JP3144011B2 - 液晶位相格子 - Google Patents
液晶位相格子Info
- Publication number
- JP3144011B2 JP3144011B2 JP04000036A JP3692A JP3144011B2 JP 3144011 B2 JP3144011 B2 JP 3144011B2 JP 04000036 A JP04000036 A JP 04000036A JP 3692 A JP3692 A JP 3692A JP 3144011 B2 JP3144011 B2 JP 3144011B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- phase grating
- crystal phase
- grating
- solid material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、位相格子と液晶材料か
らなる液晶位相格子に関するものであって、透過方式ま
たは反射方式によって特定の方向の光を制御すること
で、文字、図形等をカラー表示する表示装置等に利用さ
れる。
らなる液晶位相格子に関するものであって、透過方式ま
たは反射方式によって特定の方向の光を制御すること
で、文字、図形等をカラー表示する表示装置等に利用さ
れる。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示素子は、従来液晶の旋光特性を
利用したねじれ液晶（ＴＮ）型やその応答特性を改良し
たスーパーツイストネマチック（ＳＴＮ）型のものが実
用化されている。しかし、これらの液晶光学素子を用い
てカラー表示を実現するためには染料等を分散したカラ
ーフィルタ等が必要である。
利用したねじれ液晶（ＴＮ）型やその応答特性を改良し
たスーパーツイストネマチック（ＳＴＮ）型のものが実
用化されている。しかし、これらの液晶光学素子を用い
てカラー表示を実現するためには染料等を分散したカラ
ーフィルタ等が必要である。
【０００３】カラーフィルタを用いることなくカラー表
示が可能な方法として電圧制御複屈折方式があるがこの
方法は偏光に対してしか効果がないため光の利用効率が
悪いという欠点を有している。
示が可能な方法として電圧制御複屈折方式があるがこの
方法は偏光に対してしか効果がないため光の利用効率が
悪いという欠点を有している。
【０００４】一方、米国特許４，２５１，１３７に開示
された回折格子と液晶材料からなる光学フィルタは、印
加電圧にともなう液晶の屈折率の変化を利用したカラー
フィルタとして機能することが述べられている。この技
術では、２枚の回折格子を重ね合わせることによって非
偏光についても機能する素子を作製できる。
された回折格子と液晶材料からなる光学フィルタは、印
加電圧にともなう液晶の屈折率の変化を利用したカラー
フィルタとして機能することが述べられている。この技
術では、２枚の回折格子を重ね合わせることによって非
偏光についても機能する素子を作製できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の位相格子型の液
晶素子においては、透過光が波長の関数として与えられ
るため、特定の波長のみ透過させることができず透過光
の色純度が十分ではないという欠点を有している。
晶素子においては、透過光が波長の関数として与えられ
るため、特定の波長のみ透過させることができず透過光
の色純度が十分ではないという欠点を有している。
【０００６】本発明の目的は、前述の欠点を解決すべく
なされたものであり、色純度が高い液晶位相格子を提供
するものである。
なされたものであり、色純度が高い液晶位相格子を提供
するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶位相回折格
子は、規則的な凹凸を有する固体材料１１とその凹凸を
満たす液晶材料１２が、透明電極１３ａ、１３ｂが形成
された２枚の基板１４ａ、１４ｂの間に挟まれた構造を
有する液晶位相格子において、固体材料の溝深さを制御
する等の方法によって固体材料が２種以上の光学的位相
差を与える構造を有するものである。
子は、規則的な凹凸を有する固体材料１１とその凹凸を
満たす液晶材料１２が、透明電極１３ａ、１３ｂが形成
された２枚の基板１４ａ、１４ｂの間に挟まれた構造を
有する液晶位相格子において、固体材料の溝深さを制御
する等の方法によって固体材料が２種以上の光学的位相
差を与える構造を有するものである。
【０００８】液晶回折格子は、入射光、あるいは反射光
の中の特定波長の光を特定の方向に回折する構造を有し
ている。０次回折光（＝透過光）については、、近似的
に液晶材料と透明固体材料の屈折率の差とそれらよりな
る層の厚さの積（反射型の場合はその２倍）が、波長の
整数倍の波長成分については透過し、波長の半整数倍
（１／２、３／２、５／２等）の波長成分については干
渉作用によって消光する。さらに詳しくは、公知の液晶
位相格子の透過率Ｔ（λ）（反射型として使用するとき
は反射率）は次式 Ｔ（λ）＝ｃｏｓ2 （２πΔｎｄ／λ） （１） （λ：波長Δｎ：液晶層と固体材料の屈折率の差、ｄ：
溝深さ）によって与える（ただし、反射型ではΔｎが液
晶層と固体材料の屈折率の差の２倍、あるいは液晶の屈
折率となる。）。液晶位相回折格子においては、透明電
極間に印加する電圧による液晶分子の配向方向が変化
し、Δｎが連続的に変化するためＴ（λ）が変化する。
しかし、Ｔ（λ）はλの関数として緩やかに変化するた
め、透過光の色調は純度の低いものとなる。たとえば、
透過光が赤色の場合（最大透過率の波長λ ｍａｘ＝６
４０ｎｍ）透過光が、低波長側に裾を引くためオレンジ
がかった色となる。
の中の特定波長の光を特定の方向に回折する構造を有し
ている。０次回折光（＝透過光）については、、近似的
に液晶材料と透明固体材料の屈折率の差とそれらよりな
る層の厚さの積（反射型の場合はその２倍）が、波長の
整数倍の波長成分については透過し、波長の半整数倍
（１／２、３／２、５／２等）の波長成分については干
渉作用によって消光する。さらに詳しくは、公知の液晶
位相格子の透過率Ｔ（λ）（反射型として使用するとき
は反射率）は次式 Ｔ（λ）＝ｃｏｓ2 （２πΔｎｄ／λ） （１） （λ：波長Δｎ：液晶層と固体材料の屈折率の差、ｄ：
溝深さ）によって与える（ただし、反射型ではΔｎが液
晶層と固体材料の屈折率の差の２倍、あるいは液晶の屈
折率となる。）。液晶位相回折格子においては、透明電
極間に印加する電圧による液晶分子の配向方向が変化
し、Δｎが連続的に変化するためＴ（λ）が変化する。
しかし、Ｔ（λ）はλの関数として緩やかに変化するた
め、透過光の色調は純度の低いものとなる。たとえば、
透過光が赤色の場合（最大透過率の波長λ ｍａｘ＝６
４０ｎｍ）透過光が、低波長側に裾を引くためオレンジ
がかった色となる。
【０００９】本発明の液晶回折格子は、固体材料の構造
を２つ以上の光学位相差を与える構造とする（溝深さを
変化させる）ことで、たとえば透過率が異なる溝深さｄ
1 、ｄ2 を有する（１）色の積 Ｔ（λ）＝ｃｏｓ2 （２πΔｎｄ1 ／λ）・ｃｏｓ2 （２πΔｎｄ2 ／λ） （２） として与えられる。これにより透過光−波長の関係は裾
を引かないシャープなものとなり透過光の色純度が向上
する。２つ以上の光学位相差を与える構造としては、一
方の基板に２つ以上の光学位相差を与える構造を形成す
ることもできるし、２枚の基板それぞれに異なる光学位
相差を与える構造を形成し重ねることもできる。この場
合、これらの位相格子が直接接していてもよいし、透明
物質で区切られるなど異なる構造として存在していても
良い。また、これらの溝は同様の方向に向いていてもよ
いし、垂直等の角度を有して配置されていても良い。
を２つ以上の光学位相差を与える構造とする（溝深さを
変化させる）ことで、たとえば透過率が異なる溝深さｄ
1 、ｄ2 を有する（１）色の積 Ｔ（λ）＝ｃｏｓ2 （２πΔｎｄ1 ／λ）・ｃｏｓ2 （２πΔｎｄ2 ／λ） （２） として与えられる。これにより透過光−波長の関係は裾
を引かないシャープなものとなり透過光の色純度が向上
する。２つ以上の光学位相差を与える構造としては、一
方の基板に２つ以上の光学位相差を与える構造を形成す
ることもできるし、２枚の基板それぞれに異なる光学位
相差を与える構造を形成し重ねることもできる。この場
合、これらの位相格子が直接接していてもよいし、透明
物質で区切られるなど異なる構造として存在していても
良い。また、これらの溝は同様の方向に向いていてもよ
いし、垂直等の角度を有して配置されていても良い。
【００１０】本発明に使用する固体材料は規則的な凹凸
を有するものであれば特に制限はないが、具体的には高
分子材料、ガラス等が使用される。本発明の液晶位相格
子透過型として使用する場合には固体材料は透明である
必要があるが、反射型として使用する場合には不透明の
材料を用い、反射膜等を付けることができる。また、特
定の波長域で本発明の液晶位相回折格子を透過型として
使用する場合には、その波長域で透明であればよい。固
体材料の形状を作製する方法としては、フォトリソグラ
フィ、エッチング等の方法、或いはそれらの方法で作製
した原型を高分子材料等のレプリカで写し取って作製す
ることもできる。
を有するものであれば特に制限はないが、具体的には高
分子材料、ガラス等が使用される。本発明の液晶位相格
子透過型として使用する場合には固体材料は透明である
必要があるが、反射型として使用する場合には不透明の
材料を用い、反射膜等を付けることができる。また、特
定の波長域で本発明の液晶位相回折格子を透過型として
使用する場合には、その波長域で透明であればよい。固
体材料の形状を作製する方法としては、フォトリソグラ
フィ、エッチング等の方法、或いはそれらの方法で作製
した原型を高分子材料等のレプリカで写し取って作製す
ることもできる。
【００１１】本発明で使用される液晶材料は、単一の液
晶性化合物でもよいし、２種以上の液晶性化合物や液晶
性化合物以外の物質を含んだ混合物であってもよい。液
晶材料としてはネマティク液晶、スメクチック液晶、コ
レステリック液晶のどれを用いてもよいが、特にネマチ
ック液晶が望ましい。また、これらの混合物であっても
よい。液晶材料の誘電異方性は正であっても負であって
もよく、また周波数を変化させることにより誘電異方性
が正負両方の値をとることのできる液晶材料であっても
よい。本発明の液晶光学素子は、液晶材料の屈折率の変
化によって散乱状態と透過状態を制御するため、液晶材
料の２つの屈折率（常光線屈折率と異常光線屈折率）の
差が大きいものが望ましいが、２つの屈折率が等しくな
い限りとくにこれによって制限されるものではない。
晶性化合物でもよいし、２種以上の液晶性化合物や液晶
性化合物以外の物質を含んだ混合物であってもよい。液
晶材料としてはネマティク液晶、スメクチック液晶、コ
レステリック液晶のどれを用いてもよいが、特にネマチ
ック液晶が望ましい。また、これらの混合物であっても
よい。液晶材料の誘電異方性は正であっても負であって
もよく、また周波数を変化させることにより誘電異方性
が正負両方の値をとることのできる液晶材料であっても
よい。本発明の液晶光学素子は、液晶材料の屈折率の変
化によって散乱状態と透過状態を制御するため、液晶材
料の２つの屈折率（常光線屈折率と異常光線屈折率）の
差が大きいものが望ましいが、２つの屈折率が等しくな
い限りとくにこれによって制限されるものではない。
【００１２】本発明の液晶位相格子を構成する基板は、
電極層を有す少なくとも一方が透明な基板であり、ガラ
ス、プラスチック、金属等が使用できる。本発明の液晶
回折格子は、透過型として使用する場合と反射型として
使用する場合が可能である。透過型として使用する場合
には２枚の基板は透明であることが必要である。反射型
の場合は基板の一方に金属等の反射率の大きな材料を用
いるが、表面を反射率の大きな材料でコーティングす
る。
電極層を有す少なくとも一方が透明な基板であり、ガラ
ス、プラスチック、金属等が使用できる。本発明の液晶
回折格子は、透過型として使用する場合と反射型として
使用する場合が可能である。透過型として使用する場合
には２枚の基板は透明であることが必要である。反射型
の場合は基板の一方に金属等の反射率の大きな材料を用
いるが、表面を反射率の大きな材料でコーティングす
る。
【００１３】
実施例１ 透明電極１３ｂとなるインジウム−スズ−オキサイド
（ＩＴＯ）付きガラス基板１４ｂに、ポリメチルメタク
リレート（固有粘度＝１．２５）のエチルセルソルブア
セテート溶液をスピンコートし、厚さ４．６μｍの膜を
得た。ディープＵＶ露光機を用いて、フォトリソグラフ
ィーで図２に示す固体材料を形成する。１０μｍ周期で
５μｍ角の穴のあいたクロミウムマスクを使い、露光量
を２段階にして、マスクを移動して３回露光した。ポリ
メチルメタクリレートはポジ型レジストである。図２の
領域２０は厚さ４．６μｍにしたいので露光しない。領
域２２、２４は厚さ２．３μｍにしたいので同じ露光量
でマスクを移動してしそれぞれ露光する。領域２６はレ
ジストが存在しなにようにしたいのでマスクを移動し、
露光量を増加して露光する。現像液はメチルイソブチル
ケトンとイソブロパノールの混合溶液を用いた。電子顕
微鏡観察により、図２のような２次元的な周期の位相格
子が形成されていることを確認した。このあとＩＴＯ付
きガラス基板１４ａをもう一枚用意し、ガラス基板１４
ｂと対向させ、間にシアノ系ネマッチック液晶Ｅ８を注
入した。このようにして図１に断面を示すような素子を
作製した。この素子の電圧ＯＦＦにおける透過光の波長
依存性を図３に示した。図中（ｃ）がこの素子の透過
率、（ａ）、（ｂ）は図２の位相格子でなくそれぞれ厚
さ２．３μｍ、４．６μｍのポリメチルメタクリレート
の５μｍのライン＆スペースを位相格子とした従来の素
子の透過率を示す。本発明の素子は透過光のピークがシ
ャープであり、また白色光を透過させたときの透過光も
あざやかであった。この素子に電圧を印加すると、ピー
クはこの形状を保ちながら、低波長側に移動した。色度
図上での「ｘ」と「ｙ」の移動範囲が従来より広かっ
た。
（ＩＴＯ）付きガラス基板１４ｂに、ポリメチルメタク
リレート（固有粘度＝１．２５）のエチルセルソルブア
セテート溶液をスピンコートし、厚さ４．６μｍの膜を
得た。ディープＵＶ露光機を用いて、フォトリソグラフ
ィーで図２に示す固体材料を形成する。１０μｍ周期で
５μｍ角の穴のあいたクロミウムマスクを使い、露光量
を２段階にして、マスクを移動して３回露光した。ポリ
メチルメタクリレートはポジ型レジストである。図２の
領域２０は厚さ４．６μｍにしたいので露光しない。領
域２２、２４は厚さ２．３μｍにしたいので同じ露光量
でマスクを移動してしそれぞれ露光する。領域２６はレ
ジストが存在しなにようにしたいのでマスクを移動し、
露光量を増加して露光する。現像液はメチルイソブチル
ケトンとイソブロパノールの混合溶液を用いた。電子顕
微鏡観察により、図２のような２次元的な周期の位相格
子が形成されていることを確認した。このあとＩＴＯ付
きガラス基板１４ａをもう一枚用意し、ガラス基板１４
ｂと対向させ、間にシアノ系ネマッチック液晶Ｅ８を注
入した。このようにして図１に断面を示すような素子を
作製した。この素子の電圧ＯＦＦにおける透過光の波長
依存性を図３に示した。図中（ｃ）がこの素子の透過
率、（ａ）、（ｂ）は図２の位相格子でなくそれぞれ厚
さ２．３μｍ、４．６μｍのポリメチルメタクリレート
の５μｍのライン＆スペースを位相格子とした従来の素
子の透過率を示す。本発明の素子は透過光のピークがシ
ャープであり、また白色光を透過させたときの透過光も
あざやかであった。この素子に電圧を印加すると、ピー
クはこの形状を保ちながら、低波長側に移動した。色度
図上での「ｘ」と「ｙ」の移動範囲が従来より広かっ
た。
【００１４】実施例２ 実施例１と同様にしてＩＴＯ付きガラス基板に、ポリメ
チルメタクリレート（固有粘度＝１．２５）のエチルセ
ルソルブアセテート溶液をスピンコートし、厚さ２．３
μｍの膜を得た。ラインとスペースの間隔がそれぞれ５
μｍのクロミウムマスクを用いてディープＵＶ露光でパ
ターニングした。電子顕微鏡観察より、得られた位相回
折格子はマスクのパターンを写し取った断面矩形の回折
格子となっていることが確認された。また、同様の方法
で厚さ４．６μｍの位相回折格子を作製した。それぞれ
の位相回折格子に透明電極付きの対向電極を張り合わせ
２つの位相格子の溝を直行させて２枚の位相格子付きの
基板を張り合わせた素子を作製し、シアノ系ネマッチッ
ク液晶Ｅ８を注入した。
チルメタクリレート（固有粘度＝１．２５）のエチルセ
ルソルブアセテート溶液をスピンコートし、厚さ２．３
μｍの膜を得た。ラインとスペースの間隔がそれぞれ５
μｍのクロミウムマスクを用いてディープＵＶ露光でパ
ターニングした。電子顕微鏡観察より、得られた位相回
折格子はマスクのパターンを写し取った断面矩形の回折
格子となっていることが確認された。また、同様の方法
で厚さ４．６μｍの位相回折格子を作製した。それぞれ
の位相回折格子に透明電極付きの対向電極を張り合わせ
２つの位相格子の溝を直行させて２枚の位相格子付きの
基板を張り合わせた素子を作製し、シアノ系ネマッチッ
ク液晶Ｅ８を注入した。
【００１５】作製した素子の電圧ＯＦＦにおける透過率
を測定すると実施例１と同様にシャープな透過率曲線で
あった。また色度図上での「ｘ」と「ｙ」の移動範囲も
従来より広かった。
を測定すると実施例１と同様にシャープな透過率曲線で
あった。また色度図上での「ｘ」と「ｙ」の移動範囲も
従来より広かった。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は従来の液
晶位相格子では得られない色純度の優れた液晶素子を提
供するものである。本発明の液晶位相回折格子は鮮やか
な色調の要求される、文字、図形等を表示する表示装
置、光スイッチ等に利用される。
晶位相格子では得られない色純度の優れた液晶素子を提
供するものである。本発明の液晶位相回折格子は鮮やか
な色調の要求される、文字、図形等を表示する表示装
置、光スイッチ等に利用される。
【図１】本発明の液晶位相回折格子の断面図である。
【図２】本発明で得られた２種の光学的位相差をあたえ
る固体材料の斜視図である。
る固体材料の斜視図である。
【図３】従来の方法で得られた液晶位相格子と本発明に
よる液晶位相格子の透過率の波長依存性を示す図であ
る。
よる液晶位相格子の透過率の波長依存性を示す図であ
る。
１１ 固体材料 １２ 液晶材料 １３ 透明電極 １４ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−153936（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−76029（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−302376（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 5/30
Claims (3)
- 【請求項１】 電極を有する２枚の基板間に液晶材
料が挟まれた構造を有し、前記電極に印加する電圧によ
って液晶層の屈折率を変化させて透過光の色調を変化さ
せる液晶位相格子において、前記基板の少なくとも一方
に凹凸を有する固体材料を有し、前記凹凸が２種以上の
光学的位相差を与える構造を有していることを特徴とす
る液晶位相格子。 - 【請求項２】 前記規則的な凹凸が２次元的に複数
の溝方向を有することを特徴とする請求項１に記載の液
晶位相格子。 - 【請求項３】 前記規則的な凹凸を有する固体材料
は、前記基板上にそれぞれ設けられ、それらの規則的な
凹凸が与える光学的位相差が異なることを特徴とする請
求項１または２に記載の液晶位相格子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04000036A JP3144011B2 (ja) | 1992-01-06 | 1992-01-06 | 液晶位相格子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04000036A JP3144011B2 (ja) | 1992-01-06 | 1992-01-06 | 液晶位相格子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05210012A JPH05210012A (ja) | 1993-08-20 |
| JP3144011B2 true JP3144011B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=11463110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04000036A Expired - Lifetime JP3144011B2 (ja) | 1992-01-06 | 1992-01-06 | 液晶位相格子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3144011B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6172792B1 (en) * | 1997-01-31 | 2001-01-09 | Mary Lou Jepsen | Method and apparatus for forming optical gratings |
| JP5987384B2 (ja) * | 2012-03-21 | 2016-09-07 | 凸版印刷株式会社 | 三次元構造体、及びその製造方法 |
| JP6969560B2 (ja) * | 2016-08-30 | 2021-11-24 | 大日本印刷株式会社 | 偏光解消素子 |
-
1992
- 1992-01-06 JP JP04000036A patent/JP3144011B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05210012A (ja) | 1993-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4878742A (en) | Liquid crystal optical modulator | |
| US4850681A (en) | Optical modulation device | |
| US5623353A (en) | Color liquid crystal device having thickness controlling layers disposed at pixel portions | |
| KR960015022A (ko) | 반사형 액정표시소자 및 그 제조방법 | |
| US4822146A (en) | Optical modulation element | |
| JP3144011B2 (ja) | 液晶位相格子 | |
| JPH08313923A (ja) | 液晶表示素子 | |
| JPH07287115A (ja) | 反射型カラーフィルタおよび液晶表示装置 | |
| JP3156303B2 (ja) | 液晶位相回折格子の製造方法 | |
| JPH0458610B2 (ja) | ||
| JPS61241724A (ja) | 液晶表示素子 | |
| JP2551025B2 (ja) | 液晶光変調器 | |
| JPH0652351B2 (ja) | 光変調素子 | |
| JPH1031435A (ja) | 液晶表示パネル | |
| JPH0652349B2 (ja) | 光変調素子 | |
| JPS62235926A (ja) | 光変調素子 | |
| JP2517589B2 (ja) | 光変調素子 | |
| JPH0652350B2 (ja) | 光変調素子 | |
| JP3412775B2 (ja) | 液晶素子 | |
| JPH0616139B2 (ja) | 液晶光変調器 | |
| JPH05232445A (ja) | 液晶位相格子の駆動方法 | |
| JPH0776815B2 (ja) | 光変調素子 | |
| JPS6338918A (ja) | 液晶光変調器 | |
| JPS63281132A (ja) | 光変調装置 | |
| JPS62237424A (ja) | 光変調素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000208 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001128 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080105 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090105 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100105 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110105 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120105 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130105 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130105 Year of fee payment: 12 |