JP3111173B2 - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光Ｘ線による定
性分析において、分析対象の元素それぞれについて、Ｘ
線管での電力を最大限に利用して高い感度で測定できる
Ｘ線分析装置に関する。
性分析において、分析対象の元素それぞれについて、Ｘ
線管での電力を最大限に利用して高い感度で測定できる
Ｘ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、蛍光Ｘ線による定性分析にお
いては、試料にＸ線管等のＸ線源から１次Ｘ線を照射
し、試料から発生した蛍光Ｘ線を分光器で回折し、分光
器で回折されたＸ線を検出器で検出する。ここで、分光
器へ蛍光Ｘ線が入射する入射角と、蛍光Ｘ線の延長線と
分光器で回折されたＸ線のなす分光角とをゴニオメータ
で連続的に連動させることにより、試料から発生した蛍
光Ｘ線を種々の波長に分光し、試料に含まれる各元素に
対応する波長の特性Ｘ線（蛍光Ｘ線）を検出している。
従来の装置では、この一連の検出中、Ｘ線管での電力値
は一定の定格値であり、電流値（印加電流値）、電圧値
（印加電圧値）も一定である。
いては、試料にＸ線管等のＸ線源から１次Ｘ線を照射
し、試料から発生した蛍光Ｘ線を分光器で回折し、分光
器で回折されたＸ線を検出器で検出する。ここで、分光
器へ蛍光Ｘ線が入射する入射角と、蛍光Ｘ線の延長線と
分光器で回折されたＸ線のなす分光角とをゴニオメータ
で連続的に連動させることにより、試料から発生した蛍
光Ｘ線を種々の波長に分光し、試料に含まれる各元素に
対応する波長の特性Ｘ線（蛍光Ｘ線）を検出している。
従来の装置では、この一連の検出中、Ｘ線管での電力値
は一定の定格値であり、電流値（印加電流値）、電圧値
（印加電圧値）も一定である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、分析対象の
元素の特性Ｘ線の波長、換言すると、エネルギーまたは
分光角によって、その特性Ｘ線を効率良く発生させるた
めのＸ線管の電流値または電圧値は、Ｘ線管の電力値を
一定としても、異なっている。したがって、従来の装置
では、一連の検出中に、特性Ｘ線の波長によっては低い
強度でしか発生しないものがあり、装置としての感度が
不十分となるので、特に微量しか含まれない元素の検出
が困難となる。
元素の特性Ｘ線の波長、換言すると、エネルギーまたは
分光角によって、その特性Ｘ線を効率良く発生させるた
めのＸ線管の電流値または電圧値は、Ｘ線管の電力値を
一定としても、異なっている。したがって、従来の装置
では、一連の検出中に、特性Ｘ線の波長によっては低い
強度でしか発生しないものがあり、装置としての感度が
不十分となるので、特に微量しか含まれない元素の検出
が困難となる。
【０００４】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、蛍光Ｘ線による定性分析において、分析対象の
元素それぞれについて、Ｘ線管での電力を最大限に利用
して高い感度で測定できるＸ線分析装置を提供すること
を目的とする。
もので、蛍光Ｘ線による定性分析において、分析対象の
元素それぞれについて、Ｘ線管での電力を最大限に利用
して高い感度で測定できるＸ線分析装置を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１のＸ線分析装置では、Ｘ線管の電圧値を、
電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下において、分
光角の増減に応じて、その分光角に対応する２次Ｘ線の
発生強度が最大となるように連続的に設定する制御手段
を備える。
に、請求項１のＸ線分析装置では、Ｘ線管の電圧値を、
電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下において、分
光角の増減に応じて、その分光角に対応する２次Ｘ線の
発生強度が最大となるように連続的に設定する制御手段
を備える。
【０００６】請求項１の装置によれば、制御手段が、Ｘ
線管の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値
以下において、分光角の増減に応じて、その分光角に対
応する２次Ｘ線の発生強度が最大となるように連続的に
設定するので、分析対象の元素それぞれについて、Ｘ線
管での電力を最大限に利用して高い感度で測定できる。
したがって、より微量しか含まれない元素の検出が可能
となり、すなわち、装置の検出下限が低下する。また、
分析条件の設定等において操作手順が複雑化することも
ない。
線管の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値
以下において、分光角の増減に応じて、その分光角に対
応する２次Ｘ線の発生強度が最大となるように連続的に
設定するので、分析対象の元素それぞれについて、Ｘ線
管での電力を最大限に利用して高い感度で測定できる。
したがって、より微量しか含まれない元素の検出が可能
となり、すなわち、装置の検出下限が低下する。また、
分析条件の設定等において操作手順が複雑化することも
ない。
【０００７】請求項２のＸ線分析装置では、Ｘ線管の電
圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下にお
いて、分光角の増減に応じて、その分光角に対応する２
次Ｘ線の発生強度が最大となるように１００分の１kV以
下の単位で、好ましくは１０００分の１kV以下の単位で
設定する制御手段を備える。請求項２の装置によって
も、前記請求項１の装置と同様の作用効果が得られる。
圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下にお
いて、分光角の増減に応じて、その分光角に対応する２
次Ｘ線の発生強度が最大となるように１００分の１kV以
下の単位で、好ましくは１０００分の１kV以下の単位で
設定する制御手段を備える。請求項２の装置によって
も、前記請求項１の装置と同様の作用効果が得られる。
【０００８】請求項３のＸ線分析装置では、Ｘ線管の電
圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下にお
いて、分光角の増減に応じて、分光角に対応する２次Ｘ
線の発生強度が最大となるような最適電圧値の近傍を通
る直線またはなめらかな曲線からなる近似特性線に沿う
ように、連続的に設定する制御手段を備える。
圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下にお
いて、分光角の増減に応じて、分光角に対応する２次Ｘ
線の発生強度が最大となるような最適電圧値の近傍を通
る直線またはなめらかな曲線からなる近似特性線に沿う
ように、連続的に設定する制御手段を備える。
【０００９】請求項３の装置によれば、制御手段が、Ｘ
線管の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値
以下において、分光角の増減に応じて、分光角に対応す
る２次Ｘ線の発生強度が最大となるような最適電圧値の
近傍を通る直線またはなめらかな曲線からなる近似特性
線に沿うように、連続的に設定するので、前記請求項１
の装置と同様の作用効果が得られると同時に、制御手段
ひいては装置全体の構成を簡単なものとすることができ
る。
線管の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値
以下において、分光角の増減に応じて、分光角に対応す
る２次Ｘ線の発生強度が最大となるような最適電圧値の
近傍を通る直線またはなめらかな曲線からなる近似特性
線に沿うように、連続的に設定するので、前記請求項１
の装置と同様の作用効果が得られると同時に、制御手段
ひいては装置全体の構成を簡単なものとすることができ
る。
【００１０】請求項４のＸ線分析装置では、Ｘ線管の電
圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下にお
いて、分光角の増減に応じて、分光角に対応する２次Ｘ
線の発生強度が最大となるような最適電圧値の近傍を通
る直線またはなめらかな曲線からなる近似特性線に沿う
ように、１００分の１kV以下の単位で、好ましくは１０
００分の１kV以下の単位で設定する制御手段を備える。
請求項４の装置によっても、前記請求項３の装置と同様
の作用効果が得られる。
圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下にお
いて、分光角の増減に応じて、分光角に対応する２次Ｘ
線の発生強度が最大となるような最適電圧値の近傍を通
る直線またはなめらかな曲線からなる近似特性線に沿う
ように、１００分の１kV以下の単位で、好ましくは１０
００分の１kV以下の単位で設定する制御手段を備える。
請求項４の装置によっても、前記請求項３の装置と同様
の作用効果が得られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態であ
るＸ線分析装置を図面にしたがって説明する。まず、こ
の装置の構成について説明する。図１に示すように、こ
の装置は、まず、試料１が固定される試料台２と、試料
１に１次Ｘ線３を照射するＸ線管４と、試料１から発生
した蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線５を回折する分光器６と、分
光器６で回折されたＸ線７を検出する検出器８とを備え
ている。
るＸ線分析装置を図面にしたがって説明する。まず、こ
の装置の構成について説明する。図１に示すように、こ
の装置は、まず、試料１が固定される試料台２と、試料
１に１次Ｘ線３を照射するＸ線管４と、試料１から発生
した蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線５を回折する分光器６と、分
光器６で回折されたＸ線７を検出する検出器８とを備え
ている。
【００１２】また、分光器６へ蛍光Ｘ線５が入射する入
射角θと、蛍光Ｘ線５の延長線９と回折されたＸ線７の
なす分光角２θとを連続的に連動させる連動手段１０を
備えている。連動手段１０は、いわゆるゴニオメータで
あり、分光器６を、その表面の中心を通る紙面に垂直な
軸Ｏを中心に回転させ、その回転角の２倍だけ、検出器
８を、軸Ｏを中心に円１２に沿って回転させる。連動手
段１０において、例えば、前記軸Ｏに取り付けたポテン
ショメータ等により、分光器６の回転した結果形成され
る入射角θ、ひいては検出器８の回転した結果形成され
る分光角２θが確認される。さらに、この装置は、Ｘ線
管４の電圧値を、Ｘ線管４の電力値は維持しつつ、Ｘ線
管４の最大負荷電圧値以下において、分光角２θの増減
に応じて、すなわち連動手段１０から得た分光角２θの
値に応じて、その分光角２θに対応する蛍光Ｘ線５の発
生強度が最大となるように連続的に設定する制御手段１
１を備えている。
射角θと、蛍光Ｘ線５の延長線９と回折されたＸ線７の
なす分光角２θとを連続的に連動させる連動手段１０を
備えている。連動手段１０は、いわゆるゴニオメータで
あり、分光器６を、その表面の中心を通る紙面に垂直な
軸Ｏを中心に回転させ、その回転角の２倍だけ、検出器
８を、軸Ｏを中心に円１２に沿って回転させる。連動手
段１０において、例えば、前記軸Ｏに取り付けたポテン
ショメータ等により、分光器６の回転した結果形成され
る入射角θ、ひいては検出器８の回転した結果形成され
る分光角２θが確認される。さらに、この装置は、Ｘ線
管４の電圧値を、Ｘ線管４の電力値は維持しつつ、Ｘ線
管４の最大負荷電圧値以下において、分光角２θの増減
に応じて、すなわち連動手段１０から得た分光角２θの
値に応じて、その分光角２θに対応する蛍光Ｘ線５の発
生強度が最大となるように連続的に設定する制御手段１
１を備えている。
【００１３】ここで、制御手段１１によって、Ｘ線管４
の電圧値を、分光角２θに応じて、どのように設定する
かについて説明する。試料１から発生する元素ｊについ
ての蛍光Ｘ線（特性Ｘ線）５の強度Ｉj は、次の（１）
式で表される。
の電圧値を、分光角２θに応じて、どのように設定する
かについて説明する。試料１から発生する元素ｊについ
ての蛍光Ｘ線（特性Ｘ線）５の強度Ｉj は、次の（１）
式で表される。
【００１４】
【数１】
【００１５】（１）式中のＱi （λ）／Ｘは、元素ｊ等
による既知の物理定数を含むλの関数で、電流値ｉ、電
圧値ｖを含まず、次の（２）〜（３）式で表される。
による既知の物理定数を含むλの関数で、電流値ｉ、電
圧値ｖを含まず、次の（２）〜（３）式で表される。
【００１６】
【数２】
【００１７】
【数３】
【００１８】Ｉ0 （λ）は１次Ｘ線３の強度分布で、次
の（４），（５）式で表される。 Ｉ0 ＝Ｂｉ（λ／λmin −１）／λ3 ＋Ｃｉ（ｖ−ｖ0 ）n …（４） ＝Ｂ（ｗ／ｖ）（λ／λmin −１）／λ3 ＋Ｃ（ｗ／ｖ）（ｖ−ｖ0 ）n …（５） ただし、 ｉ ：Ｘ線管の電流値（単位mA） ｖ ：Ｘ線管の電圧値（単位kV） ｖ0 ：Ｘ線管におけるターゲットの元素の最低励起電圧
（単位kV） ｗ ：Ｘ線管の電力値（単位W ） λmin ：１次Ｘ線の最短波長 Ｂ，Ｃ：既知の定数 さらに、ｎについては、 ２ｖ0 ≦ｖ のとき、１≦ｎ≦２ ｖ0 ＜ｖ＜２ｖ0 のとき、ｎ＝２ また、 ｖ≦ｖ0 のとき、蛍光Ｘ線は励起さ
れない（Ｉ0 ＝０）
の（４），（５）式で表される。 Ｉ0 ＝Ｂｉ（λ／λmin −１）／λ3 ＋Ｃｉ（ｖ−ｖ0 ）n …（４） ＝Ｂ（ｗ／ｖ）（λ／λmin −１）／λ3 ＋Ｃ（ｗ／ｖ）（ｖ−ｖ0 ）n …（５） ただし、 ｉ ：Ｘ線管の電流値（単位mA） ｖ ：Ｘ線管の電圧値（単位kV） ｖ0 ：Ｘ線管におけるターゲットの元素の最低励起電圧
（単位kV） ｗ ：Ｘ線管の電力値（単位W ） λmin ：１次Ｘ線の最短波長 Ｂ，Ｃ：既知の定数 さらに、ｎについては、 ２ｖ0 ≦ｖ のとき、１≦ｎ≦２ ｖ0 ＜ｖ＜２ｖ0 のとき、ｎ＝２ また、 ｖ≦ｖ0 のとき、蛍光Ｘ線は励起さ
れない（Ｉ0 ＝０）
【００１９】さて、λmin は、次の（６）式で表され
る。 λmin ＝１２．４／ｖ …（６） よって、（１）式の積分を実行した結果、（１）式の右
辺はｖの関数となり、元素ｊについて蛍光Ｘ線強度Ｉj
が最大となるような電圧値ｖを定めることができる。し
たがって、連動手段１０によって連続的に変化する分光
角２θに応じて、対応する元素ｊ等による定数を（１）
〜（３），（５）式に代入し、（１）式で得られる蛍光
Ｘ線５の発生強度Ｉj が最大となるように、Ｘ線管４の
電圧値ｖを連続的に設定することが望ましい。
る。 λmin ＝１２．４／ｖ …（６） よって、（１）式の積分を実行した結果、（１）式の右
辺はｖの関数となり、元素ｊについて蛍光Ｘ線強度Ｉj
が最大となるような電圧値ｖを定めることができる。し
たがって、連動手段１０によって連続的に変化する分光
角２θに応じて、対応する元素ｊ等による定数を（１）
〜（３），（５）式に代入し、（１）式で得られる蛍光
Ｘ線５の発生強度Ｉj が最大となるように、Ｘ線管４の
電圧値ｖを連続的に設定することが望ましい。
【００２０】一方、Ｘ線管４が連続して発揮し得る電力
を常に最大限に利用すべく、Ｘ線管４の電力値ｗは、連
続して発揮し得る最大電力値ｗM を維持することが望ま
しい。また、Ｘ線管４の電圧値ｖを、そのＸ線管４の最
大負荷電圧値よりも大きく設定することはできない。結
局、制御手段１１は、（５）式においてｗ＝ｗM （一
定）とし、最大負荷電圧値以下において、分光角２θの
値に応じて、対応する元素ｊ等による定数を（１）〜
（３），（５）式に代入し、（１）式で得られる蛍光Ｘ
線５の発生強度Ｉj が最大となるように、Ｘ線管４の電
圧値ｖを連続的に設定するものであることが望ましい。
を常に最大限に利用すべく、Ｘ線管４の電力値ｗは、連
続して発揮し得る最大電力値ｗM を維持することが望ま
しい。また、Ｘ線管４の電圧値ｖを、そのＸ線管４の最
大負荷電圧値よりも大きく設定することはできない。結
局、制御手段１１は、（５）式においてｗ＝ｗM （一
定）とし、最大負荷電圧値以下において、分光角２θの
値に応じて、対応する元素ｊ等による定数を（１）〜
（３），（５）式に代入し、（１）式で得られる蛍光Ｘ
線５の発生強度Ｉj が最大となるように、Ｘ線管４の電
圧値ｖを連続的に設定するものであることが望ましい。
【００２１】なお、分光角２θの値が小さくなると、
（１）式で得られる蛍光Ｘ線５の発生強度Ｉj が、Ｘ線
管４の最大負荷電圧値を超える場合もあり得るが、この
ような場合には、Ｘ線管４の電圧値ｖを、最大電力値ｗ
M を維持しつつ、最大負荷電圧値に維持する。そうすれ
ば、そのように分光角２θの値が小さい場合において
も、そのＸ線管４を用いて実際に試料１から発生させ得
る蛍光Ｘ線５の強度を最大とすることができる。
（１）式で得られる蛍光Ｘ線５の発生強度Ｉj が、Ｘ線
管４の最大負荷電圧値を超える場合もあり得るが、この
ような場合には、Ｘ線管４の電圧値ｖを、最大電力値ｗ
M を維持しつつ、最大負荷電圧値に維持する。そうすれ
ば、そのように分光角２θの値が小さい場合において
も、そのＸ線管４を用いて実際に試料１から発生させ得
る蛍光Ｘ線５の強度を最大とすることができる。
【００２２】以上のような分光角２θとＸ線管４の電圧
値ｖとの関係の一例を、図２中の一点鎖線Ｌで示す。こ
れは、定数が既知である蛍光Ｘ線について、最大電力値
ｗMを維持しつつ、（１）式で得られる発生強度が最大
となるような最適電圧値を、対応する分光角２θの値に
おいてプロットし、各プロットした点の間を直線でつな
いで補間したものである。ただし、このＸ線管４におい
ては、最大負荷電圧値が７５Ｖであるので、分光角２θ
が５７°以下では、実際の最適電圧値は７５Ｖとなり、
電圧値ｖが７５Ｖに維持されている。この一点鎖線で示
した線は、このＸ線管４を用いて実際に試料１から発生
する蛍光Ｘ線５の強度を最大とするために、求め得る最
適の特性線Ｌということができる。
値ｖとの関係の一例を、図２中の一点鎖線Ｌで示す。こ
れは、定数が既知である蛍光Ｘ線について、最大電力値
ｗMを維持しつつ、（１）式で得られる発生強度が最大
となるような最適電圧値を、対応する分光角２θの値に
おいてプロットし、各プロットした点の間を直線でつな
いで補間したものである。ただし、このＸ線管４におい
ては、最大負荷電圧値が７５Ｖであるので、分光角２θ
が５７°以下では、実際の最適電圧値は７５Ｖとなり、
電圧値ｖが７５Ｖに維持されている。この一点鎖線で示
した線は、このＸ線管４を用いて実際に試料１から発生
する蛍光Ｘ線５の強度を最大とするために、求め得る最
適の特性線Ｌということができる。
【００２３】次に、第１実施形態の装置の動作について
説明する。試料台２に試料１を固定し、試料１にＸ線管
４から１次Ｘ線３を照射し、試料１から発生した蛍光Ｘ
線５を分光器６で回折し、分光器６で回折されたＸ線７
を検出器８で検出する。ここで、入射角θと分光角２θ
とを連動手段１０で連続的に連動させることにより、試
料１から発生した蛍光Ｘ線５を種々の波長に分光し、試
料１に含まれる各元素に対応する波長の特性Ｘ線７を検
出する。
説明する。試料台２に試料１を固定し、試料１にＸ線管
４から１次Ｘ線３を照射し、試料１から発生した蛍光Ｘ
線５を分光器６で回折し、分光器６で回折されたＸ線７
を検出器８で検出する。ここで、入射角θと分光角２θ
とを連動手段１０で連続的に連動させることにより、試
料１から発生した蛍光Ｘ線５を種々の波長に分光し、試
料１に含まれる各元素に対応する波長の特性Ｘ線７を検
出する。
【００２４】さらに、この装置では、前記一連の検出
中、制御手段１１により、Ｘ線管４の電圧値ｖを、電力
値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下において、分光角
２θの増減に応じて、その分光角２θに対応する蛍光Ｘ
線５の発生強度Ｉj が最大となるように連続的に設定す
る。換言すると、Ｘ線管４の電圧値ｖを、連動手段１０
から得た分光角２θの値に応じて、前記図２中に一点鎖
線で示した最適の特性線Ｌに沿うように、連続的に設定
する。したがって、第１実施形態の装置によれば、分析
対象の元素それぞれについて、Ｘ線管４の電圧値ｖを適
切に設定し、Ｘ線管４での一定電力ｗM を最大限に利用
して高い感度で測定できる。
中、制御手段１１により、Ｘ線管４の電圧値ｖを、電力
値は維持しつつ、最大負荷電圧値以下において、分光角
２θの増減に応じて、その分光角２θに対応する蛍光Ｘ
線５の発生強度Ｉj が最大となるように連続的に設定す
る。換言すると、Ｘ線管４の電圧値ｖを、連動手段１０
から得た分光角２θの値に応じて、前記図２中に一点鎖
線で示した最適の特性線Ｌに沿うように、連続的に設定
する。したがって、第１実施形態の装置によれば、分析
対象の元素それぞれについて、Ｘ線管４の電圧値ｖを適
切に設定し、Ｘ線管４での一定電力ｗM を最大限に利用
して高い感度で測定できる。
【００２５】次に、第２実施形態であるＸ線分析装置に
ついて説明する。第２実施形態の装置は、制御手段１１
が、Ｘ線管４の電圧値ｖを、最大電力値ｗM は維持しつ
つ、最大負荷電圧値以下において、分光角２θの増減に
応じて、分光角２θに対応する蛍光Ｘ線５の発生強度Ｉ
j が最大となるような最適電圧値の近傍を通る直線また
はなめらかな曲線からなる近似特性線に沿うように、連
続的に設定するものである点で、第１実施形態の装置と
異なる。
ついて説明する。第２実施形態の装置は、制御手段１１
が、Ｘ線管４の電圧値ｖを、最大電力値ｗM は維持しつ
つ、最大負荷電圧値以下において、分光角２θの増減に
応じて、分光角２θに対応する蛍光Ｘ線５の発生強度Ｉ
j が最大となるような最適電圧値の近傍を通る直線また
はなめらかな曲線からなる近似特性線に沿うように、連
続的に設定するものである点で、第１実施形態の装置と
異なる。
【００２６】すなわち、前記図２中に一点鎖線で示した
最適の特性線Ｌは、電圧値ｖが７５Ｖ未満では、複雑な
形状をなすので、第２実施形態の装置においては、ま
ず、７５Ｖ以下における前記（１）式で得られる発生強
度が最大となるような最適電圧値の近傍を通る直線を回
帰計算等により求める。この直線は、例えばこの実施形
態の装置では、次の（７）式で表される。 ｖ＝−１．３１８・２θ＋１４２．１ …（７） 次に、これと最大負荷電圧値７５Ｖに維持する直線とを
連結したものを近似特性線Ｍ（図２中に実線で示す）と
する。制御手段１１は、Ｘ線管４の電圧値ｖを、連動手
段１０から得た分光角２θの値に応じて、この近似特性
線Ｍに沿うように、連続的に設定する。制御手段１１の
構成、動作以外の点では、第１実施形態の装置と同じで
あるので、説明を省略する。第２実施形態の装置によれ
ば、複雑な形状の最適の特性線Ｌでなく、それを単純な
形状に近似した近似特性線Ｍを用いるので、第１実施形
態の装置と同様の作用効果が得られると同時に、制御手
段１１ひいては装置全体の構成を簡単なものとすること
ができる。
最適の特性線Ｌは、電圧値ｖが７５Ｖ未満では、複雑な
形状をなすので、第２実施形態の装置においては、ま
ず、７５Ｖ以下における前記（１）式で得られる発生強
度が最大となるような最適電圧値の近傍を通る直線を回
帰計算等により求める。この直線は、例えばこの実施形
態の装置では、次の（７）式で表される。 ｖ＝−１．３１８・２θ＋１４２．１ …（７） 次に、これと最大負荷電圧値７５Ｖに維持する直線とを
連結したものを近似特性線Ｍ（図２中に実線で示す）と
する。制御手段１１は、Ｘ線管４の電圧値ｖを、連動手
段１０から得た分光角２θの値に応じて、この近似特性
線Ｍに沿うように、連続的に設定する。制御手段１１の
構成、動作以外の点では、第１実施形態の装置と同じで
あるので、説明を省略する。第２実施形態の装置によれ
ば、複雑な形状の最適の特性線Ｌでなく、それを単純な
形状に近似した近似特性線Ｍを用いるので、第１実施形
態の装置と同様の作用効果が得られると同時に、制御手
段１１ひいては装置全体の構成を簡単なものとすること
ができる。
【００２７】なお、第１および第２実施形態の装置で
は、Ｘ線管４の電圧値ｖを連続的に設定するとしたが、
厳密に連続的でなくても、１００分の１kV以下の単位
で、好ましくは１０００分の１kV以下の単位で段階的に
設定するものであってもよい。
は、Ｘ線管４の電圧値ｖを連続的に設定するとしたが、
厳密に連続的でなくても、１００分の１kV以下の単位
で、好ましくは１０００分の１kV以下の単位で段階的に
設定するものであってもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本願請求項１の発
明によれば、制御手段が、Ｘ線管の電圧値を、電力値は
維持しつつ、分光角の増減に応じて、その分光角に対応
する２次Ｘ線の発生強度が最大となるように連続的に設
定するので、分析対象の元素それぞれについて、Ｘ線管
での電力を最大限に利用して高い感度で測定できる。し
たがって、より微量しか含まれない元素の検出が可能と
なり、すなわち、装置の検出下限が低下する。また、分
析条件の設定等において操作手順が複雑化することもな
い。
明によれば、制御手段が、Ｘ線管の電圧値を、電力値は
維持しつつ、分光角の増減に応じて、その分光角に対応
する２次Ｘ線の発生強度が最大となるように連続的に設
定するので、分析対象の元素それぞれについて、Ｘ線管
での電力を最大限に利用して高い感度で測定できる。し
たがって、より微量しか含まれない元素の検出が可能と
なり、すなわち、装置の検出下限が低下する。また、分
析条件の設定等において操作手順が複雑化することもな
い。
【００２９】さらに、請求項３の装置によれば、制御手
段が、Ｘ線管の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負
荷電圧値以下において、分光角の増減に応じて、分光角
に対応する２次Ｘ線の発生強度が最大となるような最適
電圧値の近傍を通る直線またはなめらかな曲線からなる
近似特性線に沿うように、連続的に設定するので、前記
請求項１の装置と同様の作用効果が得られると同時に、
制御手段ひいては装置全体の構成を簡単なものとするこ
とができる。なお、Ｘ線管の電圧値を、厳密に連続的で
なく、１００分の１kV以下の単位で、好ましくは１００
０分の１kV以下の単位で段階的に設定する請求項２、４
の発明によっても、それぞれ前記請求項１、３の発明と
同様の効果が得られる。
段が、Ｘ線管の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負
荷電圧値以下において、分光角の増減に応じて、分光角
に対応する２次Ｘ線の発生強度が最大となるような最適
電圧値の近傍を通る直線またはなめらかな曲線からなる
近似特性線に沿うように、連続的に設定するので、前記
請求項１の装置と同様の作用効果が得られると同時に、
制御手段ひいては装置全体の構成を簡単なものとするこ
とができる。なお、Ｘ線管の電圧値を、厳密に連続的で
なく、１００分の１kV以下の単位で、好ましくは１００
０分の１kV以下の単位で段階的に設定する請求項２、４
の発明によっても、それぞれ前記請求項１、３の発明と
同様の効果が得られる。
【図１】本発明の第１、第２実施形態のＸ線分析装置を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】両装置の制御手段での分光角とＸ線管の電圧値
との関係を示す図である。
との関係を示す図である。
１…試料、２…試料台、３…１次Ｘ線、４…Ｘ線管、５
…試料から発生した２次Ｘ線（蛍光Ｘ線）、６…分光
器、７…分光器で回折されたＸ線、８…検出器、９…２
次Ｘ線の延長線、１０…連動手段、１１…制御手段、Ｍ
…近似特性線、θ…分光器へ２次Ｘ線が入射する入射
角、２θ…２次Ｘ線の延長線と回折されたＸ線のなす分
光角。
…試料から発生した２次Ｘ線（蛍光Ｘ線）、６…分光
器、７…分光器で回折されたＸ線、８…検出器、９…２
次Ｘ線の延長線、１０…連動手段、１１…制御手段、Ｍ
…近似特性線、θ…分光器へ２次Ｘ線が入射する入射
角、２θ…２次Ｘ線の延長線と回折されたＸ線のなす分
光角。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−123717（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−240808（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−34587（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/223 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (4)
- 【請求項１】 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線管と、 試料から発生した２次Ｘ線を回折する分光器と、 分光器で回折されたＸ線を検出する検出器と、 分光器へ２次Ｘ線が入射する入射角と、２次Ｘ線の延長
線と回折されたＸ線のなす分光角とを連続的に連動させ
る連動手段とを備えたＸ線分析装置において、Ｘ線管 の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧
値以下において、分光角の増減に応じて、その分光角に
対応する２次Ｘ線の発生強度が最大となるように連続的
に設定する制御手段を備えたことを特徴とするＸ線分析
装置。 - 【請求項２】 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線管と、 試料から発生した２次Ｘ線を回折する分光器と、 分光器で回折されたＸ線を検出する検出器と、 分光器へ２次Ｘ線が入射する入射角と、２次Ｘ線の延長
線と回折されたＸ線のなす分光角とを連続的に連動させ
る連動手段とを備えたＸ線分析装置において、Ｘ線管 の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧
値以下において、分光角の増減に応じて、その分光角に
対応する２次Ｘ線の発生強度が最大となるように１００
分の１kV以下の単位で、好ましくは１０００分の１kV以
下の単位で設定する制御手段を備えたことを特徴とする
Ｘ線分析装置。 - 【請求項３】 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線管と、 試料から発生した２次Ｘ線を回折する分光器と、 分光器で回折されたＸ線を検出する検出器と、 分光器へ２次Ｘ線が入射する入射角と、２次Ｘ線の延長
線と回折されたＸ線のなす分光角とを連続的に連動させ
る連動手段とを備えたＸ線分析装置において、Ｘ線管 の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧
値以下において、分光角の増減に応じて、分光角に対応
する２次Ｘ線の発生強度が最大となるような最適電圧値
の近傍を通る直線またはなめらかな曲線からなる近似特
性線に沿うように、連続的に設定する制御手段を備えた
ことを特徴とするＸ線分析装置。 - 【請求項４】 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線管と、 試料から発生した２次Ｘ線を回折する分光器と、 分光器で回折されたＸ線を検出する検出器と、 分光器へ２次Ｘ線が入射する入射角と、２次Ｘ線の延長
線と回折されたＸ線のなす分光角とを連続的に連動させ
る連動手段とを備えたＸ線分析装置において、Ｘ線管 の電圧値を、電力値は維持しつつ、最大負荷電圧
値以下において、分光角の増減に応じて、分光角に対応
する２次Ｘ線の発生強度が最大となるような最適電圧値
の近傍を通る直線またはなめらかな曲線からなる近似特
性線に沿うように、１００分の１kV以下の単位で、好ま
しくは１０００分の１kV以下の単位で設定する制御手段
を備えたことを特徴とするＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09040580A JP3111173B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09040580A JP3111173B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | Ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239257A JPH10239257A (ja) | 1998-09-11 |
| JP3111173B2 true JP3111173B2 (ja) | 2000-11-20 |
Family
ID=12584439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09040580A Expired - Fee Related JP3111173B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3111173B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102934525A (zh) * | 2010-09-28 | 2013-02-13 | 西班牙电子医药质量公司 | 对于x-射线装置的最大功率的自动控制方法以及其所需的设备 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008203245A (ja) * | 2007-01-23 | 2008-09-04 | Sii Nanotechnology Inc | Ｘ線分析装置及びｘ線分析方法 |
-
1997
- 1997-02-25 JP JP09040580A patent/JP3111173B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102934525A (zh) * | 2010-09-28 | 2013-02-13 | 西班牙电子医药质量公司 | 对于x-射线装置的最大功率的自动控制方法以及其所需的设备 |
| CN102934525B (zh) * | 2010-09-28 | 2016-02-17 | 西班牙电子医药质量公司 | 对于x-射线装置的最大功率的自动控制方法以及其所需的设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10239257A (ja) | 1998-09-11 |
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|---|---|---|---|
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