ａｎｄ ｗｓ≒ｐｃｃｄ×ｍ が干渉縞が発生する条件である。
【００１０】干渉縞ができている場合、干渉縞の節から
節までの間でＣＣＤ受光素子４のピッチと縞の幅２と縞
の間隔３とを数えると、ＣＣＤ受光素子４のピッチ数
と、縞の幅２の数に縞の間隔３の数を加えた数とが丁度
１ずれている。これは、干渉縞の節から節までの間で、
ＣＣＤ受光素子４の１ピッチ毎に、ＣＣＤ受光素子４の
位置と平行明暗縞模様１との相互位置が、ｐｃｃｄとｗ
ｓとの大小関係によって、±（ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ）ず
つずれているためで、干渉縞の節から節までの間で縞の
幅２と縞の間隔３との合計がＮ個の場合には、ＣＣＤ受
光素子４の１ピッチについて±（ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ）
ずつずれ、Ｎ個で丁度ＣＣＤ受光素子４の１ピッチ分ｐ
ｃｃｄ×ｍだけずれて、もとの相互位置関係に戻ったこ
とを示している。
節までの間でＣＣＤ受光素子４のピッチと縞の幅２と縞
の間隔３とを数えると、ＣＣＤ受光素子４のピッチ数
と、縞の幅２の数に縞の間隔３の数を加えた数とが丁度
１ずれている。これは、干渉縞の節から節までの間で、
ＣＣＤ受光素子４の１ピッチ毎に、ＣＣＤ受光素子４の
位置と平行明暗縞模様１との相互位置が、ｐｃｃｄとｗ
ｓとの大小関係によって、±（ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ）ず
つずれているためで、干渉縞の節から節までの間で縞の
幅２と縞の間隔３との合計がＮ個の場合には、ＣＣＤ受
光素子４の１ピッチについて±（ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ）
ずつずれ、Ｎ個で丁度ＣＣＤ受光素子４の１ピッチ分ｐ
ｃｃｄ×ｍだけずれて、もとの相互位置関係に戻ったこ
とを示している。
【００１１】そして、上記のように、縞の幅２部分と間
隔３部分とをそれぞれ１とし、縞の幅２部分の数と間隔
３部分の数との和がＮの場合、干渉縞の節ら節までの長
さを計算する式は、次のようになる。
隔３部分とをそれぞれ１とし、縞の幅２部分の数と間隔
３部分の数との和がＮの場合、干渉縞の節ら節までの長
さを計算する式は、次のようになる。
【００１２】干渉縞発生条件が、ｗｓ≠ｐｃｃｄ×ｍ
ａｎｄ ｗｓ≒ｐｃｃｄ×ｍで、且つ、 ｗｓ＞ｐｃｃｄ×ｍ・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・（１） の場合には、 ｂｍ＝ｗｓ×Ｎ＝ｐｃｃｄ×ｍ×（Ｎ＋１）・・・・・
・・・・・・・（２） このＮを書き変えると、 ｂｍ＝ｗｓ×ｐｃｃｄ×ｍ／（ｗｓ−ｐｃｃｄ×ｍ）・
・・・・・・・（３） となる。
ａｎｄ ｗｓ≒ｐｃｃｄ×ｍで、且つ、 ｗｓ＞ｐｃｃｄ×ｍ・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・（１） の場合には、 ｂｍ＝ｗｓ×Ｎ＝ｐｃｃｄ×ｍ×（Ｎ＋１）・・・・・
・・・・・・・（２） このＮを書き変えると、 ｂｍ＝ｗｓ×ｐｃｃｄ×ｍ／（ｗｓ−ｐｃｃｄ×ｍ）・
・・・・・・・（３） となる。
【００１３】又、干渉縞発生条件が、ｗｓ≠ｐｃｃｄ×
ｍ ａｎｄ ｗｓ≒ｐｃｃｄ×ｍで、且つ、 ｗｓ＜ｐｃｃｄ×ｍ・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・（４） の場合は、 ｂｍ＝ｗｓ×Ｎ＝ｐｃｃｄ×ｍ×（Ｎ−１）・・・・・
・・・・・・・（５） このＮを書き変えると、 ｂｍ＝ｗｓ×ｐｃｃｄ×ｍ／（ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ）・
・・・・・・・（６） となる。
ｍ ａｎｄ ｗｓ≒ｐｃｃｄ×ｍで、且つ、 ｗｓ＜ｐｃｃｄ×ｍ・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・（４） の場合は、 ｂｍ＝ｗｓ×Ｎ＝ｐｃｃｄ×ｍ×（Ｎ−１）・・・・・
・・・・・・・（５） このＮを書き変えると、 ｂｍ＝ｗｓ×ｐｃｃｄ×ｍ／（ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ）・
・・・・・・・（６） となる。
【００１４】式（３）と式（６）とを統一すると、 ｂｍ＝ｗｓ×ｐｃｃｄ×ｍ／｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ｜・
・・・・・・・（７） となる。
・・・・・・・（７） となる。
【００１５】又、ＣＣＤカメラを固定して、前記平行明
暗縞模様１を僅かに移動してＣＣＤ受光素子４と平行明
暗縞模様１との相互位置関係をずれさせた場合、このず
れ量をｘとすると、ずれ量ｘは、ＣＣＤ受光素子４の１
ピッチ分ｐｃｃｄ×ｍ移動する毎に｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗ
ｓ｜ずつ打ち消されるので、ずれ量ｘを丁度打ち消すの
は、ＣＣＤ受光素子４の１ピッチ分ｐｃｃｄ×ｍの｛ｘ
／｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ｜｝倍となり、これが前記ずれ
量に対する干渉縞の節が基準位置から移動する移動量に
なる。
暗縞模様１を僅かに移動してＣＣＤ受光素子４と平行明
暗縞模様１との相互位置関係をずれさせた場合、このず
れ量をｘとすると、ずれ量ｘは、ＣＣＤ受光素子４の１
ピッチ分ｐｃｃｄ×ｍ移動する毎に｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗ
ｓ｜ずつ打ち消されるので、ずれ量ｘを丁度打ち消すの
は、ＣＣＤ受光素子４の１ピッチ分ｐｃｃｄ×ｍの｛ｘ
／｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ｜｝倍となり、これが前記ずれ
量に対する干渉縞の節が基準位置から移動する移動量に
なる。
【００１６】従って、ＣＣＤ受光素子４の正規位置から
のずれ量ｘに対応して干渉縞の節が基準位置から移動す
る移動量をｘn とすると、 ｘn ＝ｐｃｃｄ×ｍ×｛ｘ／｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ｜｝ ＝ｘ×｛ｐｃｃｄ×ｍ／｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ｜｝ ＝ｘ×Ｎ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・（８） となる。
のずれ量ｘに対応して干渉縞の節が基準位置から移動す
る移動量をｘn とすると、 ｘn ＝ｐｃｃｄ×ｍ×｛ｘ／｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ｜｝ ＝ｘ×｛ｐｃｃｄ×ｍ／｜ｐｃｃｄ×ｍ−ｗｓ｜｝ ＝ｘ×Ｎ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・（８） となる。
【００１７】即ち、干渉縞によるＣＣＤの位置認識の場
合、極めて小さなＣＣＤ素子４で構成されるＣＣＤの位
置のずれ量ｘを、ＣＣＤ素子４を直接測定して認識する
のは困難であるが、その代わりに、ＣＣＤの位置ずれ量
ｘに対応してｘのＮ倍移動する干渉縞の節の移動量ｘn
を測定すれば、式（８）の関係で、ＣＣＤの位置ずれ量
ｘを演算して求めることができる。
合、極めて小さなＣＣＤ素子４で構成されるＣＣＤの位
置のずれ量ｘを、ＣＣＤ素子４を直接測定して認識する
のは困難であるが、その代わりに、ＣＣＤの位置ずれ量
ｘに対応してｘのＮ倍移動する干渉縞の節の移動量ｘn
を測定すれば、式（８）の関係で、ＣＣＤの位置ずれ量
ｘを演算して求めることができる。
【００１８】この場合、ＣＣＤの位置ずれ量ｘのＮ倍だ
け干渉縞の節が移動するので、干渉縞の節の移動量ｘn
が大きくなるようにＮを大きくすれば、前記ずれ量ｘの
測定精度を高めることが出来る。即ち、カメラの倍率ｍ
を調整して、ｗｓとｐｃｃｄ×ｍとの差｜ｐｃｃｄ×ｍ
−ｗｓ｜を小さくし、Ｎ＝ｐｃｃｄ×ｍ／｜ｐｃｃｄ×
ｍ−ｗｓ｜を大きくすれば良い。
け干渉縞の節が移動するので、干渉縞の節の移動量ｘn
が大きくなるようにＮを大きくすれば、前記ずれ量ｘの
測定精度を高めることが出来る。即ち、カメラの倍率ｍ
を調整して、ｗｓとｐｃｃｄ×ｍとの差｜ｐｃｃｄ×ｍ
−ｗｓ｜を小さくし、Ｎ＝ｐｃｃｄ×ｍ／｜ｐｃｃｄ×
ｍ−ｗｓ｜を大きくすれば良い。
【００１９】但し、干渉縞の節が１周期ずれた場合に
は、干渉縞の位置はもとに戻り同じように見えるので、
干渉縞の節の移動量ｘn が１周期以上になるＣＣＤのず
れ量ｘは計測できない。
は、干渉縞の位置はもとに戻り同じように見えるので、
干渉縞の節の移動量ｘn が１周期以上になるＣＣＤのず
れ量ｘは計測できない。
【００２０】従って、次に、ＣＣＤのずれ量ｘに対する
干渉縞の節の移動量ｘn が干渉縞の１周期以内であり、
計測が可能であることを証明する。
干渉縞の節の移動量ｘn が干渉縞の１周期以内であり、
計測が可能であることを証明する。
【００２１】先ず、ＣＣＤ１５の受光素子４の中で図１
（ａ）に示す長い縞６の中心に位置決めするべき基準受
光素子Ｐ0 の中心を前記長い縞６の中心に正確に位置決
めした場合の干渉縞の節の位置Ｐを予め求めた後に、ず
れ量を計測・認識するＣＣＤ１５の基準受光素子Ｐ0 の
中心を、前記長い縞６の中心に粗合わせする。一般に、
干渉縞の中心に位置決めされた受光素子は、受光量が最
小な干渉縞の腹になる。そして、粗合わせにおける、基
準受光素子Ｐ0 の中心と長い縞６の中心とのずれ量をｘ
0 とする。
（ａ）に示す長い縞６の中心に位置決めするべき基準受
光素子Ｐ0 の中心を前記長い縞６の中心に正確に位置決
めした場合の干渉縞の節の位置Ｐを予め求めた後に、ず
れ量を計測・認識するＣＣＤ１５の基準受光素子Ｐ0 の
中心を、前記長い縞６の中心に粗合わせする。一般に、
干渉縞の中心に位置決めされた受光素子は、受光量が最
小な干渉縞の腹になる。そして、粗合わせにおける、基
準受光素子Ｐ0 の中心と長い縞６の中心とのずれ量をｘ
0 とする。
【００２２】次に、前記長い縞６の近くで実際に腹にな
って受光量が最小になっている受光素子Ｐ1 を求める。
この場合に、前記基準受光素子Ｐ0 から実際に腹になっ
た受光素子Ｐ1 までの移動量ｘp10 は、 ｘp10 ＝ｐｃｃｄ×ｍ×（Ｐ1 −Ｐ0 ）＝ｘ0 ×Ｎ・・
・・・・・・・・（９）となる。
って受光量が最小になっている受光素子Ｐ1 を求める。
この場合に、前記基準受光素子Ｐ0 から実際に腹になっ
た受光素子Ｐ1 までの移動量ｘp10 は、 ｘp10 ＝ｐｃｃｄ×ｍ×（Ｐ1 −Ｐ0 ）＝ｘ0 ×Ｎ・・
・・・・・・・・（９）となる。
【００２３】前記Ｐ0 のずれ量ｘ0 は、前記のように、
ＣＣＤ１５の受光素子の中の基準受光素子Ｐ0 の中心を
前記長い縞６の中心に位置決めする場合のずれ量なの
で、当然、ＣＣＤ受光素子の１ピッチの半分以下であ
り、 ｘ0 ＜±（ｐｃｃｄ×ｍ）／２・・・・・・・・・・・
・・・・・・（１０） になる。
ＣＣＤ１５の受光素子の中の基準受光素子Ｐ0 の中心を
前記長い縞６の中心に位置決めする場合のずれ量なの
で、当然、ＣＣＤ受光素子の１ピッチの半分以下であ
り、 ｘ0 ＜±（ｐｃｃｄ×ｍ）／２・・・・・・・・・・・
・・・・・・（１０） になる。
【００２４】従って、上記ｘ0 に対する干渉縞の節の位
置Ｐ2 が前記Ｐから移動する移動量ｘP20 は、±（ｐｃ
ｃｄ×ｍ）／２のＮ倍以下になり、 ｘP20 ＜｛±（ｐｃｃｄ×ｍ）／２｝×Ｎ＝±ｂｍ／２
・・・・・・（１１） で、干渉縞の節の移動の計測が可能である。
置Ｐ2 が前記Ｐから移動する移動量ｘP20 は、±（ｐｃ
ｃｄ×ｍ）／２のＮ倍以下になり、 ｘP20 ＜｛±（ｐｃｃｄ×ｍ）／２｝×Ｎ＝±ｂｍ／２
・・・・・・（１１） で、干渉縞の節の移動の計測が可能である。
【００２５】以上の方法を使用して、図２に示す３板式
カラーカメラの赤フィルター１６、緑フィルター１７、
青フィルター１８に貼り合わせた３枚のＣＣＤ１５の正
規位置に対するずれ量を計測して位置認識し、ずれ量を
補正する従来例を説明する。
カラーカメラの赤フィルター１６、緑フィルター１７、
青フィルター１８に貼り合わせた３枚のＣＣＤ１５の正
規位置に対するずれ量を計測して位置認識し、ずれ量を
補正する従来例を説明する。
【００２６】予め、上記と同様に、３枚のＣＣＤ１５の
基準受光素子Ｐ0 の中心を、図１（ａ）に示す長い縞６
の中心に一致させた場合の干渉縞の節の位置Ｐを求めて
おく。
基準受光素子Ｐ0 の中心を、図１（ａ）に示す長い縞６
の中心に一致させた場合の干渉縞の節の位置Ｐを求めて
おく。
【００２７】次に、ＣＣＤ１５の基準受光素子Ｐ0 の中
心を前記長い縞６の中心に粗合わせした場合の干渉縞の
節の位置Ｐ2 を計測する。
心を前記長い縞６の中心に粗合わせした場合の干渉縞の
節の位置Ｐ2 を計測する。
【００２８】ＣＣＤの各受光素子の受光量を、光電変換
し、Ａ／Ｄ変換して、画像記憶回路に格納して、演算処
理する。ここで、各ＣＣＤ受光素子の受光量を、 ｄi （ｉ＝１・・・・Ｓ） とする。Ｓは、ＣＣＤ受光素子の個数である。又、 ｄｄi ＝｜ｄi-1 −ｄi ｜・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・（１２） を演算する。ｄｄi は隣接したＣＣＤ受光素子の受光量
の差である。
し、Ａ／Ｄ変換して、画像記憶回路に格納して、演算処
理する。ここで、各ＣＣＤ受光素子の受光量を、 ｄi （ｉ＝１・・・・Ｓ） とする。Ｓは、ＣＣＤ受光素子の個数である。又、 ｄｄi ＝｜ｄi-1 −ｄi ｜・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・（１２） を演算する。ｄｄi は隣接したＣＣＤ受光素子の受光量
の差である。
【００２９】そして、干渉縞の節の周期の範囲内、 Ｐ−（ｂｍ／２）〜Ｐ＋（ｂｍ／２） において、ｄｄi が最小になるｉ＝Ｐ2 を求める。
【００３０】上記の結果から、前記の長い縞６の中心
と、ＣＣＤ受光素子Ｐ0 の中心とが一致した状態からの
ＣＣＤ素子板のずれ量ｘ2 は ｘ2 ＝ｐｃｃｄ×ｍ×( Ｐ2 −Ｐ）／Ｎ・・・・・・・
・・・・・（１３）となる。
と、ＣＣＤ受光素子Ｐ0 の中心とが一致した状態からの
ＣＣＤ素子板のずれ量ｘ2 は ｘ2 ＝ｐｃｃｄ×ｍ×( Ｐ2 −Ｐ）／Ｎ・・・・・・・
・・・・・（１３）となる。
【００３１】即ち、上記のように、位置を認識して調整
するべきＣＣＤ１５の基準受光素子Ｐ0 の中心を前記長
い縞６の中心に粗合わせし、粗合わせした状態で、干渉
縞の位置Ｐ2 を計測し、前記位置Ｐと前記位置Ｐ2 とか
ら、前記調整するべきＣＣＤ１５の基準受光素子Ｐ0 の
正規位置からのずれ量ｘ2 を認識し、ＣＣＤ１５の位置
を正規の位置に補正する。
するべきＣＣＤ１５の基準受光素子Ｐ0 の中心を前記長
い縞６の中心に粗合わせし、粗合わせした状態で、干渉
縞の位置Ｐ2 を計測し、前記位置Ｐと前記位置Ｐ2 とか
ら、前記調整するべきＣＣＤ１５の基準受光素子Ｐ0 の
正規位置からのずれ量ｘ2 を認識し、ＣＣＤ１５の位置
を正規の位置に補正する。
【００３２】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
では、干渉縞の節の位置を計測する場合に、干渉縞の節
を計測する計測単位が、ＣＣＤ受光素子のピッチｐｃｃ
ｄにカメラ倍率ｍを掛けたｐｃｃｄ×ｍなので、干渉縞
の節がｐｃｃｄ×ｍだけ移動するＣＣＤ受光素子のずれ
量が測定可能最小ずれ量になり、このＣＣＤ受光素子の
測定可能最小ずれ量は（ｐｃｃｄ×ｍ）／Ｎである。即
ち、測定精度は、ｐｃｃｄ×ｍの１／Ｎ、である。
では、干渉縞の節の位置を計測する場合に、干渉縞の節
を計測する計測単位が、ＣＣＤ受光素子のピッチｐｃｃ
ｄにカメラ倍率ｍを掛けたｐｃｃｄ×ｍなので、干渉縞
の節がｐｃｃｄ×ｍだけ移動するＣＣＤ受光素子のずれ
量が測定可能最小ずれ量になり、このＣＣＤ受光素子の
測定可能最小ずれ量は（ｐｃｃｄ×ｍ）／Ｎである。即
ち、測定精度は、ｐｃｃｄ×ｍの１／Ｎ、である。
【００３３】この測定精度を高めるには、カメラ倍率ｍ
を調整して、Ｎを大きくすれば良いわけではあるが、カ
メラ倍率ｍの調整が難しく、得られる精度が、計測単位
ｐｃｃｄ×ｍで制限を受けるという問題点がある。
を調整して、Ｎを大きくすれば良いわけではあるが、カ
メラ倍率ｍの調整が難しく、得られる精度が、計測単位
ｐｃｃｄ×ｍで制限を受けるという問題点がある。
【００３４】本発明は、上記の問題点を解決し、計測単
位が従来例のｐｃｃｄ×ｍに比較して極めて小さく、高
精度の計測が可能なＣＣＤの位置認識方法を提供するこ
とを課題としている。
位が従来例のｐｃｃｄ×ｍに比較して極めて小さく、高
精度の計測が可能なＣＣＤの位置認識方法を提供するこ
とを課題としている。
【００３５】
【課題を解決するための手段】本発明の干渉縞によるＣ
ＣＤの位置認識方法は、上記の課題を解決するために、
縞の幅と縞の間隔とが総て等しく且つこれらがＣＣＤ受
光素子のピッチと僅かに異なる平行明暗縞模様をＣＣＤ
上に形成する光線をＣＣＤに入射して平行明暗縞模様の
幅や間隔とＣＣＤ受光素子のピッチとの僅かの差で形成
される干渉縞パターンをＣＣＤ受光素子に出力させ、前
記干渉縞パターンを形成するＣＣＤの各受光素子の画素
濃度を前記平行明暗縞模様に対応して明暗傾向が相反す
る夫々１個おきの画素の画素濃度による２系列に分け夫
々直線近似して２本の近似直線を演算し、前記２本の近
似直線の交点の座標を前記干渉縞パターンの節の座標と
し、これによってＣＣＤの基準位置とＣＣＤの測定位置
に対する干渉縞の節の位置を求め、これら両者の位置関
係からＣＣＤの基準位置からのＣＣＤの測定位置のずれ
量を認識することを特徴とする。
ＣＤの位置認識方法は、上記の課題を解決するために、
縞の幅と縞の間隔とが総て等しく且つこれらがＣＣＤ受
光素子のピッチと僅かに異なる平行明暗縞模様をＣＣＤ
上に形成する光線をＣＣＤに入射して平行明暗縞模様の
幅や間隔とＣＣＤ受光素子のピッチとの僅かの差で形成
される干渉縞パターンをＣＣＤ受光素子に出力させ、前
記干渉縞パターンを形成するＣＣＤの各受光素子の画素
濃度を前記平行明暗縞模様に対応して明暗傾向が相反す
る夫々１個おきの画素の画素濃度による２系列に分け夫
々直線近似して２本の近似直線を演算し、前記２本の近
似直線の交点の座標を前記干渉縞パターンの節の座標と
し、これによってＣＣＤの基準位置とＣＣＤの測定位置
に対する干渉縞の節の位置を求め、これら両者の位置関
係からＣＣＤの基準位置からのＣＣＤの測定位置のずれ
量を認識することを特徴とする。
【００３６】又、本発明の干渉縞によるＣＣＤの位置認
識方法は、上記の課題を解決するために、干渉縞パター
ンの節の座標は、ＣＣＤの隣接した各画素の画素濃度の
差を求め、これらの差を１列に並べた数列を１つ飛びの
グループに分け、一方のグループの正負符号を反転し、
再び１つのグループにして得られる一つの数列を直線近
似し、前記で得られた近似直線が０となる位置の座標と
することが好適である。
識方法は、上記の課題を解決するために、干渉縞パター
ンの節の座標は、ＣＣＤの隣接した各画素の画素濃度の
差を求め、これらの差を１列に並べた数列を１つ飛びの
グループに分け、一方のグループの正負符号を反転し、
再び１つのグループにして得られる一つの数列を直線近
似し、前記で得られた近似直線が０となる位置の座標と
することが好適である。
【００３７】
【作用】本発明の干渉縞によるＣＣＤの位置認識方法
は、干渉縞の節の位置の計測・演算・認識方法に特徴が
ある。
は、干渉縞の節の位置の計測・演算・認識方法に特徴が
ある。
【００３８】本発明による干渉縞の節の認識は、縞の幅
と縞の間隔とが総て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子
のピッチと僅かに異なる平行明暗縞模様をＣＣＤ上に形
成する光線をＣＣＤに入射して平行明暗縞模様の幅や間
隔とＣＣＤ受光素子のピッチとの僅かの差で形成される
干渉縞パターンをＣＣＤ受光素子に出力させるまでは、
従来技術と同様である。
と縞の間隔とが総て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子
のピッチと僅かに異なる平行明暗縞模様をＣＣＤ上に形
成する光線をＣＣＤに入射して平行明暗縞模様の幅や間
隔とＣＣＤ受光素子のピッチとの僅かの差で形成される
干渉縞パターンをＣＣＤ受光素子に出力させるまでは、
従来技術と同様である。
【００３９】干渉縞の節の計測に、従来技術では、ＣＣ
Ｄ受光素子のピッチｐｃｃｄ×ｍを計測単位に使用する
のに対して、本発明では、干渉縞パターンが形成される
条件として、平行明暗縞模様の縞の幅と縞の間隔とが総
て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子のピッチと僅かに
異なるので、ＣＣＤ受光素子を奇数番目と偶数番目のグ
ループに分けた場合に、夫々のグループにおいて、隣接
するＣＣＤ受光素子の受光量が、前記の僅かに異なる差
分の２倍だけずれて相違し、奇数番目のグループと偶数
番目のグループの夫々のグループの中で隣接するＣＣＤ
受光素子の受光量が夫々直線的に変化していることに着
目し、干渉縞パターンを形成するＣＣＤの各受光素子の
画素濃度を前記平行明暗縞模様に対応して明暗傾向が相
反する奇数番目のグループと偶数番目のグループとの２
系列に分け夫々直線近似して２本の近似直線を演算し、
前記２本の近似直線の交点の座標を前記干渉縞パターン
の節の座標としているので、干渉縞の節の計測単位が従
来例のｐｃｃｄ×ｍよりも極めて小さくなり、従来例よ
りも極めて高精度で、干渉縞の節を計測できる。
Ｄ受光素子のピッチｐｃｃｄ×ｍを計測単位に使用する
のに対して、本発明では、干渉縞パターンが形成される
条件として、平行明暗縞模様の縞の幅と縞の間隔とが総
て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子のピッチと僅かに
異なるので、ＣＣＤ受光素子を奇数番目と偶数番目のグ
ループに分けた場合に、夫々のグループにおいて、隣接
するＣＣＤ受光素子の受光量が、前記の僅かに異なる差
分の２倍だけずれて相違し、奇数番目のグループと偶数
番目のグループの夫々のグループの中で隣接するＣＣＤ
受光素子の受光量が夫々直線的に変化していることに着
目し、干渉縞パターンを形成するＣＣＤの各受光素子の
画素濃度を前記平行明暗縞模様に対応して明暗傾向が相
反する奇数番目のグループと偶数番目のグループとの２
系列に分け夫々直線近似して２本の近似直線を演算し、
前記２本の近似直線の交点の座標を前記干渉縞パターン
の節の座標としているので、干渉縞の節の計測単位が従
来例のｐｃｃｄ×ｍよりも極めて小さくなり、従来例よ
りも極めて高精度で、干渉縞の節を計測できる。
【００４０】又、本発明の干渉縞によるＣＣＤの位置認
識方法は、干渉縞パターンの節の座標を、先ず、干渉縞
を形成しているＣＣＤの各画素について、隣接した各画
素の画素濃度の差を求め、次いで、これらの差を１列に
並べた数列を作り、この数列を１つ飛びの数を集合した
グループに分け、一方のグループの数の正負符号を反転
し、再び１つのグループに１つ飛びに並べ直して得られ
る一つの数列を直線近似し、前記で得られた近似直線が
０となる位置の座標とすると、時間がかかる直線近似の
演算が、１回だけになるので、演算時間を短縮できる。
識方法は、干渉縞パターンの節の座標を、先ず、干渉縞
を形成しているＣＣＤの各画素について、隣接した各画
素の画素濃度の差を求め、次いで、これらの差を１列に
並べた数列を作り、この数列を１つ飛びの数を集合した
グループに分け、一方のグループの数の正負符号を反転
し、再び１つのグループに１つ飛びに並べ直して得られ
る一つの数列を直線近似し、前記で得られた近似直線が
０となる位置の座標とすると、時間がかかる直線近似の
演算が、１回だけになるので、演算時間を短縮できる。
【００４１】
【実施例】本発明の干渉縞によるＣＣＤの位置認識方法
の第１の実施例方法を図１（ａ）、図１（ｂ）、図２に
基づいて説明する。
の第１の実施例方法を図１（ａ）、図１（ｂ）、図２に
基づいて説明する。
【００４２】図１（ａ）は平行明暗縞模様１とＣＣＤ受
光素子４とによる干渉縞の形成条件を示し、図１（ｂ）
は干渉縞を形成するＣＣＤ受光素子４の受光量７のグラ
フと干渉縞の節の位置計測方法８〜１０とを示すが、符
号８〜１０以外の、干渉縞の形成条件と、干渉縞の性質
と、干渉縞の節や腹の位置と、平行明暗縞模様１とＣＣ
Ｄ受光素子４との位置ずれ量と干渉縞の移動量との関係
等は、従来例と同様なので、符号８〜１０以外の説明は
省略する。
光素子４とによる干渉縞の形成条件を示し、図１（ｂ）
は干渉縞を形成するＣＣＤ受光素子４の受光量７のグラ
フと干渉縞の節の位置計測方法８〜１０とを示すが、符
号８〜１０以外の、干渉縞の形成条件と、干渉縞の性質
と、干渉縞の節や腹の位置と、平行明暗縞模様１とＣＣ
Ｄ受光素子４との位置ずれ量と干渉縞の移動量との関係
等は、従来例と同様なので、符号８〜１０以外の説明は
省略する。
【００４３】図１（ｂ）に示す符号８〜１０は、本実施
例の干渉縞の節の位置計測方法を構成するものである。
例の干渉縞の節の位置計測方法を構成するものである。
【００４４】本実施例の干渉縞の節の位置計測では、干
渉縞パターンが形成される条件として、従来例での説明
のように、平行明暗縞模様１の縞の幅２と縞の間隔３と
が総て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子４のピッチと
僅かに異なるので、１個おきに隣接するＣＣＤ受光素子
４の受光量７が、即ち、奇数番目の受光素子４の集合
と、偶数番目の受光素子４の集合とに分けた場合に隣接
するＣＣＤ受光素子４の受光量７が、前記の僅かに異な
る差分の２倍だけずれて相違し、夫々直線的に変化して
いることに着目し、干渉縞パターンを形成するＣＣＤの
各受光素子４の受光量７を前記平行明暗縞模様１に対応
して明暗傾向が図１（ｂ）に示すように相反する夫々１
個おきの画素の受光量７による２系列に分け夫々直線近
似して２本の近似直線８、９を演算し、前記２本の近似
直線８、９の交点の座標１０を前記干渉縞パターンの節
の座標とする。本実施例のこの計測方法によると、干渉
縞パターンの節の座標を２本の直線８、９の交点１０と
して求めているので、計測単位は極めて小さくなり、従
来例の計測単位がｐｃｃｄ×ｍであるために計測精度に
限界があるという問題点を解消できる。
渉縞パターンが形成される条件として、従来例での説明
のように、平行明暗縞模様１の縞の幅２と縞の間隔３と
が総て等しく且つこれらがＣＣＤ受光素子４のピッチと
僅かに異なるので、１個おきに隣接するＣＣＤ受光素子
４の受光量７が、即ち、奇数番目の受光素子４の集合
と、偶数番目の受光素子４の集合とに分けた場合に隣接
するＣＣＤ受光素子４の受光量７が、前記の僅かに異な
る差分の２倍だけずれて相違し、夫々直線的に変化して
いることに着目し、干渉縞パターンを形成するＣＣＤの
各受光素子４の受光量７を前記平行明暗縞模様１に対応
して明暗傾向が図１（ｂ）に示すように相反する夫々１
個おきの画素の受光量７による２系列に分け夫々直線近
似して２本の近似直線８、９を演算し、前記２本の近似
直線８、９の交点の座標１０を前記干渉縞パターンの節
の座標とする。本実施例のこの計測方法によると、干渉
縞パターンの節の座標を２本の直線８、９の交点１０と
して求めているので、計測単位は極めて小さくなり、従
来例の計測単位がｐｃｃｄ×ｍであるために計測精度に
限界があるという問題点を解消できる。
【００４５】干渉縞パターンの節の座標を求めた後の、
ＣＣＤのずれ量の認識や位置補正は、従来例と同様なの
で、説明を省略する。
ＣＣＤのずれ量の認識や位置補正は、従来例と同様なの
で、説明を省略する。
【００４６】次に、本発明の干渉縞によるＣＣＤの位置
認識方法の第２の実施例方法を図１（ａ）、図１
（ｂ）、図１（ｃ）、図２に基づいて説明する。
認識方法の第２の実施例方法を図１（ａ）、図１
（ｂ）、図１（ｃ）、図２に基づいて説明する。
【００４７】図１（ｃ）の符号１１ 〜１４以外は、従
来例及び第１の実施例と同様なので、説明を省略する。
来例及び第１の実施例と同様なので、説明を省略する。
【００４８】図１（ｃ）に示す符号１１〜１４は、本実
施例の干渉縞の節の位置計測方法を構成するものであ
る。
施例の干渉縞の節の位置計測方法を構成するものであ
る。
【００４９】本実施例の干渉縞の節の位置計測は、図１
（ｃ）に示す符号１１〜１４よって行う。１１は、ＣＣ
Ｄの隣接した各画素の受光量７の差を求め、これらの差
を１列に並べた数列を１つ飛びのグループに分け、一方
のグループの正負符号を反転し、再び１つのグループに
して得られる一つの数列、即ち、画素濃度差分値を示す
グラフである。
（ｃ）に示す符号１１〜１４よって行う。１１は、ＣＣ
Ｄの隣接した各画素の受光量７の差を求め、これらの差
を１列に並べた数列を１つ飛びのグループに分け、一方
のグループの正負符号を反転し、再び１つのグループに
して得られる一つの数列、即ち、画素濃度差分値を示す
グラフである。
【００５０】１２は、前記画素濃度差分値１１のグラフ
を直線近似して得られた近似直線である。
を直線近似して得られた近似直線である。
【００５１】１３は、画素濃度が０になる０レベル直線
である。
である。
【００５２】１４は、近似直線１２と０レベル直線１３
との交点で、この交点１４の座標を干渉縞の節の位置と
する。
との交点で、この交点１４の座標を干渉縞の節の位置と
する。
【００５３】本実施例の計測と演算と認識を以下に説明
する。
する。
【００５４】ＣＣＤの各受光素子の受光量を、光電変換
し、Ａ／Ｄ変換して、画像記憶回路に格納して、演算処
理する。ここで、各ＣＣＤ受光素子の受光量を、 ｄi （ｉ＝１・・・・Ｓ） とする。Ｓは、ＣＣＤ受光素子の個数である。又、画素
濃度差分値ｆｄi ｆｄi ＝ｄi+1 −ｄi （ｉは偶数）・・・・・・・・・
・・・・・・（１４） ｆｄi ＝ｄi −ｄi+1 （ｉは奇数）・・・・・・・・・
・・・・・・（１５） を演算し、画素濃度差分値１１のグラフを得る。
し、Ａ／Ｄ変換して、画像記憶回路に格納して、演算処
理する。ここで、各ＣＣＤ受光素子の受光量を、 ｄi （ｉ＝１・・・・Ｓ） とする。Ｓは、ＣＣＤ受光素子の個数である。又、画素
濃度差分値ｆｄi ｆｄi ＝ｄi+1 −ｄi （ｉは偶数）・・・・・・・・・
・・・・・・（１４） ｆｄi ＝ｄi −ｄi+1 （ｉは奇数）・・・・・・・・・
・・・・・・（１５） を演算し、画素濃度差分値１１のグラフを得る。
【００５５】次に、前記画素濃度差分値１１のグラフを
直線近似して近似直線１２を得る。
直線近似して近似直線１２を得る。
【００５６】次に、前記近似直線１２と０レベル直線１
３との交点１４を演算する。この交点１４の座標が干渉
縞の節の位置である。
３との交点１４を演算する。この交点１４の座標が干渉
縞の節の位置である。
【００５７】第２の実施例の第１の実施例に対する効果
は、直線近似して得る近似直線の本数が減少して、演算
時間が短縮されることである。
は、直線近似して得る近似直線の本数が減少して、演算
時間が短縮されることである。
【００５８】
【発明の効果】従来技術では、干渉縞の節の測定におけ
る計測単位がＣＣＤ受光素子のピッチであり測定精度が
この計測単位に制限されるのに対して、本発明の干渉縞
によるＣＣＤの位置認識方法では、干渉縞の節の測定に
おける計測単位が直線の交点であるので、従来技術に比
べて、測定精度を極めて高くすることができるという効
果を奏する。
る計測単位がＣＣＤ受光素子のピッチであり測定精度が
この計測単位に制限されるのに対して、本発明の干渉縞
によるＣＣＤの位置認識方法では、干渉縞の節の測定に
おける計測単位が直線の交点であるので、従来技術に比
べて、測定精度を極めて高くすることができるという効
果を奏する。
【図１】本発明の実施例及び従来例における干渉縞を説
明する図であって、（ａ）は干渉縞の形成を示す図、
（ｂ）及び（ｃ）は干渉縞の節の位置計測動作図であ
る。
明する図であって、（ａ）は干渉縞の形成を示す図、
（ｂ）及び（ｃ）は干渉縞の節の位置計測動作図であ
る。
【図２】３板式カラーカメラのプリズムとＣＣＤとの接
合を示す図である。
合を示す図である。
１ 平行明暗縞模様 ２ 縞の幅 ３ 縞の間隔 ４ ＣＣＤ受光素子 ５ 干渉縞の節の範囲 ６ 長い縞 ７ 受光量 ８ 近似直線 ９ 近似直線 １０ 交点 １１ 画素濃度差分値 １２ 近似直線 １３ ０レベル直線 １４ 交点 １５ ＣＣＤ ２０ 光線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０４Ｎ 9/097 Ｇ０１Ｊ 3/51 // Ｇ０１Ｊ 3/51 Ｇ０６Ｆ 15/64 ３２５Ｈ
Claims (2)
- 【請求項１】 縞の幅と縞の間隔とが総て等しく且つこ
れらがＣＣＤ受光素子のピッチと僅かに異なる平行明暗
縞模様をＣＣＤ上に形成する光線をＣＣＤに入射して平
行明暗縞模様の幅や間隔とＣＣＤ受光素子のピッチとの
僅かの差で形成される干渉縞パターンをＣＣＤ受光素子
に出力させ、前記干渉縞パターンを形成するＣＣＤの各
受光素子の画素濃度を前記平行明暗縞模様に対応して明
暗傾向が相反する夫々１個おきの画素の画素濃度による
２系列に分け夫々直線近似して２本の近似直線を演算
し、前記２本の近似直線の交点の座標を前記干渉縞パタ
ーンの節の座標とし、これによってＣＣＤの基準位置と
ＣＣＤの測定位置に対する干渉縞の節の位置を求め、こ
れら両者の位置関係からＣＣＤの基準位置からのＣＣＤ
の測定位置のずれ量を認識することを特徴とする干渉縞
によるＣＣＤの位置認識方法。 - 【請求項２】 干渉縞パターンの節の座標は、ＣＣＤの
隣接した各画素の画素濃度の差を求め、これらの差を１
列に並べた数列を１つ飛びのグループに分け、一方のグ
ループの正負符号を反転し、再び１つのグループにして
得られる一つの数列を直線近似し、前記で得られた近似
直線が０となる位置の座標とする請求項１に記載の干渉
縞によるＣＣＤの位置認識方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29903892A JP3152523B2 (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | 干渉縞によるｃｃｄの位置認識方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29903892A JP3152523B2 (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | 干渉縞によるｃｃｄの位置認識方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06153241A JPH06153241A (ja) | 1994-05-31 |
| JP3152523B2 true JP3152523B2 (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=17867414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29903892A Expired - Fee Related JP3152523B2 (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | 干渉縞によるｃｃｄの位置認識方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3152523B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103439752A (zh) * | 2013-08-07 | 2013-12-11 | 河南科技大学 | 一种基于地感线圈的线阵相机拍摄间隔调整方法及装置 |
-
1992
- 1992-11-10 JP JP29903892A patent/JP3152523B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06153241A (ja) | 1994-05-31 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |