JP3103651B2 - 流体振動型流量センサとその器差調整方法 - Google Patents

流体振動型流量センサとその器差調整方法

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JP3103651B2
JP3103651B2 JP04033044A JP3304492A JP3103651B2 JP 3103651 B2 JP3103651 B2 JP 3103651B2 JP 04033044 A JP04033044 A JP 04033044A JP 3304492 A JP3304492 A JP 3304492A JP 3103651 B2 JP3103651 B2 JP 3103651B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はフルィディック発振素子
を用いた流体振動型流量センサとその器差調整方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】ノズルの下流にターゲットを有するフル
ィディック発振素子を用いた流体振動型流量計が特開昭
57−66313号公報で公知である。
【0003】この種の流量計では、フルィディック発振
素子のメータ定数は発振素子の形状寸法で定まるが、個
々の流量計毎の製作誤差によりメータ定数がばらつき、
数%オーダの器差を要求される産業機器用として、無調
整では希望の精度が得られなかった。
【0004】そこで、本出願人は、フルィディック発振
素子のノズルの下流に配置したターゲットを、流れ方向
(前後方向)に移動可能に、流路本体の底部に取付け、
ターゲットの位置を前後方向に移動させることで器差の
プラス・マイナスへの調整を行なう流体振動型流量セン
サを提案した(特願平3−136900)。
【0005】この流量センサは、器差調整を行なうの
に、フルィディック発振素子の蓋を外し、ターゲットを
固定しているねじを緩めて、ターゲットを流れの上流又
は下流方向に移動させることで、器差を希望値に合わせ
込んでいた。
【0006】そして、ターゲットを前方上流側に0.1
mm移動させると器差が+2%変化し、後方下流側に
0.1mm移動させると器差が−2%変化する実施例が
記載され、ターゲットの前後方向への移動量と器差変化
量とは直線的な関数関係があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術では、
器差調整を行なうのに、フルィディック発振素子の蓋を
外し、流量センサを一旦分解して調整する必要があるた
め、工数がかかり、製作が困難であるという問題点があ
った。
【0008】そこで、本発明は、かかる問題を解消し、
分解しないで器差調整ができる流体振動型流量センサと
その器差調整方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の流体振動型流量センサは、フルィディック
発振素子(9)のターゲット(7)を流れ方向に貫通
し、かつその中心線が出口(6)を通る雌ねじ(7b)
を設け、該雌ねじ(7b)に器差調整用ねじ(14)を
螺着した。
【0010】又、本発明の器差調整方法は、出口からド
ライバを挿入して前記器差調整用ねじ(14)を回転進
退させて行なう。器差調整用ねじ(14)をターゲット
の前面より突出させると、器差をプラスに変えられる。
【0011】又、器差調整用ねじがターゲットの後面か
ら後方に突出し、ターゲットの前方には突出していない
場合は器差をマイナスに変えられる。そして、ターゲッ
トの後面に座金を吸着すると、座金の枚数に応じて器差
をマイナスに変えられる。
【0012】
【実施例】図1〜図4の実施例において、1は流量計の
流路本体で、入口2、ノズル3、側壁4a、4b、フィ
ードバックループ5a、5b、及び出口6が一体的に形
成されている。
【0013】7はノズル3の下流に配置されたL字形
(図3参照)のターゲットで、その基部7aがねじ8に
より本体1の底面の所定位置に固定されている。ノズル
3、側壁4a、4b、フィードバックループ5a、5b
及びターゲット7は周知のフルィディック発振素子9を
構成している。
【0014】10は本体1の上面に固定した蓋、11は
蓋10に取付けた電子回路基板、12はカバー、13a
と13bはターゲット7の左右両側の対線位置で、ター
ゲット7と側壁4a、4bとの間の流路に配設された熱
式流量センサでサーミスタや白金薄膜抵抗素子を用い
る。
【0015】熱式流速センサ13aは図4に示すよう
に、蓋10から下方に突出する短い柱10aの下端に取
付けられている。13a′は熱式流速センサ13aのリ
ードである。
【0016】なお他方の熱式流速センサー13bも、同
様に蓋10から下方に突出する別の柱の下端に取付けら
れている。ターゲット7は流路本体1とは別体に形成さ
れ、図3に示すように、全体がほぼL字形で、基部7a
に固定用の穴が、又、前面の流体受圧面の中央には、タ
ーゲット7を流れ方向に貫通して雌ねじ7bが設けら
れ、この雌ねじ7bの中心線は、ターゲット7を本体1
の底面の所定位置にねじ8で固定したときに、出口6を
通るように定められている。
【0017】なお、図3でHはターゲットの高さ、Bは
幅で、雌ねじ7bは、高さHの半分、幅Bの中央部の位
置に、前後方向に向って設けられている。フルィディッ
ク発振素子9は、ターゲット7をねじ8で所定の位置に
固定したときに、所定のメータ定数になるように、形状
寸法が定められ、ターゲット7の位置を正確に定めるた
め、ターゲット7の基部7aが図4に示すように本体1
の底面凹部に嵌合して位置決めされるようにしてある。
【0018】そして、この状態で、ターゲット7の雌ね
じ7bに何も装着しない状態でちょうど器差が零となっ
て所定のメータ定数になる。しかし、個々のばらつきに
より、器差が零とならないで、いくらか+又は−になる
ものが出来るため、これらを器差零に調整する必要があ
る。
【0019】図1〜図4は、器差調整ねじ14をターゲ
ット7の雌ねじ7bに後方から螺着し、ねじ14の先端
をターゲット7の前面から長さl1 だけ突出させたもの
で、こうすることで、器差をプラスに変化させ、今まで
マイナス器差であったのを零に出来る。
【0020】そして、器差の変化量は突出量l1 を変え
ることで、微調整ができ、ねじ14は、出口6から挿入
したドライバ16で加減できる。図5〜図6の実施例
は、ターゲット7の雌ねじ7bに何も装着しないで流量
センサを組立てたときの器差がいくらかプラスであるの
をマイナス側にずらして、器差を零に合わせ込むもの
で、器差調整ねじ14の頭とターゲット7との間、つま
りターゲット7の下流側の面に器差調整用座金15が2
枚介装されている。こうすることで、器差を零に合せ込
むことができる。このとき、ねじ14の先端はターゲッ
トの前面には突出していない。
【0021】なお、器差調整用座金の枚数を変えること
で、器差の変更値を変えることができ、枚数を多くして
全体の厚みを増す程、器差をよりマイナス側にずらすこ
とができる。
【0022】又、器差調整用座金は、図7(a)のよう
な4角形でも、同図(b)のような丸形でもよく、座金
の大きさがターゲット7の幅Bよりも大きいと、器差曲
線の変化が激しいので、ターゲットの幅と同じ大きさの
座金を用いた方が調整し易い。
【0023】
【発明の効果】本発明の流量センサとその調整方法は、
上述のように構成されているので、流量センサを分解し
ないで器差調整ができるため、調整工数が削減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の蓋を外した平面図。
【図2】図1の要部拡大図。
【図3】ターゲットの拡大斜視図。
【図4】図1の実施例の一部縦断図。
【図5】本発明の他の実施例の蓋を外した平面図。
【図6】図5の要部拡大図。
【図7】座金の斜視図で(a)と(b)は異なる形状の
ものを示す。
【図8】図5の実施例の一部縦断正面図。
【符号の説明】
6 出口 7 ターゲット 7b 雌ねじ 9 フルィディック発振素子 14 器差調整用ねじ 15 器差調整用座金

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フルィディック発振素子(9)のターゲ
    ット(7)を流れ方向に貫通し、かつその中心線が出口
    (6)を通る雌ねじ(7b)を設け、該雌ねじ(7b)
    に器差調整用ねじ(14)を螺着した流体振動型流量セ
    ンサ。
  2. 【請求項2】 器差調整用ねじ(14)がターゲット
    (7)の前面より突出している請求項1の流体振動型流
    量センサ。
  3. 【請求項3】 器差調整用ねじ(14)がターゲット
    (7)の後面から後方に突出し、ターゲットの前方には
    突出していない請求項1の流体振動型流量センサ。
  4. 【請求項4】 ターゲット(7)の後面に器差調整用ね
    じ(14)で器差調整用座金(15)を装着した請求項
    3の流体振動型流量センサ。
  5. 【請求項5】 器差調整用座金(15)を複数枚設けた
    請求項4の流体振動型流量センサ。
  6. 【請求項6】 出口(6)からドライバを挿入して器差
    調整用ねじ(14)を回転進退させる流体振動型流量セ
    ンサの器差調整方法。
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