JP3092379B2 - ブレードのプロファイル形状検査装置 - Google Patents
ブレードのプロファイル形状検査装置Info
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Description
形状検査装置に関するものである。
空気圧縮機では、図6に示すようにディスク1の外周面
に設けられる複数の空気圧縮機動翼(ブレード)2を、
ディスク1と一体的に形成したブレード一体型ディスク
3が用いられている。
機のブレード2は、ブレード前縁部(リーディングエッ
ジ部)4(図3及び図4も参照)の断面形状(図5参
照)が設計上の最大許容寸法Max.と最小許容寸法M
in.の範囲に納っていないと、航空機用ガスタービン
エンジンの出力が計画値に達しなくなってしまう。
作にあたっては、特にリーディングエッジ部4の断面形
状が設計通りの形状になるように留意している。
型ディスク3のブレード2の形状を検査するために用い
られているブレードのプロファイル形状検査装置の一例
の構造について説明する。
(図2の紙面に直交する方向)に沿って延びる第1のス
クリュー軸、7は第1のスクリュー軸6に螺合されたナ
ット、8はナット7に固着された第1の移動体であり、
該第1の移動体8は、図示されていないガイド部材によ
り前記基板5に対して転倒しないように支持されてい
る。
された水平に且つ前記X軸に対して直交するY軸に沿っ
て延びる第2のスクリュー軸、10は第2のスクリュー
軸9に螺合されたナット、11はナット10に固着され
た第2の移動体であり、該第2の移動体11は、図示さ
れていないガイド部材により前記第1の移動体8に対し
て転倒しないように支持されている。
支持された垂直に延びるZ軸に沿って延びる第3のスク
リュー軸、13は第3のスクリュー軸12に螺合された
ナット、14はナット13に固着された第3の移動体で
あり、該第3の移動体14は、図示されていないガイド
部材により前記第2の移動体11に対して回動しないよ
うに支持されている。
るように前記第3の移動体14に支持された回転体、1
6は回転体15の上面に形成された凹曲面、17は凹曲
面16に嵌設された凸曲面18を有し前記X軸に対して
延びるα軸を中心に傾動し得るように前記回転体15に
支持された傾動体、19は傾動体17に取り付けられ且
つブレード一体型ディスク3を支持可能な支持部であ
り、該支持部19は、前記ブレード一体型ディスク3の
ブレード2の数に対応する割出盤61を備えている。
一体型ディスク3のブレード2のリーディングエッジ部
4へスリット光L1を入射させる光源、21はブレード
2のリーディングエッジ部4により反射する光L2を捉
えるためのテレビカメラであり、光源20及びテレビカ
メラ21は、前記基板5に対して移動しないように固定
されている。
像信号23に基づき前記ブレード2のリーディングエッ
ジ部4により反射する光L2をリーディングエッジ部4
の形状として画像表示するためテレビモニターであり、
該テレビモニター22の画面には、透明なフィルムにリ
ーディングエッジ部4の許容誤差の範囲(図5参照)を
標記したプロファイルチャート24が取り付けられるよ
うになっている。
形状検査装置によって、ブレード一体型ディスク3のブ
レード2のリーディングエッジ部4の形状検査を行う際
の手順を説明する。
状検査を行うにあたっては、ブレード一体型ディスク3
の各ブレード2の背面に、図3に示すように、形状検査
を実施すべきブレード断面を示す断面表示線S1,S2,
S3…Snを卦書いたうえ、ブレード一体型ディスク3の
ディスク1を支持部19に支持させる。
れるリーディングエッジ部4の断面形状検査を行うとす
ると、テレビモニター22の画面に、断面表示線S1に
おけるリーディングエッジ部4の許容誤差の範囲を標記
したプロファイルチャート24を取り付けておく。
て該スリット光L1を形状検査を行うべきブレード2へ
照射し、ブレード2のリーディングエッジ部4により反
射する光L2をテレビカメラ21により捉え、該テレビ
カメラ21から出力される画像信号23をテレビモニタ
ー22へ導き、該テレビモニター22により画像信号2
3を画像表示する。
クリュー軸9、第3のスクリュー軸12を手動操作によ
り回動させて、基板5に対する第1の移動体8のX軸方
向の位置、第1の移動体8に対する第2の移動体11の
Y軸方向の位置、第2の移動体11に対する第3の移動
体14のZ軸方向の位置を調整し、また、第3の移動体
14に対する回転体15のθ軸を中心とする周方向の位
置、回転体15に対する傾動体17のα軸を中心とする
周方向の位置をそれぞれ手動操作により調整して、テレ
ビカメラ21に対する断面表示線S1の位置がテレビカ
メラ21の焦点距離に対応するように、焦点合わせを行
い、テレビモニター22の画面上にリーディングエッジ
部4により反射した光L2が断面表示線S1により表示さ
れるリーディングエッジ部4の断面形状として画像表示
されるようにする。
ングエッジ部4の断面形状が画像表示されたならば、画
像表示された実際のリーディングエッジ部4の断面形状
とプロファイルチャート24に標記されている断面表示
線S1におけるリーディングエッジ部4の許容誤差の範
囲を対比し、必要に応じてリーディングエッジ部4の形
状を研磨等の手段により成形する。
ーディングエッジ部4の断面形状検査を行う場合には、
テレビモニター22の画面に、断面表示線S2における
リーディングエッジ部4の許容誤差の範囲を標記したプ
ロファイルチャート24を取り付け、断面表示線S2に
より表示されるリーディングエッジ部4の断面形状検査
を行ったときと同様に、第1のスクリュー軸6、第2の
スクリュー軸9、第3のスクリュー軸12を手動操作に
より回動させ、また、回転体15のθ軸を中心とする周
方向の位置、傾動体17のα軸を中心とする周方向の位
置をそれぞれ手動操作により調整して、テレビカメラ2
1に対する断面表示線S2の位置がテレビカメラ21の
焦点距離に対応するように、焦点合わせを行い、以下、
上述したような手順により断面表示線S1,S2,S3,
…Snにより表示されるリーディングエッジ部4の各断
面の形状を順に検査する。
た従来のブレードのプロファイル形状検査装置では、ブ
レード2のリーディングエッジ部4の断面形状を検査す
る際に、各ブレード2ごとに、第1のスクリュー軸6、
第2のスクリュー軸9、第3のスクリュー軸12を手動
操作により回動させ、また、回転体15のθ軸を中心と
する周方向の位置、傾動体17のα軸を中心とする周方
向の位置をそれぞれ手動操作により調整して、テレビカ
メラ21に対する断面表示線S1,S2,S3…Snの位置
がテレビカメラ21の焦点距離に対応するように、焦点
合わせを行う必要があり、効率よくブレード2のリーデ
ィングエッジ部4の断面形状を検査することができなか
った。
で、焦点合わせ作業に要する時間を短縮することが可能
なブレードのプロファイル形状検査装置を提供すること
を目的としている。
に、本発明のブレードのプロファイル形状検査装置にお
いては、水平に延びるX軸に沿って移動し得るように基
板に支持された第1の移動体と、前記X軸に対して直角
に且つ水平に延びるY軸に沿って移動し得るように前記
第1の移動体に支持された第2の移動体と、垂直に延び
るZ軸に沿って移動し得るように前記第2の移動体に支
持された第3の移動体と、垂直に延びるθ軸を中心に回
動し得るように前記第3の移動体の上面に支持された回
転体と、水平に延びるα軸を中心に傾動し得るように前
記回転体に支持された傾動体と、該傾動体に取り付けら
れ且つブレード一体型ディスクを支持可能な支持部と、
前記第1の移動体を基板に対してX軸方向へ移動させる
X軸方向移動装置と、前記第2の移動体を第1の移動体
に対してY軸方向へ移動させるY軸方向移動装置と、前
記第3の移動体を第2の移動体に対してZ軸方向へ移動
させるZ軸方向移動装置と、前記回転体を第3の移動体
に対してθ軸を中心に回動させるθ軸中心回動装置と、
前記傾動体を回転体に対してα軸を中心に傾動させるα
軸中心傾動装置と、支持部に支持されたブレード一体型
ディスクのブレードの前縁部へ光を入射させる光源と、
前記ブレードの前縁部による反射光を捉えるテレビカメ
ラと、該テレビカメラが出力する画像信号に基づいて前
記反射光を画像表示するテレビモニターと、前記第1の
移動体のX軸方向の位置を検出するX軸方向位置検出器
と、前記第2の移動体のY軸方向の位置を検出するY軸
方向位置検出器と、前記第3の移動体のZ軸方向の位置
を検出するZ軸方向位置検出器と、前記回転体のθ軸周
方向の位置を検出するθ軸周方向位置検出器と、前記傾
動体のα軸周方向の位置を検出するα軸周方向位置検出
器と、X軸方向移動装置手動操作信号、Y軸方向移動装
置手動操作信号、Z軸方向移動装置手動操作信号、θ軸
中心回動装置手動操作信号、α軸中心傾動装置手動操作
信号、データ記録指令信号、ブレード断面指定信号を出
力する操作盤と、前記X軸方向移動装置、Y軸方向移動
装置、Z軸方向移動装置、θ軸中心回動装置、α軸中心
傾動装置へ駆動用電流を供給する電源装置と、前記X軸
方向位置検出器、Y軸方向位置検出器、Z軸方向位置検
出器、θ軸周方向位置検出器、α軸周方向位置検出器が
出力する位置検出信号を位置データとして記録し得るデ
ータ記録装置と、制御装置とを備え、該制御装置を、前
記データ記録指令信号が入力された際に位置検出信号を
位置データとしてデータ記録装置に記録させるように、
また、移動装置手動操作信号が入力された際に前記電源
装置へ駆動指令信号を出力し且つブレード断面指定信号
が入力された際にデータ記録装置の位置データに基づき
前記電源装置へ駆動指令信号を出力するように構成して
いる。
入力すると、前記制御装置から電源装置へ駆動指令信号
が出力され、前記電源装置から駆動指令信号に基づき、
X軸方向移動装置、Y軸方向移動装置、Z軸方向移動装
置、θ軸中心回動装置、α軸中心傾動装置に対して駆動
用電流が供給され、各移動装置により第1の移動体、第
2の移動体、第3の移動体が、X軸方向、Y軸方向、Z
軸方向に移動し、また、回動装置により回転体がθ軸を
中心に回動し、更に、傾動装置により傾動体がα軸を中
心に傾動する。
すると、前記制御装置は、各位置検出器が出力する位置
検出信号を、位置データとしてデータ記録装置に記録さ
せる。
すると、前記制御装置は、断面指定信号に基づいて、前
記データ記録装置に記録されている位置データを呼出
し、該位置データに基づいて駆動指令信号を電源装置へ
入力し、該電源装置から駆動指令信号に基づき、X軸方
向移動装置、Y軸方向移動装置、Z軸方向移動装置、θ
軸中心回動装置、α軸中心傾動装置に対して駆動用電流
が供給され、各移動装置により第1の移動体、第2の移
動体、第3の移動体が、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向
に移動し、また、回動装置により回転体がθ軸を中心に
回動し、更に、傾動装置により傾動体がα軸を中心に傾
動する。
する。
状検査装置の一実施例を示すもので、図2と同一の符号
を付した部分は同一物を表わしている。
ュー軸6を回動させるX軸方向移動装置(モータ)、2
6は第1の移動体8に取り付けられ第2のスクリュー軸
9を回動させるY軸方向移動装置(モータ)、27は第
2の移動体11に取り付けられ第3のスクリュー軸12
を回動させるZ軸方向移動装置(モータ)である。
転体15をθ軸を中心に回動させるθ軸中心回動装置
(モータ)、29は回転体15に取り付けられ傾動体1
7をα軸を中心に傾動させるα軸中心傾動装置(モー
タ)である。
対する第1の移動体8のX軸方向の相対的な位置を検出
するX軸方向位置検出器、31は前記第1の移動体8に
取り付けられ第1の移動体8に対する第2の移動体11
のY軸方向の相対的な位置を検出するY軸方向位置検出
器、32は前記第2の移動体11に取り付けられ第2の
移動体11に対する第3の移動体14のZ軸方向の相対
的な位置を検出するZ軸方向位置検出器である。
れ第3の移動体14に対する回転体15のθ軸周方向の
相対的な位置を検出するθ軸周方向位置検出器、34は
前記回転体15に取り付けられ回転体15に対する傾動
体17のα軸周方向の相対的な位置を検出するα軸周方
向位置検出器である。
6、Y軸方向移動装置手動操作信号37、Z軸方向移動
装置手動操作信号38、θ軸中心回動装置手動操作信号
39、α軸中心傾動装置手動操作信号40、データ記録
指令信号41、ブレード断面指定信号42、原点合わせ
信号43を出力する操作盤である。
向移動装置26、Z軸方向移動装置27、θ軸中心回動
装置28、α軸中心傾動装置29へ駆動用電流45,4
6,47,48,49を供給する電源装置、50は前記
X軸方向位置検出器30、Y軸方向位置検出器31、Z
軸方向位置検出器32、θ軸周方向位置検出器33、α
軸周方向位置検出器34が出力する位置検出信号51,
52,53,54,55をフロッピーディスク等に位置
データ56として記録し得るデータ記録装置である。
された際に位置検出信号51,52,53,54,55
を位置データ56としてデータ記録装置50に記録さ
せ、また移動装置手動操作信号36,37,38,3
9,40、ブレード断面指定信号42が入力された際に
前記電源装置44へ駆動指令信号58を出力し、更に原
点合わせ信号43が入力された際に機械原点に対する位
置検出信号51,52,53,54,55の偏差を演算
する制御装置、59は制御装置57に入力される位置検
出信号51,52,53,54,55に基づき、基板5
に対する第1の移動体8の位置、第1の移動体8に対す
る第2の移動体11の位置、第2の移動体11に対する
第3の移動体14の位置、第3の移動体14に対する回
転体15の位置、回転体15に対する傾動体17の位置
を数値表示するモニターである。
ファイル表示装置であり、該プロファイル表示装置60
は、図2に示すプロファイルチャート24のマイクロフ
ィルムを内装した構造を有し、テレビカメラ21が撮影
する映像にプロファイルチャートの画像を重ね合わせる
ように構成されている。
形状検査装置によって、ブレード一体型ディスク3のブ
レード2のリーディングエッジ部4の形状検査を行う際
の手順を説明する。
状検査を行うにあたっては、ブレード一体型ディスク3
の複数のブレード2のうちの一つの背面に、図3に示す
ように、形状検査を実施すべきブレード断面を示す断面
表示線S1,S2,S3…Snを卦書いたうえ、ブレード一
体型ディスク3のディスク1を、断面表示線S1,S2,
S3…Snを卦書いたブレード2にスリット光L1が照射
されるように支持部19に支持させる。
テレビカメラ21が撮影する映像に断面表示線S1に対
応するプロファイルチャートの画像が重ね合わされるよ
うにする。
て該スリット光L1を前記ブレード2へ照射し、ブレー
ド2のリーディングエッジ部4により反射する光L2を
テレビカメラ21により捉え、該テレビカメラ21から
出力される画像信号23をテレビモニター22へ導き、
該テレビモニター22により画像信号23を画像表示す
る。
を出力させると、制御装置57は、X軸方向位置検出器
30、Y軸方向位置検出器31、Z軸方向位置検出器3
2、θ軸周方向位置検出器33、α軸周方向位置検出器
34が出力する位置検出信号51,52,53,54,
55を作業開始前の位置データ56としてデータ記録装
置50に記憶させる。
移動装置手動操作信号36、Y軸方向移動装置手動操作
信号37、Z軸方向移動装置手動操作信号38、θ軸中
心回動装置手動操作信号39、α軸中心傾動装置手動操
作信号40を出力させ、基板5に対する第1の移動体8
のX軸方向の位置、第1の移動体8に対する第2の移動
体11のY軸方向の位置、第2の移動体11に対する第
3の移動体14のZ軸方向の位置、第3の移動体14に
対する回転体15のθ軸を中心とする周方向の位置、回
転体15に対する傾動体17のα軸を中心とする周方向
の位置をそれぞれ調整し、テレビカメラ21に対するブ
レード2の断面表示線S1の位置がテレビカメラ21の
焦点距離に対応するように焦点合わせを行う。
6,37,38,39,40が制御装置57へ入力され
ると、該制御装置57から電源装置44へ駆動指令信号
58が出力され、前記電源装置44から駆動指令信号5
8に基づき、X軸方向移動装置25、Y軸方向移動装置
26、Z軸方向移動装置27、θ軸中心回動装置28、
α軸中心傾動装置29に対して駆動用電流45,46,
47,48,49が供給される。
のスクリュー軸6、第2のスクリュー軸9、第3のスク
リュー軸12を回動させて、第1の移動体8、第2の移
動体11、第3の移動体14が、X軸方向、Y軸方向、
Z軸方向に移動し、また、回動装置28が回転体15を
θ軸を中心に回動させ、更に、傾動装置29が傾動体1
7をα軸を中心に傾動させる。
S1に対する焦点合わせを行うと、テレビモニター22
の画面上にリーディングエッジ部4により反射した光L
2が断面表示線S1に対応するリーディングエッジ部4の
断面形状として画像表示される。
に画像表示された実際のリーディングエッジ部4の断面
形状とプロファイルチャート24に標記されている断面
表示線S1におけるリーディングエッジ部4の許容誤差
の範囲を対比し、必要に応じてリーディングエッジ部4
の形状を研磨等の手段により成形する。
入力される位置検出信号51,52,53,54,55
に基づき、基板5に対する第1の移動体8の位置、第1
の移動体8に対する第2の移動体11の位置、第2の移
動体11に対する第3の移動体14の位置、第3の移動
体14に対する回転体15の位置、回転体15に対する
傾動体17の位置が数値表示される。
リーディングエッジ部4の焦点合わせを行ったならば、
操作盤35を操作してデータ記録指令信号41を出力さ
せると、制御装置57は、モニター59に表示されてい
る第1の移動体8、第2の移動体11、第3の移動体1
4、回転体15、傾動体17の位置、すなわち、各位置
検出器30,31,32,33,34が出力する位置検
出信号51,52,53,54,55を、断面表示線S
1におけるリーディングエッジ部4の焦点合わせの位置
データ56としてデータ記録装置50に記録させる。
リーディングエッジ部4の焦点合わせの位置データ56
を記録したならば、プロファイル表示装置60によって
テレビカメラ21が撮影する映像に断面表示線S2に対
応するプロファイルチャートの画像が重ね合わされるよ
うにし、前述した手順によってブレード2の断面表示線
S2におけるリーディングエッジ部4の焦点合わせを行
い、各位置検出器30,31,32,33,34が出力
する位置検出信号51,52,53,54,55を、断
面表示線S2におけるリーディングエッジ部4の焦点合
わせの位置データ56としてデータ記録装置50に記録
させ、以下同様に、断面表示線S3…Snにおけるリーデ
ィングエッジ部4の焦点合わせの位置データ56をデー
タ記録装置50に記録させる。
3…Snにおけるリーディングエッジ部4の焦点合わせの
位置データ56をデータ記録装置50に記録させたなら
ば、割出盤61を操作し、支持部19に支持されたブレ
ード一体型ディスク3を一翼分だけ回動させて、断面表
示線を卦書いていない次なるブレード2にスリット光L
1が照射されるようにする。
S1に対応するブレード断面指定信号42を出力させる
と、制御装置57は、前記ブレード断面指定信号42に
基づいて、前記データ記録装置50に記録されている断
面表示線S1におけるリーディングエッジ部4の焦点合
わせの位置データ56を呼出し、該位置データ56に基
づいて駆動指令信号58が電源装置44へ出力され、該
電源装置44から駆動指令信号58に基づき、X軸方向
移動装置25、Y軸方向移動装置26、Z軸方向移動装
置27、θ軸中心回動装置28、α軸中心傾動装置29
に対して駆動用電流45,46,47,48,49が供
給される。
のスクリュー軸6、第2のスクリュー軸9、第3のスク
リュー軸12を回動させて、第1の移動体8、第2の移
動体11、第3の移動体14が、X軸方向、Y軸方向、
Z軸方向に移動し、また、回動装置28が回転体15を
θ軸を中心に回動させ、更に、傾動装置29が傾動体1
7をα軸を中心に傾動させて、ブレード2の断面表示線
S1におけるリーディングエッジ部4の焦点合わせが自
動的に行われる。
るリーディングエッジ部4の焦点合わせをするときに
は、操作盤35を操作して断面表示線S2,S3…Snに
対応する断面指定信号42を出力させると、制御装置5
7はデータ記録装置50に記録されている断面表示線S
2,S3,…Snにおけるリーディングエッジ部4の焦点
合わせの位置データ56に基づき、移動装置25,2
6,27、回動装置28、傾動装置29を作動させ、ブ
レード2の断面表示線S2,S3,…Snにおけるリーデ
ィングエッジ部4の焦点合わせが自動的に行われる。
ァイル形状検査装置では、一つのブレード2に対しての
みリーディングエッジ部4の焦点合わせを行ってデータ
を記録すれば、他のブレード2に対しては自動的にリー
ディングエッジ部4の焦点合わせを行えるので、焦点合
わせ作業に要する時間を短縮することが可能となる。
状検査装置は、上述した実施例にのみ限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々
変更を加え得ることは勿論である。
ロファイル形状検査装置によれば、ブレードのプロファ
イル形状検査を行う際に、焦点合わせ作業に要する時間
を短縮することができるという、優れた効果を奏し得
る。
の一実施例の概念図である。
一例の概念図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 水平に延びるX軸に沿って移動し得るよ
うに基板に支持された第1の移動体と、前記X軸に対し
て直角に且つ水平に延びるY軸に沿って移動し得るよう
に前記第1の移動体に支持された第2の移動体と、垂直
に延びるZ軸に沿って移動し得るように前記第2の移動
体に支持された第3の移動体と、垂直に延びるθ軸を中
心に回動し得るように前記第3の移動体の上面に支持さ
れた回転体と、水平に延びるα軸を中心に傾動し得るよ
うに前記回転体に支持された傾動体と、該傾動体に取り
付けられ且つブレード一体型ディスクを支持可能な支持
部と、前記第1の移動体を基板に対してX軸方向へ移動
させるX軸方向移動装置と、前記第2の移動体を第1の
移動体に対してY軸方向へ移動させるY軸方向移動装置
と、前記第3の移動体を第2の移動体に対してZ軸方向
へ移動させるZ軸方向移動装置と、前記回転体を第3の
移動体に対してθ軸を中心に回動させるθ軸中心回動装
置と、前記傾動体を回転体に対してα軸を中心に傾動さ
せるα軸中心傾動装置と、支持部に支持されたブレード
一体型ディスクのブレードの前縁部へ光を入射させる光
源と、前記ブレードの前縁部による反射光を捉えるテレ
ビカメラと、該テレビカメラが出力する画像信号に基づ
いて前記反射光を画像表示するテレビモニターと、前記
第1の移動体のX軸方向の位置を検出するX軸方向位置
検出器と、前記第2の移動体のY軸方向の位置を検出す
るY軸方向位置検出器と、前記第3の移動体のZ軸方向
の位置を検出するZ軸方向位置検出器と、前記回転体の
θ軸周方向の位置を検出するθ軸周方向位置検出器と、
前記傾動体のα軸周方向の位置を検出するα軸周方向位
置検出器と、X軸方向移動装置手動操作信号、Y軸方向
移動装置手動操作信号、Z軸方向移動装置手動操作信
号、θ軸中心回動装置手動操作信号、α軸中心傾動装置
手動操作信号、データ記録指令信号、ブレード断面指定
信号を出力する操作盤と、前記X軸方向移動装置、Y軸
方向移動装置、Z軸方向移動装置、θ軸中心回動装置、
α軸中心傾動装置へ駆動用電流を供給する電源装置と、
前記X軸方向位置検出器、Y軸方向位置検出器、Z軸方
向位置検出器、θ軸周方向位置検出器、α軸周方向位置
検出器が出力する位置検出信号を位置データとして記録
し得るデータ記録装置と、制御装置とを備え、該制御装
置を、前記データ記録指令信号が入力された際に位置検
出信号を位置データとしてデータ記録装置に記録させる
ように、また、移動装置手動操作信号が 入力された際に
前記電源装置へ駆動指令信号を出力し且つブレード断面
指定信号が入力された際にデータ記録装置の位置データ
に基づき前記電源装置へ駆動指令信号を出力するように
構成したことを特徴とするブレードのプロファイル形状
検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05044597A JP3092379B2 (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | ブレードのプロファイル形状検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05044597A JP3092379B2 (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | ブレードのプロファイル形状検査装置 |
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