JP3148540U - 流量計 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルからの噴射量で直接流量を測定する構造の流量計において、５０ｌ／ｍｉｎ以上の流量の気体についても計測可能とした構造を持つ流量計を提供する。【解決手段】目盛が表示された目盛部の中心に対して回動する指針を有し、該指針で流量を計測する流量計であって、流入口１３及び流出口を有するハウジング１０と、前記ハウジングに形成され流入口と流出口とを連通する流路１６と、前記ハウジングに形成され流入口と流出口とを連通するバイパス流路１４と、前記流路１６に装着され、前記指針２７の一端に設けた受面に対して噴射口１９が形成されたノズル１８とを備える。【選択図】図１

Description

本考案は気体の流量を計測する流量計に関し、特に、目盛が表示された目盛部の中心に対して回動する指針を有し、該指針で流量を計測する流量計の構造についての改良に関する。

従来、半導体の製造装置へ供給するＡｒ等のガス流量を測定するための流量計としては、例えば図５に示すように、本体７０に形成された流路に対し、ガスの噴射方向をほぼ直角に交差する方向に変更するために開口された噴射口７２を有するノズル７１を装着し、この噴射口７２から噴射するガスが直接、目盛部７５の中心に対して回動する指針７６の一端側に設けた受面７７に当たることで、噴射量に応じて指針７６がゼンマイバネ７８のバネ力に反して回転し、指針７６の反対側の針部７９が目盛を指すことで流量が表示できる構造の流量計が存在する。
上記した流量計は、部品点数が少なく構造が簡単であるので、高精度の測定が不要な分野において広く使用されていた。

しかしながら上記した流量計の構造であると、流路に装着したノズル７１に流れるガスにより流量が測定されるので、構造上大きい流量を測定することができないという問題点があった。

すなわち、図６に示すように、ノズル７１の内径に対して噴射口７２を複数個設けることで、ある程度の流量にも対処することが可能であるが、絶対的な流量はノズル７１の内径で制限されるために測定可能な流量に限界があった（例えば、５０ｌ／ｍｉｎ以上の流量を流すことができなかった）。

本考案は上記実情に鑑みて提案されたもので、ノズルからの噴射量で直接流量を測定する構造の流量計において、５０ｌ／ｍｉｎ以上の流量の気体についても計測可能とした流量計を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため請求項１の考案は、目盛が表示された目盛部の中心に対して回動する指針を有し、該指針で流量を計測する流量計であって、次の構成を含むことを特徴としている。
流入口及び流出口を有するハウジング。
前記ハウジングに形成され流入口と流出口とを連通する流路。
前記ハウジングに形成され流入口と流出口とを連通するバイパス流路。
前記流路に装着され、前記指針の一端に設けた受面に対して噴射口が形成されたノズル。

請求項２は、請求項１の流量計において、前記ハウジングにおける前記指針の回転中心に対応する位置に前記流入口及びバイパス流路を形成して成ることを特徴としている。

従来の構造はノズルが装着された流路だけにガスが流れていたが、本考案の流量計によれば、ハウジングに対して流路に加えてバイパス流路を形成したので、多くの流量を得ることができる。また、噴射口を設けた流量測定用のノズルは、流路に装着することにより、指針の動作については流路側で行われる。

また、前記指針の回転中心に対応する位置に流入口及びバイパス流路を形成することで、流量計の目盛が左右に傾斜することなく正面に設置し易くなる。

本考案の実施の形態の一例としての流量計について、図１乃至図４を参照しながら説明する。
図４は流量計の外観を示す正面説明図、図２は図４に示した流量計のＡ−Ａ´断面説明図、図１は図４に示した流量計のＢ−Ｂ´断面説明図、図３は流量計の主要な構造を説明するための斜視説明図である。

流量計１は、円柱状のハウジング１０の表側に小径溝部１１とそれに連続する同心円状の大径溝部１２を設け、ハウジング１０の裏側に小径溝部１１及び大径溝部１２と同心円状の流入口１３を設け、流入口１３と小径溝部１１とをハウジング１０の軸に沿って連通するバイパス流路１４を設けるとともに、前記流入口１３にガスを導入するための入口継手５０を装着している。
流入口１３には、バイパス流路１４の軸に対して直交する面において、ハウジング周囲側に通じる連通路１５が延設され、連通路１５の端部と大径部１２の外側位置とをハウジング１０の軸に平行な方向に通じさせる流路１６を形成する。連通路１５の流路１６に連通する外側位置には、ねじ１７が装着されることでハウジング１０の側面に通じる穴が閉塞されている。

流路１６の内壁にはねじ溝が形成され、先端側が大径部１２に臨むようにノズル１８が螺着されている。ノズル１８の先端側にはノズル１８の軸に対して直角方向に開口された噴射口１９が形成され、ノズル１８内を流れるガスが噴射口１９から噴射するように構成されている。また、ノズル１８の下端位置における流路１６には段部１６ａが形成され、コイルスプリング２０を介在して常時ノズル１８を外側方向へ付勢することで、ノズル１８の流路１６に対する回転を防止し噴射口１９の位置ずれを防止している。

小径部１１の開口側は、穴２１が形成された蓋体２２で塞がれる一方、蓋体２２には一対の支持部２３を介して固定された円板２４が装着されている。円板２４の表面側には黒色化粧面を有する化粧板２５が装着され、化粧板２５、円板２４、蓋体２２を貫通する軸部２６が装着され、軸部２６の上端には指針２７が固定されている。また、円板２４と蓋体２２との間の軸部２６には、ゼンマイバネ２８の一端側が固定され、ゼンマイバネ２８の他端側は一方の支持部２３に固定されるように形成されている。

指針２７は、一方側に矢印部２７ａが形成されるとともに、他方側の側面に前記ノズル１８の噴射口１９から流出するガスが衝突する受面２７ｂが形成されている。

大径部１２は、Ｏリング２９を介して透明の蓋部３０が配され、蓋部３０はその周囲を固定する蓋ネジ３１によりハウジング１０に螺着されている。大径部１２側に位置する蓋部３０の内板面には、例えば黒文字による円形状の目盛３０ａが印刷され、外側からの目盛の視認性を向上させるために目盛印刷部の上に環状に塗料が塗布されている。したがって、蓋部３０を外側から見ると、目盛部の内側に透明部が形成され、目盛部に沿って動作する針が視認できるように構成されている。

ハウジング１０における小径部１１の下方位置には、流出口３３が形成され、ストップバルブ本体６０が固定されている。ストップバルブ本体６０には、流量計ハンドル６１の回転によりバルブ６２が進退し、円錐台状の溝部を有する流路６３における流路面積が調整されて流量が調節できるように構成されている。

次に、上述した流量計の動作について説明する。
ガス配管等からのガスが流量計１の流入口１３へ流れ込むと、ガスはバイパス流路１４、及び、連通路１５を介して流路１６に流れ、流路１６に流れたガスはノズル１８の噴射口１９から大径部１２の周囲壁に沿って噴射される。その際に、噴射口１９から噴射されたガスが大径部１２の周壁に沿って流れることで指針２７の受面２７ｂに衝突し、ゼンマイバネ２８に抗して指針２７を回転させることで、噴射されたガス流量に応じた指針２７の回転角を得ることができ、指針２７が対応する目盛を指した状態で静止させる。
ノズル１８の噴射口１９から噴射されたガスは蓋体２２に設けた穴２１を通って小径部１１に流れ、バイパス流路１４に流れたガスと合流して流出口３３側へ流れる。
また、流路１６を流れるガスがなくなると、締め付けられたゼンマイバネ２８の戻り方向のバネ力により指針２７が元の状態に戻る。

上述した構造の流量計１によれば、ハウジング１０に対して流路１６に加えてバイパス流路１４を形成したので、従来構造における流路に装着したノズルの穴径では確保できなかった流量をバイパス流路１４で補充することができ、流量が多い場合（例えば、５０ｌ／ｍｉｎ以上の流量を流すような場合）においても流路１６に装着したノズル側で流量を計測することが可能となる。

また、指針２７の回転中心に対応する位置に流入口１３及びバイパス流路１４が形成されているので、流量計１を設置する場合において、流量計１の目盛３０ａが左右に傾斜した場合に、ハウジング１０を流入口１３に対して回転させるだけで流量計１を正面に向かせることができ、移動量を少なくして設置をし易くすることができる。

本考案の実施の形態の一例としての流量計の断面説明図である。 本考案の流量計の断面説明図である。 本考案の流量計の主要構造を示す斜視説明図である。 本考案の流量計の外観を示す正面説明図である。 従来の流量計の構造を説明するための構造説明図である。 ノズルの先端部分を説明するための断面説明図である。

符号の説明

１ 流量計
１０ ハウジング
１１ 小径部
１２ 大径部
１３ 流入口
１４ バイパス流路
１６ 流路
１８ ノズル
１９ 噴射口
２７ 指針
２７ａ 針部
２７ｂ 受面
２８ ゼンマイバネ
３０ 蓋部
３０ａ 目盛

Claims (2)

1. 目盛が表示された目盛部の中心に対して回動する指針を有し、該指針で流量を計測する流量計であって、
   流入口及び流出口を有するハウジングと、
   前記ハウジングに形成され流入口と流出口とを連通する流路と、
   前記ハウジングに形成され流入口と流出口とを連通するバイパス流路と、
   前記流路に装着され、前記指針の一端に設けた受面に対して流出口が形成されたノズルと
   を具備することを特徴とする流量計。
2. 前記ハウジングにおける前記指針の回転中心に対応する位置に前記流入口及びバイパス流路を形成して成る請求項１に記載の流量計。

Images