JP3101745B2 - 振動インテンシティ解析装置 - Google Patents

振動インテンシティ解析装置

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JP3101745B2
JP3101745B2 JP04062222A JP6222292A JP3101745B2 JP 3101745 B2 JP3101745 B2 JP 3101745B2 JP 04062222 A JP04062222 A JP 04062222A JP 6222292 A JP6222292 A JP 6222292A JP 3101745 B2 JP3101745 B2 JP 3101745B2
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忍 ▲吉▼田
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、振動インテンシティ解
析に係り、特に測定対象物の非接触測定信号を入力し演
算処理するのに好適な振動インテンシティ解析装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】振動インテンシティという物理量は、振
動が問題となる機器の振動源の探索や、エネルギ流れの
評価に用いられる。2点間の振動インテンシティwは、
加速度和α1+α2と速度差v1−v2の積(α1+α2)・
(v1−v2)で求められる。振動インテンシティ解析の
基本原理については、例えば日本音響学会講演論文集、
昭和61年10月号P427〜428に記載されてい
る。
【0003】振動センサを用いて検出した測定信号をア
ナログ回路を用いて演算処理し、振動インテンシティを
算出する回路の構成が特開昭64−44822号公報に
開示されている。また、2対の振動センサを用いて、振
動インテンシティベクトルを2次元的に分析する回路
が、特開平1−196521号公報に開示されている。
開示されている振動インテンシティ解析のための入力信
号は、いずれも振動センサを用いて、すなわち、加速度
のレベルを検出し、その信号を演算処理して振動インテ
ンシティを求めている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の振動インテンシ
ティ解析にあっては、微細な構造物を対象として振動の
大きさを検出するとき、加速度センサを用いると、その
センサの重量が測定対象物の振動特性に影響し、正確な
振動測定が行えない問題があった。
【0005】本発明の第1の目的は、このように加速度
センサを取り付けて振動計測を行うことが困難な微細な
構造物の振動の大きさを非接触測定し、その測定信号を
演算処理する振動インテンシティ解析装置を提供するこ
とにある。
【0006】そして、本発明の第2の目的は、非接触信
号を演算処理して振動インテンシティを算出すると同時
に、測定対象物の多くの点の振動インテンシティを短時
間で測定することにある。
【0007】また、本発明の第3の目的は、非接触信号
を演算処理して振動インテンシティを算出すると同時
に、測定対象物の多くの点の振動インテンシティを短時
間で測定し、そして測定した点の振動インテンシティを
視覚的に表示することにある。さらに本発明の第4の目
的は、非接触信号を演算処理して振動インテンシティを
算出すると同時に、測定対象物の多くの点の振動インテ
ンシティを短時間で測定し、そして測定した点の2次元
的な振動インテンシティベクトルを、視覚化し、表示す
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明に係る振動インテンシティ解析装置は、測定
対象物の2点で非接触測定されたそれぞれの非接触測定
信号を入力する2個の速度信号入力端子と、それぞれの
速度信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、演
算回路部は、それぞれの速度信号入力端子より取り込ん
だそれぞれの入力信号の和を演算し微分する第1の演算
手段と、それぞれの入力信号を減算しその減算値と微分
した微分値とを掛け算する第2の演算手段とを具備して
いる構成とする。
【0009】そして測定対象物の2点の速度を非接触測
定する速度検出プローブと速度検出回路とよりなる速度
検出器と、該速度検出器に接続しそれぞれの非接触測定
信号を入力する2個の速度信号入力端子と、それぞれの
速度信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、演
算回路部は、それぞれの速度信号入力端子より取り込ん
だそれぞれの入力信号の和を演算し微分する第1の演算
手段と、それぞれの入力信号を減算しその減算値と微分
した微分値とを掛け算する第2の演算手段とを具備して
いる構成でもよい。
【0010】また速度検出器に、測定対象物の速度検出
点を走査する走査機構を接続した構成てもよい。
【0011】さらに測定対象物の速度検出点の位置と、
それぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示
する表示装置を接続した構成でもよい。
【0012】そして測定対象物の2点で非接触測定され
たそれぞれの非接触測定信号を入力する2個の変位信号
入力端子と、それぞれの変位信号入力端子に接続する演
算回路部とよりなり、演算回路部は、それぞれの変位信
号入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の和を演
算し2階微分する第3の演算手段と、それぞれの入力信
号を減算して微分した微分値と2階微分した2階微分値
とを掛け算する第4の演算手段とを具備している構成で
もよい。
【0013】また測定対象物の2点の変位を非接触測定
する変位検出プローブと変位検出回路とよりなる変位検
出器と、変位検出器に接続しそれぞれの非接触測定信号
を入力する2個の変位信号入力端子と、それぞれの変位
信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、演算回
路部は、それぞれの変位信号入力端子より取り込んだそ
れぞれの入力信号の和を演算し2階微分する第3の演算
手段と、それぞれの入力信号を減算して微分した微分値
と2階微分した2階微分値とを掛け算する第4の演算手
段とを具備している構成でもよい。
【0014】さらに請求項6記載の振動インテンシティ
解析装置の変位検出器に、測定対象物の変位検出点を走
査する走査機構を接続した構成でもよい。
【0015】そして請求項7記載の振動インテンシティ
解析装置の測定対象物の速度検出点の位置と、それぞれ
の位置の振動インテンシティベクトルとを表示する表示
装置を接続した構成でもよい。
【0016】また測定対象物の2方向の2対の点で非接
触測定されたそれぞれの非接触測定信号を入力する2方
向の2対の速度信号入力端子と、それぞれの速度信号入
力端子に接続する演算回路部とよりなり、演算回路部
は、それぞれの速度信号入力端子より取り込んだそれぞ
れの入力信号の対ごとに和を演算し微分する第1の演算
手段と、それぞれの入力信号を対ごとに減算しその減算
値と微分した微分値とを掛け算する第2の演算手段とを
具備している構成でもよい。
【0017】さらに測定対象物の2方向の2対の点の速
度を非接触測定する速度検出プローブと速度検出回路と
よりなる速度検出器と、速度検出器に接続しそれぞれの
非接触測定信号を入力する2方向の2対の速度信号入力
端子と、それぞれの速度信号入力端子に接続する演算回
路部とよりなり、演算回路部は、それぞれの速度信号入
力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の対ごとに和
を演算し微分する第1の演算手段と、それぞれの入力信
号を対ごとに減算しその減算値と微分した微分値とを掛
け算する第2の演算手段とを具備している構成でもよ
い。
【0018】そして請求項10記載の振動インテンシテ
ィ解析装置の速度検出器に、測定対象物の速度検出点を
走査する走査機構を接続した構成でもよい。
【0019】また請求項11記載の振動インテンシティ
解析装置の測定対象物の速度検出点の位置と、それぞれ
の位置の振動インテンシティベクトルとを表示する表示
装置を接続した構成でもよい。
【0020】さらに測定対象物の2方向の2対の点を非
接触測定したそれぞれの非接触測定信号を入力する2方
向の2対の変位信号入力端子と、それぞれの変位信号入
力端子に接続する演算回路部とよりなり、演算回路部
は、それぞれの変位信号入力端子より取り込んだそれぞ
れの入力信号の対ごとに和を演算し2階微分する第3の
演算手段と、それぞれの入力信号を対ごとに減算して微
分した微分値と2階微分した2階微分値とを掛け算する
第4の演算手段とを具備している構成でもよい。
【0021】そして測定対象物の2方向の2対の点の変
位を非接触測定する変位検出プローブと変位検出回路と
よりなる変位検出器と、変位検出器に接続しそれぞれの
非接触測定信号を入力する2方向の2対の変位信号入力
端子と、それぞれの変位信号入力端子に接続する演算回
路部とよりなり、演算回路部は、それぞれの変位信号入
力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の対ごとに和
を演算し2階微分する第3の演算手段と、それぞれの入
力信号を対ごとに減算して微分した微分値と2階微分し
た2階微分値とを掛け算する第4の演算手段とを具備し
ている構成でもよい。
【0022】また請求項14記載の振動インテンシティ
解析装置の変位検出器に、測定対象物の変位検出点を走
査する走査機構を接続した構成でもよい。
【0023】さらに請求項15記載の振動インテンシテ
ィ解析装置の測定対象物の速度検出点の位置と、それぞ
れの位置の振動インテンシティベクトルとを表示する表
示装置を接続した構成でもよい。
【0024】
【作用】本発明によれば、測定対象物の2点の振動速度
が非接触な検出器で測定され、2個の入力端子より検出
信号を取り込む。2個の入力信号の和の微分は加速度の
和α1+α2であり、その結果を一旦バッファアンプに蓄
える。また一方、2個の入力信号を減算して得られる速
度差v1−v2を別のバッファアンプに蓄える。そして、
これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け算して出
力すると振動インテンシティw=(α1+α2)・(v1
−v2)が算出される。
【0025】また、測定対象物の2点の振動変位が非接
触な検出器で測定され、2個の入力端子より検出信号を
取り込む。2個の入力信号の和の2階微分は加速度の和
α1+α2であり、その結果を一旦バッファアンプに蓄え
る。また一方、2個の入力信号の減算結果を微分して得
られる速度差v1−v2を別のバッファアンプに蓄える。
そして、これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け
算して出力すると振動インテンシティw=(α1+α2
・(v1−v2)が算出される。
【0026】
【実施例】本発明の第1の実施例を図1及び図2を参照
しながら説明する。図1に示すように、測定対象物の例
えばx軸方向の2点で非接触測定されたそれぞりの非接
触測定信号を入力する2個の速度信号入力端子1vと、
2個の速度信号入力端子1vに接続する演算回路部2a
とより構成される。2個の速度信号入力端子1vより速
度信号を取り込み、演算回路部2aでは、2個の入力信
号の和の微分結果と、入力信号の減算結果とを掛け算し
て、振動インテンシティを求める。
【0027】演算回路部2aは図2に示すように、入力
アンプ4、バンドパスフィルタ5、微分回路8、バッフ
ァアンプ9、および加算回路6、減算回路7及び乗算回
路10で構成され、第1の演算手段は例えば加算回路6
及び微分回路8などよりなり、第2の演算手段は例えば
減算回路7及び乗算回路10などよりなるものとする。
【0028】対象とする構造物の2点の振動速度が非接
触な検出器で測定されたとき、2個の入力端子より検出
信号を取り込む。2個の入力信号は、それぞれ入力アン
プを経てバンドパスフィルタによって特定の帯域の信号
とされる。これら2個の入力信号の和の微分は加速度の
和α1+α2であり、その結果を一旦バッファアンプに蓄
える。また一方、2個の入力信号を減算して得られる速
度差v1−v2を別のバッファアンプに蓄える。そして、
これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け算して出
力すると振動インテンシティw=(α1+α2)・(v1
−v2)が算出される。
【0029】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器など
により非接触測定された測定信号から振動インテンシテ
ィを算出することができる。
【0030】本発明の第2の実施例は、図3に示すよう
に、測定対象物の2点の速度を非接触測定する速度検出
プローブ11vと速度検出回路12vとよりなる2点の
速度を検出する速度検出器と、それぞれの非接触測定信
号を入力する2個の速度信号入力端子1vと、2個の速
度信号入力端子1vに接続する演算回路部2aとよりな
る。
【0031】2個の速度信号入力端子1vと、演算回路
部2aとは第1の実施例で述べた回路である。速度検出
プローブ11vは、図4に示す先端にレンズ13aが付
いた光ファイバ13bの上下の2本を束ねた構造になっ
ている。レンズ13aは光ファイバ13bの端部より出
力されるレーザビームの広がりを防止し、ビーム径を小
さくしている。本実施例では、速度検出プローブ11v
と速度検出回路12vとよりなる速度検出器は、ドップ
ラ効果を利用した速度計である。対象とする構造物の2
点の振動速度を上記の非接触な速度検出器で測定して、
2個の速度信号入力端子1vより検出信号を取り込む。
演算回路部2aでは、第1の実施例で述べた演算処理を
行って、振動インテンシティを求める。
【0032】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。また2個の速度検出ロープの相
対的な位置関係が固定されており、設定が簡単で取扱い
が容易となる。
【0033】本発明の第3の実施例は、図5に示すよう
に、測定対象物の2点の速度を非接触測定する速度検出
プローブ11vと速度検出回路12vとよりなる2点の
速度を検出する速度検出器と、それぞれの非接触測定信
号を入力する2個の速度信号入力端子1vと、演算回路
部2aと、測定対象物の速度検出点を走査する走査用ミ
ラー(走査機構)21とよりなる。
【0034】2個の速度信号入力端子1vと、演算回路
部2aとは第1の実施例で述べた回路である。速度検出
プローブ11vと速度検出回路12vよりなる速度検出
器は、第2の実施例で述べたドップラ効果を利用した速
度計である。
【0035】対象とする構造物の2点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、2個の速度信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2aで
は、第1の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。走査用ミラー21を微小角度回転さ
せ、光軸14の反射方向をわずかに変化させて振動速度
の測定点を走査し、逐次速度信号を取り込んで振動イン
テンシティを計算する。
【0036】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0037】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0038】本発明の第4の実施例は、図6に示すよう
に、速度検出プローブ11vと速度検出回路12vとよ
りなる2点の速度を検出する速度検出器と、2個の速度
信号入力端子1vと、演算回路部2aと、測定対象物を
搭載した走査台(走査機構)22とよりなる。2個の速
度信号入力端子1vと、演算回路部2aとは第1の実施
例で述べた回路である。速度検出プローブ11vと速度
検出回路12vとよりなる速度検出器とは、第2の実施
例で述べたドップラ効果を利用した速度計である。
【0039】対象とする構造物の2点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、2個の速度信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2aで
は、第1の実施例で述べた演算処理を行って、振動イン
テンシティを求める。走査台22を微小変位移動させ
て、振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り込
んで振動インテンシティを計算する。
【0040】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0041】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0042】本発明の第5の実施例は、図7に示すよう
に、速度検出プローブ11vと速度検出回路12vとよ
りなる2点の速度を検出する速度検出器と、2個の速度
信号入力端子1vと、インテンシティ出力端子3と、演
算回路部2aと、走査用ミラー21と、表示装置31と
よりなる。2個の速度信号入力端子1vと、演算回路部
2とは第1の実施例で述べた回路である。速度検出プロ
ーブ11vと速度検出回路12vとよりなる速度検出器
は、第2の実施例で述べたドップラ効果を利用した速度
計である。
【0043】対象とする構造物の2点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、2個の速度信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2aで
は、第1の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。走査用ミラー21を微小角度回転させ
て、振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り込
んで振動インテンシティを計算する。走査用ミラー21
の回転角度と、測定対象上の振動インテンシティの信号
はともに表示装置31に接続され、測定点に対応して振
動インテンシティの大きさと方向が表示装置31に表示
される。
【0044】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0045】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0046】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0047】また本実施例によれば、測定した点の振動
インテンシティの分布(振動インテンシティベクトル)
を視覚的に表示することができる。
【0048】本発明の第6の実施例は、図8に示すよう
に、2個の変位信号入力端子1dと、演算回路部2bと
より構成される。2個の変位信号入力端子1dより変位
信号を取り込み、演算回路部2bでは、2個の入力信号
の和の2階微分の結果と、入力信号の減算の微分結果と
を掛け算して、振動インテンシティを求める。
【0049】演算回路部2bは図9に示すように、入力
アンプ4、バンドパスフィルタ5、2階微分回路18、
微分回路8、バッファアンプ9、加算回路6、減算回路
7及び乗算回路10で構成される。第3の演算手段は例
えば加算回路6及び2階微分回路18などよりなり、第
3の演算手段は例えば減算回路7及び乗算回路10より
なるものとする。
【0050】対象とする構造物の2点の振動変位が非接
触な検出器で測定されたとき、2個の入力端子より検出
信号を取り込む。2個の入力信号は、それぞれ入力アン
プを経てバンドパスフィルタによって特定の帯域の信号
とされる。これら2個の信号の和の2階微分は加速度の
和α1+α2であり、その結果を一旦バッファアンプに蓄
える。また一方、2個の信号を減算、さらに微分して得
られる速度差v1−v2を別のバッファアンプに蓄える。
そして、これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け
算して出力すると振動インテンシティw=(α1+α2
・(v1−v2)が算出される。
【0051】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。
【0052】本発明の第7の実施例は、図10に示すよ
うに、変位検出プローブ11dと変位検出回路12dと
よりなる2点の変位を検出する変位検出器と、2個の変
位信号入力端子1dと、演算回路部2bとよりなる。
【0053】2個の変位信号入力端子1dと、演算回路
部2とは第6の実施例で述べた回路である。変位検出プ
ローブ11dは、本実施例では、照射光と反射光の干渉
による明暗をカウントする変位計である。
【0054】対象とする構造物の2点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、2個の変位信号入力
端子1dより検出信号を取り込む。演算回路部2bで
は、第6の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。
【0055】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。
【0056】本発明の第8の実施例は、図11に示すよ
うに、変位検出プローブ11dと変位検出回路12dと
よりなる2点の変位を検出する変位検出器と、2個の変
位信号入力端子1dと、インテンシティ出力端子3と、
演算回路部2bと、走査用ミラー21と、表示装置31
とよりなる。
【0057】2個の変位信号入力端子1dと、演算回路
部2bとは第6の実施例で述べた回路である。変位検出
プローブ11dと変位検出回路12dとよりなる変位検
出器は、第7の実施例で述べた照射光と反射光の干渉に
よる明暗をカウントする変位計である。
【0058】対象とする構造物の2点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、2個の変位信号入力
端子1dより検出信号を取り込む。演算回路部2bで
は、第6の実施例で述べた演算処理を行って、振動イン
テンシティを求める。走査用ミラー21を微小角度回転
させて、振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取
り込んで振動インテンシティを計算する。
【0059】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0060】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0061】本発明の第9の実施例は、図12に示すよ
うに、変位検出プローブ11dと変位検出回路12dと
よりなる2点の変位検出する変位検出器と、2個の変位
信号入力端子1dと、演算回路部2bと、測定対象を搭
載した走査台22とよりなる。
【0062】2個の変位信号入力端子1dと、演算回路
部2bとは第6の実施例で述べた回路である。変位検出
プローブ11vと変位検出回路12dとよりなる変位検
出器は、第7の実施例で述べた照射光と反射光の干渉に
よる明暗をカウントする変位計である。
【0063】対象とする構造物の2点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、2個の変位信号入力
端子1dより検出信号を取り込む。演算回路部2bで
は、第6の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。走査台22を微小変位移動させて、振
動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り込んで振
動インテンシティを計算する。
【0064】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0065】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0066】本発明の第10の実施例は、図13に示す
ように、変位検出プローブ11dと変位検出回路12d
とよりなる2点の変位を検出する変位検出器と、2個の
変位信号入力端子1dと、インテンシティ出力端子3
と、演算回路部2bと、走査用ミラー21と、表示装置
31とよりなる。
【0067】2個の変位信号入力端子1dと、演算回路
部2bとは第6の実施例で述べた回路である。変位検出
プローブ11dと変位検出回路12dとよりなる変位検
出器は、第7の実施例で述べた照射光と反射光の干渉に
よる明暗をカウントする変位計である。
【0068】対象とする構造物の2点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、2個の変位信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2bで
は、第6の実施例で述べた演算を行って、振動インテン
シティを求める。走査用ミラー21を微小角度回転させ
て、振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り込
んで振動インテンシティを計算する。走査用ミラー21
の回転角度と、測定対象上の振動インテンシティの信号
とはともに表示装置31に接続され、測定点に対応して
振動インテンシティの大きさと方向とが表示装置31に
表示される。
【0069】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0070】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0071】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0072】また本実施例によれば、測定した点の振動
インテンシティの分布を視覚的に表示することができ
る。
【0073】本発明の第11の実施例は、図14に示す
ように、測定対象物の2方向例えばx軸方向及びy軸方
向のそれぞれの2対の点でそれぞれの非接触測定信号を
入力する2方向の2対の速度信号入力端子1vと、2対
の速度信号入力端子1vに接続する演算回路部2cとよ
り構成される。2対の速度信号入力端子1vより速度信
号を取り込み、演算回路部2cでは、各対ごとに2個の
入力信号の和の微分結果と、入力信号の減算結果とを掛
け算して、振動インテンシティを求める。
【0074】演算回路部2cは図15に示すように、入
力アンプ4、バンドパスフィルタ5、微分回路8、バッ
ファアンプ9、加算回路6、減算回路8及び乗算回路1
0で構成される。
【0075】対象とする構造物の4点の振動速度が非接
触な検出器で測定されたとき、2対、4個の入力端子よ
り検出信号を取り込む。各対の2個の入力信号は、それ
ぞれ入力アンプを経てバンドパスフィルタによって特定
の帯域の信号とされる。これら2個の信号の和の微分は
加速度の和α1+α2であり、その結果を一旦バッファア
ンプに蓄える。また一方、2個の信号を減算して得られ
る速度差v1−v2を別のバッファアンプに蓄える。そし
て、これらバッファアンプに蓄えられた信号を掛け算し
て出力すると各対における振動インテンシティw=(α
1+α2)・(v1−v2)が算出される。
【0076】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。
【0077】本発明の第12の実施例は、図16に示す
ように、速度検出プローブ11vと速度検出回路12v
とよりなる4点の速度を検出する速度検出器と、2対の
速度信号入力端子1vと、演算回路部2cとよりなる。
【0078】2対の速度信号入力端子1vと、演算回路
部2cは第11の実施例で述べた回路である。速度検出
プローブ11vは、図17に示す先端にレンズが付いた
光ファイバ4本を90°ピッチで配置し、束ねた構造に
なっており、対向する2個が対となっている。本実施例
では、速度検出プローブ11vと速度検出回路12vと
よりなる速度検出器は、ドップラ効果を利用した速度計
である。
【0079】対象とする構造物の2点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、2個の速度信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2cで
は、第11の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。
【0080】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。
【0081】本発明の第13の実施例は、図18に示す
ように、速度検出プローブ11vと速度検出回路12v
とよりなる4点の速度を検出する速度検出器と、2対の
速度信号入力端子1vと、演算回路部2cと、走査用ミ
ラー21とよりなる。
【0082】2対の速度信号入力端子1vと、演算回路
部2cとは第11の実施例で述べた回路である。速度検
出プローブ11vと速度検出回路12vよりなる速度検
出器は、第12の実施例で述べたドップラ効果を利用し
た速度計である。
【0083】対象とする構造物の4点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、2対の速度信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2cで
は、第11の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査用ミラー21を微小角度回転さ
せて、振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り
込んで振動インテンシティを計算する。
【0084】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0085】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0086】本発明の第14の実施例は、図19に示す
ように、速度検出プローブ11vと速度検出回路12v
とよりなる4点の速度を検出する速度検出器と、2対の
速度信号入力端子1vと、演算回路部2cと、測定対象
を搭載した走査台22とよりなる。
【0087】2対の速度信号入力端子1vと、演算回路
部2cとは第11の実施例で述べた回路である。速度検
出プローブ11vと速度検出回路12vとよりなる速度
検出器は、第12の実施例で述べたドップラ効果を利用
した速度計である。
【0088】対象とする構造物の4点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、2対の速度信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2cで
は、第11の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査台22を微小変位移動させて、
振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り込んで
振動インテンシティを計算する。
【0089】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0090】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0091】本発明の第15の実施例は、図20に示す
ように、速度検出プローブ11vと速度検出回路12v
とよりなる4点の速度を検出する速度検出器と、2対の
速度信号入力端子1vと、インテンシティ出力端子3
と、演算回路部c2と、走査用ミラー21と、表示装置
31とよりなる。
【0092】2対の速度信号入力端子1vと、演算回路
部2cとは第11の実施例で述べた回路である。速度検
出プローブ11vと速度検出回路12vとよりなる速度
検出器は、第12の実施例で述べたドップラ効果を利用
した速度計である。
【0093】対象とする構造物の4点の振動速度を上記
の非接触な速度検出器で測定して、2対の速度信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2cで
は、第11の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査用ミラー21を微小角度回転さ
せて、振動速度の測定点を走査し、逐次速度信号を取り
込んで振動インテンシティを計算する。走査用ミラー2
1の回転角度と、測定対象上の振動インテンシティの信
号はともに表示装置31に接続され、測定点に対応して
振動インテンシティの大きさと方向が表示装置31に表
示される。
【0094】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0095】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0096】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0097】また本実施例によれば、測定した点の振動
インテンシティの分布を視覚的に表示することができ
る。
【0098】本発明の第16の実施例は、図21に示す
ように、2対の変位信号入力端子1dと、演算回路部2
dとより構成される。2対の変位信号入力端子1dより
変位信号を取り込み、演算回路部2dでは、各対におい
て2個の入力信号の和の2階微分の結果と、入力信号の
減算の微分結果とを掛け算して、振動インテンシティを
求める。
【0099】演算回路部2dは図22に示すように、入
力アンプ4、バンドパスフィルタ5、2階微分回路1
8、微分回路8、バッファアンプ9、加算回路6、減算
回路7及び乗算回路10で構成される。
【0100】対象とする構造物の4点の振動変位が非接
触な検出器で測定されたとき、2対の入力端子より検出
信号を取り込む。各対の2個の入力信号は、それぞれ入
力アンプを経てバンドパスフィルタによって特定の帯域
の信号とされる。これら2個の信号の和の2階微分は加
速度の和α1+α2であり、その結果を一旦バッファアン
プに蓄える。また一方、2個の信号を減算、さらに微分
して得られる速度差v1−v2を別のバッファアンプに蓄
える。そして、これらバッファアンプに蓄えられた信号
を掛け算して出力すると各対の振動インテンシティw=
(α1+α2)・(v1−v2)が算出される。
【0101】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。
【0102】本発明の第17の実施例は、図23に示す
ように、変位検出プローブ11dと変位検出回路12d
とよりなる4点の変位を検出する変位検出器と、2対の
変位信号入力端子1dと、演算回路部2dとよりなる。
【0103】2対の変位信号入力端子1dと、演算回路
部2dとは第16の実施例で述べた回路である。変位検
出プローブ11dは、本実施例では、照射光と反射光の
干渉による明暗をカウントする変位計である。
【0104】対象とする構造物の4点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、2対の変位信号入力
端子1dより検出信号を取り込む。演算回路部2dで
は、第16の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。
【0105】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定された測定信号から振動インテンシティを
算出することができる。
【0106】本発明の第18の実施例は、図24に示す
ように、変位検出プローブ11dと変位検出回路12d
とよりなる4点の変位を検出する変位検出器と、2個の
変位信号入力端子1dと、インテンシティ出力端子3
と、演算回路部2dと、走査用ミラー21と、表示装置
31とよりなる。
【0107】2対の変位信号入力端子1dと、演算回路
部2dとは第16の実施例で述べた回路である。変位検
出プローブ11dと変位検出回路12dとよりなる変位
検出器は、第17の実施例で述べた照射光と反射光の干
渉による明暗をカウントする変位計である。
【0108】対象とする構造物の4点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、2対の変位信号入力
端子1dより検出信号を取り込む。演算回路部2dで
は、第16の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査用ミラー21を微小角度回転さ
せて、振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り
込んで振動インテンシティを計算する。
【0109】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0110】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0111】本発明の第19の実施例は、図25に示す
ように、変位検出プローブ11dと変位検出回路12d
とよりなる4点の変位検出する変位検出器と、2対の変
位信号入力端子1dと、演算回路部2dと、測定対象を
搭載した走査台22とよりなる。
【0112】2対の変位信号入力端子1dと、演算回路
部2dとは第16の実施例で述べた回路である。変位検
出プローブ11vと変位検出回路12dとよりなる変位
検出器は、第17の実施例で述べた照射光と反射光の干
渉による明暗をカウントする変位計である。
【0113】対象とする構造物の4点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、2対の変位信号入力
端子1dより検出信号を取り込む。演算回路部2dで
は、第16の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査台22を微小変位移動させて、
振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り込んで
振動インテンシティを計算する。
【0114】本実施例によれば、変位信号から振動イン
テンシティを求めることができるため、変位検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0115】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0116】本発明の第20の実施例は、図26に示す
ように、変位検出プローブ11dと変位検出回路12d
とよりなる4点の速度を検出する変位検出器と、2対の
変位信号入力端子1dと、インテンシティ出力端子3
と、演算回路部2と、走査用ミラー21と、表示装置3
1とよりなる。
【0117】2対の変位信号入力端子1dと、演算回路
部2dとは第16の実施例で述べた回路である。変位検
出プローブ11dと変位検出回路12dよりなる変位検
出器は、第17の実施例で述べた照射光と反射光の干渉
による明暗をカウントする変位計である。
【0118】対象とする構造物の4点の振動変位を上記
の非接触な変位検出器で測定して、2対の変位信号入力
端子1vより検出信号を取り込む。演算回路部2dで
は、第16の実施例で述べた演算を行って、振動インテ
ンシティを求める。走査用ミラー21を微小角度回転さ
せて、振動変位の測定点を走査し、逐次変位信号を取り
込んで振動インテンシティを計算する。走査用ミラー2
1の回転角度と、測定対象上の振動インテンシティの信
号はともに表示装置31に接続され、測定点に対応して
振動インテンシティの大きさと方向が表示装置31に表
示される。
【0119】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0120】本実施例によれば、速度信号から振動イン
テンシティを求めることができるので、速度検出器によ
り非接触測定し、その測定信号から振動インテンシティ
を算出することができる。
【0121】また本実施例によれば、対象とする構造物
の多くの点の振動インテンシティを短時間で測定するこ
とができる。
【0122】また本実施例によれば、測定した点の振動
インテンシティの分布を視覚的に表示することができ
る。
【0123】以上の実施例では、非接触測定の手段に、
レーザ光のドップラ効果や干渉による明暗変化を用いて
いるが、光量変化型のセンサや静電容量変化型のセン
サ、うず電流型のセンサを非接触計測手段に用い、その
測定信号を演算処理して振動インテンシティを算出する
こともできる。
【0124】
【発明の効果】本発明によれば、2個の速度信号入力端
子より検出信号を取り込み、それら2個の入力信号の和
の微分結果と、2個の入力信号の減算結果とを掛け算し
振動インテンシティを算出すること、2個の変位信号入
力端子より検出信号を取り込み、それら2個の入力信号
の和の2階微分結果と、2個の入力信号の差の微分結果
とを掛け算し振動インテンシティを算出することが可能
となるため、微細な測定対象物の振動を非接触測定し、
その測定信号を処理して振動インテンシティを求めるこ
とができる。そして、走査機構を設けることによって、
測定対象物の多くの点の振動インテンシティを短時間で
測定することができる。また、表示装置を設けることに
よって、測定した点の振動インテンシティを視覚的に表
示することができる。
【0125】さらに、2方向の2対の速度信号入力端子
より検出信号を取り込み、各対の入力信号の和の微分結
果と、各対の入力信号の減算結果とを掛け算し、あるい
は各対の変位信号入力端子より検出信号を取り込み、そ
れら各対の入力信号の和の2階微分結果と、各対の入力
信号の差の微分結果とを掛け算して振動インテンシティ
を算出し、走査機構と表示装置とを設けることによっ
て、測定対象物の速度検出点の各位置の振動インテンシ
ティを短時間で測定し、2次元的な振動インテンシティ
ベクトルを視覚化し表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す速度信号を入力す
る装置の斜視図である。
【図2】図1の演算回路部を示す回路図である。
【図3】本発明の第2の実施例を示す速度検出器を備え
た装置の斜視図である。
【図4】図3の速度検出プローブの拡大図である。
【図5】本発明の第3の実施例を示す速度検出器と走査
機構とを備えた装置の斜視図である。
【図6】本発明の第4の実施例を示す速度検出器と走査
機構とを備えた装置の斜視図である。
【図7】本発明の第5の実施例を示す速度検出器と走査
機構と表示装置とを備えた装置の斜視図である。
【図8】本発明の第6の実施例を示す変位信号を入力と
する装置の斜視図である。
【図9】図8の演算回路部を示す回路図である。
【図10】本発明の第7の実施例を示す変位検出器を備
えた装置の斜視図である。
【図11】本発明の第8の実施例を示す変位検出器と走
査機構とを備えた装置の斜視図である。
【図12】本発明の第9の実施例を示す変位検出器と走
査機構とを備えた装置の斜視図である。
【図13】本発明の第10の実施例を示す変位検出器と
走査機構と表示装置とを備えた装置の斜視図である。
【図14】本発明の第11の実施例を示す2対の速度信
号を入力とする装置の斜視図である。
【図15】図14の演算回路部を示す回路図である。
【図16】本発明の第12の実施例を示す速度検出器を
備えた装置の斜視図である。
【図17】図16の速度検出プローブの拡大図である。
【図18】本発明の第13の実施例を示す速度検出器と
走査機構とを備えた装置の斜視図である。
【図19】本発明の第14の実施例を示す速度検出器と
走査機構とを備えた装置の斜視図である。
【図20】本発明の第15の実施例を示す速度検出器と
走査機構と表示装置とを備えた装置の斜視図である。
【図21】本発明の第16の実施例を示す2対の変位度
信号を入力とする装置の斜視図である。
【図22】図21の演算回路部を示す回路図である。
【図23】本発明の第17の実施例を示す変位検出器を
備えた装置の斜視図である。
【図24】本発明の第18の実施例を示す変位検出器と
走査機構とを備えた装置の斜視図である。
【図25】本発明の第19の実施例を示す変位検出器と
走査機構とを備えた装置の斜視図である。
【図26】本発明の第20の実施例を示す変位検出器と
走査機構と表示装置とを備えた装置の斜視図である。
【符号の説明】
1v 速度入力端子 1d 変位入力端子 2 演算回路部 3 インテンシティ出力端子 11v 速度検出プローブ 11d 変位検出プローブ 12v 速度検出回路 12d 変位検出回路 13a レンズ 13b 光ファイバ 14 光軸 21 走査用ミラー(走査機構) 22 走査台(走査機構) 23 測定対象物 31 表示装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−196521(JP,A) 特開 昭64−44822(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01H 17/00 G01H 9/00

Claims (16)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定対象物の2点で非接触測定されたそ
    れぞれの非接触測定信号を入力する2個の速度信号入力
    端子と、それぞれの速度信号入力端子に接続する演算回
    路部とよりなり、該演算回路部は、それぞれの速度信号
    入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の和を演算
    し微分する第1の演算手段と、それぞれの入力信号を減
    算しその減算値と前記微分した微分値とを掛け算する第
    2の演算手段とを具備していることを特徴とする振動イ
    ンテンシティ解析装置。
  2. 【請求項2】 測定対象物の2点の速度を非接触測定す
    る速度検出プローブと速度検出回路とよりなる速度検出
    器と、該速度検出器に接続しそれぞれの非接触測定信号
    を入力する2個の速度信号入力端子と、それぞれの速度
    信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、該演算
    回路部は、それぞれの速度信号入力端子より取り込んだ
    それぞれの入力信号の和を演算し微分する第1の演算手
    段と、それぞれの入力信号を減算しその減算値と前記微
    分した微分値とを掛け算する第2の演算手段とを具備し
    ていることを特徴とする振動インテンシティ解析装置。
  3. 【請求項3】 速度検出器に、測定対象物の速度検出点
    を走査する走査機構を接続したことを特徴とする請求項
    2記載の振動インテンシティ解析装置。
  4. 【請求項4】 測定対象物の速度検出点の位置と、それ
    ぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示する
    表示装置を接続したことを特徴とする請求項3記載の振
    動インテンシティ解析装置。
  5. 【請求項5】 測定対象物の2点で非接触測定されたそ
    れぞれの非接触測定信号を入力する2個の変位信号入力
    端子と、それぞれの変位信号入力端子に接続する演算回
    路部とよりなり、該演算回路部は、それぞれの変位信号
    入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の和を演算
    し2階微分する第3の演算手段と、それぞれの入力信号
    を減算して微分した微分値と前記2階微分した2階微分
    値とを掛け算する第4の演算手段とを具備していること
    を特徴とする振動インテンシティ解析装置。
  6. 【請求項6】 測定対象物の2点の変位を非接触測定す
    る変位検出プローブと変位検出回路とよりなる変位検出
    器と、該変位検出器に接続しそれぞれの非接触測定信号
    を入力する2個の変位信号入力端子と、それぞれの変位
    信号入力端子に接続する演算回路部とよりなり、該演算
    回路部は、それぞれの変位信号入力端子より取り込んだ
    それぞれの入力信号の和を演算し2階微分する第3の演
    算手段と、それぞれの入力信号を減算して微分した微分
    値と前記2階微分した2階微分値とを掛け算する第4の
    演算手段とを具備していることを特徴とする振動インテ
    ンシティ解析装置。
  7. 【請求項7】 変位検出器に、測定対象物の変位検出点
    を走査する走査機構を接続したことを特徴とする請求項
    6記載の振動インテンシティ解析装置。
  8. 【請求項8】 測定対象物の速度検出点の位置と、それ
    ぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示する
    表示装置を接続したことを特徴とする請求項7記載の振
    動インテンシティ解析装置。
  9. 【請求項9】 測定対象物の2方向の2対の点で非接触
    測定されたそれぞれの非接触測定信号を入力する2方向
    の2対の速度信号入力端子と、それぞれの速度信号入力
    端子に接続する演算回路部とよりなり、該演算回路部
    は、それぞれの速度信号入力端子より取り込んだそれぞ
    れの入力信号の対ごとに和を演算し微分する第1の演算
    手段と、それぞれの入力信号を対ごとに減算しその減算
    値と前記微分した微分値とを掛け算する第2の演算手段
    とを具備していることを特徴とする振動インテンシティ
    解析装置。
  10. 【請求項10】 測定対象物の2方向の2対の点の速度
    を非接触測定する速度検出プローブと速度検出回路とよ
    りなる速度検出器と、該速度検出器に接続しそれぞれの
    非接触測定信号を入力する2方向の2対の速度信号入力
    端子と、それぞれの速度信号入力端子に接続する演算回
    路部とよりなり、該演算回路部は、それぞれの速度信号
    入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の対ごとに
    和を演算し微分する第1の演算手段と、それぞれの入力
    信号を対ごとに減算しその減算値と前記微分した微分値
    とを掛け算する第2の演算手段とを具備していることを
    特徴とする振動インテンシティ解析装置。
  11. 【請求項11】 速度検出器に、測定対象物の速度検出
    点を走査する走査機構を接続したことを特徴とする請求
    項10記載の振動インテンシティ解析装置。
  12. 【請求項12】 測定対象物の速度検出点の位置と、そ
    れぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示す
    る表示装置を接続したことを特徴とする請求項11記載
    の振動インテンシティ解析装置。
  13. 【請求項13】 測定対象物の2方向の2対の点を非接
    触測定したそれぞれの非接触測定信号を入力する2方向
    の2対の変位信号入力端子と、それぞれの変位信号入力
    端子に接続する演算回路部とよりなり、該演算回路部
    は、それぞれの変位信号入力端子より取り込んだそれぞ
    れの入力信号の対ごとに和を演算し2階微分する第3の
    演算手段と、それぞれの入力信号を対ごとに減算して微
    分した微分値と前記2階微分した2階微分値とを掛け算
    する第4の演算手段とを具備していることを特徴とする
    振動インテンシティ解析装置。
  14. 【請求項14】 測定対象物の2方向の2対の点の変位
    を非接触測定する変位検出プローブと変位検出回路とよ
    りなる変位検出器と、該変位検出器に接続しそれぞれの
    非接触測定信号を入力する2方向の2対の変位信号入力
    端子と、それぞれの変位信号入力端子に接続する演算回
    路部とよりなり、該演算回路部は、それぞれの変位信号
    入力端子より取り込んだそれぞれの入力信号の対ごとに
    和を演算し2階微分する第3の演算手段と、それぞれの
    入力信号を対ごとに減算して微分した微分値と前記2階
    微分した2階微分値とを掛け算する第4の演算手段とを
    具備していることを特徴とする振動インテンシティ解析
    装置。
  15. 【請求項15】 変位検出器に、測定対象物の変位検出
    点を走査する走査機構を接続したことを特徴とする請求
    項14記載の振動インテンシティ解析装置。
  16. 【請求項16】 測定対象物の速度検出点の位置と、そ
    れぞれの位置の振動インテンシティベクトルとを表示す
    る表示装置を接続したことを特徴とする請求項15記載
    の振動インテンシティ解析装置。
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