JP3122023U - ウェーハキャリア装置および前開式ウェーハポッド - Google Patents

Abstract

【課題】ウェーハを有効に固定することのできるウェーハキャリア装置および前開式ウェーハポッドを提供する。
【解決手段】一種のウェーハキャリア装置であって：このウェーハキャリア装置がキャリアボックスとカバー板と固定器とパッドとを含み、キャリアボックスが内部に相互に平行な多数個の溝を設置して、前記した多数個の溝が多数個のウェーハを収納するのに適し、かつ前記キャリアボックスが開口を備えて前記した多数個のウェーハの載置または移出に供することができるものであり；カバー板が前記キャリアボックスに取り外し可能に連接されて、前記キャリアボックス内部の前記した多数個のウェーハの保護に適したものであり；固定器が前記カバー板の一面に配置されるものであり；パッドが前記カバー板および前記固定器間に配置されて、前記固定器を部分的に突起させ、前記した多数個のウェーハのうち少なくとも１つを固定するものとした。
【選択図】図３Ｃ

Description

この考案は、ウェーハキャリア装置に関し、特に、ウェーハを有効に固定することができるウェーハキャリア装置および前開式ウェーハポッドに関する。

集積回路の半導体素子の集積度が日を追って増大していることに伴い、相対的に製造プロセスの精確度が際立って重要なものとなってきている。従って、一旦、ウェーハが製造プロセス中で損傷を受けてパーティクル（particle）を発生させた場合、ウェーハ自体が使用できなくなって廃棄するしかないだけでなく、ウェーハの発生させるパーティクルもまた機械に対する汚染を生じて、後続して生産されるウェーハに影響を与え、その後の製造プロセスを失敗させるものとなって、巨大な生産コストを無駄なものとしてしまう。また、もしもウェーハを載置するために用いるキャリア装置がその中にあるウェーハを有効に固定できなければ、ウェーハがキャリア装置中でぶつかり合ってパーティクルを発生または損傷を受けることとなる。

図１は、この考案の実施形態にかかるウェーハキャリア装置のキャリアボックスを示す要部断面図である。図１において、一般のウェーハキャリア装置は、キャリアボックス１００と、カバー板１０６と、固定器１０８とを含んでいる。キャリアボックス１００の内部には、相互に平行な溝１０２を設置して、溝１０２がウェーハ１０４を収納することができる。カバー板１０６は、キャリアボックス１００内部のウェーハ１０４を保護することができる。固定器１０８は、カバー板１０６の一側面上に配置される。一般的に言って、ウェーハ１０４を溝１０２中に入れるとともに、カバー板１０６を閉じた後、カバー板１０６上の固定器１０８を利用すれば、溝１０２内に置かれたウェーハ１０４を固定することができる。しかしながら、溝１０２は、ウェーハキャリア装置の製作過程において、しばしば金型の誤差により、いくつかの溝１０２の深さが深すぎるものとなり、図１の中側に位置するエリア１０９の溝１０２のように、ウェーハキャリア装置のカバー板１０６を閉じた後、エリア１０９に位置するウェーハ１０４を有効に固定することができず、ウェーハ１０４を搬送する過程において容易に損傷を受けてパーティクルを発生させるとともに、機械ならびに後工程に対して悪い影響を与えるものとなる。

そこで、この考案の目的は、ウェーハを有効に固定することのできるウェーハキャリア装置を提供することにある。

上記課題を解決し、所望の目的を達成するために、この考案は、一種のウェーハキャリア装置であって：このウェーハキャリア装置がキャリアボックスとカバー板と固定器とパッドとを含み、キャリアボックスが内部に相互に平行な多数個の溝を設置して、前記した多数個の溝が多数個のウェーハを収納するのに適し、かつ前記キャリアボックスが開口を備えて前記した多数個のウェーハの載置または移出に供することができるものであり；カバー板が前記キャリアボックスに取り外し可能に連接されて、前記キャリアボックス内部の前記した多数個のウェーハの保護に適したものであり；固定器が前記カバー板の一面に配置されるものであり；パッドが前記カバー板および前記固定器間に配置されて、前記固定器を部分的に突起させ、前記した多数個のウェーハのうち少なくとも１つを固定するものである。

一種の前開式ウェーハポッドであって：ポッド体とドア板と固定器とパッドとを含み、ポッド体が内部に相互に平行な多数個の溝を設置し、前記した多数個の溝が多数個のウェーハを収納するのに適し、かつ前記ポッド体の一側面が開口を備えて前記した多数個のウェーハの載置または移出に供することができるものであり；ドア板が前記ポッド体の前記一側面に配置され、前記ポッド体内部の前記した多数個のウェーハの保護に適したものであり；固定器が前記ドア板の内側に配置され、前記固定器がフレームと固定ロッドとパッドとを含み、多数個の固定ロッドが前記フレームの対応する２側に配置され、かつ前記した多数個の溝に対応するものであり；パッドが前記ドア板および前記フレーム間に配置され、前記固定器を部分的に突起させて、前記した多数個のウェーハのうち少なくとも１つを固定するものである。

この考案の実施形態にかかるウェーハキャリア装置または前開式ウェーハポッドであって、そのうち突起する前記固定器の部分が前記した多数個の溝のうち比較的深い深さを備えた溝に対応するものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの長さが７．８cm〜９．８cmの間にあるものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの幅が２．１cm〜４．１cmの間にあるものである。

この考案の実施形態にかかるウェーハキャリア装置または前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの中間部分の高さが他の部分より高いものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記中間部分の高さが０．５cmより大きいものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの材質がポリカーボネートおよびカーボンまたはハードプラスチックを含むものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの抵抗値が１０５Ω〜１０９Ωの間にあるものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの耐熱温度が８０℃〜１２０℃の間にあるものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドが弾力性を備えず、かつパーティクルを発生させないものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの配置方式が挟着または粘着を含むものである。

この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記固定器の材質がポリカーボネートおよびカーボンまたは耐熱かつパーティクルを発生させないハードプラスチックを含むものである。

上記に基づいて、この考案は、ウェーハキャリア装置または前開式ウェーハポッドを利用してウェーハを載置する時、固定器およびカバー板またはドア板間にパッドを配置し、固定器の一部を突起させて、金型の誤差により作り出された深さが深い溝中にあるウェーハを固定するものである。従って、ウェーハ搬送過程において、深さが深い溝中で固定器によりウェーハを有効に固定することができないという問題を改善することで、ウェーハを有効に固定できないことにより衝突してパーティクルを発生する、または損傷を受けることを回避するものである。

この考案のウェーハキャリア装置または前開式ウェーハポッドは、固定器およびカバー板またはドア板間にパッドを配置し、固定器の一部を突起させて、金型の誤差により作り出された深さが深い溝中にあるウェーハを固定するものであるから、ウェーハ搬送過程において、深さが深い溝中で固定器によりウェーハを有効に固定することができないという問題を改善することで、ウェーハを有効に固定できないことにより衝突してパーティクルを発生する、または損傷を受けるという問題の発生を防止することができるものである。従って、産業上の利用価値が高い。

以下、この考案を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。

図２Ａは、この考案の実施形態にかかるウェーハキャリア装置のキャリアボックスを示す要部断面図である。図２Ｂは、この考案の実施形態にかかるウェーハキャリア装置のキャリアボックスの深さが深い溝エリアを示す要部断面図である。図２Ａと図２Ｂとにおいて、ウェーハキャリア装置は、キャリアボックス２００と、カバー板２０６と、固定器２０８と、パッド２１０とを含んでいる。キャリアボックス２００の内部には、相互に平行な多数個の溝２０２ａ，２０２ｂを設置している。溝２０２ａ，２０２ｂは、ウェーハ２０４の収納に適し、かつキャリアボックス２００が開口２０７を備えて、ウェーハ２０４を載置または移出することができる。この実施形態において、エリア２０９にある溝２０２ｂの深さが例えば溝２０２ａの深さより大きいので、エリア２０９にあるウェーハ２０４の高さが溝２０２ａにあるウェーハ２０４より低いものとなる。

カバー板２０６は、取り外し可能にキャリアボックス２００に連接されている。カバー板２０６は、キャリアボックス２００内部のウェーハ２０４を保護することに適している。固定器２０８がカバー板２０６の一側面に配置され、カバー板２０６を閉じた時にウェーハ２０４を固定する。パッド２１０がカバー板２０６および固定器２０８間に配置されるが、配置方式としては、例えば、挟着または粘着とし、かつパッド２１０の中間部分が他の部分よりも高くなっており、固定器２０８の一部分を突起させて、突起した部分の固定器２０８が例えば深い深さを備える溝２０２ｂに対応する、つまりエリア２０９に対応するものである。従って、エリア２０９にあるウェーハ２０４を有効に固定できるものとなる。

また、特筆すべきことは、上記したパッドが一般に良く知られている前開式（ウェーハ）統一ポッド（front opening unified pod = FOUP）にも適用できるということである。

図３Ａは、この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドを示す要部断面図である。図３Ｂは、この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドのドア板を示す正面図である。図３Ａと図３Ｂとにおいて、前開式ウェーハポッドは、ボックス体３００と、ドア板３０６と、固定器３０８と、パッド３１０とを含んでいる。ボックス体３００の内部には、相互に平行な多数個の溝３０２ａ，３０２ｂが設置され、溝３０２ａ，３０２ｂは、ウェーハ３０４の収納に適し、かつボックス体３００の一側面に開口３０７が備えられて、ウェーハ３０４の載置または移出に供することができる。この実施形態において、エリア３０９にある溝３０２ｂの深さが例えば溝３０２ａの深さよりも大きいものとなっている。

ドア板３０６は、ボックス体３００の側面に配置されて、ボックス体３００内部にあるウェーハ３０４を保護するのに適している。ドア板３０６が開かれる時、ウェーハ３０４をボックス体３００の開口３０７を介して溝３０２ａ，３０２ｂ中に載置することができる。固定器３０８がドア板３０６の内側に配置されている。固定器３０８の材質は、例えば、ポリカーボネートおよびカーボンまたは耐熱かつパーティクルを発生させないハードプラスチックとすることができ、耐熱温度を８０℃〜１２０℃の間とすることができる。固定器３０８は、フレーム３０８ａと固定ロッド３０８ｂとを含んでいる。固定ロッド３０８ｂがフレーム３０８ａの対向する２側面に配置され、かつ溝３０２ａおよび溝３０２ｂに対応している。ウェーハ３０４を溝３０２ａ，３０２ｂ中に載置した後、ドア板３０６を閉じると、この時、それぞれ溝３０２ａに対応する各固定ロッド３０８ｂが溝３０２ａにあるウェーハ３０４を固定する。また、パッド３１０がドア板３０６およびフレーム３０８ａ間に配置されて、固定器３０８の一部分を突起させ、突起した固定器３０８の一部分が例えば深い深さを有する溝３０２ｂつまりエリア３０９に対応するものとなる。図３Ｃは、この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドの深い深さを有する溝エリアを示す要部断面図である。図３Ｃにおいて、ドア板３０６を閉じた後、パッド３１０がドア板３０６およびフレーム３０８ａ間に配置されており、エリア３０９に対応するフレーム３０８ａが突起し、また、このフレーム３０８ａの２側面にある固定ロッド３０８ｂが他の固定ロッド３０８ｂよりも０．８cm〜１．２cm突起して、溝３０２ｂにあるウェーハ
３０４を突起した固定ロッド３０８ｂによって有効に固定することができる。

この実施形態において、パッド３１０がドア板３０６およびフレーム３０８ａ間に配置される形式は、例えば、挟着または粘着とし、パッド３１０の長さは、例えば、７．８cm
〜９．８cmの間とし、幅は、例えば、２．１cm〜４．１cmの間とする。また、パッド３１
０の材質は、例えば、ポリカーボネートおよびカーボンまたはハードプラスチックとし、抵抗値は、例えば、１０５Ω〜１０９Ωの間、耐熱温度を８０℃〜１２０℃の間とし、かつパッド３１０自体は弾力性を備えず、パッド３１０が固定器３０８を押し上げるようにするものである。さらに、パッド３１０自体がパーティクルを発生させず、ウェーハ３０４を汚染しないものとする。

以上のごとく、この考案を好適な実施例により開示したが、もとより、この考案を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この考案の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その実用新案権保護の範囲は、実用新案登録請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。

この考案の実施形態にかかるウェーハキャリア装置を示す要部断面図である。 この考案の実施形態にかかるウェーハキャリア装置のキャリアボックスを示す要部断面図である。 この考案の実施形態にかかるウェーハキャリア装置の深い深さを備える溝エリアを示す要部断面図である。 この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドを示す要部断面図である。 この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドのドア板を示す正面図である。 この考案の実施形態にかかる前開式ウェーハポッドの深い深さを備える溝エリアを示す要部断面図である。

符号の説明

１００、２００ キャリアボックス
１０２，２０２ａ，２０２ｂ，３０２ａ，３０２ｂ 溝
１０４，２０４，３０４ ウェーハ
１０６，２０６ カバー板
１０８，２０８，３０８ 固定器
１０９，２０９，３０９ エリア
２０７，３０７ 開口
２１０，３１０ パッド
３００ ボックス体
３０６ ドア板
３０８ａ フレーム
３０８ｂ 固定ロッド

Claims (13)

1. 一種のウェーハキャリア装置であって：
   キャリアボックスであり、内部に相互に平行な多数個の溝を設置して、前記した多数個の溝が多数個のウェーハを収納するのに適し、かつ前記キャリアボックスが開口を備えて前記した多数個のウェーハの載置または移出に供することができるもの；
   カバー板であり、前記キャリアボックスに取り外し可能に連接されて、前記キャリアボックス内部の前記した多数個のウェーハの保護に適したもの；
   固定器であり、前記カバー板の一面に配置されるもの；および
   パッドであり、前記カバー板および前記固定器間に配置されて、前記固定器を部分的に突起させ、前記した多数個のウェーハのうち少なくとも１つを固定するもの；
   を含むものである。
2. 一種の前開式ウェーハポッドであって：
   ポッド体であり、内部に相互に平行な多数個の溝を設置し、前記した多数個の溝が多数個のウェーハを収納するのに適し、かつ前記ポッド体の一側面が開口を備えて前記した多数個のウェーハの載置または移出に供することができるもの；
   ドア板であり、前記ポッド体の前記一側面に配置され、前記ポッド体内部の前記した多数個のウェーハの保護に適したもの；
   固定器であり、前記ドア板の内側に配置され、前記固定器が：
   フレーム；
   多数個の固定ロッドであり、前記フレームの対応する２側に配置され、かつ前記した 多数個の溝に対応するもの；および
   パッドであり、前記ドア板および前記フレーム間に配置され、前記固定器を部分的に 突起させて、前記した多数個のウェーハのうち少なくとも１つを固定するもの
   を含むもの；
   を包括するものである。
3. 請求項１に述べたウェーハキャリア装置または請求項２に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち突起する前記固定器の部分が前記した多数個の溝のうち比較的深い深さを備えた溝に対応するものである。
4. 請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの長さが７．８cm〜９．８cmの間にあるものである。
5. 請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの幅が２．１cm〜４．１cmの間にあるものである。
6. 請求項１に述べたウェーハキャリア装置または請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの中間部分の高さが他の部分より高いものである。
7. 請求項６に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記中間部分の高さが０．５cmより大きいものである。
8. 請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの材質がポリカーボネートおよびカーボンまたはハードプラスチックを含むものである。
9. 請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの抵抗値が１０５Ω〜１０９Ωの間にあるものである。
10. 請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの耐熱温度が８０℃〜１２０℃の間にあるものである。
11. 請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドが弾力性を備えず、かつパーティクルを発生させないものである。
12. 請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記パッドの配置方式が挟着または粘着を含むものである。
13. 請求項３に述べた前開式ウェーハポッドであって、そのうち前記固定器の材質がポリカーボネートおよびカーボンまたは耐熱かつパーティクルを発生させないハードプラスチックを含むものである。

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