JP3129563B2 - 超音波計測方法及び装置 - Google Patents

超音波計測方法及び装置

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JP3129563B2
JP3129563B2 JP05044371A JP4437193A JP3129563B2 JP 3129563 B2 JP3129563 B2 JP 3129563B2 JP 05044371 A JP05044371 A JP 05044371A JP 4437193 A JP4437193 A JP 4437193A JP 3129563 B2 JP3129563 B2 JP 3129563B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は超音波計測方法及び装置
に係り、気体、液体、固体等の測定対象物の音速を測定
し、測定対象物が気体、液体である場合にはそれらの成
分、濃度、弾性率等を求め、測定対象物が固体である場
合にはその弾性率、強度、疲労、応力履歴、寿命等を求
めるに好適な超音波計測方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】超音波計測方法では、測定対象物内で、
超音波送信部から送信された送信波に基づいて順次生ず
る多重反射信号を超音波受信部にて受信し、この受信波
から求められる伝搬時間(tt )と伝搬距離(L)に基
づいて測定対象物の絶対音速(V)を求める。
【0003】ここで、従来の伝搬時間計測方法として
は、シングアラウンド方法、オーバーラップ方法、スー
パーインポーズ方法等がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】然るに、シングアラウ
ンド方法は、計測安定性、自動計測等の要求によって多
用されてきたが、外的因子による影響を受け易い。他
方、オーバーラップ方法、スーパーインポーズ方法は外
的因子の影響を受け難いが、計測の自動化がコスト、技
術的難易度等によって不可能であった。
【0005】本発明は、超音波の伝搬時間を高精度、高
安定的に自動計測可能とすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の本発明
は、測定対象物内で、超音波送信部から送信された送信
波に基づいて順次生ずる多重反射信号を超音波受信部に
て受信し、この受信波から求められる伝搬時間(tt
と伝搬距離(L)に基づいて測定対象物の絶対音速
(V)を求める超音波計測方法において、送信波毎に生
ずる多重受信波のうち、特定順位の少なくとも2個を選
択するとともに、連続発振波を出力し、先後の送信波の
それぞれについて選択した受信波の間で、同一順位の受
信波の時間間隔が、連続発振波の周期(t3 )の整数倍
に等しくなるように制御し、且つ、同一送信波について
選択した受信波の間で、隣り合う順位の受信波の時間間
隔が、連続発振波の周期(t3 )と等しくなるように制
御し、上記制御の成立状態下で求まる連続発振波の周期
(t3 )を測定し、この測定結果を、前記絶対音速
(V)を求めるための伝搬時間(tt )として用いるよ
うにしたものである。
【0007】請求項2に記載の本発明は、測定対象物内
で、超音波送信部から送信された送信波に基づいて順次
生ずる多重反射信号を超音波受信部にて受信し、この受
信波から求められる伝搬時間(tt )と伝搬距離(L)
に基づいて測定対象物の絶対音速(V)を求める超音波
計測装置において、送信波毎に生ずる多重受信波のう
ち、特定順位の少なくとも2個を選択するとともに、続
発振波を出力し、先後の送信波のそれぞれについて選択
した受信波の間で、同一順位の受信波の時間間隔が、連
続発振波の周期(t3 )の整数倍に等しくなるように制
御し、且つ、同一送信波について選択した受信波の間
で、隣り合う順位の受信波の時間間隔が、連続発振波の
周期(t3 )と等しくなるように制御する連続発振制御
回路と、連続発振制御回路による上記制御の成立状態下
で連続発振波の周期(t3 )を前記伝搬時間(tt )と
して測定する時間計測回路と、時間計測回路の測定結果
を用いて前記絶対音速を求める演算処理回路とを有して
なるようにしたものである。
【0008】
【作用】本発明は、図4(A)〜(C)に示す如くの超
音波送受信部を用いる。図4(A)は距離Lを隔てた1
対の超音波送信部1A、超音波受信部1Bからなるも
の、図4(B)は距離Lを隔てた超音波送受信部1、反
射板4からなるもの、図4(C)は距離Lを隔てた超音
波送受信部1、固体反射部4からなるものである。図4
(A)、(B)は測定対象物を気体、液体、固体とし、
図4(C)は測定対象物を固体とするものである。
【0009】そして、超音波送受信部に電気的パルスバ
ースト信号を印加すると、超音波信号は、測定対象物内
を伝搬し反射部において反射され、再び測定対象物内を
伝搬し送受信部に到達する。この超音波信号は送受信部
にて更に反射し、これを波形が減衰することにより消失
するまで繰り返す多重反射信号となる。図2の101
は、超音波送受信部に接続された計測回路で検出した送
受信波であり、WS1、WS2は時間間隔t1 で間欠的に送
信される送信波、WJ1、WJ2…はWS1に基づいて順次生
ずる多重反射波(第1受信波、第2受信波…)、WJ3
J4…はWS2に基づいて順次生ずる多重反射波(第1受
信波、第2受信波…)である。本発明は、この多重反射
信号を利用して測定対象物内の超音波伝搬速度を求める
ものである。
【0010】然るに、超音波計測装置では、超音波送受
信部と計測回路との間にケーブル等の信号伝搬手段を介
在させている。このため、計測回路で検出する送受信波
(参照波形図101)にあっては、送信波WS1から第1
受信波WJ1までの時間間隔内に、超音波送受信部から計
測回路内の検出点(図1の点28)までの間のケーブル
等を電気信号が伝搬する時間tw を含む。そのため、ケ
ーブル等の往復伝搬経路に対応する2tw の時間をキャ
ンセルしなければ正確な超音波の伝搬時間を測定できな
い。従って、tw をキャンセルするために、第1受信波
J1と第2受信波WJ2の時間間隔を測定するものとすれ
ば、tw の時間はキャンセルされ超音波が測定対象物中
だけを伝搬する時間を測定できる。このため、相対的な
伝搬時間の測定でなく、伝搬時間の絶対測定が可能とな
る。超音波伝搬時間tt の絶対測定ができれば、超音波
の伝搬速度Vは、伝搬距離Lを正確に測定することによ
り、単純に(1) 式により求められるものとなる。 V=2L/tt …(1)
【0011】伝搬時間tt を絶対測定するために、本発
明では、第1受信波WJ1と第2受信波WJ2の時間間隔t
t を周期t3 (=tt )とする連続発振波を作り、その
周期t3 を測定することにて伝搬時間tt を求めること
としている。発振周期t3 と伝搬時間tt とが等しくな
った状態の波形図が図2である。図2の(105)は伝
搬時間tt を周期t3 とする連続発振波形である。この
波形(105)の周期t3 を測定することにより、伝搬
時間tt を測定できるのである。(105)の波形は
(101)の波形のWJ1、WJ2を波形整形したW1 、W
2 と同位相となっている。この状態を成立させるために
は、下記(2) 式、及び(3) 式の2つの条件を満足させる
必要がある。 t1 =t2 =t3 ×m(mは整数) …(2) fout =1/t3 …(3) t1 は送信波WS1、WS2の時間間隔、t2 はWS1に基づ
く第1整形受信波W1と、WS2に基づく第1整形受信波
3 の時間間隔、t3 は連続発振波の周期である。mは
整数であり、受信波の多重波の減衰量等により決定され
る。多重波の減衰が少なければ、多重波の影響を小さく
するためmの値を大きく設定する。
【0012】本発明では、(2) 式と(3) 式を同時に成立
させるため、「先後の送信波のそれぞれについて選択し
た受信波の間で、同一順位の受信波の時間間隔が、連続
発振波の周期(t3 )の整数倍に等しくなるように制御
し、且つ、同一送信波について選択した受信波の間で、
隣り合う順位の受信波の時間間隔が、連続発振波の周期
(t3 )と等しくなるように制御すること」としてい
る。(3) 式の条件は単独で成立することはできず、(2)
式の条件と同時に成立する。このようにして伝搬時間t
t と連続発振波の周期t3 とが等しくなったときに、連
続発振波の周期t3 を測定すれば、tt =t3 にて伝搬
時間tt を測定することができる。
【0013】尚、連続発振波の多周期分を基準クロック
を用いたカウンタで測定し、その平均を取ることにて1
周期の時間t3 を求める手法を用いれば、基準クロック
の周波数より高い精度での測定が可能となる。これが本
発明の有効な点でもある。例えば、単純なパルス方法に
よる測定では、平均しても測定精度は上がらず、精度は
基本クロックの周波数に依存してしまう。以上のように
して(1) 式の伝搬時間tt を求める。
【0014】他方、(1) 式の距離Lは次のようにして求
める。距離Lは温度により変化するが、その変化は伝搬
距離を決めている材質の熱膨張係数による。熱膨張係数
を含めた材質の長さの変化は、αを熱膨張係数、θを温
度、L0 を基準温度における長さとするとき、(4) 式で
表わされる。 L=L0 (1+αθ) …(4)
【0015】ここで、αはLを決定する材質の熱膨張係
数であることから予め決定することができる。また、L
0 は製作時のばらつき等により超音波送受信装置固有の
値となるが、これは水を用いて簡単に測定できる。即
ち、水の音速は文献値により(5) 式のようにわかってい
る。 V=1402.736+ 5.03358θ− 0.0579506θ2 + 3.31636×10-4θ3 − 1.45262×10-6θ4 +3.0449×10-9θ5 …(5)
【0016】そのため、ある水の温度θと水の文献値に
よる音速Vと伝搬時間の実測値とからLの値を求め、更
に(4) 式より超音波送受信装置固有の値であるL0 の値
を求めることができる。この方法により、予めL0 とα
の値を決定しておけば、超音波送受信装置の温度を測定
することにより、Lの値を決定することができる。
【0017】以上の伝搬時間tt の測定と、伝搬距離L
の測定により、(1) 式を用い、超音波の音速Vを高精度
で高安定的に計測することができるのである。
【0018】
【実施例】図1は超音波計測装置の一例を示すブロック
図、図2は超音波計測装置の波形図、図3は連続発振制
御回路を示す回路図、図4は超音波送受信装置を示す模
式図である。
【0019】超音波計測装置は、超音波送受信装置10
0、計測回路200とを有して構成される。
【0020】超音波送受信装置100は、発振板3と反
射板4とを距離Lを介して対向配置し、この間を測定対
象物(気体、液体または固体)を満たすようにしてい
る。また、超音波送受信装置100は、温度センサ5を
備えている。
【0021】超音波送受信装置100の発振板3から送
信された送信波は、発振板3と反射板4との間での減衰
によりエネルギーがなくなるまで反射を繰り返し、超音
波送受信装置100はこの多重反射信号を受信する。
【0022】計測回路200は、前置増幅器6、ゲート
付AGC回路7、8、検波回路9、10、連続発振制御
回路27、送信回路22、温度計測回路14、時間計測
回路24、デジタル演算処理回路25、出力部26で構
成される。
【0023】前置増幅器6は超音波受信信号を増幅させ
る。AGC増幅部7、8は、送信波毎に生ずる多重受信
波のうち、第1受信波(WJ1、WJ3)と第2受信波(W
J2、WJ4)のみを増幅する。このとき、AGC増幅部
7、8は、超音波受信信号レベルが媒質の変化により変
動しても信号の振幅を一定のレベルに保つように働く
(参照波形図102、103)。
【0024】検波回路9、10は、基本的にアナログ比
較回路であるが、参照レベルは第1受信波、第2受信波
ともに同じ波形位置で比較するように設定され、AGC
増幅部7、8で増幅された信号を単一パルスのデジタル
信号に変換する(参照波形図104) 。
【0025】変換されたデジタル信号は、連続発振制御
回路27に入力され、下記(1) 〜(5) の如くにより処理
され、超音波伝搬時間tt を周期t3 (=tt )とする
周波数fout の連続発振信号に変換され、時間計測回路
24へ入力される。
【0026】(1) デジタル化された第1受信波の信号は
図2の(106)、第2受信波の信号は(107)に示
されるように、信号選択回路11にて分離され、(10
6)は位相同期ループ回路(PLL)21の位相比較回
路19、(107)は位相同期ループ回路(PLL)1
6の位相比較回路13に入力される。
【0027】(2) 電圧−周波数変換回路15から出力さ
れる連続発振信号(105)がm分周されて信号選択回
路17より波形(108)として位相比較回路19へ入
力される。
【0028】(3) 位相比較回路19では(106)、
(108)の位相を比較し、同位相となるように、[即
ち、先後の送信波WS1、WS2のそれぞれについて選択し
た受信波(WJ1、WJ2)、(WJ3、WJ4)の間で、同一
順位である第1受信波WJ1、WJ3相互の時間間隔t1
が、連続発振波の周期t3 のm倍に等しくなるように]
電圧−周波数変換回路20を制御する。電圧周波数変換
回路20の出力信号はトリガ信号(110)となり、送
信回路22から超音波信号(101)WS が送信され
る。(106)と(108)が同位相となるため、t1
=t2 =t3 ×mとなり、前述(2) 式の条件を満足す
る。
【0029】(4) 電圧−周波数変換回路15から出力さ
れた連続発振信号(105)は、信号(108)と同様
にm分周され、(108)より1周期遅れて信号選択回
路17より(109)として出力され、位相比較器13
に出力される。
【0030】(5) 位相比較器13では、(107)と
(109)の位相を比較し、同位相となるように、電圧
−周波数変換回路15を制御する。従って、(106)
上のW5 と(108)上のW9 は同位相となり、W11
9 の連続周波数fout の1周期分遅れ、また、W11
7 と同位相となるため、連続発振波(103)の周期
3 が(101)の受信波の時間間隔tt と等しくなる
(即ち、同一送信波WS1について選択した受信波WJ1
J2の間で、隣り合う第1受信波WJ1と第2受信波WJ2
の時間間隔tt が連続発振波の周期t3 と等しくな
る)。これにより、連続発振波fout の周期を測定する
ことにより、超音波の伝搬時間tt が測定されることに
なる。
【0031】連続発振制御回路27は、各送信波毎に上
記(1) 〜(5) を連続的に繰り返す。
【0032】時間計測回路24は基準クロックとカウン
タで構成され、入力された信号の周期t3 を計測する時
間計測精度を上げるために、予め設定された周期数分
(例えば1000周期分)の時間を計測し、後段のデジタル
演算処理回路25にて設定された周期数(例えば1000周
期)の平均を計算する。
【0033】デジタル演算処理回路25では温度計測回
路14からの信号に基づいて伝搬媒質の温度を計算す
る。その温度から温度補正された超音波伝搬距離Lを計
算する。また時間計測回路24からの信号に基づいて平
均伝搬時間を計算する。以上の計算結果より、(3) 式よ
り、超音波伝搬速度を計算する。そしてその結果を出力
部26から出力する。
【0034】次に、計測回路200を構成する連続発振
制御回路27の制御動作について、図3を参照し具体的
に説明する。
【0035】超音波第1受信波、第2受信波がAGC回
路7、8を通り、検波回路9、10でデジタル化された
パルス波(参照波形図104)が、図3のa部に入力さ
れる。このパルス波形をIC1−1とIC1−2の制御
回路により制御されているIC2の信号選択回路に入力
する。第2受信波がデジタル化された波形W2 、W
4(参照波形図104)はIC2のS3へ出力され、波
形W7 、W8 (参照波形図106)となり、バッファI
C3−3を通り位相比較IC5へ入力される。IC6−
1は電圧制御発振ICであり、常にIC5の直流出力電
圧に対応する周波数で発振している(参照波形図10
5)。この連続発振波はバッファIC8−1、IC8−
2を通り信号選択IC12へ出力される。
【0036】送信信号の周期t1 (参照波形図101)
を伝搬時間のm倍に設定するm分周用のカウンタ回路I
C7−1、IC7−2と、制御回路IC10−1、−
2、−3、IC11−1、−2、IC8−3、−4とに
より、信号選択IC12の出力S2が出力S3よりも電
圧制御発振IC6−1の発振周期の1周期分だけ位相が
遅れた信号になるよう(参照波形図108、109)に
IC12を制御する。m分周用カウンタのm値は4、
8、16等任意に設定可能であり、伝搬距離L、伝搬媒
質の減衰量等により、多重波が影響をしないような数値
に設定される。
【0037】信号選択IC12の出力S2は、位相比較
IC5へ入力され、バッファIC3−3の出力と位相比
較される。位相比較IC5はそれらの信号が同位相とな
るようにIC5の出力、直流電圧を制御し、また次段の
電圧制御発振IC6−1も制御する。一方、信号選択I
C12のS3の出力は、位相比較IC9へ入力される。
位相比較IC9はバッファIC3−4より出力される超
音波第1受信波がデジタル化された信号と位相比較さ
れ、位相比較IC9はそれらの入力波形が同位相となる
ように、出力直流電圧を制御し、また次段の電圧制御発
振IC6−2の周波数を制御する。このIC6−2の発
振信号の立下がり信号(参照波形図110)がトリガ信
号となり、超音波送信信号のタイミングを制御する。I
C5の入力位相、IC9の入力位相がそれぞれ同位相に
ロックされた状態が、超音波伝搬時間tt (参照波形図
101)と、電圧制御発振IC6−1の発振周波数f
out の周期とが等しくなった状態となる。従って、この
発振周期t3 を測定することにより、超音波伝搬時間t
t の測定が可能となり、同時に、絶対超音波伝搬速度の
自動計測が可能となる。
【0038】以下、本実施例の効果について説明する。 測定対象物中の伝搬時間のみを測定する絶対音速計測
法であるため、超音波送受信装置と計測回路との間のケ
ーブル等の信号伝搬手段の介在による伝搬時間測定の誤
差を生じない。よって、ケーブル長さ等の信号伝搬手段
の変更等にも容易に対応できる。
【0039】伝搬時間を周期とする連続発振波の周波
数に、伝搬時間を変換するため、パルス法ではあまり効
果がなかった測定時間の平均化による測定精度の向上を
図ることができる。
【0040】絶対音速測定法であるため、広い範囲で
の高精度の測定ができ、また自動測定により音速の測定
を高速化できる。
【0041】超音波送受信装置固有の伝搬距離の温度
補正係数(発力補正係数等も同じ)を簡易に決定でき、
超音波送受信装置の交換等のメンテナンス時に極めて有
効である。
【0042】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、超音波の
伝搬時間を高精度、高安定的に自動計測可能とすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は超音波計測装置の一例を示すブロック図
である。
【図2】図2は超音波計測装置の波形図である。
【図3】図3は連続発振制御回路を示す回路図である。
【図4】図4は超音波送受信装置を示す模式図である。
【符号の説明】
6 前置増幅器 7、8 ゲート付きAGC回路 9 10 検波回路 24 時間計測回路 25 デジタル演算処理回路 26 出力部 27 連続発振制御回路 100 超音波送受信装置 200 計測回路

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定対象物内で、超音波送信部から送信
    された送信波に基づいて順次生ずる多重反射信号を超音
    波受信部にて受信し、この受信波から求められる伝搬時
    間(tt )と伝搬距離(L)に基づいて測定対象物の絶
    対音速(V)を求める超音波計測方法において、 送信波毎に生ずる多重受信波のうち、特定順位の少なく
    とも2個を選択するとともに、 連続発振波を出力し、 先後の送信波のそれぞれについて選択した受信波の間
    で、同一順位の受信波の時間間隔が、連続発振波の周期
    (t3 )の整数倍に等しくなるように制御し、 且つ、同一送信波について選択した受信波の間で、隣り
    合う順位の受信波の時間間隔が、連続発振波の周期(t
    3 )と等しくなるように制御し、 上記制御の成立状態下で求まる連続発振波の周期(t
    3 )を測定し、この測定結果を、前記絶対音速(V)を
    求めるための伝搬時間(tt )として用いることを特徴
    とする超音波計測方法。
  2. 【請求項2】 測定対象物内で、超音波送信部から送信
    された送信波に基づいて順次生ずる多重反射信号を超音
    波受信部にて受信し、この受信波から求められる伝搬時
    間(tt )と伝搬距離(L)に基づいて測定対象物の絶
    対音速(V)を求める超音波計測装置において、 送信波毎に生ずる多重受信波のうち、特定順位の少なく
    とも2個を選択するとともに、 連続発振波を出力し、 先後の送信波のそれぞれについて選択した受信波の間
    で、同一順位の受信波の時間間隔が、連続発振波の周期
    (t3 )の整数倍に等しくなるように制御し、 且つ、同一送信波について選択した受信波の間で、隣り
    合う順位の受信波の時間間隔が、連続発振波の周期(t
    3 )と等しくなるように制御する連続発振制御回路と、 連続発振制御回路による上記制御の成立状態下で連続発
    振波の周期(t3 )を前記伝搬時間(tt )として測定
    する時間計測回路と、 時間計測回路の測定結果を用いて前記絶対音速を求める
    演算処理回路とを有してなることを特徴とする超音波計
    測装置。
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