JP2983076B2 - 流体振動型流量センサ - Google Patents
流体振動型流量センサInfo
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- JP2983076B2 JP2983076B2 JP3136900A JP13690091A JP2983076B2 JP 2983076 B2 JP2983076 B2 JP 2983076B2 JP 3136900 A JP3136900 A JP 3136900A JP 13690091 A JP13690091 A JP 13690091A JP 2983076 B2 JP2983076 B2 JP 2983076B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- vibration type
- flow sensor
- fluid vibration
- flow
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフルィディック発振素子
を用いた流体（例えば圧縮空気）振動型流量センサに関
する。
を用いた流体（例えば圧縮空気）振動型流量センサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】ノズルの下流にターゲットを有するフル
ィディック発振素子を用いた流体振動型流量計が特開昭
５７−６６３１３号公報で公知である。
ィディック発振素子を用いた流体振動型流量計が特開昭
５７−６６３１３号公報で公知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この種の流量計では、
フルィディック発振素子のメータ定数は発振素子の形状
寸法で定まるが、個々の流量計毎の製作誤差によりメー
タ定数がばらつき、数％オーダの器差を要求される用途
では、希望の精度が得られないという問題点があった。
フルィディック発振素子のメータ定数は発振素子の形状
寸法で定まるが、個々の流量計毎の製作誤差によりメー
タ定数がばらつき、数％オーダの器差を要求される用途
では、希望の精度が得られないという問題点があった。
【０００４】個々に相異なるメータ定数をマイコンを用
いて補正する方法も、特開平３−４４５１２号公報で公
知であるが、この方法では、圧縮空気を利用する産業機
械分野では設置場所の電気ノイズ環境が悪いため、電気
的な外部ノイズで補正データが破壊されると、大きな計
測誤差を生じるという問題点があった。
いて補正する方法も、特開平３−４４５１２号公報で公
知であるが、この方法では、圧縮空気を利用する産業機
械分野では設置場所の電気ノイズ環境が悪いため、電気
的な外部ノイズで補正データが破壊されると、大きな計
測誤差を生じるという問題点があった。
【０００５】そこで本発明は上記従来技術の問題点を解
消できる流体振動型流量計（以下流体振動型流量センサ
という）を提供することを目的とする。
消できる流体振動型流量計（以下流体振動型流量センサ
という）を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の流体振動型流量センサは、フルィディック
発振素子（９）のノズル（３）の下流に配置したターゲ
ット（７）の基部（７ａ）を、流れ方向に移動可能に、
流路本体（１）の底部（ａ）に取付けたことを特徴とす
る。
に、本発明の流体振動型流量センサは、フルィディック
発振素子（９）のノズル（３）の下流に配置したターゲ
ット（７）の基部（７ａ）を、流れ方向に移動可能に、
流路本体（１）の底部（ａ）に取付けたことを特徴とす
る。
【０００７】ターゲット（７）の基部（７ａ）と流路本
体（１）の底部（１ａ）に、ターゲット（７）の流れ方
向に対する向きを定めるための互いに嵌合する嵌合部
（７ｂ）（１ｂ）をそれぞれ設けると効果的である。
体（１）の底部（１ａ）に、ターゲット（７）の流れ方
向に対する向きを定めるための互いに嵌合する嵌合部
（７ｂ）（１ｂ）をそれぞれ設けると効果的である。
【０００８】
【作用】ターゲットを流れ方向に移動させて、ノズルか
らターゲットまでの距離を変え、一定のメータ定数にな
るようにフルィディック発振素子の発振周波数を調整で
きる。
らターゲットまでの距離を変え、一定のメータ定数にな
るようにフルィディック発振素子の発振周波数を調整で
きる。
【０００９】
【実施例】図１〜図３の実施例において、１は流量計の
流路本体で、入口２、ノズル３、側壁４ａ、４ｂ、フィ
ードバックループ５ａ、５ｂ、出口６が一体的に形成さ
れている。
流路本体で、入口２、ノズル３、側壁４ａ、４ｂ、フィ
ードバックループ５ａ、５ｂ、出口６が一体的に形成さ
れている。
【００１０】７はターゲットで、その基部がねじ８によ
り本体１の底面に図２の左右へ移動可能に装着されてい
る。ノズル３、側壁４ａ、４ｂ、フィードバックループ
５ａ、５ｂ及びターゲット７は、周知のフルィディック
発振素子９を構成している。
り本体１の底面に図２の左右へ移動可能に装着されてい
る。ノズル３、側壁４ａ、４ｂ、フィードバックループ
５ａ、５ｂ及びターゲット７は、周知のフルィディック
発振素子９を構成している。
【００１１】１０は本体１の上面に固定した蓋、１１は
蓋１０に取付けた電子回路基盤、１２はカバー、１３ａ
と１３ｂはターゲット７の左右両側の対称位置で、ター
ゲット７と側壁４ａ、４ｂとの間の流路に配設された熱
式流路センサでサーミスタや白金薄膜抵抗素子等を用い
る。
蓋１０に取付けた電子回路基盤、１２はカバー、１３ａ
と１３ｂはターゲット７の左右両側の対称位置で、ター
ゲット７と側壁４ａ、４ｂとの間の流路に配設された熱
式流路センサでサーミスタや白金薄膜抵抗素子等を用い
る。
【００１２】熱式流速センサ１３ａは、図３に示すよう
に、蓋１０から下方に突出する短い柱１０ａの下端に取
付けられている。１３ａ’は熱式流速センサ１３ａのリ
ードである。
に、蓋１０から下方に突出する短い柱１０ａの下端に取
付けられている。１３ａ’は熱式流速センサ１３ａのリ
ードである。
【００１３】なお、他方の熱式流速センサ１３ｂも、同
様に蓋１０から下方に突出する別の柱の下端に取付けら
れている。入口２から圧縮空気が入り、ノズル３から下
流に噴出する主噴流（メインジェット）はフルィディッ
ク発振素子９の流体振動により、図１（ｂ）に示すよう
に、ターゲット７の左右に矢印Ａ、Ｂに示すように交互
に偏流する。
様に蓋１０から下方に突出する別の柱の下端に取付けら
れている。入口２から圧縮空気が入り、ノズル３から下
流に噴出する主噴流（メインジェット）はフルィディッ
ク発振素子９の流体振動により、図１（ｂ）に示すよう
に、ターゲット７の左右に矢印Ａ、Ｂに示すように交互
に偏流する。
【００１４】すると、この主噴流が交互に熱式流速セン
サ１３ａと１３ｂに強く当たるため、その電気抵抗が変
化し、流体移動に応じた電気信号に変換される。この電
気信号は、図８に示すように、アナログ増幅回路１４で
増幅されたあと、分周回路１５で分周され、出力増幅回
路１６で増幅されて、単位流量出力パルス、例えば１リ
ットル／パルスの出力パルスに変換される。
サ１３ａと１３ｂに強く当たるため、その電気抵抗が変
化し、流体移動に応じた電気信号に変換される。この電
気信号は、図８に示すように、アナログ増幅回路１４で
増幅されたあと、分周回路１５で分周され、出力増幅回
路１６で増幅されて、単位流量出力パルス、例えば１リ
ットル／パルスの出力パルスに変換される。
【００１５】ターゲット７は流路本体１とは別体に形成
され、図４に示すように、全体がほぼＬ字形で、その基
部７の下面には、図４、図５に示すように、下方に突出
した（平面形状がほぼ）長方形の嵌合部７ｂが一体的に
形成されている。７ｃは基部７ｂに明けた、左右方向、
即ち流れ方向に長い小判形の取付孔である。
され、図４に示すように、全体がほぼＬ字形で、その基
部７の下面には、図４、図５に示すように、下方に突出
した（平面形状がほぼ）長方形の嵌合部７ｂが一体的に
形成されている。７ｃは基部７ｂに明けた、左右方向、
即ち流れ方向に長い小判形の取付孔である。
【００１６】流路本体１の底部１ａには前記ターゲット
７の嵌合部７ｂが嵌入するための左右方向（流れ方向）
に長い小判型の浅い凹状の嵌合部１６が図６、図７のよ
うに形成され、さらに、その中央部に雌ねじ１ｃが刻設
されている。
７の嵌合部７ｂが嵌入するための左右方向（流れ方向）
に長い小判型の浅い凹状の嵌合部１６が図６、図７のよ
うに形成され、さらに、その中央部に雌ねじ１ｃが刻設
されている。
【００１７】ターゲット７の嵌合部７ｂを流路本体１の
嵌合部１ｂに嵌入し、ねじ８を取付孔７ｃに通して雌ね
じ１ｃに螺合して締めることで、ターゲット７の向きを
合わせて、その基部７ａを流路本体１の底部１ａに装着
する。そして取付孔７ｃが左右に長い小判形で、かつ嵌
合部７ｂと１ｂがやはり左右方向（流れ方向）に長い形
をしているので、ターゲット７の向きを定めたまま、そ
の固定位置を流れ方向に調整できる。
嵌合部１ｂに嵌入し、ねじ８を取付孔７ｃに通して雌ね
じ１ｃに螺合して締めることで、ターゲット７の向きを
合わせて、その基部７ａを流路本体１の底部１ａに装着
する。そして取付孔７ｃが左右に長い小判形で、かつ嵌
合部７ｂと１ｂがやはり左右方向（流れ方向）に長い形
をしているので、ターゲット７の向きを定めたまま、そ
の固定位置を流れ方向に調整できる。
【００１８】こうして、ターゲットの向きを変えること
なく平行移動して、ノズル３とターゲット７の距離Ｌ
（図１（ｂ）参照）を調整し、メータ定数を変える。距
離Ｌを変更したときの流量対器差特性の例を図９に示
す。一定の距離Ｌのときの器差特性が同図の曲線イであ
ったのが、距離Ｌを１ｍｍ大きくすると曲線ロのように
平行移動した。
なく平行移動して、ノズル３とターゲット７の距離Ｌ
（図１（ｂ）参照）を調整し、メータ定数を変える。距
離Ｌを変更したときの流量対器差特性の例を図９に示
す。一定の距離Ｌのときの器差特性が同図の曲線イであ
ったのが、距離Ｌを１ｍｍ大きくすると曲線ロのように
平行移動した。
【００１９】図１０には、距離Ｌを０.５ｍｍおきに変
化させたときの器差の変化を示す。。
化させたときの器差の変化を示す。。
【００２０】
【発明の効果】本発明の流体振動型流量センサは、上述
のように構成されているので、流体本体をダイカスト等
で製造するときに生じる寸法誤差によるメータ定数のば
らつきを、ターゲットの位置調整で吸収して、精度の良
い流体振動型流量センサの量産が可能になった。
のように構成されているので、流体本体をダイカスト等
で製造するときに生じる寸法誤差によるメータ定数のば
らつきを、ターゲットの位置調整で吸収して、精度の良
い流体振動型流量センサの量産が可能になった。
【００２１】又、メータ定数の基になる流体振動の周波
数をターゲットの位置調整という機械的な調整で行うた
め、従来のマイコンによる電気的な補正のように、電気
ノイズによる不測の事故が避けられ、信頼性の高い流量
計が量産できる。
数をターゲットの位置調整という機械的な調整で行うた
め、従来のマイコンによる電気的な補正のように、電気
ノイズによる不測の事故が避けられ、信頼性の高い流量
計が量産できる。
【００２２】更に又、ターゲットの基部と流路本体の底
部に、ターゲットの向きを定める嵌合部を設けたもので
は、ターゲットの位置調整のときに、ターゲットの向き
が流れ方向に対して、所定の向きのまま保たれるので、
器差曲線の勾配を変化させることなく、平行移動させら
れるため、調整作業が確実、簡単にできる。
部に、ターゲットの向きを定める嵌合部を設けたもので
は、ターゲットの位置調整のときに、ターゲットの向き
が流れ方向に対して、所定の向きのまま保たれるので、
器差曲線の勾配を変化させることなく、平行移動させら
れるため、調整作業が確実、簡単にできる。
【図１】（ａ）は本発明の実施例の蓋を外した平面図、
（ｂ）はその要部拡大図。
（ｂ）はその要部拡大図。
【図２】本発明の実施例の、判の半分を取外した平面
図。
図。
【図３】本発明の実施例の一部縦断正面図。
【図４】本発明の実施例に用いるターゲットの正面図。
【図５】図４のターゲットの下面図。
【図６】本発明の実施例に用いる流路本体の一部を拡大
した平面図。
した平面図。
【図７】図６のＡ−Ａ断面。
【図８】本発明の実施例に用いる電気回路のブロック
図。
図。
【図９】流量対器差特性線図。
【図１０】距離Ｌ対器差特性線図。
１ 流路本体 １ａ 底部 ３ ノズル ７ ターゲット ７ａ 基部 ７ｂ 嵌合部 ９ フルィディック発振素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場 隆英 愛知県名古屋市熱田区千年一丁目２番70 号 愛知時計電機株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01F 1/20
Claims (2)
- 【請求項１】 フルィディック発振素子（９）のノズル
（３）の下流に配置したターゲット（７）の基部（７
ａ）を、流れ方向に移動可能に、流路本体（１）の底部
（ａ）に取付けたことを特徴とする流体振動型流量セン
サ。 - 【請求項２】 ターゲット（７）の基部（７ａ）と流路
本体（１）の底部（１ａ）に、ターゲット（７）の流れ
方向に対する向きを定めるための互いに嵌合する嵌合部
（７ｂ）（１ｂ）をそれぞれ設けたことを特徴とする請
求項１の流体振動型流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136900A JP2983076B2 (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 流体振動型流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3136900A JP2983076B2 (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 流体振動型流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332797A JPH05332797A (ja) | 1993-12-14 |
| JP2983076B2 true JP2983076B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=15186191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3136900A Expired - Lifetime JP2983076B2 (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 流体振動型流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2983076B2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-10 JP JP3136900A patent/JP2983076B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05332797A (ja) | 1993-12-14 |
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