JP3129235B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP3129235B2
JP3129235B2 JP09132203A JP13220397A JP3129235B2 JP 3129235 B2 JP3129235 B2 JP 3129235B2 JP 09132203 A JP09132203 A JP 09132203A JP 13220397 A JP13220397 A JP 13220397A JP 3129235 B2 JP3129235 B2 JP 3129235B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置
(半導体メモリ)に関し、特に、カラムスイッチの活性
化/不活性化の状態によらずに特定のビットへのデータ
の書き込みを制限するライトパービット機能を有する半
導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】RAM(ランダムアクセスメモリ)など
の半導体メモリは、データやアドレスの入出力の形態に
応じて、いくつかの種類に分類される。その中には、ブ
ロックライト機能を有する半導体メモリがある。
【0003】ブロックライト機能とは、同時に複数のカ
ラムのカラムスイッチをオンにして、これら複数のカラ
ムのメモリセルに対して同時に書き込みを行う機能のこ
とであり、例えば、画像処理や画像メモリなど用いられ
ている。
【0004】図1は、ブロックライト機能を有する半導
体メモリでのメモリセルアレイ部分の概略の構成を示し
ている。ここでは、例えば「×4」とか「×8」と呼ば
れるDRAM(ダイナミックランダムアクセスメモリ)
のように、1つのメモリアドレスに対するデータとして
複数のビットが対応し、1回のメモリアクセスによって
これら複数のビットのデータが同時かつ並列に入力(書
き込み)するものとする。図において、白丸は個々のメ
モリセルを示している。ここでは、半導体メモリがDR
AM構成のものであって、8ビットのデータが同時に入
出力するものとし、同時に入出力する8ビットデータの
各ビットごとに、入出力バスとして、それぞれ1対の入
出力線IOT0〜IOT7,ION0〜ION7が設けられ
ている。対を構成する入出力線IOT0〜IOT7と入出
力線ION0〜ION7は、それぞれ、通常の書き込み動
作時には相互に逆論理となっている。また、n本のカラ
ムスイッチ選択信号Y0〜Yn-1が、このメモリセルアレ
イに与えられている。各入出力線対IOT0/IOT0
IOT7/ION7には、各カラムスイッチ選択信号Y0
〜Yn-1ごとに、接続手段であるカラムスイッチ(YS
W)11が接続しており、各カラムスイッチ11からは
それぞれ1対のディジット線DLT,DLNが出力して
いる。各カラムスイッチ11は、入力するカラムスイッ
チ選択信号に応じて、対応する入出力線対とディジット
線対DLT/DLNとを接続するものである。ディジッ
ト線対DLT/DLNにはセンスアンプ(SA)12が
挿入されるとともに、複数のメモリセルが接続されてい
る。
【0005】さらに、半導体メモリに与えられるアドレ
スのうちロウアドレスをデコードして得られるワード選
択信号に基づいてメモリセルを選択するために、複数の
ワード線Wが設けられている。ここで、ワード線Wは、
カラムスイッチ11によって選択される各領域に対して
共通に設けられ、ワード線Wの本数は、1つのカラムス
イッチ11の配下にあるメモリセルの数と同数であっ
て、1つのカラムスイッチ11の配下の領域ごとに、メ
モリセルとワード線とが1対1に対応している。
【0006】この半導体メモリでは、ブロックライト機
能を実現するために、カラムスイッチ選択信号Y0〜Y
n-1のうちの複数のものが活性化し、対応するカラムス
イッチ11が入出力線対とディジット線対DLT/DL
Nを接続するとともに、ワード線Wのいずれかが活性化
して対応するメモリセルがディジット線DLTあるいは
DLNに接続する。その結果、各入出力線対IOT0
ION0〜IOT7/ION7上のデータが、カラムスイ
ッチ11がオン状態でありワード線Wによって選択され
たメモリセルに書き込まれる。
【0007】ところで、画像の記憶や画像処理の分野な
どに使用される半導体メモリの場合、上述したようなブ
ロックライト機能が要求されることが多いが、さらに、
入力データのいかんによらず、同時に入力する複数のビ
ットのうち特定のビットのみを書き込み禁止にしたいと
いう要求がある。このように、ブロックライト機能を有
するメモリなどにおいて特定のビットに対する書き込み
の制限を実施することをライトパービットと呼ぶ。
【0008】図2は、ライトパービット機能を備えた従
来の半導体メモリの構成を示すブロック図であり、1対
の入出力線IOT,IONに関する部分のみを示したも
のである。カラムスイッチ選択信号Y0〜Yn-1ごとにカ
ラムスイッチ(YSW)11が設けられており、カラム
スイッチ11は、入出力線IOTとディジット線DLT
を接続するnチャネルMOSトランジスタM1と、入出
力線IONとディジット線DLNを接続するnチャネル
MOSトランジスタM2とによって構成されている。M
OSトランジスタM1,M2のゲートは相互に接続する
とともに、対応するカラムスイッチ選択信号が供給され
ている。ディジット線対DLT/DLNには、センスア
ンプ12、複数のメモリセル13、及びプリチャージ回
路14が接続されている。ここでは、説明を簡単にする
ため、ワード線は描かれていない。1ビットの入力デー
タに対応して入出力線対IOT/ION上での信号を生
成するとともに、ライトパービット機能を持たせるため
に、2個のNORゲート15,16と3個のインバータ
17〜19が設けられている。具体的には、入力データ
(ライトデータ)とライトパービット信号WPBとが一
方のNORゲート15に入力し、このNORゲート15
の出力がインバータ18で反転して入出力線IOT上に
出力し、入力データをインバータ17で反転させた信号
とライトパービット信号WPBとが他方のNORゲート
16に入力し、このNORゲートの出力がインバータ1
9で反転して入出力線ION上に出力している。
【0009】ライトパービット信号WPBがローレベル
("0")であれば、入力データが入出力線IOT上に表
われ、入力データを反転したものが入出力線ION上に
現れる。これに対し、ライトパービット信号WPBがハ
イレベル("1")であれば、入力データによらず、入出
力線IOT,IONのいずれもがハイレベルとなる。こ
の半導体メモリでは、ライトパービットによって書き込
みを制限したい入力データに対しては、入出力線IO
T,IONをいずれもハイレベルとすることにより、カ
ラムスイッチ11によって入出力線IOT,IONとデ
ィジット線DLT,DLNがそれぞれ接続することとな
った場合であっても、メモリセル中のデータが変化する
ことを防ぎ、ライトパービット機能を実現している。
【0010】図3は、カラムスイッチ11及びセンスア
ンプ12の構成の詳細を説明する図である。ここでは、
カラムスイッチ選択信号は符号Yで示されている。カラ
ムスイッチ11は上述したように2つのnチャネルMO
SトランジスタM1,M2で構成されている。センスア
ンプ12は、正電源にドレインが接続された2つのpチ
ャネルMOSトランジスタM3,M4と、負電源にドレ
インが接続された2つのnチャネルMOSトランジスタ
M5,M6から構成されている。ディジット線DLT
は、MOSトランジスタM3,M5のソースとMOSト
ランジスタM4,M6のゲートに接続し、ディジット線
DLNは、MOSトランジスタM4,M6のソースとM
OSトランジスタM3,M5のゲートに接続している。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の半導体メモリでは、ライトパービット機能を用
いて特定のビットに対する書き込みを制限した場合に、
書き込みが制限されたビットに対応しかつ活性化された
カラムスイッチに対応するメモリセルで、データの反転
などが起こることがあるという問題点がある。特に、入
出力線対をプルアップするためのバッファ(例えば、図
2のインバータ18,19)の能力に比べ、カラムスイ
ッチでのトランジスタ面積が大きかったり、センスアン
プの駆動能力が大きい場合に、このデータ反転が起こり
やすい。この従来の半導体メモリでは、書き込みの制限
のために、入出力線対をいずれもハイレベルにプルアッ
プするが、カラムスイッチがオンとなることで、対をな
すディジット線間での電圧不平衡がセンスアンプで増幅
されるので、入出力線をバッファでハイレベルに吊った
としたとしても、増幅された電圧不平衡が他のディジッ
ト線対に影響し、影響を受けたディジット線対でデータ
の反転が引き起こされることになる。具体的には、ワー
ド線によって選択されたメモリセルの内容に応じてディ
ジット線対には差電圧が生じるが、ワード線によって選
択されたメモリセルのうちa個の内容が"1"、b個の内
容が"0"であり、a>bであるとすると、入出力線対
は、内容が"1"である方のメモリセルの影響を多く受
け、その結果、あたかも、メモリセルに"1"を書き込む
ような電位差が生じ、内容が"0"であるメモリセルに対
して"1"が書き込まれることとなってしまう。
【0012】また、近年の半導体装置の微細化に伴い、
半導体メモリの内部で外部電源電圧より低い内部電源電
圧を生成し、メモリセルアレイには内部電源電圧を供給
し、カラムデコード回路やカラムスイッチはより高い外
部電源電圧を用いることが行われるようになってきた
が、このように2種類の電源電圧を用いる場合には上述
のディジット線間の電圧不平衡がブーストされることに
なり、メモリセルでのビット反転が起こりやすくなる。
【0013】このようなビットの反転を防ぐために、デ
ィジット線対にバランサを挿入することも考えられる
が、素子面積の大きなバランサを多数必要とするので、
半導体メモリのチップ面積の縮小化あるいはメモリ容量
の増大といった観点からは好ましくない。
【0014】本発明の目的は、ライトパービット動作を
行わせたときにメモリセルでのビット反転が防止するこ
とができる半導体メモリを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶装置
は、カラムに対応する複数のディジット線対と、ディジ
ット線対ごとに設けられたメモリセルと、選択されたメ
モリセルに書き込むデータを伝達する入出力バスと、デ
ィジット線対ごとに設けられたセンスアンプと、ディジ
ット線対ごとに設けられ入出力バスとディジット線対を
接続するカラムスイッチとを有する半導体記憶装置にお
いて、カラムスイッチが、第1の信号によって制御され
る第1のスイッチと、第2の信号によって制御される第
2のスイッチとを有し、第1のスイッチと第2のスイッ
チが入出力バスとディジット線対との間に直列に挿入さ
れ、第1の信号が前記カラムスイッチごとのカラムスイ
ッチ選択信号であり、第2の信号が、同一の入出力バス
に接続されたカラムスイッチに対して共通に与えられ、
同一の入出力バスに接続された特定のビットのみを書き
込み禁止にする信号であり、各カラムスイッチにおい
て、第1のスイッチが入出力バス側に配置して入出力バ
スに接続し、第2のスイッチがディジット線対側に配置
してディジット線対に接続し、入出力バスが半導体記憶
装置に入出力する1ビットのデータに対応し、複数の入
出力バスを有して同時に複数ビットのデータ入出力が可
能であり、各カラムスイッチ選択信号は、入出力バスご
とにそれぞれ1つのカラムスイッチに共通に入力する
【0016】
【0017】この半導体記憶装置では、典型的には、第
1及び第2のスイッチがMOSトランジスタで構成さ
れ、第1及び第2の信号がそれぞれ第1及び第2のスイ
ッチを構成するMOSトランジスタのゲートに入力す
【0018】さらに本発明では、複数の入出力バスを設
けて同時に複数ビットへのデータ入出力が可能であるよ
うにしたり、同時に複数のカラムスイッチ選択信号が活
性化されるようにしたりすることが好ましい。
【0019】
【0020】
【0021】
【発明の実施の形態】次に、本発明の好ましい実施の形
態について、図面を参照して説明する。図4は本発明の
実施の一形態の半導体メモリの構成を示すブロック図で
ある。この半導体メモリは図1に示すのと同様の概略構
成を有し、図4は1対の入出力線IOT,IONに関す
る部分のみを示している。
【0022】この半導体メモリでは、図3に示す従来の
半導体メモリと同様に、n本のカラムスイッチ選択信号
0〜Yn-1のそれぞれごとに、カラムスイッチ21が設
けられている。カラムスイッチ21ごとにディジット線
対DLT/DLNが配置している。カラムスイッチごと
のディジット線対DLT/DLNには、センスアンプ1
2とプリチャージ回路14と複数のメモリセル13が接
続している。各メモリセル13には、当然のことながら
ワード線が接続しているが、ここでは、説明を簡単にす
るため、ワード線は表示していない。また、図5は、こ
の半導体メモリにおけるある1つのカラムスイッチ21
とそのカラムスイッチに接続するセンスアンプ12の構
成を示す回路図である。なお、この半導体メモリも、ブ
ロックライト機能を有し、n本のカラムスイッチ選択信
号Y0〜Yn-1は、それぞれカラムマスクが設定させてい
ない限り、同時に活性化(ハイレベル)となる。カラム
マスクとは、半導体メモリにおけるカラムごとに書き込
みの制限を行うことである。
【0023】カラムスイッチ21は、カラムスイッチ選
択信号Yによって、入出力線IOTとディジット線DL
Tを接続し、入出力線IONとディジット線DLNを接
続するものであるが、本実施の形態の半導体メモリで
は、ライトパービット機能によって書き込みの制限が行
われている場合に、カラムスイッチ選択信号Yのいかん
によらず、入出力線対IOT/IONからディジット線
対DLT/DLNを切離すように構成されている。具体
的には、ライトパービット信号WPBをインバータ22
で反転した信号WPBNが、1つの入出力線対IOT/
IONに接続された各カラムスイッチ21に入力してい
る。各カラムスイッチ21は、4個のnチャネルMOS
トランジスタM11〜M14によって構成されている。
MOSトランジスタM11,M12は、チャネルが直列
に接続され、MOSトランジスタM11が入出力線IO
T側になるように、入出力線IOTとディジット線DL
Tの間に挿入されている。同様に、MOSトランジスタ
M13,M14は、チャネルが直列に接続され、MOS
トランジスタM13が入出力線ION側になるように、
入出力線IONとディジット線DLNの間に挿入されて
いる。MOSトランジスタM11,M13のゲートは共
通接続されて対応するカラムスイッチ選択信号Yが供給
されている。一方、MOSトランジスタM12,M14
のゲートには、ライトパービット信号WPBを反転させ
た信号WPBNが共通に入力している。なお、MOSト
ランジスタM11,M13は接続手段に相当し、MOS
トランジスタM12,M14は切離し手段に相当する。
【0024】カラムスイッチ選択信号Yが入力するMO
Sトランジスタ(接続手段)をディジット線対DLT/
DLN側に、ライトパービット信号WPBを反転させた
信号WPBNが入力するMOSトランジスタ(切離し手
段)を入出力線対IOT/ION側に設ける構成も考え
られるが、以下に述べる理由により、カラムスイッチ選
択信号Yが入力するMOSトランジスタを入出力線対I
OT/ION側に配置することが好ましい。すなわち、
半導体メモリにおける各素子の消費電流削減及び高速化
に伴い、カラムスイッチ選択信号生成のためのデコード
回路は外部電源電圧で動作させ、メモリセルアレイの部
分は外部電源電圧より低い内部電源電圧で動作させるよ
うなことが、一般的に行われるようになってきている。
このような状況下において動作のより一層の安定化を図
るためには、相対的に高電圧を扱うこととなるMOSト
ランジスタをディジット線対から離して配置することが
好ましく、このため、カラムスイッチ選択信号Yが入力
するMOSトランジスタを入出力線対IOT/ION側
に配置することが好ましいことになる。
【0025】また、入出力線対IOT/IONとセンス
アンプ12との位置関係から見ても、カラムスイッチ選
択信号Yが入力するMOSトランジスタを入出力線対I
OT/ION側に配置することが好ましい。図4に示す
半導体メモリにおいて、仮に、MOSトランジスタM1
1,M13のゲートにライトパービット信号WPBを反
転させた信号WPBNが入力し、ガラムスイッチ選択信
号Y0〜Yn-1がそれぞれカラムごとにMOSトランジス
タM12,M14のゲートに入力するものとする。する
と、通常のライト(リード)時には、ライトパービット
動作をさせていないので、各カラムのMOSトランジス
タM11,M13は全てオン状態となる。その結果、入
出力線対IOT/ION側から見ると、全てのカラムの
MOSトランジスタM11,M13のみならず、全ての
カラムのMOSトランジスタM12,M14の拡散層容
量が負荷となるため、ライト(リード)しにくい状態と
なる。これに対し、図4に示す通りに、MOSトランジ
スタM11,M13のゲートにカラムスイッチ選択信号
が入力し、MOSトランジスタM12,M14のゲート
にライトパービット信号WPBを反転させた信号WPB
Nが入力するように構成すると、通常のライト(リー
ド)時には、入出力線対IOT/ION側から見た負荷
は、全カラムのMOSトランジスタM11,M13の拡
散層容量だけとなる。すなわち、カラムスイッチ選択信
号Yが入力するMOSトランジスタを入出力線対IOT
/ION側に配置することによって、入出力線対IOT
/ION側からみた負荷が軽減され、より確実なライト
(リード)が実現することになる。
【0026】センスアンプ12の内部構成は、図2及び
図3に示す従来の半導体メモリと同じである。また、図
4に示すように、入力データから入出力線IOT,IO
N上のデータを生成するために、3個のインバータ23
〜25が設けられている。すなわち、入力データは2つ
のインバータ23,24に入力し、インバータ23の出
力はインバータ25に入力している。そして、インバー
タ25の出力が入出力線IOT上に送出され、インバー
タ24の出力が入出力線ION上に送出される。
【0027】この半導体メモリでは、ライトパービット
信号WPBをハイレベルとすると、信号WPBNがロー
レベルとなり、各カラムスイッチ21において、MOS
トランジスタM12,M14がいずれも非導通状態とな
る。その結果、カラムスイッチ選択信号Y0〜Yn-1が活
性化して(ハイレベルになって)MOSトランジスタM
11,M13が導通状態になったとしても、入出力線対
IOT/IONとディジット線対DLT/DLN間の電
気的接続が断たれたままとなり、入出力線対IOT/I
ONの状態がディジット線対DLT/DLNに及ぶこと
がなくなり、ライトパービット動作が実現する。この場
合、ライトパービット動作に伴って入出力線IOT,I
ONの両方をハイレベルに吊る必要はない。
【0028】図6は、本実施の形態の半導体メモリと従
来の半導体メモリ(図2及び図3参照)での、ライトパ
ービット動作でない時及びライトパービット動作時の書
き込みタイミングを示すタイミングチャートである。こ
こでは、"0"(ローレベル)を書き込むものとする。書
き込み動作時以外には、入出力線IOT,IONはいず
れもハイレベルに保たれ、また、各カラムスイッチ選択
信号Y0〜Yn-1はローレベルに保たれるものとする。
【0029】本実施の形態の半導体メモリの場合、ライ
トパービットでないときの動作は、図6(a)に示すよう
に、入出力線IOT,IONを所定のレベル(ここでは"
0"を書き込むので入出力線IOTをローレベルとし、
入出力線IONはハイレベルに保ったままとする)と
し、次に、カラムスイッチ選択信号Y0〜Yn-1をローレ
ベルからハイレベルに遷移させる。ライトパービット動
作ではないので、ライトパービット信号WPBはローレ
ベルに固定され(図示、L固定)、したがって、信号W
PBNはハイレベルに固定され(図示、H固定)、各カ
ラムスイッチ21内のMOSトランジスタM12,M1
4はいずれも導通状態にある。この結果、カラムスイッ
チ選択信号Y0〜Yn-1がハイレベルとなることにより、
入出力線対IOT/IONの電位状態がディジット線D
LT/DLNに伝達され、メモリセルへの書き込みがな
される。そして、カラムスイッチ選択信号Y0〜Yn-1
ローレベルに戻した後、入出力線IOT,IONをいず
れもハイレベルとすることによって、書き込み動作が終
了する。
【0030】一方、ライトパービット動作時には、図6
(b)に示すように、入出力線対IOT,IONを所定のレ
ベルに遷移させた後、カラムスイッチ選択信号Y0〜Y
n-1がハイレベルになる前に、ライトパービット信号W
PBをハイレベルにする。すると、信号WPBNはロー
レベルとなって、各カラムスイッチ21内のMOSトラ
ンジスタM12,M14はいずれも非導通状態となる。
ここで、カラムスイッチ選択信号Y0〜Yn-1がハイレベ
ルになって各カラムスイッチ21内のMOSトランジス
タM11,M13が導通状態となっても、入出力線対I
OT/IONの電位状態はディジット線対DLT/DL
Nには伝達しない。すなわち、ライトパービット動作が
達成されたことになる。カラムスイッチ選択信号Y0
n-1がローレベルに遷移した後、ライトパービット信
号WPBをローレベルにする。そして、両方の入出力線
IOT,IONをハイレベルにする。
【0031】従来の半導体メモリの場合、ライトパービ
ット非動作時には、図6(c)に示すように、入出力線I
OT,IONを所定のレベルに遷移させた後、各カラム
スイッチ選択信号Y0〜Yn-1をハイレベルとしてメモリ
セルへの書き込むを行う。そして、カラム選択信号Y0
〜Yn-1をローレベルにしてから、両方の入出力線IO
T,IONをハイレベルにする。一方、ライトパービッ
ト動作時には、図6(d)に示すように、入出力線IOT,
IONをいずれもハイレベルに保ったままとする。両方
の入出力線IOT,IONがハイレベルに吊られている
ので、カラムスイッチ選択信号Y0〜Yn-1によってカラ
ムスイッチがオン状態となってもディジット線対に接続
されたメモリセルではデータの反転が起こらないはずで
あるが、従来の技術で述べたように、実際にはデータの
反転が起こり得る。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、カラムス
イッチ選択信号の状態とは無関係に、入出力バスとディ
ジット線対とを切離すことができるように構成すること
により、ライトパービット動作を行わせた際のメモリセ
ルでのビット反転を確実に防止できるようになり、半導
体メモリの動作信頼性を高めることができるという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】ブロックライト機能を有する半導体メモリの構
成の概略を示すブロック図である。
【図2】ブロックライト機能を有する従来の半導体メモ
リを説明するブロック図である。
【図3】図2の半導体メモリにおけるカラムスイッチ及
びセンスアンプの構成を示す回路図である。
【図4】本発明の実施の一形態の半導体メモリを説明す
るブロック図である。
【図5】図4の半導体メモリにおけるカラムスイッチ及
びセンスアンプの構成を示す回路図である。
【図6】(a),(b)は図4に示す半導体メモリの動作を説
明するタイミング図であり、(c),(d)は図2に示す従来
の半導体メモリの動作を説明するタイミング図である。
【符号の説明】
11,21 カラムスイッチ 12 センスアンプ 13 メモリセル 14 プリチャージ回路 15,16 NORゲート 17〜19,22〜24 インバータ

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 カラムに対応する複数のディジット線対
    と、前記ディジット線対ごとに設けられたメモリセル
    と、選択された前記メモリセルに書き込むデータを伝達
    する入出力バスと、前記ディジット線対ごとに設けられ
    たセンスアンプと、前記ディジット線対ごとに設けられ
    前記入出力バスと前記ディジット線対を接続するカラム
    スイッチとを有する半導体記憶装置において、 前記カラムスイッチが、第1の信号によって制御される
    第1のスイッチと、第2の信号によって制御される第2
    のスイッチとを有し、 前記第1のスイッチと前記第2のスイッチが前記入出力
    バスと前記ディジット線対との間に直列に挿入され、 前記第1の信号が前記カラムスイッチごとのカラムスイ
    ッチ選択信号であり、 前記第2の信号が、同一の入出力バスに接続された前記
    カラムスイッチに対して共通に与えられ、前記同一の入
    出力バスに接続された特定のビットのみを書き込み禁止
    にする信号であり、 前記各カラムスイッチにおいて、前記第1のスイッチが
    前記入出力バス側に配置して前記入出力バスに接続し、
    前記第2のスイッチが前記ディジット線対側に配置して
    前記ディジット線対に接続し 前記入出力バスが前記半導体記憶装置に入出力する1ビ
    ットのデータに対応し、複数の前記入出力バスを有して
    同時に複数ビットのデータ入出力が可能であり、前記各
    カラムスイッチ選択信号は、前記入出力バスごとにそれ
    ぞれ1つの前記カラムスイッチに共通に入力する ことを
    特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2のスイッチがMOSト
    ランジスタで構成され、前記第1及び第2の信号がそれ
    ぞれ前記第1及び第2のスイッチを構成するMOSトラ
    ンジスタのゲートに入力する請求項1に記載の半導体記
    憶装置。
  3. 【請求項3】 同時に複数のカラムスイッチ選択信号が
    活性化される請求項1または2に記載の半導体記憶装
    置。
  4. 【請求項4】 前記入出力バスが入出力線対で構成され
    る請求項1乃至いずれか1項に記載の半導体記憶装
    置。
  5. 【請求項5】 前記メモリセルが、ダイナミック・ラン
    ダム・アクセス・メモリ(DRAM)のメモリセルであ
    る請求項1乃至いずれか1項に記載の半導体記憶装
    置。
JP09132203A 1997-05-22 1997-05-22 半導体記憶装置 Expired - Fee Related JP3129235B2 (ja)

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