JP3116968B2 - Digital video signal processor - Google Patents
Digital video signal processorInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ディジタル映像信号
を入力とする機器に適用して好適なディジタル映像信号
処理装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a digital video signal processing apparatus suitable for application to a device which receives a digital video signal.
【0002】[0002]
【従来の技術】図3は、ビデオシステムの一例の構成を
示している。同図において、10はディジタルVTRで
あり、このディジタルVTR10で再生されるディジタ
ル映像信号は、特殊効果処理を行なう画像処理装置20
に供給される。そして、画像処理装置20で特殊効果処
理されて出力されるディジタル映像信号はモニター30
に供給されて、特殊効果が施された画像が表示される。
この場合、ディジタルVTR10、画像処理装置20、
モニター30には基準同期信号Sref が供給され、これ
に同期して動作するように構成される。2. Description of the Related Art FIG. 3 shows an example of the configuration of a video system. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a digital VTR, and a digital video signal reproduced by the digital VTR 10 is an image processing device 20 for performing special effect processing.
Supplied to The digital video signal output after being subjected to the special effect processing by the image processing device 20 is output to the monitor 30.
, And the image on which the special effect has been applied is displayed.
In this case, the digital VTR 10, the image processing device 20,
The monitor 30 is supplied with a reference synchronization signal Sref, and is configured to operate in synchronization with the reference synchronization signal Sref.
【0003】ここで、例えば画像処理装置20の入力段
には、ディジタルVTR10におけるジッターや、ディ
ジタルVTR10から画像処理装置20までのケーブル
による遅延を補正し、基準同期信号Sref に同期したデ
ィジタル映像信号を得るための処理装置が配される。Here, for example, the input stage of the image processing device 20 corrects a jitter in the digital VTR 10 and a delay due to a cable from the digital VTR 10 to the image processing device 20 and outputs a digital video signal synchronized with the reference synchronization signal Sref. A processing device for obtaining is provided.
【0004】図4は、そのディジタル映像信号の処理装
置の一例の構成を示している。同図において、ディジタ
ル映像信号DSVは、メモリ1に書き込み信号として供
給される。FIG. 4 shows an example of the configuration of a digital video signal processing device. In FIG. 1, a digital video signal DSV is supplied to a memory 1 as a write signal.
【0005】また、ディジタル映像信号DSVは同期検
出回路2に供給される。同期検出回路2では、ディジタ
ルビデオ信号DSVより同期パターンの検出が行なわれ
る。The digital video signal DSV is supplied to a synchronization detection circuit 2. The synchronization detecting circuit 2 detects a synchronization pattern from the digital video signal DSV.
【0006】ここで、ディジタルビデオ信号DSVの同
期パターンについて説明する。図5は、D−1(コンポ
ーネント)方式のディジタル映像信号のデータ形式を示
している。ディジタル映像信号は、それぞれ8ビットの
輝度データおよび色差データとから構成される。Here, the synchronization pattern of the digital video signal DSV will be described. FIG. 5 shows the data format of a digital video signal of the D-1 (component) system. Each digital video signal is composed of 8-bit luminance data and color difference data.
【0007】ディジタルラインは2200T(Tはクロ
ック周期で13.5nsec)であり、ディジタル水平
ブランキングが280T、ディジタルアクティブライン
は1920Tである。The digital line is 2200T (T is 13.5 nsec in clock cycle), the digital horizontal blanking is 280T, and the digital active line is 1920T.
【0008】輝度データおよび色差データの各ビデオデ
ータブロック(1928T)の始めと終わりにタイミン
グ基準信号が配される。すなわち、始めにはSAV(St
artof Active Video)が、終わりにはEAV(End of A
ctive Video)が置かれる。A timing reference signal is provided at the beginning and end of each video data block (1928T) of luminance data and color difference data. That is, initially, SAV (St
artof Active Video) and EAV (End of A)
ctive Video) is placed.
【0009】各タイミング基準信号は、4ワード列の
「FF 00 00 XY」からなる。各タイミング基
準信号は、8ビットワードとして規定される。最初の3
ワード「FF 00 00」は固定プリアンブルであ
る。第4ワード「XY」は、フィールドステータスを定
義し、垂直および水平のブランキングのタイミングを示
している(図6参照)。Fはフィールドステータスを定
義し、フィールド1の区間では“0”、フィールド2の
区間では“1”となる。Vは垂直ブランキングのタイミ
ングを定義する。垂直ブランキングの区間では“1”と
なる。Hは水平ブランキングのタイミングを定義する。
水平ブランキングの開始時に“1”となる。Each timing reference signal is composed of a 4-word string "FF 00 00 XY". Each timing reference signal is defined as an 8-bit word. First three
The word "FF 00 00" is a fixed preamble. The fourth word “XY” defines the field status and indicates the timing of vertical and horizontal blanking (see FIG. 6). F defines the field status, which is “0” in the field 1 section and “1” in the field 2 section. V defines the timing of vertical blanking. It becomes "1" in the vertical blanking interval. H defines the timing of horizontal blanking.
It becomes "1" at the start of horizontal blanking.
【0010】また、第4ワードにおけるP0〜P3は、
冗長ビットであり、F,VおよびHに伝送エラーが生じ
た場合、それを訂正するために使用される。これらP0
〜P3は、図7に示すように生成される。In the fourth word, P0 to P3 are:
This is a redundant bit, and is used to correct transmission errors in F, V, and H when they occur. These P0
To P3 are generated as shown in FIG.
【0011】図4に戻って、同期検出回路2では、ディ
ジタル映像信号DSVより固定プリアンブルが同期信号
として検出され、この検出信号がメモリコントローラ3
に供給される。メモリコントローラ3には基準同期信号
Sref も供給される。Returning to FIG. 4, the synchronization detection circuit 2 detects a fixed preamble as a synchronization signal from the digital video signal DSV.
Supplied to The memory controller 3 is also supplied with a reference synchronization signal Sref.
【0012】メモリコントローラ3によって、メモリ1
の書き込み、読み出しが制御される。すなわち、メモリ
1には同期検出回路2より出力される検出信号に同期し
てディジタルアクティブラインのデータが書き込まれる
と共に、基準同期信号Srefに同期して読み出される。
これにより、メモリ1からはディジタルVTR10での
ジッターやケーブルによる遅延等が補正され、基準同期
信号Sref に同期したディジタル映像信号DSV′が出
力され、これが次段の処理回路に供給される。The memory 1 is controlled by the memory controller 3.
Writing and reading are controlled. That is, the data of the digital active line is written into the memory 1 in synchronization with the detection signal output from the synchronization detection circuit 2 and read out in synchronization with the reference synchronization signal Sref.
As a result, the memory 1 corrects the jitter in the digital VTR 10, the delay due to the cable, etc., and outputs a digital video signal DSV 'synchronized with the reference synchronizing signal Sref, which is supplied to the next-stage processing circuit.
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図4の例に
おいて、ディジタル映像信号DSVに伝送経路上で何ら
かのノイズが混入することがある。ノイズの混入によっ
て、固定プリアンブルと同様のパターンの信号が生じる
ときは、これが同期検出回路2で同期信号として検出さ
れるため、メモリ1に誤ったタイミングでディジタル映
像信号DSVが書き込まれ、出力画面に悪影響を与え
る。By the way, in the example of FIG. 4, some noise may be mixed into the digital video signal DSV on the transmission path. When a signal having the same pattern as that of the fixed preamble is generated due to the contamination of noise, the signal is detected by the synchronization detection circuit 2 as a synchronization signal. Therefore, the digital video signal DSV is written into the memory 1 at an incorrect timing, and is output to the output screen. Has a negative effect.
【0014】そこで、この発明では、同期信号が誤って
検出される場合、出力画面に与える悪影響を軽減できる
ようにするものである。Accordingly, the present invention is intended to reduce the adverse effect on the output screen when a synchronization signal is erroneously detected.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】第1の発明は、ディジタ
ル映像信号より同期パターンを検出し、この同期検出信
号に同期してメモリにディジタル映像信号を書き込むと
共に、基準同期信号に同期してメモリよりディジタル映
像信号を読み出すディジタル映像信号処理装置におい
て、同期パターン位置に関連して付加された誤り検出符
号より誤りの有無を判別する誤り判別手段を設け、誤り
判別手段で誤りがあると判別されるときには、同期検出
信号に同期してのディジタル映像信号のメモリへの書き
込みを禁止するものである。According to a first aspect of the present invention, a synchronous pattern is detected from a digital video signal, a digital video signal is written to a memory in synchronization with the synchronization detection signal, and the memory is synchronized with a reference synchronization signal. In a digital video signal processing apparatus for reading out a digital video signal, an error discriminating means for discriminating the presence or absence of an error is provided from an error detection code added in relation to a synchronization pattern position, and the error discriminating means determines that there is an error. At times, the writing of the digital video signal to the memory in synchronism with the synchronization detection signal is prohibited.
【0016】第2の発明は、ディジタル映像信号より同
期パターンを検出し、この同期検出信号に同期してメモ
リにディジタル映像信号を書き込むと共に、基準同期信
号に同期してメモリよりディジタル映像信号を読み出す
ディジタル映像信号処理装置において、同期検出信号と
基準同期信号の時間差を判別する時間差判別手段を設
け、時間差判別手段で時間差が所定値以外であると判別
されるときには、同期検出信号に同期してのディジタル
映像信号のメモリへの書き込みを禁止するものである。According to a second aspect of the present invention, a synchronization pattern is detected from a digital video signal, a digital video signal is written to a memory in synchronization with the synchronization detection signal, and a digital video signal is read from the memory in synchronization with a reference synchronization signal. In the digital video signal processing device, a time difference discriminating means for discriminating a time difference between the synchronization detection signal and the reference synchronization signal is provided, and when the time difference discriminating means determines that the time difference is other than the predetermined value, the digital video signal processing device is synchronized with the synchronization detection signal. This is to prohibit the writing of the digital video signal to the memory.
【0017】[0017]
【作用】例えば、D−1方式のディジタル映像信号で
は、タイミング基準信号にP0〜P3の誤り検出符号が
付加されている(図6参照)。ノイズの混入で同期信号
が誤って検出されるときは、正式な誤り検出符号P0〜
P3で誤りの有無が判別されないため、ほとんど誤りが
あると判別されることになる。そのため、第1の発明で
は、同期信号が誤って検出されるときメモリ5にディジ
タル映像信号が書き込まれることはなく、メモリ5から
は前のラインのディジタル映像信号が出力される。これ
により、同期信号が誤って検出される場合、出力画面に
与える悪影響が軽減される。For example, in the digital video signal of the D-1 system, error detection codes P0 to P3 are added to the timing reference signal (see FIG. 6). If the synchronization signal is erroneously detected due to noise, the formal error detection code P0
Since the presence or absence of an error is not determined in P3, it is determined that there is almost an error. Therefore, in the first invention, when the synchronization signal is erroneously detected, the digital video signal is not written in the memory 5, and the digital video signal of the previous line is output from the memory 5. Thus, when a synchronization signal is erroneously detected, adverse effects on the output screen are reduced.
【0018】また、ノイズの混入で同期信号が誤って検
出されるときは、同期検出信号Sdet と基準同期信号S
ref の時間差が大きく変化する。そのため、第2の発明
では、同期信号が誤って検出されるとき、メモリ5にデ
ィジタル映像信号が書き込まれることはなく、メモリ5
からは前のラインのディジタル映像信号が出力される。
これにより、同期信号が誤って検出される場合、出力画
面に与える悪影響が軽減される。If a synchronization signal is erroneously detected due to noise, the synchronization detection signal Sdet and the reference synchronization signal Sdet are detected.
The time difference of ref changes greatly. Therefore, in the second invention, when the synchronization signal is erroneously detected, the digital video signal is not written into the memory 5, and
Outputs the digital video signal of the previous line.
Thus, when a synchronization signal is erroneously detected, adverse effects on the output screen are reduced.
【0019】[0019]
【実施例】以下、図1を参照しながら、この発明の一実
施例について説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
【0020】同図において、ディジタル映像信号DSV
は遅延回路4を介して時間軸調整用のメモリ5に書き込
み信号として供給される。遅延回路4は、同期検出回路
6における同期検出動作等の遅延を補償するためのもの
である。In FIG. 1, a digital video signal DSV
Is supplied as a write signal to the time axis adjusting memory 5 via the delay circuit 4. The delay circuit 4 is for compensating for a delay such as a synchronization detection operation in the synchronization detection circuit 6.
【0021】また、ディジタル映像信号DSVは同期検
出回路6に供給される。このディジタル映像信号DSV
は、図4におけると同様のものである(図5参照)。The digital video signal DSV is supplied to a synchronization detection circuit 6. This digital video signal DSV
Are the same as in FIG. 4 (see FIG. 5).
【0022】同期検出回路6では、タイミング基準信号
の固定プリアンブルが同期信号として検出され、この同
期検出信号Sdet は時間比較回路7およびメモリコント
ローラ8に供給される。時間比較回路7およびメモリコ
ントローラ8には、基準同期信号Sref も供給される。The synchronization detection circuit 6 detects a fixed preamble of the timing reference signal as a synchronization signal, and the synchronization detection signal Sdet is supplied to the time comparison circuit 7 and the memory controller 8. The reference synchronization signal Sref is also supplied to the time comparison circuit 7 and the memory controller 8.
【0023】時間比較回路7では、基準同期信号Sref
を使用して、同期検出回路6からの同期検出信号Sdet
との時間差Tが測定されて記憶される(図2参照)。一
旦記憶された場合、2度連続して同一時間差とならない
限り、更新されないようにされる。この時間比較回路7
では測定された時間差と記憶されている時間差との比較
が行なわれ、その差が所定範囲内にあるときは正常であ
ることを示す信号が出力され、所定範囲を越えるときは
異常であることを示す信号が出力される。In the time comparison circuit 7, the reference synchronization signal Sref
Is used, the synchronization detection signal Sdet from the synchronization detection circuit 6 is used.
Is measured and stored (see FIG. 2). Once stored, it is not updated unless the same time difference occurs twice in a row. This time comparison circuit 7
Then, the measured time difference is compared with the stored time difference, and when the difference is within a predetermined range, a signal indicating that the time difference is normal is output. Is output.
【0024】この場合の範囲は、例えば機器のジッター
による時間変動より大きく設定され、このジッターによ
る時間変動でもって異常であることを示す信号が出力さ
れないようにされる。この時間比較回路7の出力信号D
tmはメモリコントローラ8に供給される。In this case, the range is set to be larger than, for example, the time variation due to the jitter of the device, so that a signal indicating an abnormality due to the time variation due to the jitter is not output. The output signal D of the time comparison circuit 7
tm is supplied to the memory controller 8.
【0025】また、同期検出回路6で同期信号が検出さ
れるとき、同期検出回路6内の誤り判別部9ではタイミ
ング基準信号に付加されている誤り検出符号P0〜P3
によって誤りの有無が判別される。誤り判別部9より出
力される誤り判別信号Derはメモリコントローラ8に供
給される。When the synchronization signal is detected by the synchronization detection circuit 6, the error discriminating section 9 in the synchronization detection circuit 6 generates error detection codes P0 to P3 added to the timing reference signal.
Is used to determine the presence or absence of an error. The error determination signal Der output from the error determination unit 9 is supplied to the memory controller 8.
【0026】メモリ5の書き込み、読み出しはメモリコ
ントローラ8によって制御される。時間比較回路7の出
力信号Dtmが正常であることを示しており、かつ誤り判
別部9より出力される誤り判別信号Derが誤りのないこ
とを示しているときは、メモリコントローラ8よりメモ
リ5には、同期検出信号Sdet に基づいて形成された書
き込みリセットパルスWRが供給されると共に、書き込
みイネーブル信号WEが供給される。そのため、同期検
出信号Sdet に同期してメモリ5にディジタル映像信号
DSVが書き込まれ、メモリ5のデータは順次更新され
る。また、このメモリコントローラ8よりメモリ5に
は、基準同期信号Sref に基づいて形成された読み出し
リセットパルスRDが供給され、メモリ5からは基準同
期信号Sref に同期し、かつ時間軸補正されたディジタ
ル映像信号DSV′が出力される。The writing and reading of the memory 5 are controlled by the memory controller 8. When the output signal Dtm of the time comparison circuit 7 indicates that it is normal and the error determination signal Der output from the error determination unit 9 indicates that there is no error, the memory controller 8 sends the error signal to the memory 5. Is supplied with a write reset pulse WR formed based on the synchronization detection signal Sdet and a write enable signal WE. Therefore, the digital video signal DSV is written to the memory 5 in synchronization with the synchronization detection signal Sdet, and the data in the memory 5 is sequentially updated. Further, a read reset pulse RD formed based on the reference synchronization signal Sref is supplied from the memory controller 8 to the memory 5, and the digital video synchronized with the reference synchronization signal Sref and time-axis corrected from the memory 5 is supplied from the memory 5. Signal DSV 'is output.
【0027】一方、時間比較回路7の出力信号Dtmが異
常であることを示しており、あるいは誤り判別部9より
出力される誤り判別信号Derが誤りのあることを示して
いるときは、書き込みリセットパルスWRおよび書き込
みイネーブル信号WEはマスクされ、これらがメモリコ
ントローラ8よりメモリ5に供給されることはなく、メ
モリ5のデータは更新されない。メモリ5には読み出し
リセットパルスRDは通常通り供給される。したがって
このときは、ディジタル映像信号DSV′としてメモリ
5より1ライン前の信号が出力される。On the other hand, if the output signal Dtm of the time comparison circuit 7 indicates that there is an abnormality, or if the error determination signal Der output from the error determination unit 9 indicates that there is an error, the write reset is performed. The pulse WR and the write enable signal WE are masked, they are not supplied from the memory controller 8 to the memory 5, and the data in the memory 5 is not updated. The read reset pulse RD is supplied to the memory 5 as usual. Therefore, at this time, the signal one line before the memory 5 is output as the digital video signal DSV '.
【0028】本例において、伝送経路上でノイズが混入
して同期信号が誤って検出されるときは、誤り判別部9
では正式な誤り検出符号P0〜P3で誤りの有無が判別
されないため、ほとんど誤りがあると判別される。ま
た、誤りがないと判別されるときでも、同期検出信号S
det と基準同期信号Sref の時間差が大きく変化する。In this example, when noise is mixed on the transmission path and a synchronization signal is erroneously detected, the error discriminating section 9
Since the presence or absence of an error is not determined by the formal error detection codes P0 to P3, it is determined that there is almost an error. Even when it is determined that there is no error, the synchronization detection signal S
The time difference between det and the reference synchronization signal Sref greatly changes.
【0029】そのため、誤り判別部9からの誤り判別信
号Derは誤りがあることを示し、あるいは時間比較回路
7の出力信号Dtmが異常であることを示すことになる。
これにより、同期検出信号Sdet に同期してメモリ5に
ディジタル映像信号DSVを書き込むことが禁止され、
メモリ5より1ライン前の信号が出力される。Therefore, the error discrimination signal Der from the error discrimination section 9 indicates that there is an error, or that the output signal Dtm of the time comparison circuit 7 is abnormal.
As a result, it is prohibited to write the digital video signal DSV into the memory 5 in synchronization with the synchronization detection signal Sdet,
The signal of the previous line is output from the memory 5.
【0030】したがって、誤って同期信号が検出されて
も、出力画面に位置ずれを生じた誤ったラインが生じる
ことがなく、出力画面に悪影響を与えることを軽減する
ことができる。Therefore, even if a synchronization signal is erroneously detected, an erroneous line with a position shift does not occur on the output screen, and the adverse effect on the output screen can be reduced.
【0031】[0031]
【発明の効果】この発明によれば、同期パターン位置に
関連して付加された誤り検出符号によって誤りがあると
判別されるとき、あるいは同期検出信号と基準同期信号
の時間差が所定値以外と判別されるときは、同期検出信
号に同期してのディジタル映像信号のメモリへの書き込
みが禁止され、メモリからは前のラインの信号が出力さ
れる。そのため、誤って同期信号が検出されても、出力
画面に位置ずれを生じた誤ったラインが生じることがな
く、出力画面に与える悪影響を軽減することができる。According to the present invention, when it is determined that there is an error by the error detection code added in relation to the position of the synchronization pattern, or when the time difference between the synchronization detection signal and the reference synchronization signal is other than a predetermined value. In this case, the writing of the digital video signal to the memory in synchronism with the synchronization detection signal is prohibited, and the signal of the previous line is output from the memory. Therefore, even if a synchronization signal is erroneously detected, an erroneous line with a position shift does not occur on the output screen, and adverse effects on the output screen can be reduced.
【図1】実施例の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of an embodiment.
【図2】時間比較回路での時間差測定の説明のための図
である。FIG. 2 is a diagram for explaining a time difference measurement in a time comparison circuit.
【図3】ビデオシステムの一例を示すブロック図であ
る。FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a video system.
【図4】ディジタル映像信号の処理装置のブロック図で
ある。FIG. 4 is a block diagram of a digital video signal processing device.
【図5】ディジタル映像信号のデータ形式の一例を示す
図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a data format of a digital video signal.
【図6】ディジタル映像信号のタイミング基準信号を示
す図である。FIG. 6 is a diagram showing a timing reference signal of a digital video signal.
【図7】符号P0〜P3の生成を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating generation of codes P0 to P3.
4 遅延回路 5 メモリ 6 同期検出回路 7 時間比較回路 8 メモリコントローラ 9 誤り判別部 10 ディジタルVTR 20 画像処理装置 30 モニター Reference Signs List 4 delay circuit 5 memory 6 synchronization detection circuit 7 time comparison circuit 8 memory controller 9 error discrimination unit 10 digital VTR 20 image processing device 30 monitor
Claims (2)
検出し、この同期検出信号に同期してメモリに上記ディ
ジタル映像信号を書き込むと共に、基準同期信号に同期
して上記メモリより上記ディジタル映像信号を読み出す
ディジタル映像信号処理装置において、 上記同期パターン位置に関連して付加された誤り検出符
号より誤りの有無を判別する誤り判別手段を設け、 上記誤り判別手段で誤りがあると判別されるときには、
上記同期検出信号に同期しての上記ディジタル映像信号
の上記メモリへの書き込みを禁止することを特徴とする
ディジタル映像信号処理装置。1. A digital pattern which detects a synchronization pattern from a digital video signal, writes the digital video signal into a memory in synchronization with the synchronization detection signal, and reads the digital video signal from the memory in synchronization with a reference synchronization signal. In the video signal processing device, an error discriminating means for discriminating the presence or absence of an error from the error detection code added in relation to the synchronization pattern position is provided, and when the error discriminating means determines that there is an error,
A digital video signal processing device for inhibiting writing of the digital video signal into the memory in synchronization with the synchronization detection signal.
検出し、この同期検出信号に同期してメモリに上記ディ
ジタル映像信号を書き込むと共に、基準同期信号に同期
して上記メモリより上記ディジタル映像信号を読み出す
ディジタル映像信号処理装置において、 上記同期検出信号と上記基準同期信号の時間差を判別す
る時間差判別手段を設け、 上記時間差判別手段で時間差が所定値以外であると判別
されるときには、上記同期検出信号に同期しての上記デ
ィジタル映像信号の上記メモリへの書き込みを禁止する
ことを特徴とするディジタル映像信号処理装置。2. A digital signal detecting a synchronization pattern from a digital video signal, writing the digital video signal into a memory in synchronization with the synchronization detection signal, and reading the digital video signal from the memory in synchronization with a reference synchronization signal. In the video signal processing device, a time difference determining means for determining a time difference between the synchronization detection signal and the reference synchronization signal is provided. When the time difference determination means determines that the time difference is not a predetermined value, the video signal processing device synchronizes with the synchronization detection signal. A digital video signal processing device for prohibiting the writing of the digital video signal into the memory.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03217044A JP3116968B2 (en) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | Digital video signal processor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03217044A JP3116968B2 (en) | 1991-08-28 | 1991-08-28 | Digital video signal processor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0556400A JPH0556400A (en) | 1993-03-05 |
JP3116968B2 true JP3116968B2 (en) | 2000-12-11 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP3116968B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112016007022T5 (en) | 2016-06-30 | 2019-03-21 | Mitsubishi Electric Corporation | METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR EQUIPMENT |
-
1991
- 1991-08-28 JP JP03217044A patent/JP3116968B2/en not_active Expired - Fee Related
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DE112016007022T5 (en) | 2016-06-30 | 2019-03-21 | Mitsubishi Electric Corporation | METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR EQUIPMENT |
Also Published As
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JPH0556400A (en) | 1993-03-05 |
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