JP2977639B2 - 流体振動型流量センサ - Google Patents
流体振動型流量センサInfo
- Publication number
- JP2977639B2 JP2977639B2 JP3136899A JP13689991A JP2977639B2 JP 2977639 B2 JP2977639 B2 JP 2977639B2 JP 3136899 A JP3136899 A JP 3136899A JP 13689991 A JP13689991 A JP 13689991A JP 2977639 B2 JP2977639 B2 JP 2977639B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration type
- fluid vibration
- flow sensor
- type flow
- flow
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフルィデック発振素子を
用いた流体（例えば圧縮空気）振動型流量センサに関す
る。
用いた流体（例えば圧縮空気）振動型流量センサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】フルィデック発振素子の流体運動の周波
数が流量にほぼ比例する性質を利用した流体振動型流量
計が公知であり、特開昭５７−６６３１３号公報には、
この種の流量計として、噴出ノズル下流の管路拡大部の
中央に柱状物体（ターゲット）を位置させたフルィデッ
ク発信素子を用いたものが示されている。
数が流量にほぼ比例する性質を利用した流体振動型流量
計が公知であり、特開昭５７−６６３１３号公報には、
この種の流量計として、噴出ノズル下流の管路拡大部の
中央に柱状物体（ターゲット）を位置させたフルィデッ
ク発信素子を用いたものが示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種のフルィデック
発振素子を用いた流体振動型流量計は、その器差特性を
平坦にすることが望まれているが、器差特性を平坦にす
る制御因子が見つかっていなかったため、改良しようと
しても、改良できないという問題点があった。
発振素子を用いた流体振動型流量計は、その器差特性を
平坦にすることが望まれているが、器差特性を平坦にす
る制御因子が見つかっていなかったため、改良しようと
しても、改良できないという問題点があった。
【０００４】因に、従来技術では、２．５〜１３．５ｍ
3／ｈという約６倍の流量範囲で器差が８％も変化して
いた。そこで本発明はかかる問題点を解消できる流体振
動型流量計（以下流体振動型流量センサという）を提供
することを目的とする。
3／ｈという約６倍の流量範囲で器差が８％も変化して
いた。そこで本発明はかかる問題点を解消できる流体振
動型流量計（以下流体振動型流量センサという）を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の流体振動型流量センサは、フルィデック発
振素子（９）の噴出ノズル（３）の下流に配置した四角
柱状ターゲット（７）の、流れ方向の厚みＤと流れに直
角な方向の幅Ｗとの関係をＷ／２＜Ｄ＜Ｗに定めたこと
を特徴とする。
に、本発明の流体振動型流量センサは、フルィデック発
振素子（９）の噴出ノズル（３）の下流に配置した四角
柱状ターゲット（７）の、流れ方向の厚みＤと流れに直
角な方向の幅Ｗとの関係をＷ／２＜Ｄ＜Ｗに定めたこと
を特徴とする。
【０００６】
【実施例】図１〜図３の実施例において、１は流量計の
本体で、入口２、噴出ノズル３、側壁４、フィールドバ
ックループ５、出口６が一体的に形成されている。
本体で、入口２、噴出ノズル３、側壁４、フィールドバ
ックループ５、出口６が一体的に形成されている。
【０００７】７は四角い柱状のターゲットで、その基部
７ａがねじ８により本体１の底面に固定されている。ノ
ズル３、側壁４、フィードバックループ５及びターゲッ
ト７はいわゆるフルィデック発振素子９を構成してい
る。
７ａがねじ８により本体１の底面に固定されている。ノ
ズル３、側壁４、フィードバックループ５及びターゲッ
ト７はいわゆるフルィデック発振素子９を構成してい
る。
【０００８】１０は本体１の上面に固定した蓋、１１は
蓋１０に取りつけた電子回路基盤、１２はカバー、１
３、１３はターゲット７と側壁４、４との間の流路に配
設した熱式流速センサで、サーミスタや白金薄膜抵抗体
が用いられている。
蓋１０に取りつけた電子回路基盤、１２はカバー、１
３、１３はターゲット７と側壁４、４との間の流路に配
設した熱式流速センサで、サーミスタや白金薄膜抵抗体
が用いられている。
【０００９】この熱式流速センサは図３に示すように、
蓋１０から下方に垂下する短い柱１０ａの下端に取り付
けられている。１３’は熱式流速センサ１３のリードで
ある。
蓋１０から下方に垂下する短い柱１０ａの下端に取り付
けられている。１３’は熱式流速センサ１３のリードで
ある。
【００１０】入口から流入する流体（例えば圧縮空気）
は、ノズル２から下流（図の右方）に噴出し、その主噴
はコアンダ効果により、両側壁の一方ずつに交互に付着
して、発振する。
は、ノズル２から下流（図の右方）に噴出し、その主噴
はコアンダ効果により、両側壁の一方ずつに交互に付着
して、発振する。
【００１１】熱式流速センサ１３はこの主噴流の流体振
動を電気信号に変換する。ターゲット７の流れに直角な
方向の幅Ｗを一定の値８．０ｍｍに固定して、流れ方向
の厚みＤを従来寸法の２ｍｍから、４ｍｍ、６ｍｍ、
７．５ｍｍと変え、圧力５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧縮空気を
流して、流量が２．５〜１３．５ｍ3／ｈの範囲におけ
る器差を測定した結果を図４に示す。
動を電気信号に変換する。ターゲット７の流れに直角な
方向の幅Ｗを一定の値８．０ｍｍに固定して、流れ方向
の厚みＤを従来寸法の２ｍｍから、４ｍｍ、６ｍｍ、
７．５ｍｍと変え、圧力５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧縮空気を
流して、流量が２．５〜１３．５ｍ3／ｈの範囲におけ
る器差を測定した結果を図４に示す。
【００１２】従来のように、ターゲットの厚みＤを２ｍ
ｍにした場合には、器差特性は大きな勾配を持ってお
り、、厚みＤを４ｍｍ、６ｍｍとするほど勾配が小さく
なっているのが判る。
ｍにした場合には、器差特性は大きな勾配を持ってお
り、、厚みＤを４ｍｍ、６ｍｍとするほど勾配が小さく
なっているのが判る。
【００１３】図４のデータを、図５のように、ターゲッ
トの厚みＤを変数として書き直すと、従来のＤ＝２ｍｍ
の場合に比較して、本発明のように厚みＤをＷ／２から
Ｗの範囲に定めると流量変化に対する器差の違いが小さ
くなることが理解できる。
トの厚みＤを変数として書き直すと、従来のＤ＝２ｍｍ
の場合に比較して、本発明のように厚みＤをＷ／２から
Ｗの範囲に定めると流量変化に対する器差の違いが小さ
くなることが理解できる。
【００１４】例えば、ターゲット７の厚みＤを幅Ｗの
０．７５倍の６ｍｍにした場合には、流量範囲２．５〜
１３．５ｍ3／ｈに対し、器差は２％しか変化せず、従
来の８％の変化に対し４倍も改善されている。
０．７５倍の６ｍｍにした場合には、流量範囲２．５〜
１３．５ｍ3／ｈに対し、器差は２％しか変化せず、従
来の８％の変化に対し４倍も改善されている。
【００１５】
【発明の効果】本発明の流体振動型流量センサは、上述
のように構成されているので、フルィデック発振素子の
形状寸法のうち、ターゲットの幅と厚みの関係を変更す
るだけの、わずかの変更で流量・器差特性を平坦化する
ことができた。
のように構成されているので、フルィデック発振素子の
形状寸法のうち、ターゲットの幅と厚みの関係を変更す
るだけの、わずかの変更で流量・器差特性を平坦化する
ことができた。
【図１】（ａ）は本発明の実施例の蓋を外した状態の平
面図、（ｂ）はその要部拡大図。
面図、（ｂ）はその要部拡大図。
【図２】本発明の実施例の平面図で、蓋の半分を取外し
た状態。
た状態。
【図３】本発明の実施例の一部縦断正面図。
【図４】ターゲットの厚みＤをパラメータとした流量対
器差特性線図。
器差特性線図。
【図５】流量をパラメータとしたターゲットの厚みＤ対
器差特性線図。
器差特性線図。
３ 噴出ノズル ７ ターゲット ９ フルィデック発振素子 Ｄ 厚み Ｗ 幅
フロントページの続き (72)発明者 馬場 隆英 愛知県名古屋市熱田区千年一丁目２番70 号 愛知時計電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−128612（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−313018（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−278422（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−90123（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01F 1/20
Claims (1)
- 【請求項１】 フルィデック発振素子（９）の噴出ノズ
ル（３）の下流に配置した柱状ターゲット（７）の、流
れ方向の厚みＤと流れに直角な方向の幅Ｗとの関係を Ｗ／２＜Ｄ＜Ｗ に定めたことを特徴とする流体振動型流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136899A JP2977639B2 (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 流体振動型流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136899A JP2977639B2 (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 流体振動型流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04361118A JPH04361118A (ja) | 1992-12-14 |
| JP2977639B2 true JP2977639B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=15186167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3136899A Expired - Lifetime JP2977639B2 (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 流体振動型流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2977639B2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-10 JP JP3136899A patent/JP2977639B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04361118A (ja) | 1992-12-14 |
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