JP3113936B2 - 液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置 - Google Patents
液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置の製法およ
びそれに用いる製造装置に関する。さらに詳しくは、複
数個の処理ユニットを立体配置することにより、省スペ
ース化を達成することができる液晶表示装置の製法およ
びそれに用いる製造装置に関する。
びそれに用いる製造装置に関する。さらに詳しくは、複
数個の処理ユニットを立体配置することにより、省スペ
ース化を達成することができる液晶表示装置の製法およ
びそれに用いる製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液晶表示装置を製造するばあ
い、フォトグラフィー工程などの複数工程の処理をガラ
ス基板に施している。
い、フォトグラフィー工程などの複数工程の処理をガラ
ス基板に施している。
【０００３】図３は従来の液晶表示装置を製造するため
の製造装置の正面説明図であり、この製造装置は、複数
の処理ユニット３２〜３４が水平に配置され、隣接する
２つの処理ユニット同士が互いに連通されることにより
構成されている。
の製造装置の正面説明図であり、この製造装置は、複数
の処理ユニット３２〜３４が水平に配置され、隣接する
２つの処理ユニット同士が互いに連通されることにより
構成されている。
【０００４】図３において、３１はローダ部でカセット
載置部とカセット内のガラス基板を取り出すためのハン
ドリングロボット（図示せず）を具備している。このハ
ンドリングロボットは、処理ユニット３２〜３４のそれ
ぞれの後方側を水平移動できるようになっている。
載置部とカセット内のガラス基板を取り出すためのハン
ドリングロボット（図示せず）を具備している。このハ
ンドリングロボットは、処理ユニット３２〜３４のそれ
ぞれの後方側を水平移動できるようになっている。
【０００５】ここで、処理ユニット３２〜３４は、たと
えば、３２はスクラバー・乾燥部で、ガラス基板表面の
異物を除去し、さらにガラス基板の乾燥も行ない、３３
はコータ部で、ガラス基板上に感光性樹脂を回転塗布
し、３４はベーク部で、ホットプレートを有しており、
このホットプレートにより、ガラス基板上の感光性樹脂
を硬化させる。
えば、３２はスクラバー・乾燥部で、ガラス基板表面の
異物を除去し、さらにガラス基板の乾燥も行ない、３３
はコータ部で、ガラス基板上に感光性樹脂を回転塗布
し、３４はベーク部で、ホットプレートを有しており、
このホットプレートにより、ガラス基板上の感光性樹脂
を硬化させる。
【０００６】３５はアンローダ部で、プロセス処理の終
わったガラス基板をローダ部と同様にカセット載置部と
カセット内にガラス基板を収納するハンドリングロボッ
ト（図示せず）を具備している。
わったガラス基板をローダ部と同様にカセット載置部と
カセット内にガラス基板を収納するハンドリングロボッ
ト（図示せず）を具備している。
【０００７】３６、３７はガラス基板を収納するカセッ
トで、３８は防塵用透明カバーである。
トで、３８は防塵用透明カバーである。
【０００８】３９はユニットのレベル出し用、すなわち
高さ調節用のアジャストボルトである。
高さ調節用のアジャストボルトである。
【０００９】つぎに、図３の製造装置を用いた液晶表示
装置の製法について順に説明する。
装置の製法について順に説明する。
【００１０】まず、前記製造装置にくる直前の前工程、
たとえば、成膜工程から送られたガラス基板を収納した
カセット３６をローダ部３１のカセット載置台に載置す
る。
たとえば、成膜工程から送られたガラス基板を収納した
カセット３６をローダ部３１のカセット載置台に載置す
る。
【００１１】つぎに、載置されたカセット３６内のガラ
ス基板をハンドリングロボットで１枚ずつ取り出し、ス
クラバー・乾燥部３２へ搬送する。
ス基板をハンドリングロボットで１枚ずつ取り出し、ス
クラバー・乾燥部３２へ搬送する。
【００１２】このスクラバー・乾燥部３２では、まずス
クラバー部でガラス基板をチャック（図示せず）により
把持し、ついで、たとえばモヘアブラシなどでガラス基
板上の異物を除去し、そののち乾燥部でガラス基板を乾
燥させる。
クラバー部でガラス基板をチャック（図示せず）により
把持し、ついで、たとえばモヘアブラシなどでガラス基
板上の異物を除去し、そののち乾燥部でガラス基板を乾
燥させる。
【００１３】つぎに、乾燥されたガラス基板を、装置内
の搬送機構によって、コータ部３３へ送り、ガラス基板
上に感光性樹脂をたとえば厚さ５０００オングストロー
ム程度に回転塗布する。
の搬送機構によって、コータ部３３へ送り、ガラス基板
上に感光性樹脂をたとえば厚さ５０００オングストロー
ム程度に回転塗布する。
【００１４】さらに、感光性樹脂を塗布したガラス基板
を、ベーク部３４へ送り、ホットプレートなどでベーク
して硬化させる。
を、ベーク部３４へ送り、ホットプレートなどでベーク
して硬化させる。
【００１５】最後に、硬化が完了したガラス基板を、ア
ンローダ部３５へ送り、ハンドリングロボットでカセッ
ト３７内に１枚ずつ収納する。
ンローダ部３５へ送り、ハンドリングロボットでカセッ
ト３７内に１枚ずつ収納する。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記液
晶表示装置の製法では、ガラス基板を水平に搬送して順
次処理ユニット３２〜３４で処理を施しているため、以
下の（１）〜（３）の問題がある。
晶表示装置の製法では、ガラス基板を水平に搬送して順
次処理ユニット３２〜３４で処理を施しているため、以
下の（１）〜（３）の問題がある。
【００１７】（１）前記製造装置が収容されたクリーン
ルームにおいて、当該製造装置の占有面積が大きくな
り、その結果、クリーンルームが大型化し、それに伴い
クリーンルームのランニングコストが増大する。
ルームにおいて、当該製造装置の占有面積が大きくな
り、その結果、クリーンルームが大型化し、それに伴い
クリーンルームのランニングコストが増大する。
【００１８】（２）前記製造装置の外周部は、防塵カバ
ーのみで仕切られているため、各ユニットで使用する有
機成分がクリーンルーム内に拡散し、当該クリーンルー
ムの清浄度を低下させる。
ーのみで仕切られているため、各ユニットで使用する有
機成分がクリーンルーム内に拡散し、当該クリーンルー
ムの清浄度を低下させる。
【００１９】（３）各処理ユニットが水平に構成されて
いるため、たとえば排気設備の接続工事のばあい、各ユ
ニット毎に排気管および排気用の動力源などを接続する
ため、動力付帯工事が高価になる。
いるため、たとえば排気設備の接続工事のばあい、各ユ
ニット毎に排気管および排気用の動力源などを接続する
ため、動力付帯工事が高価になる。
【００２０】本発明は、かかる問題を解消するためにな
されたものであり、各処理ユニットを立体的に配置する
ことにより、省スペース化を達成し、しかも清浄度の低
下を抑制し、さらに動力付帯工事の低コスト化を図るこ
とができる液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造
装置を提供することを目的とする。
されたものであり、各処理ユニットを立体的に配置する
ことにより、省スペース化を達成し、しかも清浄度の低
下を抑制し、さらに動力付帯工事の低コスト化を図るこ
とができる液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造
装置を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置の
製法は、クリーンルーム内部における、少なくとも２段
以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿
って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されて
なる製造装置を用いた、液晶表示装置の製法であって、
少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に
処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対し
て、上方から清浄化された空気を供給し、下方から処理
ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出し、か
つ前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記
ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、
垂直または水平方向に移動せしめることを特徴とする。
製法は、クリーンルーム内部における、少なくとも２段
以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方向に沿
って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通されて
なる製造装置を用いた、液晶表示装置の製法であって、
少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に
処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対し
て、上方から清浄化された空気を供給し、下方から処理
ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出し、か
つ前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記
ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、
垂直または水平方向に移動せしめることを特徴とする。
【００２２】また、本発明の液晶表示装置用の製造装置
は、クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニ
ットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上立体的
に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した
２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最
上段の処理ユニットの上部が開放されており、（２）前
記処理ユニットのそれぞれの上部には処理ユニット内部
の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けら
れており、（３）前記処理ユニットの後方側には、それ
ぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されて
おり、（４）該排気ダクト内部には前記処理ユニット間
をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが
移動自在に配設されており、（５）前記排気ダクトの背
面下部には、排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連
通せしめる連通管が接続されてなることを特徴とする。
は、クリーンルーム内部に配設される、複数の処理ユニ
ットを有する液晶表示装置用の製造装置であって、
（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上立体的
に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣接した
２つの処理ユニットのあいだが連通されており、かつ最
上段の処理ユニットの上部が開放されており、（２）前
記処理ユニットのそれぞれの上部には処理ユニット内部
の空気を清浄にするためのフィルターユニットが設けら
れており、（３）前記処理ユニットの後方側には、それ
ぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが配設されて
おり、（４）該排気ダクト内部には前記処理ユニット間
をガラス基板を搬送するためのハンドリングロボットが
移動自在に配設されており、（５）前記排気ダクトの背
面下部には、排気ダクト内部をクリーンルーム外部へ連
通せしめる連通管が接続されてなることを特徴とする。
【００２３】
【作用】本発明によれば、複数個の処理ユニットを立体
的に配置することにより、当該液晶表示装置の占有面積
を大幅に縮小することができる。
的に配置することにより、当該液晶表示装置の占有面積
を大幅に縮小することができる。
【００２４】また、各処理ユニットの空気の出入をみた
ばあい、まず、空気をフィルターユニットを通過させる
ことによって清浄化させたのち、最上段の処理ユニット
へ供給し、ついで、供給された空気の少なくとも一部を
下方からフィルターユニットを介して下段の処理ユニッ
トへ供給する。そののち、最下段の処理ユニットなどか
ら排出された空気のすべてを連通管を介してクリーンル
ーム外部へ排出する。したがって、クリーンルームの空
気を汚さない。
ばあい、まず、空気をフィルターユニットを通過させる
ことによって清浄化させたのち、最上段の処理ユニット
へ供給し、ついで、供給された空気の少なくとも一部を
下方からフィルターユニットを介して下段の処理ユニッ
トへ供給する。そののち、最下段の処理ユニットなどか
ら排出された空気のすべてを連通管を介してクリーンル
ーム外部へ排出する。したがって、クリーンルームの空
気を汚さない。
【００２５】
【実施例】つぎに、図面を参照しながら、本発明の液晶
表示装置の製法およびそれに用いる製造装置を詳細に説
明する。図１は本発明の製造装置の一実施例の構成を示
す模式図、図２は図１のII−II線断面図である。
表示装置の製法およびそれに用いる製造装置を詳細に説
明する。図１は本発明の製造装置の一実施例の構成を示
す模式図、図２は図１のII−II線断面図である。
【００２６】図１〜２に示される液晶表示装置用の製造
装置は、その内部が大きく分けて６つのスペースに区画
されている。すなわち、１段につき２区画を垂直方向に
３段重ねて構成されている。これらの区画のうち、図１
中の左列最下段の区画は、ローダ・アンローダ部１であ
り、カセット６が載置可能な構造になっている。その他
の５つの区画は処理ユニット１１〜１５であり、各処理
ユニットの詳細については後述する。
装置は、その内部が大きく分けて６つのスペースに区画
されている。すなわち、１段につき２区画を垂直方向に
３段重ねて構成されている。これらの区画のうち、図１
中の左列最下段の区画は、ローダ・アンローダ部１であ
り、カセット６が載置可能な構造になっている。その他
の５つの区画は処理ユニット１１〜１５であり、各処理
ユニットの詳細については後述する。
【００２７】また、ローダ・アンローダ部１および処理
ユニット１１〜１５は垂直方向または水平方向に沿って
隣接した２つの処理ユニットのあいだ（またはローダ・
アンローダ部と処理ユニットとのあいだ）が連通され、
かつ最上段の処理ユニット１４および１５の上部が開放
されている。ローダ・アンローダ部１および処理ユニッ
ト１１〜１５のそれぞれの上部には、処理ユニット内部
に供給される空気を清浄にするためのフィルターユニッ
ト１６が設けられている。
ユニット１１〜１５は垂直方向または水平方向に沿って
隣接した２つの処理ユニットのあいだ（またはローダ・
アンローダ部と処理ユニットとのあいだ）が連通され、
かつ最上段の処理ユニット１４および１５の上部が開放
されている。ローダ・アンローダ部１および処理ユニッ
ト１１〜１５のそれぞれの上部には、処理ユニット内部
に供給される空気を清浄にするためのフィルターユニッ
ト１６が設けられている。
【００２８】そして、図２に示されるように、前記ロー
ダ・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５の後
方側には、ローダ・アンローダ部１および処理ユニット
１１〜１５のそれぞれと連通する排気ダクト１７が設け
られている。この排気ダクト１７内部には、前記ローダ
・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５のあい
だをガラス基板を搬送するためのハンドリングロボット
１０が移動可能に配設されている。
ダ・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５の後
方側には、ローダ・アンローダ部１および処理ユニット
１１〜１５のそれぞれと連通する排気ダクト１７が設け
られている。この排気ダクト１７内部には、前記ローダ
・アンローダ部１および処理ユニット１１〜１５のあい
だをガラス基板を搬送するためのハンドリングロボット
１０が移動可能に配設されている。
【００２９】前記排気ダクト１７の背面下部には、排気
ダクト１７内部をクリーンルーム外部へ連通せしめるた
めの連通管１８が設けられている。
ダクト１７内部をクリーンルーム外部へ連通せしめるた
めの連通管１８が設けられている。
【００３０】ハンドリングロボット１０は、排気ダクト
１７の内部を垂直方向および水平方向の両方について移
動できるようになっており、しかも伸縮自在のロボット
アームＡの適宜の位置に設けられた真空チャックなどを
用いてガラス基板を真空吸着することにより、各処理ユ
ニット間のガラス基板の移動を可能にするように構成さ
れている。
１７の内部を垂直方向および水平方向の両方について移
動できるようになっており、しかも伸縮自在のロボット
アームＡの適宜の位置に設けられた真空チャックなどを
用いてガラス基板を真空吸着することにより、各処理ユ
ニット間のガラス基板の移動を可能にするように構成さ
れている。
【００３１】前記処理ユニット１１〜１５には、具体的
には、以下のユニットがそれぞれ配設される。
には、以下のユニットがそれぞれ配設される。
【００３２】１１はスクラバー部であり、ガラス基板上
の異物を除去する。
の異物を除去する。
【００３３】１２は乾燥部であり、ホットプレートなど
で、ガラス基板を乾燥させる。
で、ガラス基板を乾燥させる。
【００３４】１３は感光性樹脂塗布部（コータ部）であ
り、ガラス基板を高速回転させたときに生じる遠心力を
利用してガラス基板上に、たとえば厚さ５０００オング
ストローム程度の感光性樹脂を塗布する。
り、ガラス基板を高速回転させたときに生じる遠心力を
利用してガラス基板上に、たとえば厚さ５０００オング
ストローム程度の感光性樹脂を塗布する。
【００３５】１４はベーク部であり、ホットプレート上
でガラス基板に塗布された感光性樹脂をベークし硬化さ
せる。
でガラス基板に塗布された感光性樹脂をベークし硬化さ
せる。
【００３６】１５はバッファ部であり、作製される液晶
表示装置の仕様によって必要な処理ユニットを付加する
ことができる。このバッファ部１５に付加される処理ユ
ニットとして、たとえば、ハードベークが必要なばあい
の前記ベーク部１４の他にさらにもう１つの高温用ホッ
トプレートユニット、または次工程で用いられるカセッ
トへガラス基板を移しかえるためのユニットなどがあげ
られる。
表示装置の仕様によって必要な処理ユニットを付加する
ことができる。このバッファ部１５に付加される処理ユ
ニットとして、たとえば、ハードベークが必要なばあい
の前記ベーク部１４の他にさらにもう１つの高温用ホッ
トプレートユニット、または次工程で用いられるカセッ
トへガラス基板を移しかえるためのユニットなどがあげ
られる。
【００３７】また、各処理ユニットなどの上部に取り付
けられフィルターユニット１６は、処理ユニット内部の
清浄度を、クラス１０などの所定の基準に保つことがで
きる仕様になっている。とくに、フィルターユニット１
６として、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ
Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｂｓｏｌｕｔｅ）フィル
ターを用いれば、高い清浄度を達成することができる。
しかもＨＥＰＡフィルタを用いるばあい、通常、風速が
０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出しているため、各処
理ユニットの入口（排気ダクト１７に面する後部開口）
にエアカーテンを作るため外部空気の誘引を防止するこ
とができる。
けられフィルターユニット１６は、処理ユニット内部の
清浄度を、クラス１０などの所定の基準に保つことがで
きる仕様になっている。とくに、フィルターユニット１
６として、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ
Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｂｓｏｌｕｔｅ）フィル
ターを用いれば、高い清浄度を達成することができる。
しかもＨＥＰＡフィルタを用いるばあい、通常、風速が
０．４〜０．５ｍ／秒程度で吹き出しているため、各処
理ユニットの入口（排気ダクト１７に面する後部開口）
にエアカーテンを作るため外部空気の誘引を防止するこ
とができる。
【００３８】排気ダクト１７は各処理ユニット内部の、
ＭＭＰ（Ｍｅｔｈｙｌ ３−ｍｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐ
ｉｏｎａｔｅ)シンナーまたはレジスト材料などの薬剤
に含まれる有機成分を含む空気を連通管１８を介してク
リーンルーム外部へ排気するようになっている。また、
排気ダクト１７は、ハンドリングロボット１０のための
カバーとしての役目も果たしている。
ＭＭＰ（Ｍｅｔｈｙｌ ３−ｍｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐ
ｉｏｎａｔｅ)シンナーまたはレジスト材料などの薬剤
に含まれる有機成分を含む空気を連通管１８を介してク
リーンルーム外部へ排気するようになっている。また、
排気ダクト１７は、ハンドリングロボット１０のための
カバーとしての役目も果たしている。
【００３９】なお、９は、ユニットのレベル出し用のア
ジャストボルトである。
ジャストボルトである。
【００４０】つぎに、図１〜２に示される製造装置を用
いた液晶表示装置の製法について説明する。
いた液晶表示装置の製法について説明する。
【００４１】まず、前工程、たとえば、成膜工程から送
られたガラス基板を収納したカセット６をローダ・アン
ローダ部１のカセット載置部へ載置する。
られたガラス基板を収納したカセット６をローダ・アン
ローダ部１のカセット載置部へ載置する。
【００４２】載置されたカセット６内部のガラス基板は
ハンドリングロボット１０によって、矢印１９の方向に
搬送され、スクラバー部１１へ送られる。
ハンドリングロボット１０によって、矢印１９の方向に
搬送され、スクラバー部１１へ送られる。
【００４３】ハンドリングロボット１０によるガラス基
板の搬送動作は、具体的には、（１）ロボットアームＡ
をガラス基板の下方に伸ばす、（２）ガラス基板をロボ
ットアームＡに真空吸着させる、（３）ロボットアーム
Ａを縮めて、ガラス基板をローダ・アンローダ部１の区
画から排気ダクト１７の内部へ移動させる、（４）ハン
ドリングロボット１０を矢印１９の方向、すなわちスク
ラバー部１１の後方へ移動させる、（５）ロボットアー
ムＡをのばし、そののち真空吸着を解除してガラス基板
をスクラバー部１１内部に載置させるという手順で行わ
れる。
板の搬送動作は、具体的には、（１）ロボットアームＡ
をガラス基板の下方に伸ばす、（２）ガラス基板をロボ
ットアームＡに真空吸着させる、（３）ロボットアーム
Ａを縮めて、ガラス基板をローダ・アンローダ部１の区
画から排気ダクト１７の内部へ移動させる、（４）ハン
ドリングロボット１０を矢印１９の方向、すなわちスク
ラバー部１１の後方へ移動させる、（５）ロボットアー
ムＡをのばし、そののち真空吸着を解除してガラス基板
をスクラバー部１１内部に載置させるという手順で行わ
れる。
【００４４】スクラバー部１１では、モヘアブラシなど
でガラス基板上の異物を除去し、ついでハンドリングロ
ボット１０を用いて、前述の搬送動作と同様にしてガラ
ス基板を矢印２０の方向に移動させ、乾燥部１２へ搬送
する。
でガラス基板上の異物を除去し、ついでハンドリングロ
ボット１０を用いて、前述の搬送動作と同様にしてガラ
ス基板を矢印２０の方向に移動させ、乾燥部１２へ搬送
する。
【００４５】つぎに、乾燥部１２でホットプレートなど
でガラス基板を完全に乾燥し、ハンドリングロボット１
０を用いて、前述の搬送動作と同様にして、矢印２１の
方向へ移動させ、コータ部１３へ搬送する。
でガラス基板を完全に乾燥し、ハンドリングロボット１
０を用いて、前述の搬送動作と同様にして、矢印２１の
方向へ移動させ、コータ部１３へ搬送する。
【００４６】さらに、コータ部１３でガラス基板上に感
光性樹脂を遠心力で、たとえば厚さ５０００オングスト
ローム程度に塗布する。
光性樹脂を遠心力で、たとえば厚さ５０００オングスト
ローム程度に塗布する。
【００４７】塗布の完了したガラス基板は、ハンドリン
グロボット１０を用いて、前述の搬送動作と同様にし
て、矢印２２の方向へ移動させ、ベーク部１４へ搬送す
る。
グロボット１０を用いて、前述の搬送動作と同様にし
て、矢印２２の方向へ移動させ、ベーク部１４へ搬送す
る。
【００４８】このベーク部１４では、ホットプレートな
どでガラス基板上の感光性樹脂をベークし硬化させる。
どでガラス基板上の感光性樹脂をベークし硬化させる。
【００４９】以上で、図１の製造装置内における一連の
製造処理は完了する。製造完了したガラス基板は、ハン
ドリングロボット１０により、矢印２３、２４、２５の
順に搬送され、ローダ・アンローダ部１のカセット６内
に再び収納される。
製造処理は完了する。製造完了したガラス基板は、ハン
ドリングロボット１０により、矢印２３、２４、２５の
順に搬送され、ローダ・アンローダ部１のカセット６内
に再び収納される。
【００５０】なお、前述のように、ガラス基板にそれぞ
れの処理を施しているあいだ、各処理ユニットで有機成
分を含んだ薬剤を使用するが、すべての前記処理ユニッ
ト１１〜１５およびローダ・アンローダ部１に対して、
上方からフィルターユニット１６によって清浄化された
空気を供給し、下方から処理ユニット内部の空気を排気
ダクト１７内部に設けられた送風機（図示せず）によ
り、たとえば−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気
させ、排気ダクト１７および連通管１８を介してクリー
ンルーム外部へ空気を排出するので、クリーンルーム内
部に有機成分などが拡散することがない。
れの処理を施しているあいだ、各処理ユニットで有機成
分を含んだ薬剤を使用するが、すべての前記処理ユニッ
ト１１〜１５およびローダ・アンローダ部１に対して、
上方からフィルターユニット１６によって清浄化された
空気を供給し、下方から処理ユニット内部の空気を排気
ダクト１７内部に設けられた送風機（図示せず）によ
り、たとえば−４０〜−８０Ｐａ程度の排気圧力で排気
させ、排気ダクト１７および連通管１８を介してクリー
ンルーム外部へ空気を排出するので、クリーンルーム内
部に有機成分などが拡散することがない。
【００５１】また、前記実施例では、とくにフォトグラ
フィ工程を含む液晶表示装置の製法について説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなくウェット処
理工程またはガラス基板キュア工程などのような、多く
の処理ユニットを必要とする工程を含む製法についても
適宜、処理ユニットの数、配置、とくに段数などを適宜
変更することにより、実施可能であることはいうまでも
ない。
フィ工程を含む液晶表示装置の製法について説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなくウェット処
理工程またはガラス基板キュア工程などのような、多く
の処理ユニットを必要とする工程を含む製法についても
適宜、処理ユニットの数、配置、とくに段数などを適宜
変更することにより、実施可能であることはいうまでも
ない。
【００５２】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明においては各
処理ユニットを立体的に配置し、かつ処理ユニットの後
方側に配設された排気ダクトを用いて排気している。こ
れにより、つぎのような効果がえられる。
処理ユニットを立体的に配置し、かつ処理ユニットの後
方側に配設された排気ダクトを用いて排気している。こ
れにより、つぎのような効果がえられる。
【００５３】（１）クリーンルーム内での装置の占有面
積が大幅に縮小できるため、クリーンルームも小型化す
ることができ、その結果、クリーンルームのランニング
コストを削減することができる。
積が大幅に縮小できるため、クリーンルームも小型化す
ることができ、その結果、クリーンルームのランニング
コストを削減することができる。
【００５４】（２）各処理ユニットを排気ダクトで排気
しているため、有機成分がクリーンルーム内に拡散する
ことがなく、クリーンルームの清浄化の低下を抑制する
ことができる。
しているため、有機成分がクリーンルーム内に拡散する
ことがなく、クリーンルームの清浄化の低下を抑制する
ことができる。
【００５５】（３）各処理ユニットを一定の外形寸法に
して、いわば標準化を達成することができるため、製造
装置の価格を安価にすることができる。
して、いわば標準化を達成することができるため、製造
装置の価格を安価にすることができる。
【００５６】（４）各処理ユニットが立体に配置されて
いるため、２次側付帯動力工事、具体的には、有機成分
を排気するための排気設備の接続工事のばあい、各処理
ユニットの後方側が共通の排気ダクトに接続されている
ため、排気ダクトに１箇所だけ送風機などの排気用の動
力源を接続すれば、全処理ユニットの排気ユニットが可
能になるため、工事のコストが安価になる。
いるため、２次側付帯動力工事、具体的には、有機成分
を排気するための排気設備の接続工事のばあい、各処理
ユニットの後方側が共通の排気ダクトに接続されている
ため、排気ダクトに１箇所だけ送風機などの排気用の動
力源を接続すれば、全処理ユニットの排気ユニットが可
能になるため、工事のコストが安価になる。
【図１】本発明の製造装置の一実施例の構成を示す模式
図である。
図である。
【図２】図２は図１のII−II線断面図である。
【図３】従来の液晶表示装置用製造装置の正面説明図で
ある。
ある。
１ ローダ・アンローダ部 ６ カセット １０ ハンドリングロボット １１ 処理ユニット（スクラバー部） １２ 処理ユニット（乾燥部） １３ 処理ユニット（コータ部） １４ 処理ユニット（ベーク部） １５ 処理ユニット（バッファ部） １６ フィルターユニット １７ 排気ダクト １８ 連通管
Claims (2)
- 【請求項１】 クリーンルーム内部における、少なくと
も２段以上立体的に配置されかつ垂直方向または水平方
向に沿って隣接した２つの処理ユニットのあいだが連通
されてなる製造装置を用いた、液晶表示装置の製法であ
って、 少なくとも１個の処理ユニットにおいて、ガラス基板に
処理を施しているあいだ、すべての処理ユニットに対し
て、上方から清浄化された空気を供給し、下方から処理
ユニット内部の空気をクリーンルーム外部へ排出し、か
つ前記処理ユニットにおける処理が完了したのち、前記
ガラス基板をつぎの処理を行うための処理ユニットへ、
垂直または水平方向に移動せしめることを特徴とする液
晶表示装置の製法。 - 【請求項２】 クリーンルーム内部に配設される、複数
の処理ユニットを有する液晶表示装置用の製造装置であ
って、（１）前記処理ユニットは、少なくとも２段以上
立体的に配置され、垂直方向または水平方向に沿って隣
接した２つの処理ユニットのあいだが連通されており、
かつ最上段の処理ユニットの上部が開放されており、
（２）前記処理ユニットのそれぞれの上部には、処理ユ
ニット内部の空気を清浄にするためのフィルターユニッ
トが設けられており、（３）前記処理ユニットの後方側
には、それぞれの処理ユニットに連通する排気ダクトが
配設されており、（４）該排気ダクト内部には前記処理
ユニット間をガラス基板を搬送するためのハンドリング
ロボットが移動自在に配設されており、（５）前記排気
ダクトの背面下部には排気ダクト内部をクリーンルーム
外部へ連通せしめる連通管が接続されてなることを特徴
とする液晶表示装置用の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07165339A JP3113936B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07165339A JP3113936B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0915547A JPH0915547A (ja) | 1997-01-17 |
| JP3113936B2 true JP3113936B2 (ja) | 2000-12-04 |
Family
ID=15810467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07165339A Expired - Lifetime JP3113936B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 液晶表示装置の製法およびそれに用いる製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3113936B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100430233B1 (ko) * | 2001-07-27 | 2004-05-04 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정디스플레이에 대한 스토커의 청정시스템 |
| JP4062437B2 (ja) | 2003-01-21 | 2008-03-19 | シャープ株式会社 | 基板洗浄装置および基板処理施設 |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP07165339A patent/JP3113936B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0915547A (ja) | 1997-01-17 |
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