JP3095022B2 - ディジタル・アナログ・コンバータ - Google Patents

ディジタル・アナログ・コンバータ

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JP3095022B2
JP3095022B2 JP03055152A JP5515291A JP3095022B2 JP 3095022 B2 JP3095022 B2 JP 3095022B2 JP 03055152 A JP03055152 A JP 03055152A JP 5515291 A JP5515291 A JP 5515291A JP 3095022 B2 JP3095022 B2 JP 3095022B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はデジタル信号をアナログ
信号に変換するデジタル・アナログ・コンバータ(以
下、DAコンバータという)に関する。
【0002】例えば、DAコンバータは、LSI製造プ
ロセスで使用される電子ビーム露光装置において、電子
ビームの偏向位置を示すデジタル信号をアナログ信号に
変換する場合等に使用されるが、かかる電子ビーム露光
装置は、LSIの高集積化に対応して高精度化すること
が要求されており、この結果、電子ビーム露光装置を構
成するDAコンバータにつても、その高精度化が要求さ
れている。画像処理に使用されるDAコンバータ等につ
いても同様である。
【0003】
【従来の技術】従来、DAコンバータとして、図6にそ
の要部を示すようなものが提案されている。
【0004】このDAコンバータは、20ビットのデジ
タル信号D20〜D1 (図では、D20[MSB]、D13
12,D1 [LSB]のみ表示)につき、電流加算方式
によるデジタル・アナログ変換を行うDAコンバータの
例である。
【0005】かかるDAコンバータにおいては、20ビ
ットのデジタル信号D20〜D1 に対応して、20個の定
電流出力部120〜11 が設けられている。ただし、図で
は、定電流出力部120のみを完全に表示し、他の定電流
出力部119〜11 については、その一部のみ、かつ、そ
の要部を表示している。
【0006】ここに、定電流出力部120は、デジタル信
号入力端子2と、電流切換信号発生回路3と、nチャネ
ルMOSトランジスタ(以下、nMOSという)4〜9
と、定電圧源10と、オペアンプ11と、補正電圧源1
2と、抵抗13,1420とを設けて構成されており、デ
ジタル信号入力端子2は、電流切換信号発生回路3の入
力端子に接続されている。
【0007】この電流切換信号発生回路3はストローブ
信号SBによってデジタル信号D20を取り込み、その反
転出力端子3Aにデジタル信号D20と逆相の信号を出力
し、その非反転出力端子3Bにデジタル信号D20と同相
の信号を出力するものであって、反転出力端子3Aは、
nMOS4のゲートに接続され、非反転出力端子3Bは
nMOS5のゲートに接続されている。
【0008】これらnMOS4,5は、いわゆる差動回
路からなる電流切換回路(電流切換スイッチ)を構成す
るものであって、nMOS4は、そのドレインを接地さ
れ、そのソースをnMOS5のソース及びnMOS6の
ドレインに接続されている。また、nMOS6は、その
ドレインを出力回路15を構成するオペアンプ16の反
転入力端子−に接続されている。このオペアンプ16
は、その非反転入力端子+を接地され、その出力端子
を、アナログ信号出力端子17に接続されると共に、抵
抗18を介して反転入力端子−に接続されている また、いわゆるトーテンポール状に接続されたnMOS
6,7,8はnMOS4,5のソースの電圧を安定化さ
せるためのものであって、最下段のnMOS8のソース
をnMOS9のドレインに接続されている。なお、これ
らnMOS6,7,8のゲートには、それぞれ所定の直
流電圧が供給される。
【0009】また、定電圧源10は、オペアンプ11、
nMOS9、抵抗1420、定電圧源19と共に定電流源
を構成するものであって、定流源を構成するに必要な第
1の定電圧V1 を出力するものである。ここに、この定
電圧源10は、その出力端子をオペアンプ11の非反転
入力端子+に接続されており、オペアンプ11は、その
出力端子をnMOS9のゲートに接続されており、nM
OS9は、そのソースを、オペアンプ11の反転入力端
子−に接続されると共に、抵抗1420を介して定電圧源
19の出力端子に接続されている。この定電圧源19
は、定電流源を構成するに必要な第2の定電圧V2 (<
1 )を出力するものであって、定電流出力部120〜1
1 において共用されている。
【0010】ここに、抵抗1420には、その抵抗値をR
20とすれば、(V1 −V2 )/R20なる電流が流れる。
したがって、ハイレベル“H”からなるデジタル信号D
20がデジタル信号入力端子2に供給されると、nMOS
4がオフ状態、nMOS5がオン状態となって、定電流
出力部120の出力電流I20はI20=(V1 −V2 )/R
となる。また、ローレベル“L”からなるデジタル信号
20がデジタル信号入力端子2に供給されると、nMO
S4がオン状態、nMOS5がオフ状態となって、定電
流出力部120の出力電流I20はI20=0となる。
【0011】また、補正電圧源12は、抵抗1420に流
れる電流、即ち、定電流出力部120の出力電流I20を精
度良く較正(キャリブレーション)するために必要な補
正電圧ΔVを出力させるためのものであって、その出力
端子を、抵抗13を介して抵抗1420の一端に接続され
ている。
【0012】なお、定電流出力部119〜113は、定電流
源を構成する抵抗1419〜1413の抵抗値に異にするほ
か、定電流出力部120と同様に構成されている。また、
定電流出力部120〜11 は、第1の電圧V1 を出力する
1個の定電圧源20を共用している点及び定電流源を構
成する抵抗1412〜141 (但し、抵抗1411〜14 2
は、その図示を省略している)の値を異にする点を除
き、定電流出力部120と同様に構成されている。
【0013】ここに、抵抗1420,1419,…,141
の抵抗値は、抵抗141 の抵抗値をRE とした場合、設
計上、(1/219)RE ,(1/218)RE ,…,RE
となるように形成されている。即ち、定電流出力部11
の出力電流I1 の電流値をI 0 とした場合、設計上、電
流I20,I19,…,I1 の電流値が、219×I0 ,2 18
×I0 ,…,I0 となるように較正し、そのリニアリテ
ィを確保できるようにされている。
【0014】しかしながら、抵抗1420〜141 に対し
て、完全なリニアリティを得るだけの精度を要求するこ
とは現実には困難であり、製造上、不可避的に設計値と
の間にバラツキが生じてしまう。特に、例えば、定電流
出力部120〜113の抵抗14 20〜1413は、その値が小
さいため、その設計値との間のバラツキはリニアリティ
に大きな影響を与えてしまう。
【0015】そこで、かかる従来のDAコンバータにお
いては、特に、定電流出力部120〜113については、第
1の定電圧V1 を出力する定電圧源(図では、定電圧源
10,21のみ表示)をそれぞれ独立に設けるほか、補
正電圧源(図では、補正電圧源12,22のみ表示)を
それぞれ独立に設け、定電流出力部120〜113につい
て、それぞれ第1の定電圧V1 を調整して電流I20,I
19,…,I13が、それぞれ219×I0 ,218×I0
…,212×I0 となるようにし、それても尚、リニアリ
ティに誤差がある場合には、補正電圧ΔVを微小に調節
し、リニアリティの精度を確保できるようにされてい
る。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者による実験、研究の結果、かかる従来例のDAコンバ
ータにおいては、前述のように電流I20〜I13について
較正を行ったとしても、抵抗1420〜1413の抵抗値の
温度変化によってリニアリティが崩れてしまう場合があ
るということが判明した。即ち、20ビットの精度を確
保するには10-6以下の精度が必要となるが、だからと
いって、たとえ温度係数が小さい、例えば、温度係数が
10-6Ω/℃の抵抗を用いたとしても、許容できる温度
変化は1℃しかなく、このため、従来のDAコンバータ
においては、温度変化に対して安定なリニアリティを確
保することは困難であるということが判明した。
【0017】本発明は、かかる点に鑑み、温度変化に対
するリニアリティの安定性を確保して、高精度のアナロ
グ信号を得ることができるようにしたDAコンバータを
提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明は、第1の発明に
よるDAコンバータと、第2の発明によるDAコンバー
タとを含むものである。
【0019】ここに、第1の発明によるDAコンバータ
は電流加算方式のDAコンバータ、即ち、アナログ信号
に変換すべきデジタル信号の各ビットに対応して設けら
れた複数の定電流源による電流の加算によってデジタル
・アナログ変換を行うDAコンバータにおいて、前記複
数の定電流源中、少なくとも、最上位ビットに対応して
設けられた定電流源に、温度変化による電流変化を補償
する電流補償回路を付設するというものである。
【0020】これに対し、第2の発明によるDAコンバ
ータは電圧加算方式のDAコンバータ、即ち、アナログ
信号に変換すべきデジタル信号の各ビットに対応して設
けられた複数の定電圧源による電圧の加算によってデジ
タル・アナログ変換を行うDAコンバータにおいて、前
記複数の定電圧源中、少なくとも、最上位ビットに対応
して設けられた定電圧源に、温度変化による電圧変化を
補償する電圧補償回路を付設するというものである。
【0021】
【作用】本発明中、第1の発明によれば、電流加算方式
のDAコンバータにつき、アナログ信号に変換すべきデ
ジタル信号の各ビットに対応して設けられた複数の定電
流源中、少なくとも、最上位ビットに対応して設けられ
た定電流源に、温度変化による電流変化を補償する電流
補償回路が付設されているので、電流加算方式のDAコ
ンバータにつき、温度変化に対するリニアリティの安定
性を確保することができる。なお、この温度変化に対す
るリニアリティの安定性の確保は、例えば、ある基準温
度において電流補償回路の補償分をゼロとし、他の回路
によって全ビットのリニアリティを合わせ、しかる後、
温度を変化させた場合のリニアリティのずれを電流補償
回路の電流補償温度係数を調節して補正することにより
行うことができる。
【0022】本発明中、第2の発明によれば、電圧加算
方式のDAコンバータにつき、アナログ信号に変換すべ
きデジタル信号の各ビットに対応して設けられた複数の
定電圧源中、少なくとも、最上位ビットに対応して設け
られた定電圧源に、温度変化による電圧変化を補償する
電流補償回路が付設されているので、電圧加算方式のD
Aコンバータにつき、温度変化に対するリニアリティの
安定性を確保することができる。なお、この温度変化に
対するリニアリティの安定性の確保は、例えば、ある基
準温度において電圧補償回路の補償分をゼロとし、他の
回路によって全ビットのリニアリティを合わせ、しかる
後、温度を変化させた場合のリニアリティのずれを電圧
補償回路の電圧補償温度係数を調節して補正することに
より行うことができる。
【0023】
【実施例】以下、図1〜図3を参照して、第1の発明の
一実施例及び第2の発明の1実施例につき、項を分けて
説明する。
【0024】(1)第1の発明の一実施例(図1,図
2) 図1は、本発明中、第1の発明の一実施例の要部を示す
回路図であって、本実施例は、図6に示す従来例のDA
コンバータを改良したものである。したがって、この図
1において、図6に対応する部分には同一符号を付し、
その重複説明は省略する。
【0025】本実施例のDAコンバータは、後述する電
流補償回路23を設け、その出力端子2420〜2413
それぞれ抵抗1420〜1413の一端に接続し、その他に
ついては、図6の従来例と同様に構成したものである。
【0026】この電流補償回路23は、抵抗1420〜1
13に流れる電流、即ち、定電流出力部120〜113の出
力電流I20〜I13の温度変化による変化を補償するもの
であって、図2に示すように、リファレンス電圧発生回
路25と、可変抵抗26,27と、抵抗28〜31と、
オペアンプ32,33と、可変抵抗3420〜3413と、
抵抗3520〜3513とを設けて構成されている。
【0027】ここに、リファレンス電圧発生回路25は
温度トランスジューサとしても使用できるように構成さ
れたリファレンス電圧発生回路(例えば、アナログ・デ
バイス[ANALOG DEVICES]社製 ADREF02 )であって、
図中、36は入力電圧VINが入力される電圧入力端子、
37はリファレンス電圧VR が出力されるリファレンス
電圧出力端子、38はリファレンス電圧VR を調整する
ための調整電圧が入力されるトリム端子、39は温度に
比例した電圧が出力される温度比例電圧出力端子、40
はベース電圧端子である。
【0028】尚、リファレンス電圧発生回路25は、温
度感応素子251、オペアンプ252、抵抗253〜2
58を有する。ベース電圧端子40はベース電圧とし
て、前述の定電圧源10が出力する定電圧V1 に設定さ
れる。
【0029】本実施例においては、リファレンス電圧出
力端子37は、可変抵抗26の一方の固定接点に接続さ
れており、この可変抵抗26は,その他方の固定接点は
定電圧V1 に設定され、その可動接点をトリム端子38
に接続されている。また、リファレンス電圧出力端子3
7は、抵抗28を介して、オペアンプ32の反転入力端
子−に接続さている。このオペアンプ32は、増幅器を
構成するものであって、その非反転入力端子+をリファ
レンス電圧発生回路25の温度比例電圧出力端子39に
接続され、その出力端子を抵抗29を介して反転入力端
子−に接続され、その反転入力端子−には可変抵抗27
を介して定電圧V1 が与えられる。
【0030】また、このオペアンプ32の出力端子は、
可変抵抗3420〜3413の一方の固定接点に接続される
と共に、抵抗30を介してオペアンプ33の反転入力端
子−に接続されている。このオペアンプ33は、反転器
を構成するものであって、その非反転入力端子+は定電
圧V1 に設定され、その出力端子を可変抵抗3420〜3
13の他方の固定接点に接続されると共に、抵抗31を
介して反転入力端子−に接続されている。可変抵抗34
20〜3413は、補償すべき電流範囲を決定するものであ
って、その可動接点をそれぞれ抵抗3520〜3513、出
力端子2420〜2413を介して抵抗1420〜1413の一
端に接続されている。
【0031】かかる電流補償回路23においては、オペ
アンプ32の出力端子及びオペアンプ33の出力端子
に、それぞれ絶対値を同一とし、かつ、温度変化に対応
してその電圧値が直線的に変化する正電圧+VT 及び負
電圧−VT を得ることができる。したがって、可変抵抗
3420〜3413の可動接点を調整することによって抵抗
1420〜1413の一端にそれぞれ+VT 〜−VT なる範
囲の任意の電圧を供給することができる。
【0032】そこで、本実施例においては、次に述べる
ような調整を行う。
【0033】まず、ある基準温度において、可変抵抗2
6を調整してオペアンプ32の反転入力端子−の入力電
圧はと非反転入力端子+の入力電圧が等しくなるように
する(オフセット調整)。この場合、オペアンプ32の
出力電圧+VT は0[V]、したがって、おぺアンプ3
3の出力電圧−VT も0[V]となる。即ち、定電圧源
4220に対する補償電圧を0[V]の状態とする。
【0034】次に、この状態で図6の従来例の場合と同
様に、定電流出力部120〜113について、第1の定電圧
1 の調整と、補正電圧ΔVの調整とを行って、出力電
流I 20,I19,…,I13につき、219×I0 ,218×I
0 ,…,212×I0 となるように較正し、基準温度にお
けるリニアリティを確保する。尚、可変抵抗器27を調
整して+VT と−VT のゲインを適当な値に設定する。
【0035】次に、温度を変えて、出力電流I20〜I13
の電流値を測定する。このときの電流値が基準温度の場
合の電流値と異なる場合には、可変抵抗3420〜3413
を調整して、出力電流I20〜I13の電流値を基準温度の
場合と同様にする。この操作は、複数の温度において行
うことが好適である。
【0036】したがって本実施例によれば、電流加算方
式のDAコンバータにつき、温度変化に対するリニアリ
ティの安定性を確保し、高精度のアナログ信号を得るこ
とができる。
【0037】尚、上述の実施例においては、デジタル信
号D20〜D1 の各ビットに対応して20個の定電流出力
部120〜11 を設けるように構成されたDAコンバータ
に本発明中、第1の発明を適用した場合につき述べた
が、第1の発明は、その他、上位ビットについては、各
ビットにつき複数の定電流出力部を設けるようにしたD
Aコンバータにも適用することができる。
【0038】また、上述の実施例においては、1個の電
流補償回路23を設けた場合につき述べたが、定電流出
力部120〜113のそれぞれに電流補償回路23を設ける
こともでき、この場合には、更に高精度の温度補償を行
い、更に高精度のアナログ信号を得ることができる。
【0039】また、上述の実施例においては、定電流出
力部120〜113の出力電流I20〜I 13について温度補償
を行うようにした場合につき述べたが、全ての定電流出
力部120〜11 の出力電流I20〜I1 について温度補償
を行うようにしても良く、この場合には、更に精度の高
い温度補償を行い、更に高精度のアナログ信号をえるこ
とができる。
【0040】(2)第2の発明の一実施例(図3) 図3は本発明中、第2の発明の一実施例の要部を示す回
路図であって、本実施例は20ビット電圧加算方式のD
Aコンバータの例である。なお、この図3において、図
2に対応する部分には同一符号を付し、その重複説明は
省略する。
【0041】本実施例においては、20ビットのデジタ
ル信号D20〜D1 (図では、D20,D19,D13,D12
1 のみ表示)に対応して20個の切換スイッチ回路4
20〜411 (図では、切換スイッチ回路4120,41
19,4113,4112,411のみ表示)及び定電圧源4
20〜421 (図では、定電圧源4220,4219,42
13,4212,421 のみ表示)が設けられている。な
お、43はアナログ信号出力端子である。
【0042】ここに、切換スイッチ回路4120〜411
は、それぞれデジタル信号D20〜D 1 によって制御さ
れ、デジタル信号D20〜D1 がハイレベル“H”のと
き、その可動接点41a20〜41a1 を一方の固定接点
41b20〜41b1 に接続され、デジタル信号D20〜D
1 がローレベル“L”のとき、その可動接点41a20
41a1 を他方の固定接点41c20〜41c1 に接続さ
れる。
【0043】また、定電圧源4220,4219,…,42
1 は、定電圧源421 の出力電圧をE0 とすると、その
出力電圧をそれぞれ219×E0 ,218×E0 ,…,E0
に調整できるように構成されている。
【0044】また、本実施例においては、定電圧源42
20〜4213について、電圧補償回路4420〜4413(図
では、電圧補償回路4420,4419,4413のみ表示
し、かつ、電圧補償回路4420のみ回路構成を表示して
いる)が設けられている。これら電圧補償回路4420
4413は定電圧源4220〜4213の出力電圧の温度変化
による変化を補償するものである。
【0045】ここに、電圧補償回路4420は、リファレ
ンス電圧発生回路25と、可変抵抗26,27と、抵抗
28〜31と、オペアンプ32,33と、可変抵抗45
とを設けて構成されており、図2に示す電流補償回路2
3と比較して、オペアンプ32の出力端子及びオペアン
プ33の出力端子をそれぞれ可変抵抗45の一方及び他
方の固定接点に接続し、その可動接点を出力端子46に
接続させている点及びリファレンス電圧発生回路25の
ベース電圧端子40を出力端子47に接続させている点
を除き、図2の電流補償回路23と同様に構成されてい
る。そして、出力端子46及び47は、それぞれ切換ス
イッチ回路41の一方の固定接点41b 20及び定電圧源
4220の正電圧出力端子に接続されている。
【0046】かかる電圧補償回路4420においてはオペ
アンプ32の出力端子及びオペアンプ33の出力端子
に、それぞれ絶対値を同一とし、かつ、温度変化に対応
して直線的に変化する正電圧+VT 及び負電圧−VT
得ることができる。したがって、可変抵抗45の可動接
点を調整することによって出力端子46,47間に+V
T 〜−VT の範囲の補償電圧を出力し、この補償電圧の
範囲において定電圧源4220の出力電圧の温度変化によ
る変化を補償することができる。
【0047】なお、電圧補償回路4419〜4413につい
ても同様に構成されており、+VT〜−VT の範囲にお
いて、定電圧源4219〜4213の出力電圧の温度変化に
よる変化を補償することができる。
【0048】そこで、本実施例においては、次に述べる
ような調整を行う。
【0049】まず、ある基準温度において、可変抵抗2
6を調整してオペアンプ32の反転入力端子−の入力電
圧と非反転入力端子+の入力電圧が等しくなるようにす
る。この場合、オペアンプ32の出力電圧+VT は0
[V]、したがって、オペアンプ33の出力電圧−VT
も0[V]となる。すなわち、定電圧源4220に対する
補償電圧を0[V]の状態とする。
【0050】次に、この状態で、定電圧源4220〜42
13を調整して、その出力電圧がそれぞれ219×E0 ,2
18×E0 ,…,212×E0 となるように較正し、基準温
度におけるリニアリティを確保する。
【0051】次に、温度を変えて、定電圧源4220の電
圧値を測定する。このときの電圧値が基準温度の場合の
電圧値と異なる場合には、可変抵抗45を調整して、出
力電圧を基準温度の場合と同様にする。この操作は、複
数の温度において行うことが好適である。この操作を定
電圧源4219〜4213についても行う。
【0052】ここに、定電圧源4220〜4213の出力電
圧について、+VT 〜−VT の範囲で温度補償を行うこ
とができる。
【0053】したがって、本実施例によれば、電圧加算
方式のDAコンバータにつき、温度変化に対するリニア
リティの安定正を確保し、高精度のアナログ信号を得る
ことができる。
【0054】なお、上述の実施例においては、デジタル
信号D20〜D1 の各ビットに対応して20個の定電圧源
4220〜421 を設けるように構成されたDAコンバー
タに本発明中、第2の発明を適用した場合につき述べた
が、第2の発明は、その他、上位ビットについてはく、
各ビットにつき複数の定電圧源を設けるようにしたDA
コンバータにも適用することができる。
【0055】また、上述の実施例においては、上位ビッ
トの定電圧源4220〜4213の出力電圧について温度補
償を行うようにした場合につき述べたが、全ての定電圧
源4220〜421 の出力電圧について温度補償を行うよ
うにしても良く、この場合には、更に精度の高い温度補
償を行い、更に高精度のアナログ信号を得ることができ
る。
【0056】(3)第1の発明の変形例(図4) 図4(A)は第1の発明の一実施例の変形例を示す図で
ある。前述の可変抵抗器3420〜3413は信号処理回路
SPC(図4(A)ではディジタル信号D20に対して設
けられた信号処理回路5420のみを示す)に置き換えら
れている。信号処理回路5420は電圧+VT と−VT
受取り、図4(B)に示すように、温度Tの関数である
補償電圧を出力する。前述したように、電圧+VT ,−
T は温度変化に対してリニアに変形する。図4(B)
に示すように、補償電圧Vと温度Tとの関係は、リニア
ではなく、抵抗1420の温度特性に対応している。例え
ば、信号処理回路5420はリードオンメモリ(ROM)
とアドレス回路を含む。アドレス回路は+VT と−VT
に対応するアドレス信号を生成する。このアドレス信号
はROMに与えられ、対応する補償電圧が読み出され
る。
【0057】図5は第2の発明の一実施例の変形例を示
す図である。図3に示す抵抗45は信号処理回路55で
置き換えられている。この信号処理回路55は+VT
−V T を受取り、対応する補償電圧を出力する。
【0058】
【発明の効果】本発明によれば、第1の発明及び第2の
発明につき、以下のような効果を得ることができる。
【0059】まず、第1の発明によれば、電流加算方式
のDAコンバータにつき、アナログ信号に変換すべきデ
ジタル信号の各ビット毎に設けられた複数の定電流源
中、少なくとも、最上位ビットに対応して設けられた定
電流源に、温度変化による電流変化を補償する電流補償
回路が付設されているので、電流加算方式のDAコンバ
ータにつき、温度変動に対するリニアリティの安定性を
確保し、高精度のアナログ信号を得ることができる。
【0060】これに対して、第2の発明によれば、電圧
加算方式のDAコンバータにつき、アナログ信号に変換
すべきデジタル信号の各ビットに毎に設けられた複数の
定電圧源中、少なくとも最上位ビットに対応して設けら
れた定電圧源に、温度変化による電圧変化を補償する電
流補償回路が付設されているので、電圧加算方式のDA
コンバータにつき、温度変動に対するリニアリティの安
定性を確保し、高精度のアナログ信号を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明中、第1の発明によるDAコンバータ
(電流加算方式のDAコンバータ)の一実施例の要部を
示す回路図である。
【図2】図に示す電流補償回路の詳細を示す回路図であ
る。
【図3】本発明中、第2の発明によるDAコンバータ
(電圧加算方式のDAコンバータ)の一実施例の要部を
示す回路図である。
【図4】第1の発明の一実施例の変形例の要部を示す図
である。
【図5】第2の発明の一実施例の変形例の要部を示す図
である。
【図6】従来のDAコンバータ(電流加算方式のDAコ
ンバータ)の一例の要部を示す回路図である。
【符号の説明】
20〜11 定電流出力部 3 電流切換信号発生回路 10,20,21 定電圧(V1 )源 12,22 補正電圧源 15 出力回路部 17 アナログ信号出力端子 19 定電圧(V2 )源 23 電流補償回路 4120〜411 切換スイッチ回路 4220〜421 定電圧源 43 アナログ信号出力端子 4420〜4413 電圧補償回路 5420,55 信号処理回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 矢原 秀文 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通オートメーション株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−83924(JP,A) 特開 昭58−5024(JP,A) 特開 昭61−118026(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03M 1/00 - 1/88

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アナログ信号に変換すべきデジタル信号
    の各ビットに対応して設けられた複数の定電流源による
    電流の加算によってデジタル・アナログ変換を行うデジ
    タル・アナログ・コンバータにおいて、正の温度係数出力及び負の温度係数出力を持つ温度依存
    出力回路を持ち、該正負温度係数出力の中間点からの出
    力を調整して、該出力を当該定電流源の抵抗の一端に印
    加することを特徴とするデジタル・アナログ・コンバー
    タ。
  2. 【請求項2】 アナログ信号に変換すべきデジタル信号
    の各ビットに対応して設けられた複数の定電流源による
    電流の加算によってデジタル・アナログ変換を行うデジ
    タル・アナログ・コンバータにおいて、 温度依存電圧出力回路を持ち、該温度依存電圧出力回路
    から正の温度係数を持つ出力及び負の温度係数を持つ出
    力を発生し、該正の温度係数を持つ出力と可変抵抗の両
    端に印加し、該可変抵抗の中間点からの電圧出力を当該
    定電流源の一端に印加することを特徴とするデジタル・
    アナログ・コンバータ。
  3. 【請求項3】 アナログ信号に変換すべきデジタル信号
    の各ビットに対応して設けられた複数の定電圧源による
    電圧の加算によってデジタル・アナログ変換を行うデジ
    タル・アナログ・コンバータにおいて、正の温度係数出力及び負の温度係数出力を持つ温度依存
    出力回路を持ち、該正負温度係数出力の中間点からの出
    力を調整して、該出力を当該電圧源に加算することを特
    徴とするデジタル・アナログ・コンバータ。
  4. 【請求項4】 アナログ信号に変換すべきデジタル信号
    の各ビットに対応して設けられた複数の定電圧源による
    電圧の加算によってデジタル・アナログ変換を行うデジ
    タル・アナログ・コンバータにおいて、 温度依存電圧出力回路を持ち、該温度依存電圧出力回路
    から正の温度係数を持つ出力及び負の温度係数を持つ出
    力を発生し、該正の温度係数を持つ出力と該負の温度係
    数を持つ出力を可変抵抗の両端に印加し、該可変抵抗の
    中間点からの電圧出力を当該定電圧源に加算することを
    特徴とするデジタル・アナログ・コンバータ。
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