JP3106382B2 - クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法 - Google Patents
クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法Info
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- JP3106382B2 JP3106382B2 JP06021748A JP2174894A JP3106382B2 JP 3106382 B2 JP3106382 B2 JP 3106382B2 JP 06021748 A JP06021748 A JP 06021748A JP 2174894 A JP2174894 A JP 2174894A JP 3106382 B2 JP3106382 B2 JP 3106382B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造工業、液
晶製造工業などの電子工業において使用される超純水の
製造と、超純水使用後の排水、すなわちフロン等の有機
溶媒や酸、アルカリ等の無機薬品を含む排水の処理と
を、クローズドシステムにおいて一貫して行う方法に関
する。
晶製造工業などの電子工業において使用される超純水の
製造と、超純水使用後の排水、すなわちフロン等の有機
溶媒や酸、アルカリ等の無機薬品を含む排水の処理と
を、クローズドシステムにおいて一貫して行う方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体製造工場においては超純
水、有機溶剤、無機薬品等を大量に消費しており、その
処理システムをクローズド化するためには、図４に示す
ような複雑なプロセスとする必要があった。
水、有機溶剤、無機薬品等を大量に消費しており、その
処理システムをクローズド化するためには、図４に示す
ような複雑なプロセスとする必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の超純水製造およ
びその排水処理システムは、上記の如く複雑なプロセス
を必要とするものであるため、下記の問題を有する。
びその排水処理システムは、上記の如く複雑なプロセス
を必要とするものであるため、下記の問題を有する。
【０００４】 プロセスが大型化する場合、単位操作
一つ一つが大型化し、設備全体の建設費、設置面積が莫
大なものになる。
一つ一つが大型化し、設備全体の建設費、設置面積が莫
大なものになる。
【０００５】 薬品の使用量を削減するので高温超純
水の使用量が増加している。しかしながら高温超純水を
使用した場合、その高温排水を処理するためには図４の
プロセスでは排水を常温まで冷却する必要があり、エネ
ルギー的に無駄が多い。
水の使用量が増加している。しかしながら高温超純水を
使用した場合、その高温排水を処理するためには図４の
プロセスでは排水を常温まで冷却する必要があり、エネ
ルギー的に無駄が多い。
【０００６】 プロセスが複雑なため、その運転、維
持および管理が容易でない。
持および管理が容易でない。
【０００７】この発明は、上記の実情に鑑みてなされた
ものであって、その目的は上記のような問題を克服し
た、クローズドシステムの超純水製造および排水処理方
法を提供することにある。
ものであって、その目的は上記のような問題を克服し
た、クローズドシステムの超純水製造および排水処理方
法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決すべく工夫されたもので、一次純水製造装置と二次純
水製造装置によって高温超純水を製造し、超純水使用後
の濃厚排水を多重効用濃縮装置によって濃縮し、さらに
蒸発乾固装置によって固形化して処理し、該濃縮装置お
よび乾固装置から出た回収水を一次純水製造装置へリサ
イクルし、超純水使用後の希薄排水中の低沸点成分を、
必要に応じて低沸点成分処理装置によって自己蒸発過程
による排水の冷却を行いながら処理した後、一次純水製
造装置へリサイクルし、多重効用濃縮装置の濃縮水、お
よび適宜設けられる低沸点成分処理装置の濃縮水を、処
理過程で冷却した後、イオン交換装置によって無機イオ
ン類を除去し、イオン交換装置から出た回収水を一次純
水製造装置へリサイクルし、一次および二次純水製造装
置、多重効用濃縮装置および蒸発乾固装置の熱源に、電
力と蒸気を同時に供給できるコージェネレーション装置
からの蒸気を用いることを特徴とする、クローズドシス
テムの超純水製造および排水処理方法である。
決すべく工夫されたもので、一次純水製造装置と二次純
水製造装置によって高温超純水を製造し、超純水使用後
の濃厚排水を多重効用濃縮装置によって濃縮し、さらに
蒸発乾固装置によって固形化して処理し、該濃縮装置お
よび乾固装置から出た回収水を一次純水製造装置へリサ
イクルし、超純水使用後の希薄排水中の低沸点成分を、
必要に応じて低沸点成分処理装置によって自己蒸発過程
による排水の冷却を行いながら処理した後、一次純水製
造装置へリサイクルし、多重効用濃縮装置の濃縮水、お
よび適宜設けられる低沸点成分処理装置の濃縮水を、処
理過程で冷却した後、イオン交換装置によって無機イオ
ン類を除去し、イオン交換装置から出た回収水を一次純
水製造装置へリサイクルし、一次および二次純水製造装
置、多重効用濃縮装置および蒸発乾固装置の熱源に、電
力と蒸気を同時に供給できるコージェネレーション装置
からの蒸気を用いることを特徴とする、クローズドシス
テムの超純水製造および排水処理方法である。
【０００９】希薄排水中に低沸点成分が全くもしくは殆
どない場合は、低沸点成分処理装置は省略されることが
ある。
どない場合は、低沸点成分処理装置は省略されることが
ある。
【００１０】また、排水中に低沸点有機溶剤が比較的多
く含まれている場合には、多重効用濃縮装置、蒸発乾固
装置および低沸点成分処理装置は、蒸発法を採用したも
のであると、これらの装置から出た回収水中に有機物が
混入することがある。そこで、回収水は紫外線有機物分
解装置に通され、回収水中の有機物が有機酸や炭酸ガス
に分解され、分解物はイオン交換装置で除去された後、
回収水が一次純水製造装置へリサイクルされる。
く含まれている場合には、多重効用濃縮装置、蒸発乾固
装置および低沸点成分処理装置は、蒸発法を採用したも
のであると、これらの装置から出た回収水中に有機物が
混入することがある。そこで、回収水は紫外線有機物分
解装置に通され、回収水中の有機物が有機酸や炭酸ガス
に分解され、分解物はイオン交換装置で除去された後、
回収水が一次純水製造装置へリサイクルされる。
【００１１】
【実施例】つぎに、この発明の実施例を示す。
【００１２】実施例１ 図１において、一次純水製造装置(1) の補給水として用
いられる工業用水と、後述する多重効用濃縮装置(5) 、
蒸発乾固装置(6) および低沸点成分処理装置(7) でそれ
ぞれ回収された回収水とが原水として一次純水製造装置
(1) にリサイクルされ、ここで一次純水が製造される。
一次純水製造装置(1) としては蒸留法によるものが適し
ているが、それ以外の従来システムでもよい。この一次
純水は蒸留法による二次純水製造装置(2) へ原水として
供給される。二次純水製造装置(2) で製造された二次純
水すなわち超純水はユースポイント(9) へ供給される。
いられる工業用水と、後述する多重効用濃縮装置(5) 、
蒸発乾固装置(6) および低沸点成分処理装置(7) でそれ
ぞれ回収された回収水とが原水として一次純水製造装置
(1) にリサイクルされ、ここで一次純水が製造される。
一次純水製造装置(1) としては蒸留法によるものが適し
ているが、それ以外の従来システムでもよい。この一次
純水は蒸留法による二次純水製造装置(2) へ原水として
供給される。二次純水製造装置(2) で製造された二次純
水すなわち超純水はユースポイント(9) へ供給される。
【００１３】ユースポイント(9) で使用した超純水の排
水のうち濃厚排水は多重効用濃縮装置(5) へ供給され、
希薄排水は低沸点成分処理装置(7) へ供給される。
水のうち濃厚排水は多重効用濃縮装置(5) へ供給され、
希薄排水は低沸点成分処理装置(7) へ供給される。
【００１４】濃厚排水は多重効用濃縮装置(5) で濃縮さ
れ、同装置(5) から出た水分は回収され、一次純水製造
装置(1) へリサイクルされる。他方、同装置(5) から出
た濃縮水は蒸発乾固装置(6) で蒸発乾固され、スラッジ
となる。
れ、同装置(5) から出た水分は回収され、一次純水製造
装置(1) へリサイクルされる。他方、同装置(5) から出
た濃縮水は蒸発乾固装置(6) で蒸発乾固され、スラッジ
となる。
【００１５】一次および二次純水製造装置(1) (2) 、多
重効用濃縮装置(5) および蒸発乾固装置(6) の熱源とし
て、コージェネレーション装置(3) からの蒸気がこれら
の装置へ供給される。
重効用濃縮装置(5) および蒸発乾固装置(6) の熱源とし
て、コージェネレーション装置(3) からの蒸気がこれら
の装置へ供給される。
【００１６】低沸点成分処理装置(7) は基本的に多段フ
ラッシュ処理装置で構成され、同装置(7) から出た高温
排水は自己蒸発する過程で冷却され、発生した蒸気は水
として回収され、回収水は一次純水製造装置(1) へリサ
イクルされる。他方、低沸点成分処理装置(7) から出た
濃縮水は、濃縮水中のイオン成分除去のためにイオン交
換装置(8) へ供給される。
ラッシュ処理装置で構成され、同装置(7) から出た高温
排水は自己蒸発する過程で冷却され、発生した蒸気は水
として回収され、回収水は一次純水製造装置(1) へリサ
イクルされる。他方、低沸点成分処理装置(7) から出た
濃縮水は、濃縮水中のイオン成分除去のためにイオン交
換装置(8) へ供給される。
【００１７】イオン交換装置(8) には多重効用濃縮装置
(5) の排水の一部も供給され、上記濃縮水と共に処理さ
れる。多重効用濃縮装置(5) の濃縮水、および低沸点成
分処理装置(7) の濃縮水は、処理過程で４０℃程度まで
冷却されるので、イオン交換装置(8) において、無機イ
オンの除去が効率的に行われる。イオン交換装置(8)か
ら出た回収水も一次純水製造装置(1) へリサイクルされ
る。
(5) の排水の一部も供給され、上記濃縮水と共に処理さ
れる。多重効用濃縮装置(5) の濃縮水、および低沸点成
分処理装置(7) の濃縮水は、処理過程で４０℃程度まで
冷却されるので、イオン交換装置(8) において、無機イ
オンの除去が効率的に行われる。イオン交換装置(8)か
ら出た回収水も一次純水製造装置(1) へリサイクルされ
る。
【００１８】実施例２ 希薄排水中に低沸点成分が全くもしくは殆どない場合
は、図２に示すように、低沸点成分処理装置は省略され
る。図２のフローは低沸点成分処理装置の省略の点を除
き、図１のそれと同じである。
は、図２に示すように、低沸点成分処理装置は省略され
る。図２のフローは低沸点成分処理装置の省略の点を除
き、図１のそれと同じである。
【００１９】実施例３ 図３に示すフローは、排水中に低沸点有機溶剤が比較的
多く含まれている場合に行われる。図３において、多重
効用濃縮装置(5) 、蒸発乾固装置(6) および低沸点成分
処理装置(7) は、蒸発法を採用したものであると、低沸
点有機物が多い場合には、これらの装置から出た回収水
中に有機物が混入することがある。そこで、回収水は紫
外線有機物分解装置(10)に通され、回収水中の有機物が
有機酸や炭酸ガスに分解され、分解物はイオン交換装置
(8) で除去された後、回収水が一次純水製造装置(1) へ
リサイクルされる。
多く含まれている場合に行われる。図３において、多重
効用濃縮装置(5) 、蒸発乾固装置(6) および低沸点成分
処理装置(7) は、蒸発法を採用したものであると、低沸
点有機物が多い場合には、これらの装置から出た回収水
中に有機物が混入することがある。そこで、回収水は紫
外線有機物分解装置(10)に通され、回収水中の有機物が
有機酸や炭酸ガスに分解され、分解物はイオン交換装置
(8) で除去された後、回収水が一次純水製造装置(1) へ
リサイクルされる。
【００２０】
【発明の効果】この発明によれば、下記の効果が発揮さ
れる。
れる。
【００２１】 常温の超純水の使用を全廃あるいは削
減し、洗浄能力のより高い高温超純水を使用するので、
薬品使用量を削減することができる。
減し、洗浄能力のより高い高温超純水を使用するので、
薬品使用量を削減することができる。
【００２２】 薬品使用量が削減されることによっ
て、排水処理装置の負荷が低減できる。 従来のプロセスと比べて非常に簡単なプロセスで超
純水製造および排水処理を一貫して行うことができる。
て、排水処理装置の負荷が低減できる。 従来のプロセスと比べて非常に簡単なプロセスで超
純水製造および排水処理を一貫して行うことができる。
【００２３】 設置面積が小さくなる。
【００２４】 運転維持管理が容易になる。
【００２５】 電子工業においては、電力を大量に使
用するが、コージェネレーション装置の導入によって、
その電力を賄い、かつ一次および二次純水製造装置、多
重効用濃縮装置および蒸発乾固装置に必要な熱を供給す
ることができ、運転費用を大幅に削減することができ
る。
用するが、コージェネレーション装置の導入によって、
その電力を賄い、かつ一次および二次純水製造装置、多
重効用濃縮装置および蒸発乾固装置に必要な熱を供給す
ることができ、運転費用を大幅に削減することができ
る。
【図１】実施例１の超純水製造および排水処理システム
を示すフローシートである。
を示すフローシートである。
【図２】実施例２の超純水製造および排水処理システム
を示すフローシートである。
を示すフローシートである。
【図３】実施例３の超純水製造および排水処理システム
を示すフローシートである。
を示すフローシートである。
【図４】従来の超純水製造および排水処理システムを示
すフローシートである。
すフローシートである。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−254553（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−254554（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−79257（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−79273（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−111198（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−87299（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−108724（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C02F 1/16 ZAB B01D 19/00 ZAB C02F 1/20 ZAB C02F 1/42 ZAB
Claims (1)
- 【請求項１】一次純水製造装置と二次純水製造装置によ
って高温超純水を製造し、 超純水使用後の濃厚排水を多重効用濃縮装置によって濃
縮し、さらに蒸発乾固装置によって固形化して処理し、 該濃縮装置および乾固装置から出た回収水を一次純水製
造装置へリサイクルし、 超純水使用後の希薄排水中の低沸点成分を、必要に応じ
て低沸点成分処理装置によって自己蒸発過程による排水
の冷却を行いながら処理した後、一次純水製造装置へリ
サイクルし、 多重効用濃縮装置の濃縮水、および適宜設けられる低沸
点成分処理装置の濃縮水を、処理過程で冷却した後、イ
オン交換装置によって無機イオン類を除去し、 イオン交換装置から出た回収水を一次純水製造装置へリ
サイクルし、 一次および二次純水製造装置、多重効用濃縮装置および
蒸発乾固装置の熱源に、電力と蒸気を同時に供給できる
コージェネレーション装置からの蒸気を用いることを特
徴とする、クローズドシステムの超純水製造および排水
処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06021748A JP3106382B2 (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06021748A JP3106382B2 (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07227592A JPH07227592A (ja) | 1995-08-29 |
| JP3106382B2 true JP3106382B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=12063698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06021748A Expired - Fee Related JP3106382B2 (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3106382B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4936505B2 (ja) * | 2005-10-04 | 2012-05-23 | 株式会社神鋼環境ソリューション | アンモニア含有水の処理方法および処理装置 |
| JP5233138B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2013-07-10 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置からの濃縮廃水の処理方法および前記濃縮廃水の処理装置。 |
| JP2013169530A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 発電プラントの水処理システムおよび水処理方法 |
-
1994
- 1994-02-21 JP JP06021748A patent/JP3106382B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07227592A (ja) | 1995-08-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000718 |
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