JP3110932U - 波面収差測定治具及び波面収差測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】光ヘッドの波面収差を測定するための波面収差測定装置を利用して、レーザ光源の波面収差を測定することができ、前記光ヘッドを製造する場所を省スペース化及びアライメントを容易に調整することができそれだけ、光ヘッドをローコスト化することができる波面収差測定治具を提供する。
【解決手段】本体部１と、光ヘッド配置治具Ｈｄの係合軸Ｈｄ２と係合する係合凹部２と、円筒形の凹孔３１と、下面１０と正確に平行になるように形成されている基準面３２１を備えた段差３２と、貫通孔３３とを有しているレーザ光源Ｌｄを取り付けるための光源取付部３とを備えた波面収差測定治具Ｈｓ。
【選択図】図２

Description

本考案は、光ヘッドに用いられるレーザ光源単体の波面収差を測定するための波面収差
測定治具及びこれを用いた波面収差測定装置に関するものである。

映像、音声等の情報の記録媒体としてレーザ光を照射することで情報を記録したり及び
（又は）読出したりすることができる光ディスクが利用されている。前記光ディスクとし
て、ＣＤ（Compact Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）等が広く用いられている
。これら光ディスクを記録媒体として該光ディスクにデータを記録する及び（又は）該光
ディスクからデータの読出す光ディスク装置は、光ディスクの記録面に対しレーザ光を照
射することでデータを記録したり、反射してきた光を検出することでデータを読出したり
する光ヘッドを備えている。

光ヘッドはレーザ光源、コリメータレンズ、対物レンズ、ミラー及びビームスプリッタ
等の光学部品を有する光学系であり、レーザ光源より照射されたレーザ光は各光学部品を
透過又は反射されるときの屈折等によって回折し、波面収差が発生する。波面収差が発生
すると、光ディクスの記録面に形成されれるレーザスポットの形状が乱れたり、位相のず
れが発生したりして、光ディスクに記録されているデータを正確に読み出せなかったり、
データを光ディスクに記録できなかったりといった不具合が発生する。そこで、光ヘッド
の対物レンズより照射されるレーザ光の波面収差を測定し、その波面収差を修正すること
で不具合の発生を抑制する。

図７に光ヘッドの波面収差を測定するための波面収差測定装置の概略配置図を示す。図
７に示す波面収差測定装置Ｂは光ヘッドＯｈを配置する光ヘッド配置治具Ｈｄと、レーザ
光の干渉を測定する干渉測定装置Ｋｓとを有している。干渉測定装置Ｋｓは図７に示すよ
うに、入射してきたレーザ光を平行光になおすための顕微鏡対物レンズＫｓ１と、顕微鏡
対物レンズＫｓ１から出射したレーザ光を反射するミラーＫｓ２と、ミラーＫｓ２にて反
射されたレーザ光の干渉を測定する干渉計Ｋｓ３とを有している。光ヘッドＯｈを光ヘッ
ド配置治具Ｈｄに配置した状態でレーザ光を顕微鏡対物レンズＫｓ１に照射し波面収差を
測定する。

図８に波面収差を測定するときに光ヘッドを載せるための光ヘッド配置治具の側面図を
、図９に図８に示す光ヘッド配置治具の平面図を示す。光ヘッドＯｈはレーザ光源Ｌｄ、
コリメータレンズＬｃ、ミラーＭｒ、ビームスプリッタＢｓ等の光学部品を配置するスラ
イドベースＯｈ１と、スライドベースＯｈ１に配置され、対物レンズＬｂを保持するアク
チュエータＯｈ２とを備えている。光ヘッドＯｈ１は動作時に２本の平行に配置されたガ
イド軸（不図示）に沿って摺動する。このときに、スライドベースＯｈ１は底面に一方の
ガイド軸が摺動可能に貫通する摺動孔Ｏｈ３と、側面に他方のガイド軸と摺動可能に係合
する摺動係合部Ｏｈ４とを有している。

図８、図９に示す光ヘッド配置治具Ｈｄは台座Ｈｄ１と、光ヘッドＯｈの摺動孔Ｏｈ３
と係合する係合軸Ｈｄ２と、台座Ｈｄ１より立設し係合軸Ｈｄ２を保持する保持部Ｈｄ３
と、台座Ｈｄ１より立設し光ヘッドＯｈの摺動係合部Ｏｈ４を係合支持する支持部Ｈｄ４
とを有している。

光ヘッド配置治具Ｈｄの係合軸Ｈｄ２に光ヘッドＯｈの摺動孔Ｏｈ３を係合し、摺動係
合部Ｏｈ４を支持部Ｈｄ４に載置する。このとき、光ヘッド配置冶具Ｈｄは光ヘッドＯｈ
のアクチュエータＯｈ２に配置された対物レンズＬｂから出射されるレーザ光の光軸が水
平面に対して垂直上方に照射されるように形成されている。

レーザ光源Ｌｄより出射されたレーザ光は顕微鏡対物レンズＫｓ１に入射する。レーザ
光が顕微鏡対物レンズＫｓ１の所定の位置に所定の角度で正しく入射するようにレーザ光
源Ｌｄを保持する波面収差測定治具Ｈｄと顕微鏡対物レンズＫｓ１とのアライメントを行
う。アライメント行い位置決めした後、光ヘッドＯｈの対物レンズＬｂよりレーザ光を出
射し、干渉計Ｋｓ３にて干渉を計測し、光ヘッドＯｈの光学系の波面収差を測定する。

波面収差を測定する干渉計装置は例えば特開２００４−２５７８５４号公報に開示され
ている。また、アライメント方法は例えば特開２００４−２７９３４５号公報に開示され
ている。
特開２００４−２５７８５４号公報 特開２００４−２７９３４５号公報

通常、光ヘッドＯｈ、波面収差のないレーザ光源を使用する場合が多い。しかしながら
、スペック上波面収差がない光ヘッドであっても、個体によっては、製造時の誤差や保管
、運搬時の接触等によって、わずかに波面収差を有することが多い。そこで光ヘッドを測
定するまえにレーザ光源Ｌｄ単体での波面収差を測定しておいた方がよい。

しかしながら、従来の光ヘッドＯｈの波面収差を測定する測定装置でレーザ光源Ｌｄ単
体での波面収差を測定するのは困難であり、レーザ光源Ｌｄが波面収差を有する場合、光
学系の設計上の波面収差と実際に発生する波面収差が大きく異なる場合が多く、調整に時
間がかかる。レーザ光源Ｌｄの波面収差を測定するには専用の装置が必要であり、別途装
置が必要になるとともに、設置場所が必要である。

そこで本考案は、光ヘッドの波面収差を測定するための波面収差測定装置を利用して、
レーザ光源の波面収差を測定することができ、それだけ、光ヘッドを製造するための装置
を減らすことができる波面収差測定装置を提供することを目的とする。

そこで本考案は、光ヘッドの波面収差を測定する測定機器を用いて、光ヘッドに用いら
れるレーザ光源単体の波面収差を測定することができ、それだけ、前記光ヘッドを製造す
る場所を省スペース化及び光ヘッドをローコスト化することができる波面収差測定治具を
提供することを目的とする。

光ヘッドの波面収差を測定するための波面収差測定装置を用いてレーザ光源の波面収差
を測定するものであり、前記光ヘッド及び前記レーザ光源のうち一方の波面収差測定した
後、他方の波面収差を測定する場合後に測定する機器と干渉計測装置とのアライメントを
容易に調整することができる波面収差測定装置及び波面収差測定冶具を提供することを目
的とする。

上記目的を達成するために本考案は、干渉計測装置と、光ヘッドの波面収差を測定する
ときに用いられる光ヘッド配置冶具と、前記光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光
ヘッドに取付けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具を有し、前記レーザ光源か
ら前記干渉装置にレーザ光を照射して前記レーザ光源の波面収差を測定する波面収差測定
装置であって、前記干渉計測装置は前記レーザ光源より照射されたレーザ光を平行光に変
更する顕微鏡対物レンズと、前記顕微鏡対物レンズから出射光を反射するミラーと、前記
ミラーにて反射されたレーザ光の干渉を測定する干渉計とを有し、前記光ヘッド配置冶具
は、台座と、前記光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫通する係合軸と、前記
台座に立設され前記係合軸を保持する保持部と、前記台座に立設され、前記係合軸に対向
して配置される支持部とを有し、前記波面収差測定治具は平面視矩形状の本体部と、前記
本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源取付部と、前記本体部の
下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合する係合凹部と、前記底
面に配置され前記レーザ光源と弾性的に圧接し傾かないように支持する板状の押えばねと
を有し、前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された断面円形の凹孔と、前記凹孔の
開放されているのと反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の
深さに配置される基準面を有し前記レーザ光源の位置決めをする段差と、前記基準面の中
心に断面円形状の貫通孔と、前記底面に前記段差と重ならないように互いに等中心角度間
隔になるよう配置され、ボルトと螺合して前記押えばねを締め付けるための４個の雌ねじ
孔とを有しており、前記段差には前記レーザ光源に形成された位置決め用のフランジ部が
係合し、前記貫通孔には前記レーザ光源の先端に形成されたレーザ光出射部が嵌合又は貫
通するものであり、前記押えばねは前記レーザ光源の前記フランジ部を弾性的に支持し、
前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に前
記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射され
るレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを
取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度と
一致することを特徴とする波面収差測定装置。

この構成によると、従来、光ヘッドの波面収差の測定に用いられてきた波面収差測定装
置を用いて、光ヘッド単体の波面収差の測定を行うことができる。また、前記光源取付部
に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が
、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ
光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致するので、アライメント調整の項目を減らす
ことができる。

上記目的を達成するために本考案は、干渉計測装置と、光ヘッドの波面収差を測定する
ときに用いられる光ヘッド配置冶具と、前記光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光
ヘッドに取付けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具を有し、前記レーザ光源か
ら前記干渉装置にレーザ光を照射して前記レーザ光源の波面収差を測定する波面収差測定
装置であって、前記光ヘッド配置冶具は光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫
通する係合軸と、前記係合軸に対向して配置される支持部とを有し、本体部と、前記本体
部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源取付部と、前記本体部の下面
に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合する係合凹部と、前記光源取
付部に配置され前記レーザ光源を圧接し傾かないように支持する板状の押えばねとを有し
、前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された凹孔と、前記凹孔の開放されているの
と反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに配置され、
前記下面と平行な基準面を有し前記レーザ光源と嵌合し該レーザ光源の位置決めをする段
差と、前記基準面の中心に前記レーザ光源の先端が貫通する貫通孔と、前記押えばねを係
合する係合部材とを有しており、前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記
係合凹部を係合し前記支持部に前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付
けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記
光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光
軸と該係合軸との距離及び角度と一致することを特徴とする波面収差測定装置を提供する
。

この構成によると、従来、光ヘッドの波面収差の測定に用いられてきた波面収差測定装
置を用いて、光ヘッド単体の波面収差の測定を行うことができる。また、前記光源取付部
に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が
、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ
光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致するので、アライメント調整の項目を減らす
ことができる。

上記目的を達成するために本考案は、干渉計測装置と、光ヘッドの波面収差を測定する
ときに用いられる光ヘッド配置冶具と、前記光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光
ヘッドに取付けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具を有し、前記レーザ光源か
ら前記干渉装置にレーザ光を照射して前記レーザ光源の波面収差を測定する波面収差測定
装置であって、前記光ヘッド配置冶具は光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫
通する係合軸と、前記係合軸に対向して配置される支持部とを有し、本体部と、前記本体
部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源取付部と、前記本体部の下面
に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合する係合凹部と、前記光源取
付部に配置され前記レーザ光源を圧接し傾かないように支持する板状の押えばねとを有し
、前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された凹孔と、前記凹孔の開放されているの
と反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに配置され、
前記下面と平行な基準面を有し前記レーザ光源と嵌合し該レーザ光源の位置決めをする段
差と、前記基準面の中心に前記レーザ光源の先端が貫通する貫通孔と、前記底面に前記段
差と重ならないように互いに等中心角度間隔になるよう配置され、ボルトと螺合して前記
押えばねを締め付けるための複数個の雌ねじ孔とを有しており、前記下面と前記基準面は
平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に前記本体の下面を載置した
ときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該係
合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘッ
ドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致することを特徴とす
る波面収差測定装置を提供する。

この構成によると、従来、光ヘッドの波面収差の測定に用いられてきた波面収差測定装
置を用いて、光ヘッド単体の波面収差の測定を行うことができる。また、前記光源取付部
に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が
、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ
光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致するので、アライメント調整の項目を減らす
ことができる。

上記目的を達成するために本考案は、光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫
通する係合軸と、前記係合軸に対向して配置される支持部とを有する光ヘッド配置治具の
上部に配置され、前記光ヘッドに取付けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具で
あって、平面視矩形状の本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取
付けられる光源取付部と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成され
た係合軸に係合する係合凹部と、前記底面に配置され前記レーザ光源と弾性的に圧接し傾
かないように支持する板状の押えばねとを有し、前記光源取付部は前記本体の下面側が開
放された断面円形の凹孔と、前記凹孔の開放されているのと反対側に形成される底面と、
前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに配置される基準面を有し前記レーザ光源の
位置決めをする段差と、前記基準面の中心に断面円形状の貫通孔と、前記底面に前記段差
と重ならないように互いに等中心角度間隔になるよう配置され、ボルトと螺合して前記押
えばねを締め付けるための４個の雌ねじ孔とを有しており、前記段差には前記レーザ光源
に形成された位置決め用のフランジ部が係合し、前記貫通孔には前記レーザ光源の先端に
形成されたレーザ光出射部が嵌合又は貫通するものであり、前記押えばねは前記レーザ光
源の前記フランジ部を弾性的に支持し、前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸
に前記係合凹部を係合し前記支持部に前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部
に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が
、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ
光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致することを特徴とする波面収差測定冶具を提
供する。

この構成の波面収差測定冶具を用いることで、従来、光ヘッドの波面収差の測定に用い
られてきた波面収差測定装置を用いて、光ヘッド単体の波面収差の測定を行うことができ
る。また、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該
係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘ
ッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致するので、アライ
メント調整の項目を減らすことができる。

上記目的を達成するために本考案は、光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫
通する係合軸と、前記係合軸に対向して配置される支持部とを有する光ヘッド配置治具の
上部に配置され、前記光ヘッドに取付けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具で
あって、本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源
取付部と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合
する係合凹部と、前記光源取付部に配置され前記レーザ光源を圧接し傾かないように支持
する板状の押えばねとを有し、前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された凹孔と、
前記凹孔の開放されているのと反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対
して所定の深さに配置され、前記下面と平行な基準面を有し前記レーザ光源と嵌合し該レ
ーザ光源の位置決めをする段差と、前記基準面の中心に前記レーザ光源の先端が貫通する
貫通孔と、前記押えばねを係合する係合部材とを有しており、前記下面と前記基準面は平
行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に前記本体の下面を載置したと
きに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該係合
軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘッド
から出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致することを特徴とする
波面収差測定冶具を提供する。

この構成の波面収差測定冶具を用いることで、従来、光ヘッドの波面収差の測定に用い
られてきた波面収差測定装置を用いて、光ヘッド単体の波面収差の測定を行うことができ
る。また、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該
係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘ
ッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致するので、アライ
メント調整の項目を減らすことができる。

上記目的を達成するために本考案は、光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫
通する係合軸と、前記係合軸に対向して配置される支持部とを有する光ヘッド配置治具の
上部に配置され、前記光ヘッドに取付けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具で
あって、本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源
取付部と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合
する係合凹部と、前記光源取付部に配置され前記レーザ光源を圧接し傾かないように支持
する板状の押えばねとを有し、前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された凹孔と、
前記凹孔の開放されているのと反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対
して所定の深さに配置され、前記下面と平行な基準面を有し前記レーザ光源と嵌合し該レ
ーザ光源の位置決めをする段差と、前記基準面の中心に前記レーザ光源の先端が貫通する
貫通孔と、前記底面に前記段差と重ならないように互いに等中心角度間隔になるよう配置
され、ボルトと螺合して前記押えばねを締め付けるための複数個の雌ねじ孔とを有してお
り、前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部
に前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射
されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッ
ドを取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角
度と一致することを特徴とする波面収差測定冶具を提供する。

この構成の波面収差測定冶具を用いることで、従来、光ヘッドの波面収差の測定に用い
られてきた波面収差測定装置を用いて、光ヘッド単体の波面収差の測定を行うことができ
る。また、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射されるレーザ光の光軸と該
係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッドを取付けたときの該光ヘ
ッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度と一致するので、アライ
メント調整の項目を減らすことができる。

本考案によると、光ヘッドの波面収差を測定するための波面収差測定装置を利用して、
レーザ光源の波面収差を測定することができ、それだけ、光ヘッドを製造するための装置
を減らすことができる波面収差測定装置を提供することができる。

また本考案によると、光ヘッドの波面収差を測定する測定機器を用いて、光ヘッドに用
いられるレーザ光源単体の波面収差を測定することができ、それだけ、前記光ヘッドを製
造する場所を省スペース化及び光ヘッドをローコスト化することができる波面収差測定治
具を提供することができる。

さらに本考案によると、光ヘッドの波面収差を測定するための波面収差測定装置を用い
てレーザ光源の波面収差を測定するものであり、前記光ヘッド及び前記レーザ光源のうち
一方の波面収差測定した後、他方の波面収差を測定する場合後に測定する機器と干渉計測
装置とのアライメントを容易に調整することができる波面収差測定装置及び波面収差測定
冶具を提供することができる。

容易に且つ短時間でアライメントを調整することができるので、光ヘッドの製造中であ
ってもレーザ光源の波面収差の測定にかかる時間及び手間を大幅に短縮することができ、
製造時の不具合や、設計変更に速やかに対応することができ、それだけ、製造に必要なエ
ネルギ及びコストを削減することができる。

以下に本考案の実施形態を図面を参照して説明する。図１に本発明にかかる波面収差測
定装置の配置図を示す。図１に示す波面収差測定装置Ａは光ディスクにレーザ光を照射す
る光ヘッドの波面収差を測定するものを流用したものであり光ヘッドにかえて波面収差測
定治具を取付けた以外は図７に示す従来の波面収差測定装置Ｂと同じ構造を有しており、
実質上同一の部分には同一の符号がふしてある。波面収差測定装置Ａはレーザ光源Ｌｄを
保持する波面収差測定治具Ｈｓと、波面収差測定治具Ｈｓを配置する光ヘッド配置治具Ｈ
ｄと、レーザ光の干渉を測定する干渉測定装置Ｋｓとを有している。

波面収差測定治具Ｈｓにレーザ光源Ｌｄを取り付けた状態で、光ヘッド配置治具Ｈｄの
所定の位置に配置する。波面収差測定治具Ｈｓに配置されたレーザ光源Ｌｄは上面に向か
ってレーザ光を照射する。レーザ光は干渉測定装置Ｋｓに照射される。干渉測定装置Ｋｓ
は照射されたレーザ光の干渉を検出し波面収差を測定する。

干渉測定装置Ｋｓは図１に示すように、入射してきたレーザ光を平行光になおすための
顕微鏡対物レンズＫｓ１と、顕微鏡対物レンズＫｓ１から出射したレーザ光を反射するミ
ラーＫｓ２と、ミラーＫｓ２にて反射されたレーザ光の干渉を測定する干渉計Ｋｓ３とを
有している。

光ヘッド配置治具Ｈｄは、図８、図９に示す従来の光ヘッド配置治具Ｈｄと同一形状で
ある。すなわち、光ヘッド配置治具Ｈｄは台座Ｈｄ１と、光ヘッドの摺動軸と係合す摺動
孔と係合する係合軸Ｈｄ２と、台座Ｈｄ１より立設し係合軸Ｈｄ２を保持する保持部Ｈｄ
３と、台座Ｈｄ１より立設する支持部Ｈｄ４とを有している。

図２に本発明にかかる波面収差測定治具の正面側から見た断面図を、図３に図２に示す
波面収差測定治具の底面図を示す。図２、図３に示すように波面収差測定治具Ｈｓは平面
視矩形状を有する直方体形状の本体部１と、本体部１の下面１０の端部に配置され光ヘッ
ド配置治具Ｈｄの係合軸Ｈｄ２と係合する係合凹部２と、レーザ光源Ｌｄを取り付けるた
めの光源取付部３が形成されている。

図２、図３に示すように、光源取付部３は本体部１の下面１０に開口する円筒形の凹孔
３１と、凹孔３１の底部３１０の中央に、底部３１０から深さｈの場所に断面円形状のレ
ーザ光源Ｌｄを取付けるときの基準面３２１を備えた段差３２と、基準面３２１の中央に
貫通孔３３とを有している。凹孔３１、段差３２（基準面３２１）及び貫通孔３３は中心
軸が一致するように形成されている。基準面３２１は波面収差測定治具Ｈｓの本体１の下
面１０と正確に平行になるように形成されている。
また、レーザ光源Ｌｄは図２に示すように先端のレーザ光出射部Ｌｄ１と、レーザ光出射
部Ｌｄ１に近接するフランジ部Ｌｄ２と、電力供給配線Ｌｄ３とを有している。フランジ
部Ｌｄ２のレーザ光出射部Ｌｄ１側の面はレーザ光の光軸と正確に一定の角度（ここでは
、光軸に対して垂直）になるように形成されている。図３に示すように、凹孔３１の底面
３１０には、それには限定されないが、ここでは、等中心角度間隔で４個の雌ねじ孔３１
１が形成されている。

図４に図２に示す波面収差測定治具の光源取付部の拡大断面図を、図５に図４に示す波
面収差測定治具の光源取付部の拡大底面図を示す。図４に示すようにレーザ光源Ｌｄは光
源取付部３に取付けられた状態で、押えばねにて弾性支持されている。図４、図５に示す
ように、押えばね４は中央部に貫通孔４１と、波面収差測定治具Ｈｓの凹孔３１に挿入し
たときに雌ねじ孔３１１と重なる位置に形成されるねじ孔４２と、貫通孔４１から伸び、
レーザ光源Ｌｄのフランジ部Ｌｄ２を押えるための弾性部４３とを有している。

弾性部４３はそれには限定されないが、ここでは、押えばね４の貫通孔４１の一部に切
込みを入れた形状であり、等中心角度間隔で４個備えられている。弾性部４３とねじ孔４
２とは、図４に示すように押えねじ４の周方向に均等に並ぶように配置されるものが好ま
しいが、それに限定されるものではない。

レーザ光源Ｌｄを波面収差測定治具Ｈｓに取り付ける手順は次のとおりである。レーザ
光源Ｌｄを光源取付部３の凹孔３１に挿入し、レーザ光出射部Ｌｄ１が光源取付部３の貫
通孔３３を貫通するように配置する。このとき、フランジ部Ｌｄ２が段差３２内に配置さ
れており、フランジ部Ｌｄ２のレーザ光出射部Ｌｄ１側の面が段差３２の基準面３２１と
接触して配置される。レーザ光源Ｌｄのフランジ部Ｌｄ２の向き、傾きは基準面３２１の
傾きによって決定される。フランジ部Ｌｄ２のレーザ光出射部Ｌｄ１側の面はレーザ光の
光軸に対して垂直になるように形成されているとともに、波面収差測定治具Ｈｓの下面１
０と基準面３２１とは平行に形成されているので、レーザ光の光軸は波面収差測定治具Ｈ
ｓの下面１０に対して垂直になる。

そして、レーザ光源Ｌｄのフランジ部Ｌｄ２のレーザ光出射部Ｌｄ１とは反対側に係合
するように押えばね４を配置する。このとき、レーザ光源Ｌｄの電力供給配線Ｌｄ３は押
えばね４の貫通孔４１を貫通して配置される。ボルトＢｔを押えばね４に形成されたねじ
孔４１を貫通し、底面３１０に形成された雌ねじ孔３１１と螺合する。ボルトＢｔを締め
付けることで、押えばね４の弾性部４３は変形し、弾性部４３の弾性力にてレーザ光源Ｌ
ｄのフランジ部Ｌｄ２は段差３２の基準面３２１に押し付けられる。このとき、４本のボ
ルトＢｔを均等な力で締め付けることで、弾性部４３の変形による弾性力はフランジ部Ｌ
ｄ２へ均一に作用し、レーザ光源Ｌｄをフランジ部Ｌｄ２のレーザ光出射部Ｌｄ１側の面
と基準面３２１とが傾いたり、ずれたりすることなく波面収差測定治具Ｈｓに取り付ける
ことができる。

図６に光ヘッド配置冶具に本発明にかかる波面収差測定治具を配置した状態の側面図を
示す。図６に示すように、波面収差測定治具Ｈｓは光ヘッド配置治具Ｈｄの上部に配置さ
れる。波面収差測定治具Ｈｓの下面１０に形成された係合凹部２と光ヘッド配置冶具Ｈｄ
に備えられる係合軸Ｈｄ２を係合する。このとき、波面収差測定治具Ｈｓの下面１０の係
合凹部２が形成されてない方の端部は光ヘッド配置冶具Ｈｄの支持部Ｈｄ４に載置される
。

光ヘッド配置冶具Ｈｄは光ヘッドを配置した状態で光ヘッドに備えられる対物レンズよ
り照射されるレーザ光の光軸が水平面に対して垂直になるように係合軸Ｈｄ２及び支持部
Ｈｄ４が形成されている。すなわち、波面収差測定治具Ｈｓは光ヘッド配置冶具Ｈｄに配
置したときに、下面１０が水平面と平行になるように形成されている。また、下面１０と
基準面３２１とが平行なので基準面３２１も水平面と平行になる。

波面収差測定治具Ｈｓは下面１０と基準面３２１とが平行に形成されていることより、
レーザ光源Ｌｄのレーザ光出射部Ｌｄ１より出射するレーザ光は水平面に対して光軸が垂
直になるように出射される。また、波面収差測定治具Ｈｓの光源取付部３はレーザ光源Ｌ
ｄの光軸の係合軸Ｈｄ２に対する距離及び方向は、光ヘッド配置冶具Ｈｄに光ヘッドを配
置したときに光ヘッドの対物レンズより出射するレーザ光の光軸の係合軸Ｈｄ２に対する
距離及び角度と同じになるように、凹孔３１、段差３２（基準面３２１）及び貫通孔３３
を形成している。

波面収差測定治具Ｈｓを光ヘッド配置冶具Ｈｄに配置するときは必要に応じて、波面収
差測定治具Ｈｓと干渉測定装置Ｋｓの顕微鏡対物レンズＫｓ１との位置決めが行われる。
この位置決めはまず、レーザ光源Ｌｄを取り付ける前に図示を省略したアライメントミラ
ーを押えばね４で基準面３２１に押さえつけて装着する。波面収差測定治具Ｈｓを動かし
ながらアライメントミラーでの反射光を測定することで、干渉測定装置Ｋｓ１と波面収差
測定治具Ｈｄの位置決めを行う。

上述のように、波面収差測定治具Ｈｓが光ヘッド配置冶具Ｈｄに配置されたときのレー
ザ光源Ｌｄより出射するレーザ光の光軸と、光ヘッド配置冶具Ｈｄに光ヘッドが配置され
たときの対物レンズより出射するレーザ光の光軸の距離及び角度は同じである。よって、
光ヘッドの波面収差を測定した後、光ヘッド配置冶具Ｈｄを動かしていない状態で、レー
ザ光源Ｌｄの波面収差を測定する場合、波面収差測定治具Ｈｓを光ヘッド配置冶具Ｈｄに
配置し、係合軸Ｈｄ２方向に摺動するだけでアライメントを完了することができ、それだ
け、手間、時間を省くことができる。

このように位置決めした後、押えばね４を取り外し、アライメントミラーにかえてレー
ザ光源Ｌｄを取り付ける。これにより、レーザ光源Ｌｄより照射されるレーザ光を顕微鏡
対物レンズＫｓ１の所定の位置に所定の角度で正確に照射することができ、正しい波面収
差測定を行うことができる。

また、光ヘッド配置冶具Ｈｄと波面収差測定治具Ｈｓに互いに係合することで位置決め
できる位置決め部を備えていてもよい。位置決め部が互いに係合するように光ヘッド配置
冶具Ｈｄに波面収差測定治具Ｈｓを載置することで、レーザ光源Ｌｄのレーザ光が、顕微
鏡対物レンズＫｓ１の所定の位置に所定の角度で正確に照射することができるので、位置
決めの手間及び時間を削減することができ、結果的に波面収差測定の時間及び手間を低減
することができる。

本考案の波面収差測定治具は、ＤＶＤ、ＣＤ等の光ディスクにレーザ光を照射する光ヘ
ッドの波面収差を測定するための測定装置を用いて光ヘッドのレーザ光源の波面収差測定
を行う波面収差測定において適用することができる。

本発明にかかる波面収差測定装置の配置図である。 本発明にかかる波面収差測定治具の正面側から見た断面図である。 図２に示す波面収差測定治具の底面図である。 図２に示す波面収差測定治具の光源取付部の拡大断面図である。 図４に示す波面収差測定治具の光源取付部の拡大底面図である。 図４に示す波面収差測定治具の光源取付部の拡大底面図である。 光ヘッドの波面収差を測定するための波面収差測定装置の概略配置図である。 波面収差を測定するときに光ヘッドを載せるための光ヘッド配置治具の側面図である。 図８に示す光ヘッド配置治具の平面図である。

符号の説明

Ｋｓ 干渉測定装置
Ｋｓ１ 顕微鏡対物レンズ
Ｋｓ２ ミラー
Ｋｓ３ 干渉計
Ｈｄ 光ヘッド配置冶具
Ｈｄ１ 台座
Ｈｄ２ 係合軸
Ｈｄ３ 保持部
Ｈｄ４ 支持部
Ｈｓ 波面収差測定治具
１ 本体部
１０ 下面
２ 係合凹部
３ 光源取付部
３１ 凹孔
３１０ 底部
３１１ 雌ねじ孔
３２ 段差
３２１ 基準面
３３ 貫通孔
４ 押えばね
４１ 貫通孔
４２ ねじ孔
４３ 弾性部
Ｂｔ ボルト

Claims (6)

1. 干渉計測装置と、
   光ヘッドの波面収差を測定するときに用いられる光ヘッド配置冶具と、
   前記光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光ヘッドに取付けられるレーザ光源を支
   持する波面収差測定治具を有し、前記レーザ光源から前記干渉装置にレーザ光を照射して
   前記レーザ光源の波面収差を測定する波面収差測定装置であって、
   前記干渉計測装置は前記レーザ光源より照射されたレーザ光を平行光に変更する顕微鏡
   対物レンズと、前記顕微鏡対物レンズから出射光を反射するミラーと、前記ミラーにて反
   射されたレーザ光の干渉を測定する干渉計とを有し、
   前記光ヘッド配置冶具は、台座と、前記光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を
   貫通する係合軸と、前記台座に立設され前記係合軸を保持する保持部と、前記台座に立設
   され、前記係合軸に対向して配置される支持部とを有し、
   前記波面収差測定治具は平面視矩形状の本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され
   、レーザ光源が取付けられる光源取付部と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配
   置治具に形成された係合軸に係合する係合凹部と、前記底面に配置され前記レーザ光源と
   弾性的に圧接し傾かないように支持する板状の押えばねとを有し、
   前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された断面円形の凹孔と、前記凹孔の開放さ
   れているのと反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに
   配置される基準面を有し前記レーザ光源の位置決めをする段差と、前記基準面の中心に断
   面円形状の貫通孔と、前記底面に前記段差と重ならないように互いに等中心角度間隔にな
   るよう配置され、ボルトと螺合して前記押えばねを締め付けるための４個の雌ねじ孔とを
   有しており、
   前記段差には前記レーザ光源に形成された位置決め用のフランジ部が係合し、前記貫通
   孔には前記レーザ光源の先端に形成されたレーザ光出射部が嵌合又は貫通するものであり
   、前記押えばねは前記レーザ光源の前記フランジ部を弾性的に支持し、
   前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に
   前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射さ
   れるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッド
   を取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度
   と一致することを特徴とする波面収差測定装置。
2. 干渉計測装置と、
   光ヘッドの波面収差を測定するときに用いられる光ヘッド配置冶具と、
   前記光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光ヘッドに取付けられるレーザ光源を支
   持する波面収差測定治具を有し、前記レーザ光源から前記干渉装置にレーザ光を照射して
   前記レーザ光源の波面収差を測定する波面収差測定装置であって、
   前記光ヘッド配置冶具は光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫通する係合軸
   と、前記係合軸に対向して配置される支持部とを有し、
   本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源取付部
   と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合する係
   合凹部と、前記光源取付部に配置され前記レーザ光源を圧接し傾かないように支持する板
   状の押えばねとを有し、
   前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された凹孔と、前記凹孔の開放されているの
   と反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに配置され、
   前記下面と平行な基準面を有し前記レーザ光源と嵌合し該レーザ光源の位置決めをする段
   差と、前記基準面の中心に前記レーザ光源の先端が貫通する貫通孔と、前記押えばねを係
   合する係合部材とを有しており、
   前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に
   前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射さ
   れるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッド
   を取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度
   と一致することを特徴とする波面収差測定装置。
3. 干渉計測装置と、
   光ヘッドの波面収差を測定するときに用いられる光ヘッド配置冶具と、
   前記光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光ヘッドに取付けられるレーザ光源を支
   持する波面収差測定治具を有し、前記レーザ光源から前記干渉装置にレーザ光を照射して
   前記レーザ光源の波面収差を測定する波面収差測定装置であって、
   前記光ヘッド配置冶具は光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫通する係合軸
   と、前記係合軸に対向して配置される支持部とを有し、
   本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源取付部
   と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合する係
   合凹部と、前記光源取付部に配置され前記レーザ光源を圧接し傾かないように支持する板
   状の押えばねとを有し、
   前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された凹孔と、前記凹孔の開放されているの
   と反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに配置され、
   前記下面と平行な基準面を有し前記レーザ光源と嵌合し該レーザ光源の位置決めをする段
   差と、前記基準面の中心に前記レーザ光源の先端が貫通する貫通孔と、前記底面に前記段
   差と重ならないように互いに等中心角度間隔になるよう配置され、ボルトと螺合して前記
   押えばねを締め付けるための複数個の雌ねじ孔とを有しており、
   前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に
   前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射さ
   れるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッド
   を取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度
   と一致することを特徴とする波面収差測定装置。
4. 光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫通する係合軸と、前記係合軸に対向し
   て配置される支持部とを有する光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光ヘッドに取付
   けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具であって、
   平面視矩形状の本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けら
   れる光源取付部と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合
   軸に係合する係合凹部と、前記底面に配置され前記レーザ光源と弾性的に圧接し傾かない
   ように支持する板状の押えばねとを有し、
   前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された断面円形の凹孔と、前記凹孔の開放さ
   れているのと反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに
   配置される基準面を有し前記レーザ光源の位置決めをする段差と、前記基準面の中心に断
   面円形状の貫通孔と、前記底面に前記段差と重ならないように互いに等中心角度間隔にな
   るよう配置され、ボルトと螺合して前記押えばねを締め付けるための４個の雌ねじ孔とを
   有しており、
   前記段差には前記レーザ光源に形成された位置決め用のフランジ部が係合し、前記貫通
   孔には前記レーザ光源の先端に形成されたレーザ光出射部が嵌合又は貫通するものであり
   、前記押えばねは前記レーザ光源の前記フランジ部を弾性的に支持し、
   前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に
   前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射さ
   れるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッド
   を取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度
   と一致することを特徴とする波面収差測定冶具。
5. 光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫通する係合軸と、前記係合軸に対向し
   て配置される支持部とを有する光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光ヘッドに取付
   けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具であって、
   本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源取付部
   と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合する係
   合凹部と、前記光源取付部に配置され前記レーザ光源を圧接し傾かないように支持する板
   状の押えばねとを有し、
   前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された凹孔と、前記凹孔の開放されているの
   と反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに配置され、
   前記下面と平行な基準面を有し前記レーザ光源と嵌合し該レーザ光源の位置決めをする段
   差と、前記基準面の中心に前記レーザ光源の先端が貫通する貫通孔と、前記押えばねを係
   合する係合部材とを有しており、
   前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に
   前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射さ
   れるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッド
   を取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度
   と一致することを特徴とする波面収差測定冶具。
6. 光ヘッドに備えられる摺動ガイド用の摺動孔を貫通する係合軸と、前記係合軸に対向し
   て配置される支持部とを有する光ヘッド配置治具の上部に配置され、前記光ヘッドに取付
   けられるレーザ光源を支持する波面収差測定治具であって、
   本体部と、前記本体部の所定の位置に形成され、レーザ光源が取付けられる光源取付部
   と、前記本体部の下面に形成され前記光ヘッド配置治具に形成された係合軸に係合する係
   合凹部と、前記光源取付部に配置され前記レーザ光源を圧接し傾かないように支持する板
   状の押えばねとを有し、
   前記光源取付部は前記本体の下面側が開放された凹孔と、前記凹孔の開放されているの
   と反対側に形成される底面と、前記底面の中心に該底面に対して所定の深さに配置され、
   前記下面と平行な基準面を有し前記レーザ光源と嵌合し該レーザ光源の位置決めをする段
   差と、前記基準面の中心に前記レーザ光源の先端が貫通する貫通孔と、前記底面に前記段
   差と重ならないように互いに等中心角度間隔になるよう配置され、ボルトと螺合して前記
   押えばねを締め付けるための複数個の雌ねじ孔とを有しており、
   前記下面と前記基準面は平行であり、前記係合軸に前記係合凹部を係合し前記支持部に
   前記本体の下面を載置したときに、前記光源取付部に取付けられたレーザ光源から出射さ
   れるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度が、前記光ヘッド取付治具に該光ヘッド
   を取付けたときの該光ヘッドから出射されるレーザ光の光軸と該係合軸との距離及び角度
   と一致することを特徴とする波面収差測定冶具。

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