JP3122888U - シェアモードアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】流体に大きな圧力で操作できる圧電素子利用のシェアモードアクチュエータを提供する。
【解決手段】シェアモードアクチュエータ１は、インク室６の上部にノズル３を有し、下部には弾性板５を間に介して圧電素子８が取り付けられる。圧電素子は厚さ方向が分極方向であり、中心の貫通孔９の内面には第１の電極１１があり、外面には第１の電極と絶縁して第２の電極１２がある。第２の電極を０電位とし、第１の電極に所定の電位を与えると、電場は分極方向と略直角となり、圧電素子にはシェアモードの変位が生じ、貫通孔を中心に盛り上がる方向に変形する。この変形が弾性板を上に凸の形状に面変形させ、インク室内の体積を減少させ、インク７は大きく加圧されノズルから吐出される。
【選択図】図１

Description

本考案は、圧電素子に分極方向に沿う貫通孔を形成し、その貫通孔の内面と圧電素子の表面とに形成した両電極により、圧電素子に対して分極方向と垂直方向の電場を加えてシェアモードの変位を生じさせ、この変位により流体を加圧してノズルから吐出させ、又はノズルから流体を吸引する等、流体を操作するためのシェアモードアクチュエータに関するものである。

圧電素子に電場を加えて変形させることにより、流体を加圧して操作するシェアモードアクチュエータが知られている。例えば、図９は、ユニモルフ型（分極方向と電場方向が平行である場合；ｄ３３）のシェアモードアクチュエータを利用して流体としてのインクを加圧・吐出させるインクジェットヘッドを示す略図である。積層された圧電体１００の分極方向は厚さ方向と一致しており、該圧電体１００の最上部の下面側には共通電極１０１が設けられ、同圧電体１００の上面側には複数の個別電極１０２が所定間隔で設けられている。圧電体１００の下方には個別電極１０２に対応する所定の間隔でセラミクス等からなる壁体１０３が配置されて複数のインク室１０５が区画されている。ここで共通電極を０電位とし、所望の個別電極１０２に所定の＋又は−の電位を印可すれば、圧電体１００にはベンドモードの変位が生じてインク室１０５内のインクが加圧され、インクはインク室１０５の下方に設けられた図示しないノズルから外方に向けて吐出される。

ところが、前述したようなベンドモードによる圧電素子を用いたシェアモードアクチュエータでは、２つの電極で挟まれた板状の圧電素子を電圧と平行方向に縮ませることで変位を生じさせており、電圧と垂直方向の伸びを利用するタイプに比べれば大きな変位が得られるとされているが、近年のシェアモードアクチュエータ利用のインクヘッドに要求される機能を考慮すると、その変位は必ずしも大きなものとはいえない場合もあり、十分なインクの吐出力が得られない場合がある。例えば、図９に示す例では、圧電素子１００の１層の厚さ、すなわち共通電極１０１と個別電極１０２との間隔を１５μｍとし、個別電極の寸法を２５０μｍとした場合、変位は１．９ｎｍにしかならない。また変位と垂直な方向の変形が少なくないため、例えば上記シェアモードアクチュエータ利用のインクヘッドにおいてはクロストーク等の影響が問題になるという課題もある。

本考案は、以上の課題に鑑みてなされたものであり、ベンドモードに比べて変位量が大きいため流体に一層大きな圧力を加えることができ、クロストークの影響が少ないために高密度化が可能である圧電素子を利用したシェアモードアクチュエータを提供することを目的としている。

請求項１に記載されたシェアモードアクチュエータは、
流体が収納される流体室と、
厚さ方向に沿った分極方向及び厚さ方向に沿って円筒状に形成された貫通孔を備え、前記貫通孔が前記流体室に連通するように前記流体室と外界を区画して設けられる板状の圧電素子と、
前記圧電素子の前記貫通孔の内周面に連続して設けられた第１の電極と、
前記貫通孔が開口した前記圧電素子の内面又は外面において、前記貫通孔の開口の周囲を避けて前記第１の電極と絶縁して設けられた第２の電極とを有し、
前記第１及び第２の電極への通電による前記圧電素子のシェアモードの変位により前記流体を加圧して前記流体を前記貫通孔を介して操作することを特徴としている。

請求項２に記載されたシェアモードアクチュエータは、
流体が収納される流体室と、
前記流体室の一部を区画する壁体に設けられて流体室と外界を連通させるノズルと、
前記流体室の他の一部を区画するとともに内面が前記ノズルに対面する位置に設けられた弾性板と、
厚さ方向に沿った分極方向及び厚さ方向に沿って円筒状に形成された貫通孔を備え、前記貫通孔が前記ノズルと同軸に配置されるように前記弾性板の外面にその内面が接するように設けられる板状の圧電素子と、
前記圧電素子の前記貫通孔の内周面に連続して設けられた第１の電極と、
前記貫通孔が開口した前記圧電素子の内面又は外面において、前記貫通孔の開口の周囲を避けて前記第１の電極と絶縁して設けられた第２の電極とを有し、
前記圧電素子のシェアモードの変位により前記弾性板を変形させることで前記流体を加圧して前記流体を前記ノズルを介して操作することを特徴としている。

請求項３に記載されたシェアモードアクチュエータは、
流体が収納される流体室と、
前記流体室の一部を区画するとともに、貫通したノズルを有する第１の弾性板と、
厚さ方向に沿った分極方向及び厚さ方向に沿って円筒状に形成された第１の貫通孔を備え、前記第１の貫通孔が前記ノズルと連通するように前記第１の弾性板の外面にその内面が接するように設けられる板状の第１の圧電素子と、
前記流体室の他の一部を区画するとともに内面が前記ノズルに対面する位置に設けられた第２の弾性板と、
厚さ方向に沿った分極方向及び厚さ方向に沿って円筒状に形成された第２の貫通孔を備え、前記第２の貫通孔が前記ノズル及び前記第１の圧電素子の前記第１の貫通孔と同軸に配置されるように前記第２の弾性板の外面にその内面が接するように設けられる板状の第２の圧電素子と、
前記第１及び第２の貫通孔の各内周面に連続して設けられた第１の電極と、
前記第１及び第２の貫通孔が開口した前記第１及び第２の圧電素子の各内面又は外面において、前記第１及び第２の貫通孔の各開口の周囲を避けて前記第１の電極と絶縁して設けられた第２の電極とを有し、
前記圧電素子のシェアモードの変位により前記第１及び第２の弾性板を同時に前記流体室の内方に向けて変形させることで前記流体を加圧し、前記流体を前記ノズル及び前記第１の貫通孔を介して操作することを特徴としている。

本考案に係るシェアモードアクチュエータによれば、貫通孔の内面と、これと垂直な圧電素子の表面に、互いに絶縁された電極がそれぞれ設けられ、駆動時に両電極により発生する電場の方向と圧電素子の分極方向が互いに垂直となるので、圧電素子は貫通孔を中心として貫通孔の軸方向（圧電素子の厚さ方向）に向けて持ち上がるように変形する。この変形量はベンドモードの場合よりも大きく、流体室の体積変化率も大きくなり、流体室内の流体には必要な圧力を生じさせることができ、流体に対し必要な圧力の安定した吐出又は吸引等の操作を与えることができる。

特に、請求項１に記載されたシェアモードアクチュエータによれば、前記圧電素子における貫通孔を中心としたシェアモードの大きな変形が、流体室内の流体に直接加わり、十分な圧力かつ高い応答性で流体の圧力操作を行える。また、前記圧電素子における貫通孔を中心としたシェアモードの大きな変形が、貫通孔付近を中心とした比較的狭い領域での変位に留まるので、かかる構造のアクチュエータを比較的短い間隔で設けても、隣接するアクチュエータに与える影響が少なくて済む。

特に、請求項２に記載されたシェアモードアクチュエータによれば、前記圧電素子における貫通孔を中心としたシェアモードの大きな変形が、貫通孔付近を中心とした比較的狭い領域での変位に留まらず、弾性板を流体室に向けて面状に変位させるので、流体に圧力を加える流体室の体積変化を全体として大きくすることができ、流体への加圧がさらに十分になり流体吐出又は吸引等の操作機能性が一層向上する。

特に、請求項３に記載されたシェアモードアクチュエータによれば、弾性板と圧電素子が、流体室を区画して対面する両側に配置される構成なので、両圧電素子を同時に流体室に向けて変位させることで流体室内の流体には起きな圧力が加わり、単一の圧電素子を用いる場合よりもさらに大きな吐出力又は吸引力を得ることができる。

１．第１実施形態（図１〜図４）
図１に示す本例のシェアモードアクチュエータ１は、インクジェットヘッドとして機能ずるものであり、側壁２と、ノズル３が形成された上壁４と、上壁４乃至ノズル３と対面する下方位置に配置されたステンレスからなる弾性板５とにより構成された流体室としてのインク室６を備えている。このインク室６には図示しない供給手段からインク７が供給される。本例では、一例としてインク室６は略円筒形としたが、後述するようにその形状には限定されない。

弾性板５の外面（インク室６内を基準として外側）には、圧電素子８が取り付けられている。圧電素子８は弾性板５と同じ円板形であり、その内面側が弾性板５の外面に密着するように固定されている。圧電素子８は、その厚さ方向に沿った分極方向を有しており、その中心には厚さ方向に沿って貫通孔９が形成されている。圧電素子８の貫通孔９は、弾性板５を挟んでノズル３に対応する位置に配置されている。

圧電素子８の貫通孔９の内面には、第１の電極１１が設けられている。また、貫通孔９が開口した圧電素子８の外面には、第１の電極１１と絶縁して第２の電極１２が設けられている。

上記構成における本例での具体的な一寸法例を示せば、弾性板５の厚さは２００μｍ、圧電素子８の厚さは２５０μｍ、圧電素子８の貫通孔９の直径は１００μｍ、第１の電極１１と第２の電極１２の絶縁のためのギャップは５０μｍである。

以上の構成において、第２の電極１２を０電位とし、第１の電極１２に＋又は−の所定の電位を与えると、両電極間に生じる電場の方向は、圧電素子８の分極方向と略直角となり（ｄ１５）、圧電素子８にはシェアモードの変位が生じる。すなわち、圧電素子８は、図１及び図２中に矢印にて示すように、矩形の断面が歪んで平行四辺形となるような変形を示し、貫通孔９を中心として図中上方に大きく盛り上がるが、貫通孔９の開口径はほとんど変化しない態様となる。そして、この圧電素子８の局所的な略点状の変形が、弾性板５を上方にたわませて弾性板５の内面を上に凸の形状に面変形させ、インク室６内の体積を大きく減少させる。その結果、インク室６内のインク７は大きく加圧され、インク７はノズル３から所定の大きさ（容量）のインク滴となって外界に吐出される。

このように、本例によれば、圧電素子８の分極方向と平行な厚さ方向に貫通孔９を設け、その内周面と、圧電素子８の表面にそれぞれ電極を設け、両電極間に電圧を加えることによって分極方向に対して直交する電場を加え、ベンドモードなどに比して変位量をかせげるシェアモードの変形を起こし、さらにこれを貫通孔９周辺の局所的な変形から弾性板５による面状の変形に変換してインク室６の容積変動を大きくとり、大きなインクの吐出力を得ているのである。

本例では、圧電素子８の形状は図１乃至図２に示したように中心に貫通孔９を有する円板形であったが、これは一例にすぎない。これは、本例のような分極方向を有する圧電素子８にシェアモードの変位を起こさせるための電極配置としては、貫通孔９の内周面と、上面又は下面（内面又は外面）のいずれかにそれぞれ電極を設ければよいので、板状の圧電素子８の外端面に貫通孔９内の電極と平行な電極を設ける必要がなく、従って板状の圧電素子８の外形は問題にならず、任意の外形を採用できるからである。

よって、第１例のように圧電素子８を円板形としてシェアモードアクチュエータ全体を円筒状としてもかまわないが、現実的には図３に模式的に示すように外形が矩形の圧電素子８を採用して直方体状のシェアモードアクチュエータとすることもできる。

なお、この矩形の圧電素子８においては、中央に円形の貫通孔９があり、その内周面に第１の電極１１があり、素子の上面に、貫通孔９の周囲に絶縁領域を設けて第２の電極１２が設けられている。

次に、図４を参照して本例のシェアモードアクチュエータにおける圧電素子８の変位の大きさについて比較例を参照して説明する。図４は、図１乃至図２に示した円板形の圧電素子８の矩形断面を示すものであり、加えられた電場によって平行四辺形状に変位している状態を併せて表したものである。なお、これらの図では、矩形断面の縦（素子の厚さ）が５０μｍ、横（素子の貫通孔９を除いた半径方向の寸法）が１００μｍである。

同図（ａ）に示すように、第２の電極１２が上面の略全面にわたって形成され、第１の電極１１と第２の電極１２が極めて微小な隙間をもって対峙している場合は、駆動時に圧電素子８に加えられる電場が強く、変位δは９．２ｎｍとなる。

しかし、製造上の困難性又は使用による経年変化等によって両電極の絶縁状態に問題が生じる可能性を考慮した場合、両電極の隙間はより大きくすることが好ましい。例えば、図４（ｂ）に示すように、第２の電極１２を素子の上面の外方約半分だけに形成し、同上面における両電極の間隔を約５０μｍとした場合、駆動時に圧電素子８に加えられる電場はやや弱くなり、変位δは５．４ｎｍとなる。

これに対し、図４（ｃ）に示すように、貫通孔９に第１の電極１１を設けるとともに、素子の外端面に第１の電極１１と平行で第１の電極１１と同寸法（高さ５０μｍ）である第２の電極１２を設けた場合には、駆動時の変位δは４．８ｎｍと小さい。この例は、図４（ａ），（ｂ）と同様に分極方向と電場が直交する場合であるが、第２の電極１２を外周端面に設けたために変位が少なくなったものであり、また、外周端面に第２の電極１２があるために圧電素子８自体の外形にも制約が加えられてしまう。このように、本例の条件として第２の電極１２は、貫通孔９が開口している面に形成することが必要である。そして、絶縁の問題から、両電極にはある程度の間隔（例えば第１の電極１１の高さ寸法乃至圧電素子８の厚さと同程度）を置くことが好ましい。

２．第２実施形態（図５及び図６）
図５に示す第２例のシェアモードアクチュエータ１ａは、第１例で説明したシェアモード変位の圧電素子８によるシェアモードアクチュエータ機構を上下一対でダブルに用い、両者を同時に駆動して一方に設けたノズルからインクを吐出するものであって、さらにこのようなノズルを複数列設した構成例である。

まず、第２例のシェアモードアクチュエータ１ａは、所定間隔で配置されてインク室６を区画する複数の側壁２を有している。各インク室６ごとに、側壁２の上端側には該インク室６の上側を区画するとともに貫通したノズル３が中央に形成された第１の弾性板５ａが設けられている。この第１の弾性板５ａの外面には第１の圧電素子８ａが内面を接して設けられている。第１の圧電素子８ａは貫通孔９ａを有し、この貫通孔９ａと第１の弾性板５ａのノズル３は連通している。

各インク室６ごとに、側壁２の下端側には該インク室６の下側を区画する第２の弾性板５ｂが設けられており、この第２の弾性板５ｂの外面には第２の圧電素子８ｂが内面を接して設けられている。第２の圧電素子８ｂは貫通孔９ｂを有し、この貫通孔９ｂは、直上の第２の弾性板５ｂ及びさらにインク室６を挟んで上方にある第１の弾性板５ａのノズル３及び第１の圧電素子８ａの貫通孔９ａと平面視で対応する位置に配置されている。

上記各圧電素子８ａ，８ｂにおける第１及び第２の電極１１，１２の構成は第１の例と同様であるが、両圧電素子８ａ，８ｂの第２の電極１２は共通に接続されて０電位が与えられ、第１の電極１１はインク室６ごとに上下を接続してインク室６ごとに各々独立して選択信号を与えることができるようになっている。なお、その他の図示しないインク供給機構等の構成は第１の例と同様である。

以上の構成において、共通電極である第２の電極１２を０電位とし、選択電極である第１の電極１１に選択的に＋又は−の所定の電位を与えると、両電極間に生じる電場の方向は、圧電素子８ａ，８ｂの分極方向と略直角となり（ｄ１５）、各圧電素子８ａ，８ｂにはシェアモードの変位が生じる。すなわち、選択されたインク室６の上下一対の圧電素子８ａ，８ｂは、図５に示すように、それぞれインク室６に向けて貫通孔９ａ，９ｂを中心として大きく盛り上がり、各弾性板５ａ，５ｂをインク室６内に向けてたわませて各弾性板５ａ，５ｂの内面を内方にに凸の形状に面変形させ、インク室６内の体積を第１例以上に大きく減少させる。その結果、インク室６内のインク７はさらに大きく加圧され、インク７はノズル３から所定の大きさ（容量）のインク滴となって外界に吐出される。その他の作用、効果は第１の例と基本的に同一である。

図６は、本例のような複数のノズルを有するシェアモードアクチュエータにおいて、ノズルの配置についての様々な例を説明の便宜上一つのヘッド内にまとめて示した図である。すなわち、図６が本例のシェアモードアクチュエータにおいてノズルを主走査方向について並べた構成を示すものとした場合、図６中のＡ部に示すように主走査方向に隣接するノズル３を副走査方向に位置をずらして配置すれば、隣のノズル３から影響を受けにくくなる。隣のノズル３からの影響を考慮する必要がない場合には、同図中Ｂ部に示すように、複数のノズル３は副走査方向の位置を一致させて主走査方向に並べればよい。また、同図中Ｃ部に示すように、一つのインク室６に複数のノズル３を設けて吐出するインクの量を増やすこともできる。

３．第３実施形態（図７）
図７に示す第３例のシェアモードアクチュエータ１ｂは、第１例で説明したシェアモード変位の圧電素子８によるシェアモードアクチュエータ機構を有するものであるが、単一の圧電素子８に複数のノズル兼貫通孔９が設けられ、第１例と異なり弾性板を使用しないで圧電素子８だけの変位で貫通孔９をノズルとしてインクを吐出する例である。

インクが収納される複数のインク室６は、その下方が下部壁体４ｂで仕切られ、その上方が共通の圧電素子８で直接仕切られている。圧電素子８とインク室６の間には前記他の例のような弾性板５はない。この圧電素子８には、各インク室６ごとに、各インク室６に連通する貫通孔９が１つずつ設けられている。この貫通孔９はインクを吐出するノズルとしても機能する。本例では、ノズル（貫通孔９）の間隔が、例えばノズル径の数倍程度と比較的小さいので、圧電素子８の貫通孔９の近傍における局所的なシェアモード変位だけで十分なインク吐出力が得られるため、弾性板を用いていないのである。

なお、図ではインク室６を明示するためにインク室６の手前側及び奥側が開口しているように表されているが、実際には閉止されており、他の例で説明したようにインク供給手段に接続されてインクが供給されるようになっていることは言うまでもない。

本例における電極構造を説明すると、図７中では詳細は省略するが、貫通孔９の内周面に第１の電極１１が設けられ、第１の電極１１は圧電素子８の上面に図示しない引き出し線を介して引き出され、選択電極としてそれぞれ独立に電位を与えることができる。また、圧電素子８の上面には、第１の電極１１の引き出し線及び貫通孔９の周囲を除いて全面に共通電極としての第２の電極１２が設けられてる。

４．電極構造の例（図８）
以上説明した各例における電極構造乃至電極の引き回しパターンの例を、図８を参照して説明する。図８（ａ）〜（ｃ）は、本例の電極構造を一つの貫通孔９について拡大して外側から平面視で表したものであり、３つの構造例を示している。図８（ａ）に示すように、貫通孔９の内周面には第１の電極１１が設けられ、圧電素子８の上面に引き出し線１５を介して引き出され、選択電極としてそれぞれ独立に電位を与えることができるようになっている。また、圧電素子８の上面には、第１の電極１１の引き出し電極１５及び貫通孔９の周囲を除いて全面に共通電極としての第２の電極１２が設けられている。

本例では、圧電素子８の厚さが例えば５０μｍであるとすると、貫通孔９の直径Ｒ１は２５μｍ、引き出し電極１５の幅Ｗ１は１０μｍ、貫通孔９の周囲に第１の電極１１に導通して設けられた環状電極１６と、その周囲にある第２の電極１２との距離Ｒ２は５０μｍ、引き出し電極１５とその周囲にある第２の電極１２との距離Ｗ２は５０μｍと設定される。このように、第１の電極１１及び引き出し電極１５と、第２の電極１２とは、圧電素子８の大略の領域で概ね５０μｍの間隔となる。電圧をかけた場合に生じる電場の強さと圧電素子８に生じる変位量とは比例するので、上記のような寸法設定として圧電素子８に加わる電場の強さをあらゆる位置で一定とすれば、圧電素子８には貫通孔９を中心とした安定したシェアモードの変位が生じ、インクを所期の性能で安定して吐出できる。

図８（ｂ）に示す例は、同図（ａ）の例と概ね同じであるが、第２の電極１２が圧電素子８の略全面にベタ状に設けられた同図（ａ）の例と異なり、略一定の幅をもって形成されている点が異なる。

図８（ｃ）に示す例では、貫通孔９の内周面に第１の電極１１が設けられ、第１の電極１１が環状電極１６及び引き出し電極１５を介して圧電素子８の上面に引き出され、選択電極としてそれぞれ独立に電位を与えることができる点において、同図（ａ）（ｂ）の例と同一である。しかし、第２の電極１２は、圧電素子８の下面に、貫通孔９の周囲を除いて全面に形成されている。

以上説明した各実施形態のシェアモードアクチュエータは、いずれもインクジェットヘッドとしての応用例であったが、本考案のシェアモードアクチュエータは係る用途に限定されるものではなく、流体を吐出、吸引する小型のポンプや、流体の吐出又は吸引力を用いて他部材を操作するための駆動手段としても応用することができる。

本考案の第１の実施形態であるシェアモードアクチュエータの断面図である。 本考案の第１の実施形態であるシェアモードアクチュエータの圧電素子を仮想的に４分割した状態を示す斜視図及び断面図である。 本考案の第１の実施形態であるシェアモードアクチュエータにおける圧電素子等の実際的な他の形態例を示す斜視図である。 本考案の第１の実施形態であるシェアモードアクチュエータにおける電極構造と圧電素子８の変位量との関係を、他の構造例と比較して示す断面図である。 本考案の第２の実施形態であるシェアモードアクチュエータの断面図である。 本考案の第２の実施形態であるシェアモードアクチュエータのノズル配置例を模式的に示す斜視図である。 本考案の第３の実施形態であるシェアモードアクチュエータの模式的斜視図である。 本考案の各実施形態における電極構造と電極の引き回しパターンを示す平面図である。 従来のベンドモードのシェアモードアクチュエータの構造例を示す断面図である。

符号の説明

１，１ａ，１ｂ…インクジェットヘッドであるシェアモードアクチュエータ
３…ノズル
５，５ａ，５ｂ…弾性板
６…流体室としてのインク室
７…流体としてのインク
８，８ａ，８ｂ…圧電素子
９，９ａ，９ｂ…貫通孔
１１…第１の電極
１２…第２の電極
１５…引き出し電極

Claims (3)

1. 流体が収納される流体室と、
   厚さ方向に沿った分極方向及び厚さ方向に沿って円筒状に形成された貫通孔を備え、前記貫通孔が前記流体室に連通するように前記流体室と外界を区画して設けられる板状の圧電素子と、
   前記圧電素子の前記貫通孔の内周面に連続して設けられた第１の電極と、
   前記貫通孔が開口した前記圧電素子の内面又は外面において、前記貫通孔の開口の周囲を避けて前記第１の電極と絶縁して設けられた第２の電極とを有し、
   前記第１及び第２の電極への通電による前記圧電素子のシェアモードの変位により前記流体を加圧して前記流体を前記貫通孔を介して操作することを特徴とするシェアモードアクチュエータ。
2. 流体が収納される流体室と、
   前記流体室の一部を区画する壁体に設けられて流体室と外界を連通させるノズルと、
   前記流体室の他の一部を区画するとともに内面が前記ノズルに対面する位置に設けられた弾性板と、
   厚さ方向に沿った分極方向及び厚さ方向に沿って円筒状に形成された貫通孔を備え、前記貫通孔が前記ノズルと同軸に配置されるように前記弾性板の外面にその内面が接するように設けられる板状の圧電素子と、
   前記圧電素子の前記貫通孔の内周面に連続して設けられた第１の電極と、
   前記貫通孔が開口した前記圧電素子の内面又は外面において、前記貫通孔の開口の周囲を避けて前記第１の電極と絶縁して設けられた第２の電極とを有し、
   前記圧電素子のシェアモードの変位により前記弾性板を変形させることで前記流体を加圧して前記流体を前記ノズルを介して操作することを特徴とするシェアモードアクチュエータ。
3. 流体が収納される流体室と、
   前記流体室の一部を区画するとともに、貫通したノズルを有する第１の弾性板と、
   厚さ方向に沿った分極方向及び厚さ方向に沿って円筒状に形成された第１の貫通孔を備え、前記第１の貫通孔が前記ノズルと連通するように前記第１の弾性板の外面にその内面が接するように設けられる板状の第１の圧電素子と、
   前記流体室の他の一部を区画するとともに内面が前記ノズルに対面する位置に設けられた第２の弾性板と、
   厚さ方向に沿った分極方向及び厚さ方向に沿って円筒状に形成された第２の貫通孔を備え、前記第２の貫通孔が前記ノズル及び前記第１の圧電素子の前記第１の貫通孔と同軸に配置されるように前記第２の弾性板の外面にその内面が接するように設けられる板状の第２の圧電素子と、
   前記第１及び第２の貫通孔の各内周面に連続して設けられた第１の電極と、
   前記第１及び第２の貫通孔が開口した前記第１及び第２の圧電素子の各内面又は外面において、前記第１及び第２の貫通孔の各開口の周囲を避けて前記第１の電極と絶縁して設けられた第２の電極とを有し、
   前記圧電素子のシェアモードの変位により前記第１及び第２の弾性板を同時に前記流体室の内方に向けて変形させることで前記流体を加圧し、前記流体を前記ノズル及び前記第１の貫通孔を介して操作することを特徴とするシェアモードアクチュエータ。