JP3127820U - 多チャンネル光導波路の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査装置1は、光源を有する光入力部(A)と、多チャンネル光導波路を固定するための固定部(B)と、検出器を有する検出部(C)を備えている。光入力部(A)は、複数の光ファイバ4aを有する入射用ファイバアレイ4と、入射用ファイバアレイ4を多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動させるための移動手段(ステッピングモータ7及び稼動ステージ8)を備えている。検出部(C)は、複数の光ファイバ14aを有する出射用ファイバアレイ14と、出射用ファイバアレイ14を多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動させるための移動手段(ステッピングモータ16及び稼動ステージ17)を備えている。
【選択図】図1
Description
このような合成樹脂製の光導波路は、一般的に、下部クラッド層と、コア部分と、上部クラッド層とを含み、コア部分の屈折率が下部クラッド層及び上部クラッド層のいずれの屈折率よりも大きくなるように構成されている。この光導波路の伝送特性を評価し、製品の良否を判断するために、光導波路の光学損失(例えば、導波路損失)を測定する装置や方法が開発されている。
特許文献2には、調芯装置に備えられている固定ステージにフィルム状光導波路を固定した状態で、フィルム状光導波路の光損失を測定するフィルム状光導波路の検査方法であって、フィルム状光導波路を、特定の粘着シートを利用して固定し、フィルム状光導波路の光損失を測定すること、及び、この際、固定ステージにエアー吸着を利用して基板を吸着し、その基板に前記の特定の粘着シートを介してフィルム状光導波路を固定することが、記載されている。
このような多チャンネル光導波路の伝送特性を評価するために、1チャンネルの光路のみを有する光学損失測定装置を用いた場合、多チャンネル光導波路の各コア部分に対して、1チャンネルの光路を順次接続して、光学損失を測定しなければならない。このため、多チャンネル光導波路のコア部分毎に、該コア部分の光軸と、光学損失測定装置の光路の光軸を合わせるための調芯操作を行なう必要があり、多チャンネル光導波路の複数のコア部分のすべてを測定するために多大の時間を要するという問題がある。
そこで、本考案は、多チャンネル光導波路の光学損失を、短時間で効率的に測定することができる多チャンネル光導波路の検査装置を提供することを目的とする。
[1] 複数のコア部分を含む多チャンネル光導波路における各コア部分の光学損失を検査するための、多チャンネル光導波路の検査装置であって、
多チャンネル光導波路に光を入射するための光入力部と、多チャンネル光導波路から出射した光の強度を検出するための光検出部と、多チャンネル光導波路を固定するための光導波路固定部を備えており、
前記光入力部は、前記多チャンネル光導波路に光を入射するための、2つ以上のコア部分を有する入射用ファイバアレイと、該入射用ファイバアレイの2つ以上のコア部分に対して順次、入射する光路を切り替えて光を供給可能な光路切替装置と、該光路切替装置に光を供給するための光源と、前記入射用ファイバアレイを多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動するための移動手段を備えており、
前記光検出部は、前記多チャンネル光導波路から出射した光を受光するための、2つ以上のコア部分を有する出射用ファイバアレイと、該出射用ファイバアレイの2つ以上のコア部分に対して順次、出射する光路を切り替えて、該出射用ファイバアレイからの光を受光可能な光路切替装置と、該光路切替装置を通過した光の強度を検出するための光検出器と、前記出射用ファイバアレイを多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動するための移動手段を備えた多チャンネル光導波路の検査装置。
[3] 前記複数の吸着孔を有する吸着板が、多孔質吸着板である前記[2]の多チャンネル光導波路の検査装置。
[4] 前記光導波路固定部は、多チャンネル光導波路を幅方向に水平移動するための移動手段を備えた前記[1]〜[3]のいずれかの多チャンネル光導波路の検査装置。
[5] 前記光入力部及び前記光検出部は、前記入射用ファイバアレイ及び前記出射用ファイバアレイのコア部分の光軸と、検査対象となる多チャンネル光導波路のコア部分とを位置合わせするための自動調芯装置を備えた前記[1]〜[4]のいずれかの多チャンネル光導波路の検査装置。
[6] 前記自動調芯装置は、入射用ファイバアレイ及び出射用ファイバアレイの各々における複数のコア部分の光軸と、多チャンネル光導波路の複数のコア部分との位置ずれをそれぞれ検出し、各位置ずれが最小となるように前記入射用ファイバアレイ及び前記出射用ファイバアレイの位置を決定する補正手段を備える前記[5]の多チャンネル光導波路の検査装置。
また、本考案の多チャンネル光導波路の検査装置は、入射用及び出射用のファイバアレイを、多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動させうるように構成されているので、多チャンネル光導波路のコア部分の数がn2個で、かつ、入射用のファイバアレイのコア部分の数(=出射用のコア部分の数)がn1個である場合、多チャンネル光導波路のコア部分のすべてを検査するのに必要な入射用及び出射用のファイバアレイの固定の回数(=調芯の回数)が、n2/n1回で済む。
したがって、本考案の多チャンネル光導波路の検査装置によれば、多チャンネル光導波路の光学損失を、短時間で極めて効率的に測定することができる。
多チャンネル光導波路の検査装置1は、多チャンネル光導波路の光学損失を測定するための光源2を有する光入力部(A)と、多チャンネル光導波路を固定するための固定部(B)と、多チャンネル光導波路を通過した光の強度を検出するための光検出器12を有する検出部(C)と、光入力部(A)及び光検出部(C)を自動制御する制御装置18を有する制御部(D)を備えている。
本実施の形態において、前記の移動手段は、入射用ファイバアレイ4を水平移動させるための駆動手段と、入射用ファイバアレイ4を多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動させるための案内路である稼動ステージ8とから構成している。入射用ファイバアレイ4を水平移動させる駆動手段としては、例えば、ステッピングモータ7を用いることができる。本実施の形態において、ステッピングモータ7は、自動調芯装置6に一体に組み込まれている。なお、自動調芯装置6には、ステッピングモータ7の他に、自動調芯装置6に固定した入射用ファイバアレイ4を上下左右前後または回転するように微動させて、多チャンネル光導波路5のコア部分5aに対して、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4aを調芯する駆動手段を備えている。
自動調芯装置6は、入射用ファイバアレイ4の複数の光ファイバ4aと、多チャンネル光導波路の複数のコア部分との位置ずれをコア部分毎に検出し、各位置ずれが最小となるように入射用ファイバアレイ4の位置を決定する補正手段を備えることが好ましい。
入射用ファイバアレイ4は、自動調芯装置6に組み込まれたステッピングモータ7の駆動によって、自動調芯装置6とともに、稼動ステージ8上を、多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動する。
また、光路切替装置3は、入射用ファイバアレイ4の複数の光ファイバ4aのそれぞれと接続する複数のコネクタ3aを備えている。
固定ステージ9は、光入力部(A)の稼動ステージ8に隣接するように配置される。固定ステージ9は、多チャンネル光導波路5が載置される、複数の吸着孔を有する吸着板10と、吸着板10の下方からエアの吸引等の減圧作用により多チャンネル光導波路5を吸着して固定するための吸着装置を備えている。吸着装置としては、例えば、真空ポンプ11を用いることができる。
前記の移動手段は、固定ステージ9を水平移動させるための駆動手段と、固定ステージ9を多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動させるための案内路である稼動ステージとから構成している。
吸着板10の材質は、特に限定されないが、エアの吸い込み力(減圧作用)によって撓まない程度の剛性を有するものが好ましく、ガラス板、シリコン板、ガラスエポキシ板、ポリイミド樹脂板、セラミック板、ステンレス板等を使用することができる。
吸着板10としては、多孔質セラミック板等の多孔質吸着板が、厚さ0.1〜0.5mmのフレキシブルなフィルム状の多チャンネル光導波路を吸着固定する場合に好適に用いられる。多孔質吸着板は、吸着孔の大きさが100μm〜1,000μmであることが好ましく、100μm〜500μmであることが特に好ましい。孔径が100μm未満であると吸着力が弱くなり、多チャンネル光導波路100を確実に固定することが困難となり、1,000μmを超えると、多チャンネル光導波路100が部分的に撓み、コア部分における光の通過を妨げる場合があるため、好ましくない。また、吸着孔と吸着孔の間隔は100μm〜1,000μmであることが好ましく、100μm〜500μmであることが特に好ましい。
なお、吸着板10の厚さは、好ましくは0.5〜10mmである。吸着板10の大きさは、特に限定されないが、複数の多チャンネル光導波路を並列に載置可能な大きさを有するものが好ましい。
真空ポンプ11の吸引力は、特に限定されないが、厚さ0.1〜0.5mm程度のフレキシブルなフィルム状の多チャンネル光導波路を吸着固定する場合は、0.06〜0.10MPa程度が好ましい。
本実施の形態において、前記の移動手段は、出射用ファイバアレイ14を水平移動させるための駆動手段と、出射用ファイバアレイ14を多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動させるための案内路である稼動ステージ17とから構成されている。出射用ファイバアレイ14を水平移動させるための駆動手段としては、例えば、ステッピングモータ16を用いることができる。本実施の形態において、ステッピングモータ16は、自動調芯装置15に一体に組み込まれている。なお、自動調芯装置15には、ステッピングモータ16の他に、自動調芯装置6に固定した出射用ファイバアレイ14を上下左右前後または回転するように微動させて、多チャンネル光導波路5のコア部分5aに対して、出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aを調芯させるための駆動手段を備えている。
自動調芯装置15は、出射用ファイバアレイ14の複数の光ファイバ14aと、多チャンネル光導波路の複数のコア部分との位置ずれをコア部分毎に検出し、各位置ずれが最小となるように出射用ファイバアレイ14の位置を決定する補正手段を備えることが好ましい。
稼動ステージ17は、固定部(B)の固定ステージ9に隣接するように配置されている。すなわち、光入力部(A)の稼動ステージ8と、検出部(C)の稼動ステージ17は、固定部(B)の固定ステージ9を挟んで相対するように配置されている。
出射用ファイバアレイ14は、自動調芯装置15に組み込まれたステッピングモータ16の駆動によって、自動調芯装置15とともに、稼動ステージ17上を、多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動する。
また、受光路切替装置13は、出射用ファイバアレイ14の複数の光ファイバ14aのそれぞれと接続する複数のコネクタ13aを備えている。
この制御装置18は、光路切替装置3の光路の選択及び切り替えと、光路切替装置13の光路の選択及び切り替えを制御する。また、制御装置18は、多チャンネル光導波路5のコア部分5aに対して、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4a及び出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aを調芯するように自動計算し、計算された値に基づいて、多チャンネル光導波路5のコア部分5aを透過した光損失が妥当な値となるように、入射用ファイバアレイ4に対する自動調芯装置6及び出射用ファイバアレイ14に対する自動調芯装置15を制御する。さらに、制御装置18は、入射用ファイバアレイ4及び出射用ファイバアレイ14を、所定距離だけ、多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動させるように、ステッピングモータ7及びステッピングモータ16を制御する。
防振台19は、特に限定されないが、例えば、防振特性に優れる天然ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン・ブタジエン共重合ゴム等を含むゴム製板材や、防振特性を示すポリアミド、ポリエステル、ポリウレタン等を含む合成樹脂製板材等を用いることができる。
吸着板10と稼動ステージ8及び稼動ステージ17を防振台19に設けることによって、光学損失を測定する際に、真空ポンプ11等から発振される振動が、固定ステージや稼動ステージに伝わらないので、多チャンネル光導波路5の光学損失を精密に測定することができる。
図4は、光路切替装置3のコネクタ3aと入射用ファイバアレイ4との接続構造の一例を概念的に示す図である。
入射用ファイバアレイ4の一端部には、コネクタ3を載置するためのガイド台4bを設け、このガイド台4a上に、複数の光ファイバ4aのそれぞれの位置に合わせて、上面を開口させた断面V字型の複数のガイド溝4cを形成する。このガイド溝4cに、コネクタ3aの端部を固定することによって、コネクタ3aと光ファイバ4aとを、光軸がずれないように接続することができる。出射用ファイバアレイ14も、入射用ファイバアレイ4と同様に、複数の断面V字型のガイド溝を形成したガイド台を設けることによって、光ファイバ14aとコネクタ13aとを、光軸がずれないように接続することができる。
本考案の検査装置1を用いた検査方法は、図5に示すように、入射用ファイバアレイ4及び出射用ファイバアレイ14を、固定ステージ9上に固定されている多チャンネル光導波路5の複数のコア部分5aの一部に対して、コア部分同士の位置が略一致するように固定する固定工程(a)と、多チャンネル光導波路5のコア部分5aに対して、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4aのコア部分と、出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aのコア部分とを自動的に調芯する調芯工程(b)と、光源から発生した光の光路を光路切替装置3によって切り替え、コア部分5aを透過した光の光路を光路切替装置13によって順次切り替える光路切替工程(c)と、多チャンネル光導波路5のコア部分5aを通過した光の光学損失を検出器12で測定する測定工程(d)と、工程(c)における光路の切り替えによって、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4aと出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aが接続された全てのコア部分5aの測定が終了した後、測定されたコア部分以外のコア部分に対して、入射用ファイバアレイ4及び出射用ファイバアレイ14の調芯が可能なる位置に、入射用ファイバアレイ4及び出射用ファイバアレイ14を多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動させる移動工程(e)とを含む。
本考案の検査装置を用いた検査方法においては、多チャンネル光導波路5のコア部分5aを検査する際に、多チャンネル光導波路5を固定する固定ステージ9を幅方向に水平移動させることもできる。この場合、水平移動させるための水平移動手段を設ければよい。このような水平移動手段を用いることによって、検査に要するスペースを小さくすることができる。
多チャンネル光導波路としては、例えば、厚さ0.1〜0.5mm程度のアクリル系樹脂、ポリカーカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエーテルスルフォン系樹脂等からなるフィルム状の多チャンネル光導波路等を検査対象とすることができる。
多チャンネル光導波路に含まれるチャンネル数(コア部分の数)は、特に限定されないが、例えば、10〜200である。
固定工程(a)は、光導波路固定部(B)に固定した多チャンネル光導波路5の複数のコア部分5aの一部に対応した位置に、入射用ファイバアレイ4及び出射用ファイバアレイ14を固定する工程である。
入射用ファイバアレイ4のコア部分の数は、特に限定されないが、例えば、2〜30である。出射用ファイバアレイ14のコア部分の数は、入射用ファイバアレイ4のコア部分の数と同じである。
なお、検査位置に固定される多チャンネル光導波路5は、1つの多チャンネル光導波路フィルムから構成してもよいし、あるいは、2つ以上の多チャンネル光導波路フィルムから構成してもよい。
吸着板10の形状及び寸法は、検査対象物である多チャンネル光導波路5の形状及び寸法に応じて定められる。
調芯工程(b)は、多チャンネル光導波路5のコア部分5aに対して、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4aと、出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aとを、自動調芯装置6,15を用いて調芯する工程である。
図3に示すように、稼動ステージ8上には、自動調芯装置6を設置し、この自動調芯装置6上に入射用ファイバアレイ4を固定する。この自動調芯装置6は、制御装置18(図3において図示を省略)によって自動的に制御されており、自動調芯装置6で、入射用ファイバアレイ4を上下左右前後または回転するように微動させ、吸着板10上に固定した多チャンネル光導波路5のコア部分5aに対して、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4aの光軸がずれないように、精密に位置を合わせて、コア部分5aと光ファイバ4aを接続する。
また、固定ステージ9を挟んで、稼動ステージ8と対向する位置に設置した稼動ステージ17上には、自動調芯装置15を設置し、この自動調芯装置15上に出射用ファイバアレイ14を固定する。この自動調芯装置15は、制御装置18によって自動的に制御されており、自動調芯装置15は、出射用ファイバアレイ14を上下左右前後または回転するように微動させ、吸着板10上に固定した多チャンネル光導波路5のコア部分5aに対して、出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aの光軸がずれないように、精密に位置を合わせて、コア部分5aと光ファイバ14aを接続する。
なお、自動調芯装置6,15や制御装置18は、従来から使用されている自動調芯装置やコンピュータ機器等の制御装置を用いることができる。
自動調芯装置6,15の好ましい例としては、コア部分毎の位置ずれを上下方向及び左右方向についてそれぞれ検出し、上下方向及び左右方向の各々における位置ずれの平均値が最も小さくなるような位置を算出し、その位置に調芯するように制御した装置が挙げられる。
光路切替工程(c)は、光路切替装置3を用いて、多チャンネル光導波路5のコア部分5aを透過させる光の光路を切り替えるとともに、光路切替装置13を用いて、多チャンネル光導波路5のコア部分5aを通過した後の光の光路を切り替える工程である。
光路切替装置3は、入射用ファイバアレイ4に接続された複数のコネクタ3aのうち、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4aを通じてコア部分5aに光を伝達するコネクタ3aを選択する。
また、光路切替装置13は、光路切替装置3で光路を選択したコネクタ3aを通じて光ファイバ4a、コア部分5aを透過した光を受光するコネクタ14aを選択する。
光路切替装置3及び受光路切替装置13で、光路及び受光路を切り替えることにより、多チャンネル光導波路に含まれる複数のコア部分のそれぞれについて、1つのコア部分ごとに個別に、光学損失を測定することができ、光伝送特性の良否を評価することができる。
測定工程(d)は、多チャンネル光導波路5のコア部分5aを透過した光の光学損失を検出器12で測定する工程である。
測定対象となる多チャンネル光導波路5は、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4a及び出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aが接続された複数のコア部分5aのそれぞれについて、順次、光路切替工程(c)及び測定工程(d)における光の入射及び出射を繰り返し、それぞれのコア部分5aについて、光学損失を測定する。
なお、多チャンネル光導波路の光学損失(導波路損失、挿入損失、光結合損失等)は、JIS等に規定された公知の試験方法(カットバック法、挿入損失法、後方散乱光(OTDR)法等)に準拠して測定することができる。
移動工程(e)は、入射用ファイバアレイ4及び出射用ファイバアレイ14が接続された多チャンネル光導波路の全てのコア部分について、光学損失の測定を終了した後、入射用ファイバアレイ4及び出射用ファイバアレイ14を、多チャンネル光導波路5の端面に沿って、多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動する工程である。
図3に示すように、入射用ファイバアレイ4は、自動調芯装置6に一体に組み込まれたステッピングモータ7(図3において図示を省略)の駆動によって、測定されたコア部分以外のコア部分5aに対して、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4aの調芯が可能となる位置まで、入射用ファイバアレイ4を、多チャンネル光導波路5の幅方向(図3中、矢印方向)に水平移動する。
出射用ファイバアレイ14も、同様に、自動調芯装置15に一体に設けられたステッピングモータ16(図3において図示を省略)の駆動によって、測定されたコア部分以外のコア部分5aに対して、出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aの調芯が可能となる位置まで、出射用ファイバアレイ14を、多チャンネル光導波路5の幅方向(図3中、矢印方向)に水平移動する。
なお、光路切替工程(c)及び測定工程(d)における光の入射及び出射は、多チャンネル光導波路5に含まれるコア部分5aの数(チャンネル数:n1)だけ繰り返せばよい。
図1〜図3に示す検査装置1を用いて、多チャンネル光導波路の光学損失を測定した。
光学損失検査装置1の入射用ファイバアレイ4と出射用ファイバアレイ14は、それぞれ16チャンネルの光ファイバを有するものを用いた。
まず、64チャンネルのコア部分を含む多チャンネル光導波路を、吸着板10上に載置し、真空ポンプを作動させて、吸着板10の下方からエアを吸引し、多チャンネル光導波路を、吸着板10上に固定した。吸着板10としては、多孔質セラミック板を用いた。具体的には、吸着孔の大きさ(直径)が300μm、吸着孔と吸着孔との間隔(2つの中心点の距離)が350μmである多孔質セラミック板を用いた。
次いで、多チャンネル光導波路5のコア部分5aに対して、入射用ファイバアレイ4の光ファイバ4a及び出射用ファイバアレイ14の光ファイバ14aを固定した後、光軸がずれないように、制御装置18で制御した自動調芯機6,15で精密に調芯し、コア部分5aと光ファイバ4a及び光ファイバ14aを接続した(固定工程(a)、調芯工程(b))。
次いで、制御装置18で制御した光路切替装置3で、光源2から発生した光の光路を切り替えて、選択したコネクタ3aと光ファイバ4aを通じて、一つのコア部分5aに光を入射した。また、コア部分5aを透過した光を受光するように、制御装置18で制御した受光路切替装置13で、受光路を切り替えた(光路切替工程(c))。
次いで、コア部分5aを透過した光を、光ファイバ14aとコネクタ13aを通じて、検出器12に伝送し、検出器12で、受光した光強度の劣化(挿入損失)を検出した(測定工程(d))。
光ファイバ4aと光ファイバ14aに接続された全てのコア部分5aに対して、光路切替工程(c)及び検出工程(d)における光の入射及び出射を繰り返し、全てのコア部分5aについて、挿入損失を測定した後、制御装置18で制御したステッピングモータ7及び16を駆動し、入射用ファイバアレイ4と出射用ファイバアレイ14を、多チャンネル光導波路5の幅方向に水平移動した(移動工程(e))。
その後、前記と同様の手順を繰り返し、多チャンネル光導波路に含まれる全てのコア部分について、挿入損失の検出を完了した。
挿入損失については、一定の基準値を定め、その基準値(1dB以下)以下の挿入損失を有するコア部分を良(合格)とし、その基準値を超える挿入損失を有するコア部分を不良(不合格)とした。挿入損失の測定の結果は、いずれのコア部分についても良(合格)であった。
また、本実施例の多チャンネル光導波路の検査装置によれば、多チャンネル光導波路のコア部分の挿入損失を測定するのにかかった時間は、100本当たりに換算して、25分間であり、1つのコア部分の測定に要した時間は、15秒間と短かった。
比較例として、図6に示す検査システム50を用いて実験した。
検査システム50は、光源51と、1チャンネルの光ファイバを有する入射用光ファイバ52と、多チャンネル光導波路54のコア部分54aに対して、入射用光ファイバ52を調芯する自動調芯装置53と、多チャンネル光導波路55を固定する固定ステージ55と、1チャンネルの光ファイバを有する出射用光ファイバ56と、多チャンネル光導波路54のコア部分54aに対して、出射用光ファイバ56を調芯する自動調芯装置57と、多チャンネル光導波路55のコア部分55aを通過した光を検出する検出器58と、自動調芯装置53と自動調芯装置57を制御して、入射用光ファイバ52と出射用光ファイバ56の調芯を行う制御装置(コンピュータ機器)59とを備えている。
次いで、多チャンネル光導波路54の1つのコア部分54aに対して、入射用光ファイバ52及び出射用光ファイバ56を、光軸がずれないように、自動調芯装置53、57で精密に調芯し、コア部分55aと入射用光ファイバ52及び出射用光ファイバ56とを接続した(調芯工程(b’))。
次いで、光源51から光を発し、コア部分54aを通過した光を光検出器58に伝送し、光検出器58で、受光した光強度を検出し、光学損失を評価した(測定工程(c’))。
次いで、入射用光ファイバ52及び出射用光ファイバ56を、多チャンネル光導波路54の幅方向に水平移動させ、測定されていないコア部分54aと、入射用光ファイバ52及び出射用光ファイバ57との調芯が可能となる位置にて、多チャンネル光導波路54を固定ステージ53上に固定した(移動工程(d’))。そして、前記の工程(a’)〜工程(c’)と同様の操作を行ない、測定されていないコア部分54aについて、光学損失(挿入損失)を評価した。以後、同様の操作を繰り返し行ない、64チャンネルのコア部分54aのすべてについて光学損失(挿入損失)を評価した。挿入損失の測定の結果は、いずれのコア部分についても良(合格)であった。
しかし、多チャンネル光導波路の64本のコア部分を測定するのに要した時間は、100本当たりに換算して、400分間であり、1つのコア部分の測定には、4分間の時間が必要であった。
以上のように、実施例では、比較例の16分の1の短い時間で、多チャンネル光導波路の挿入損失を測定することができた。
2 光源
3 光路切替装置
3a コネクタ
4 入射用ファイバアレイ
4a 光ファイバ
4b ガイド台
4c ガイド溝
5 多チャンネル光導波路
5a コア部分
6 自動調芯装置
7 ステッピングモータ
8 稼動ステージ
9 固定ステージ
10 吸着板
11 真空ポンプ
12 検出器
13 受光路切替装置
13a コネクタ
14 出射用ファイバアレイ
14a 光ファイバ
15 自動調芯装置
16 ステッピングモータ
17 稼動ステージ
18 制御装置(コンピュータ機器)
19 防振台
50 光学損失検査装置
51 光源
52 入射用光ファイバ
52a 光ファイバ
53 自動調芯装置
54 多チャンネル光導波路
54a コア部分
55 固定ステージ
56 出射用光ファイバ
57 自動調芯装置
58 検出器
59 制御装置(コンピュータ機器)
Claims (6)
- 複数のコア部分を含む多チャンネル光導波路における各コア部分の光学損失を検査するための、多チャンネル光導波路の検査装置であって、
多チャンネル光導波路に光を入射するための光入力部と、多チャンネル光導波路から出射した光の強度を検出するための光検出部と、多チャンネル光導波路を固定するための光導波路固定部を備えており、
前記光入力部は、前記多チャンネル光導波路に光を入射するための、2つ以上のコア部分を有する入射用ファイバアレイと、該入射用ファイバアレイの2つ以上のコア部分に対して順次、入射する光路を切り替えて光を供給可能な光路切替装置と、該光路切替装置に光を供給するための光源と、前記入射用ファイバアレイを多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動するための移動手段を備えており、
前記光検出部は、前記多チャンネル光導波路から出射した光を受光するための、2つ以上のコア部分を有する出射用ファイバアレイと、該出射用ファイバアレイの2つ以上のコア部分に対して順次、出射する光路を切り替えて、該出射用ファイバアレイからの光を受光可能な光路切替装置と、該光路切替装置を通過した光の強度を検出するための光検出器と、前記出射用ファイバアレイを多チャンネル光導波路の幅方向に水平移動するための移動手段を備えた多チャンネル光導波路の検査装置。 - 前記光導波路固定部は、前記多チャンネル光導波路を載置するための、複数の吸着孔を有する吸着板と、該吸着板の複数の吸着孔を介した吸着により前記多チャンネル光導波路を該吸着板に固定するための吸着装置を備えた請求項1記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
- 前記複数の吸着孔を有する吸着板が、多孔質吸着板である請求項2記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
- 前記光導波路固定部は、多チャンネル光導波路を幅方向に水平移動するための移動手段を備えた請求項1〜3のいずれか記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
- 前記光入力部及び前記光検出部は、前記入射用ファイバアレイ及び前記出射用ファイバアレイのコア部分の光軸と、検査対象となる多チャンネル光導波路のコア部分とを位置合わせするための自動調芯装置を備えた請求項1〜4のいずれか記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
- 前記自動調芯装置は、入射用ファイバアレイ及び出射用ファイバアレイの各々における複数のコア部分の光軸と、多チャンネル光導波路の複数のコア部分との位置ずれをそれぞれ検出し、各位置ずれが最小となるように前記入射用ファイバアレイ及び前記出射用ファイバアレイの位置を決定する補正手段を備える請求項5記載の多チャンネル光導波路の検査装置。
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JP2011242204A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 調芯装置、コア位置特定方法、コアの損失測定方法、およびコア間のクロストーク測定方法 |
JP2018048940A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ測定装置、測定補助装置、および光ファイバ測定方法 |
CN108036926A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-05-15 | 上海鸿珊光电子技术有限公司 | 一种利用丝杆电机带动光探测器的多通道光路测试设备 |
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2006
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