JP3113936B2 - 液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置 - Google Patents

液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置

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JP3113936B2
JP3113936B2 JP07165339A JP16533995A JP3113936B2 JP 3113936 B2 JP3113936 B2 JP 3113936B2 JP 07165339 A JP07165339 A JP 07165339A JP 16533995 A JP16533995 A JP 16533995A JP 3113936 B2 JP3113936 B2 JP 3113936B2
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正人 藤沢
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置の製法およ
びそれに用いる製造装置に関する。さらに詳しくは、複
数個の処理ユニットを立体配置することにより、省スペ
ース化を達成することができる液晶表示装置の製法およ
びそれに用いる製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、液晶表示装置を製造するばあ
い、フォトグラフィー工程などの複数工程の処理をガラ
ス基板に施している。
【0003】図3は従来の液晶表示装置を製造するため
の製造装置の正面説明図であり、この製造装置は、複数
の処理ユニット32〜34が水平に配置され、隣接する
2つの処理ユニット同士が互いに連通されることにより
構成されている。
【0004】図3において、31はローダ部でカセット
載置部とカセット内のガラス基板を取り出すためのハン
ドリングロボット(図示せず)を具備している。このハ
ンドリングロボットは、処理ユニット32〜34のそれ
ぞれの後方側を水平移動できるようになっている。
【0005】ここで、処理ユニット32〜34は、たと
えば、32はスクラバー・乾燥部で、ガラス基板表面の
異物を除去し、さらにガラス基板の乾燥も行ない、33
はコータ部で、ガラス基板上に感光性樹脂を回転塗布
し、34はベーク部で、ホットプレートを有しており、
このホットプレートにより、ガラス基板上の感光性樹脂
を硬化させる。
【0006】35はアンローダ部で、プロセス処理の終
わったガラス基板をローダ部と同様にカセット載置部と
カセット内にガラス基板を収納するハンドリングロボッ
ト(図示せず)を具備している。
【0007】36、37はガラス基板を収納するカセッ
トで、38は防塵用透明カバーである。
【0008】39はユニットのレベル出し用、すなわち
高さ調節用のアジャストボルトである。
【0009】つぎに、図3の製造装置を用いた液晶表示
装置の製法について順に説明する。
【0010】まず、前記製造装置にくる直前の前工程、
たとえば、成膜工程から送られたガラス基板を収納した
カセット36をローダ部31のカセット載置台に載置す
る。
【0011】つぎに、載置されたカセット36内のガラ
ス基板をハンドリングロボットで1枚ずつ取り出し、ス
クラバー・乾燥部32へ搬送する。
【0012】このスクラバー・乾燥部32では、まずス
クラバー部でガラス基板をチャック(図示せず)により
把持し、ついで、たとえばモヘアブラシなどでガラス基
板上の異物を除去し、そののち乾燥部でガラス基板を乾
燥させる。
【0013】つぎに、乾燥されたガラス基板を、装置内
の搬送機構によって、コータ部33へ送り、ガラス基板
上に感光性樹脂をたとえば厚さ5000オングストロー
ム程度に回転塗布する。
【0014】さらに、感光性樹脂を塗布したガラス基板
を、ベーク部34へ送り、ホットプレートなどでベーク
して硬化させる。
【0015】最後に、硬化が完了したガラス基板を、ア
ンローダ部35へ送り、ハンドリングロボットでカセッ
ト37内に1枚ずつ収納する。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記液
晶表示装置の製法では、ガラス基板を水平に搬送して順
次処理ユニット32〜34で処理を施しているため、以
下の(1)〜(3)の問題がある。
【0017】(1)前記製造装置が収容されたクリーン
ルームにおいて、当該製造装置の占有面積が大きくな
り、その結果、クリーンルームが大型化し、それに伴い
クリーンルームのランニングコストが増大する。
【0018】(2)前記製造装置の外周部は、防塵カバ
ーのみで仕切られているため、各ユニットで使用する有
機成分がクリーンルーム内に拡散し、当該クリーンルー
ムの清浄度を低下させる。
【0019】(3)各処理ユニットが水平に構成されて
いるため、たとえば排気設備の接続工事のばあい、各ユ
ニット毎に排気管および排気用の動力源などを接続する
ため、動力付帯工事が高価になる。
【0020】本発明は、かかる問題を解消するためにな
されたものであり、各処理ユニットを立体的に配置する
ことにより、省スペース化を達成し、しかも清浄度の低
下を抑制し、さらに動力付帯工事の低コスト化を図るこ
とができる液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造
装置を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置の
製法は、クリーンルーム内部における、少なくとも2段
以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿
って隣接した2つの処理ユニットのあいだが連通されて
なる製造装置を用いた、液晶表示装置の製法であって、
少なくとも1個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に
処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対し
て、上方から清浄化された空気を供給し、下方から処理
ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出し、か
つ前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記
ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、
垂直または水平方向に移動せしめることを特徴とする。
【0022】また、本発明の液晶表示装置用の製造装置
は、クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニ
ットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
(1)前記処理ユニットは、少なくとも2段以上立体的
に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した
2つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最
上段の処理ユニットの上部が開放されており、(2)前
記処理ユニットのそれぞれの上部には処理ユニット内部
の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けら
れており、(3)前記処理ユニットの後方側には、それ
ぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されて
おり、(4)該排気ダクト内部には前記処理ユニット間
をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが
移動自在に配設されており、(5)前記排気ダクトの背
面下部には、排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連
通せしめる連通管が接続されてなることを特徴とする。
【0023】
【作用】本発明によれば、複数個の処理ユニットを立体
的に配置することにより、当該液晶表示装置の占有面積
を大幅に縮小することができる。
【0024】また、各処理ユニットの空気の出入をみた
ばあい、まず、空気をフィルターユニットを通過させる
ことによって清浄化させたのち、最上段の処理ユニット
へ供給し、ついで、供給された空気の少なくとも一部を
下方からフィルターユニットを介して下段の処理ユニッ
トへ供給する。そののち、最下段の処理ユニットなどか
ら排出された空気のすべてを連通管を介してクリーンル
ーム外部へ排出する。したがって、クリーンルームの空
気を汚さない。
【0025】
【実施例】つぎに、図面を参照しながら、本発明の液晶
表示装置の製法およびそれに用いる製造装置を詳細に説
明する。図1は本発明の製造装置の一実施例の構成を示
す模式図、図2は図1のII−II線断面図である。
【0026】図1〜2に示される液晶表示装置用の製造
装置は、その内部が大きく分けて6つのスペースに区画
されている。すなわち、1段につき2区画を垂直方向に
3段重ねて構成されている。これらの区画のうち、図1
中の左列最下段の区画は、ローダ・アンローダ部1であ
り、カセット6が載置可能な構造になっている。その他
の5つの区画は処理ユニット11〜15であり、各処理
ユニットの詳細については後述する。
【0027】また、ローダ・アンローダ部1および処理
ユニット11〜15は垂直方向または水平方向に沿って
隣接した2つの処理ユニットのあいだ(またはローダ・
アンローダ部と処理ユニットとのあいだ)が連通され、
かつ最上段の処理ユニット14および15の上部が開放
されている。ローダ・アンローダ部1および処理ユニッ
ト11〜15のそれぞれの上部には、処理ユニット内部
に供給される空気を清浄にするためのフィルターユニッ
ト16が設けられている。
【0028】そして、図2に示されるように、前記ロー
ダ・アンローダ部1および処理ユニット11〜15の後
方側には、ローダ・アンローダ部1および処理ユニット
11〜15のそれぞれと連通する排気ダクト17が設け
られている。この排気ダクト17内部には、前記ローダ
・アンローダ部1および処理ユニット11〜15のあい
だをガラス基板を搬送するためのハンドリングロボット
10が移動可能に配設されている。
【0029】前記排気ダクト17の背面下部には、排気
ダクト17内部をクリーンルーム外部へ連通せしめるた
めの連通管18が設けられている。
【0030】ハンドリングロボット10は、排気ダクト
17の内部を垂直方向および水平方向の両方について移
動できるようになっており、しかも伸縮自在のロボット
アームAの適宜の位置に設けられた真空チャックなどを
用いてガラス基板を真空吸着することにより、各処理ユ
ニット間のガラス基板の移動を可能にするように構成さ
れている。
【0031】前記処理ユニット11〜15には、具体的
には、以下のユニットがそれぞれ配設される。
【0032】11はスクラバー部であり、ガラス基板上
の異物を除去する。
【0033】12は乾燥部であり、ホットプレートなど
で、ガラス基板を乾燥させる。
【0034】13は感光性樹脂塗布部(コータ部)であ
り、ガラス基板を高速回転させたときに生じる遠心力を
利用してガラス基板上に、たとえば厚さ5000オング
ストローム程度の感光性樹脂を塗布する。
【0035】14はベーク部であり、ホットプレート上
でガラス基板に塗布された感光性樹脂をベークし硬化さ
せる。
【0036】15はバッファ部であり、作製される液晶
表示装置の仕様によって必要な処理ユニットを付加する
ことができる。このバッファ部15に付加される処理ユ
ニットとして、たとえば、ハードベークが必要なばあい
の前記ベーク部14の他にさらにもう1つの高温用ホッ
トプレートユニット、または次工程で用いられるカセッ
トへガラス基板を移しかえるためのユニットなどがあげ
られる。
【0037】また、各処理ユニットなどの上部に取り付
けられフィルターユニット16は、処理ユニット内部の
清浄度を、クラス10などの所定の基準に保つことがで
きる仕様になっている。とくに、フィルターユニット1
6として、HEPA(High Efficiency
Particulate Absolute)フィル
ターを用いれば、高い清浄度を達成することができる。
しかもHEPAフィルタを用いるばあい、通常、風速が
0.4〜0.5m/秒程度で吹き出しているため、各処
理ユニットの入口(排気ダクト17に面する後部開口)
にエアカーテンを作るため外部空気の誘引を防止するこ
とができる。
【0038】排気ダクト17は各処理ユニット内部の、
MMP(Methyl 3−methoxy prop
ionate)シンナーまたはレジスト材料などの薬剤
に含まれる有機成分を含む空気を連通管18を介してク
リーンルーム外部へ排気するようになっている。また、
排気ダクト17は、ハンドリングロボット10のための
カバーとしての役目も果たしている。
【0039】なお、9は、ユニットのレベル出し用のア
ジャストボルトである。
【0040】つぎに、図1〜2に示される製造装置を用
いた液晶表示装置の製法について説明する。
【0041】まず、前工程、たとえば、成膜工程から送
られたガラス基板を収納したカセット6をローダ・アン
ローダ部1のカセット載置部へ載置する。
【0042】載置されたカセット6内部のガラス基板は
ハンドリングロボット10によって、矢印19の方向に
搬送され、スクラバー部11へ送られる。
【0043】ハンドリングロボット10によるガラス基
板の搬送動作は、具体的には、(1)ロボットアームA
をガラス基板の下方に伸ばす、(2)ガラス基板をロボ
ットアームAに真空吸着させる、(3)ロボットアーム
Aを縮めて、ガラス基板をローダ・アンローダ部1の区
画から排気ダクト17の内部へ移動させる、(4)ハン
ドリングロボット10を矢印19の方向、すなわちスク
ラバー部11の後方へ移動させる、(5)ロボットアー
ムAをのばし、そののち真空吸着を解除してガラス基板
をスクラバー部11内部に載置させるという手順で行わ
れる。
【0044】スクラバー部11では、モヘアブラシなど
でガラス基板上の異物を除去し、ついでハンドリングロ
ボット10を用いて、前述の搬送動作と同様にしてガラ
ス基板を矢印20の方向に移動させ、乾燥部12へ搬送
する。
【0045】つぎに、乾燥部12でホットプレートなど
でガラス基板を完全に乾燥し、ハンドリングロボット1
0を用いて、前述の搬送動作と同様にして、矢印21の
方向へ移動させ、コータ部13へ搬送する。
【0046】さらに、コータ部13でガラス基板上に感
光性樹脂を遠心力で、たとえば厚さ5000オングスト
ローム程度に塗布する。
【0047】塗布の完了したガラス基板は、ハンドリン
グロボット10を用いて、前述の搬送動作と同様にし
て、矢印22の方向へ移動させ、ベーク部14へ搬送す
る。
【0048】このベーク部14では、ホットプレートな
どでガラス基板上の感光性樹脂をベークし硬化させる。
【0049】以上で、図1の製造装置内における一連の
製造処理は完了する。製造完了したガラス基板は、ハン
ドリングロボット10により、矢印23、24、25の
順に搬送され、ローダ・アンローダ部1のカセット6内
に再び収納される。
【0050】なお、前述のように、ガラス基板にそれぞ
れの処理を施しているあいだ、各処理ユニットで有機成
分を含んだ薬剤を使用するが、すべての前記処理ユニッ
ト11〜15およびローダ・アンローダ部1に対して、
上方からフィルターユニット16によって清浄化された
空気を供給し、下方から処理ユニット内部の空気を排気
ダクト17内部に設けられた送風機(図示せず)によ
り、たとえば−40〜−80Pa程度の排気圧力で排気
させ、排気ダクト17および連通管18を介してクリー
ンルーム外部へ空気を排出するので、クリーンルーム内
部に有機成分などが拡散することがない。
【0051】また、前記実施例では、とくにフォトグラ
フィ工程を含む液晶表示装置の製法について説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなくウェット処
理工程またはガラス基板キュア工程などのような、多く
の処理ユニットを必要とする工程を含む製法についても
適宜、処理ユニットの数、配置、とくに段数などを適宜
変更することにより、実施可能であることはいうまでも
ない。
【0052】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明においては各
処理ユニットを立体的に配置し、かつ処理ユニットの後
方側に配設された排気ダクトを用いて排気している。こ
れにより、つぎのような効果がえられる。
【0053】(1)クリーンルーム内での装置の占有面
積が大幅に縮小できるため、クリーンルームも小型化す
ることができ、その結果、クリーンルームのランニング
コストを削減することができる。
【0054】(2)各処理ユニットを排気ダクトで排気
しているため、有機成分がクリーンルーム内に拡散する
ことがなく、クリーンルームの清浄化の低下を抑制する
ことができる。
【0055】(3)各処理ユニットを一定の外形寸法に
して、いわば標準化を達成することができるため、製造
装置の価格を安価にすることができる。
【0056】(4)各処理ユニットが立体に配置されて
いるため、2次側付帯動力工事、具体的には、有機成分
を排気するための排気設備の接続工事のばあい、各処理
ユニットの後方側が共通の排気ダクトに接続されている
ため、排気ダクトに1箇所だけ送風機などの排気用の動
力源を接続すれば、全処理ユニットの排気ユニットが可
能になるため、工事のコストが安価になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の製造装置の一実施例の構成を示す模式
図である。
【図2】図2は図1のII−II線断面図である。
【図3】従来の液晶表示装置用製造装置の正面説明図で
ある。
【符号の説明】
1 ローダ・アンローダ部 6 カセット 10 ハンドリングロボット 11 処理ユニット(スクラバー部) 12 処理ユニット(乾燥部) 13 処理ユニット(コータ部) 14 処理ユニット(ベーク部) 15 処理ユニット(バッファ部) 16 フィルターユニット 17 排気ダクト 18 連通管

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 クリーンルーム内部における、少なくと
    も2段以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方
    向に沿って隣接した2つの処理ユニットのあいだが連通
    されてなる製造装置を用いた、液晶表示装置の製法であ
    って、 少なくとも1個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に
    処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対し
    て、上方から清浄化された空気を供給し、下方から処理
    ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出し、か
    つ前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記
    ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、
    垂直または水平方向に移動せしめることを特徴とする液
    晶表示装置の製法。
  2. 【請求項2】 クリーンルーム内部に配設される、複数
    の処理ユニットを有する液晶表示装置用の製造装置であ
    って、(1)前記処理ユニットは、少なくとも2段以上
    立体的に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣
    接した2つの処理ユニットのあいだが連通されており、
    かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、
    (2)前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユ
    ニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニッ
    トが設けられており、(3)前記処理ユニットの後方側
    には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが
    配設されており、(4)該排気ダクト内部には前記処理
    ユニット間をガラス基板を搬送するためのハンドリング
    ロボットが移動自在に配設されており、(5)前記排気
    ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム
    外部へ連通せしめる連通管が接続されてなることを特徴
    とする液晶表示装置用の製造装置。
JP07165339A 1995-06-30 1995-06-30 液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置 Expired - Lifetime JP3113936B2 (ja)

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