JP3088640B2 - 高周波電源 - Google Patents
高周波電源Info
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- JP3088640B2 JP3088640B2 JP07233775A JP23377595A JP3088640B2 JP 3088640 B2 JP3088640 B2 JP 3088640B2 JP 07233775 A JP07233775 A JP 07233775A JP 23377595 A JP23377595 A JP 23377595A JP 3088640 B2 JP3088640 B2 JP 3088640B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、負荷にパルス的な
高周波電力を供給するための高周波電源に関する。
高周波電力を供給するための高周波電源に関する。
【０００２】
【従来の技術】負荷にパルス的な高周波電源を供給する
高周波電源の一例を図１に示す。この図１の高周波電源
は、高い（速い）周期の高周波電力を得るに適した電源
である。図において、発振器１からの高周波は、自動ゲ
イン制御回路２、高周波電力増幅器３，負荷に供給され
る高周波出力をモニタするカプラ４を介して高周波出力
端子５に供給される。端子５は適宜な負荷（図示せず）
に接続されている。
高周波電源の一例を図１に示す。この図１の高周波電源
は、高い（速い）周期の高周波電力を得るに適した電源
である。図において、発振器１からの高周波は、自動ゲ
イン制御回路２、高周波電力増幅器３，負荷に供給され
る高周波出力をモニタするカプラ４を介して高周波出力
端子５に供給される。端子５は適宜な負荷（図示せず）
に接続されている。
【０００３】カプラ４から得られた高周波入力電力に比
例した信号は、比較回路６に供給され、出力設定器７か
らの基準出力と比較される。比較回路６には、演算増幅
器８と並列にコンデンサＣと抵抗Ｒとが設けられている
が、これは、高周波の位相を安定させるためのものであ
る。比較回路６からの制御信号は、自動ゲイン制御回路
２に供給される。更に、比較回路６の出力側には、パル
ス発生器９とトランジスタ１０から成るパルス制御回路
１１が接続されている。
例した信号は、比較回路６に供給され、出力設定器７か
らの基準出力と比較される。比較回路６には、演算増幅
器８と並列にコンデンサＣと抵抗Ｒとが設けられている
が、これは、高周波の位相を安定させるためのものであ
る。比較回路６からの制御信号は、自動ゲイン制御回路
２に供給される。更に、比較回路６の出力側には、パル
ス発生器９とトランジスタ１０から成るパルス制御回路
１１が接続されている。
【０００４】このような構成で、発振器１から発生し高
周波増幅器３によって増幅され、高周波出力端子５に供
給される高周波電力に比例した信号Ｐｆは、カプラ４に
よって得られ比較回路６に供給される。比較回路では、
信号Ｐｆと出力設定器７からの基準出力信号と比較し、
その差信号を自動ゲイン制御回路２に供給する。その結
果、負荷に供給される高周波電力値は、所望の値に制御
される。
周波増幅器３によって増幅され、高周波出力端子５に供
給される高周波電力に比例した信号Ｐｆは、カプラ４に
よって得られ比較回路６に供給される。比較回路では、
信号Ｐｆと出力設定器７からの基準出力信号と比較し、
その差信号を自動ゲイン制御回路２に供給する。その結
果、負荷に供給される高周波電力値は、所望の値に制御
される。
【０００５】さて、負荷に供給する高周波電力をパルス
的に動作させる場合、パルス制御回路１１が用いられ
る。パルス制御回路１１のパルス発生器９からは、図２
（ａ）に示すパルス信号が発生する。一方、出力設定器
７からは、図２（ｂ）に示す負の設定信号が出力され
る。図２（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示して
おり、カプラ４からの信号と出力設定器７からの信号の
差信号が得られる。なお、この出力信号が時間と共にレ
ベルが下がっているのは、Ｃ，Ｒの時定数によるためで
ある。
的に動作させる場合、パルス制御回路１１が用いられ
る。パルス制御回路１１のパルス発生器９からは、図２
（ａ）に示すパルス信号が発生する。一方、出力設定器
７からは、図２（ｂ）に示す負の設定信号が出力され
る。図２（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示して
おり、カプラ４からの信号と出力設定器７からの信号の
差信号が得られる。なお、この出力信号が時間と共にレ
ベルが下がっているのは、Ｃ，Ｒの時定数によるためで
ある。
【０００６】図２（ｄ）は、自動ゲイン制御回路２に供
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図２（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図２
（ｅ）のようにパルス的に動作する。なお、この図２の
信号波形図で説明したケースは、パルス動作が高周期
（速い周期）で行われる場合であり、例えば、パルス周
期は１０ｓｅｃ程度である。
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図２（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図２
（ｅ）のようにパルス的に動作する。なお、この図２の
信号波形図で説明したケースは、パルス動作が高周期
（速い周期）で行われる場合であり、例えば、パルス周
期は１０ｓｅｃ程度である。
【０００７】図３に示した波形図は、図１の電源によっ
て低周期のパルス動作をさせた場合を示している。図３
で、（ａ）はパルス発生器９の出力、（ｂ）は出力設定
器７の出力、（ｃ）は比較回路６の出力、（ｄ）は自動
ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、（ｅ）
は高周波出力をそれぞれ示している。この場合、パルス
周期が遅い（例えば１０００ｓｅｃ）ので、図３（ｃ）
に示すように、比較回路６の出力信号波形は、パルス発
生器９からのパルスがオフの際には、ＣＲの時定数に応
じて立ち下がる。
て低周期のパルス動作をさせた場合を示している。図３
で、（ａ）はパルス発生器９の出力、（ｂ）は出力設定
器７の出力、（ｃ）は比較回路６の出力、（ｄ）は自動
ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、（ｅ）
は高周波出力をそれぞれ示している。この場合、パルス
周期が遅い（例えば１０００ｓｅｃ）ので、図３（ｃ）
に示すように、比較回路６の出力信号波形は、パルス発
生器９からのパルスがオフの際には、ＣＲの時定数に応
じて立ち下がる。
【０００８】この立下がりの際、最初カプラ４からの出
力が０であるので、図３（ｄ）に示すように、電力をも
っと流すように自動ゲイン制御回路２へ供給される制御
信号は高くなる。この結果、高周波出力信号は、図３
（ｅ）に示すように、パルスの立下がり時にオーバーシ
ュートが発生する。
力が０であるので、図３（ｄ）に示すように、電力をも
っと流すように自動ゲイン制御回路２へ供給される制御
信号は高くなる。この結果、高周波出力信号は、図３
（ｅ）に示すように、パルスの立下がり時にオーバーシ
ュートが発生する。
【０００９】図４は低い（遅い）周期の高周波電力を得
るに適した電源を示しており、図１の電源と同一部分に
は同一番号を付してある。この図４では、比較回路６に
供給される基準出力を、直流の設定器７からパルス発生
器１２によって発生させるようにしている。また、図１
のパルス制御回路１１は除かれており、比較回路６から
の信号が自動ゲイン制御回路２に直接供給される。
るに適した電源を示しており、図１の電源と同一部分に
は同一番号を付してある。この図４では、比較回路６に
供給される基準出力を、直流の設定器７からパルス発生
器１２によって発生させるようにしている。また、図１
のパルス制御回路１１は除かれており、比較回路６から
の信号が自動ゲイン制御回路２に直接供給される。
【００１０】この電源で、パルス発生器１２のパルスを
低周期にして低周期動作をさせると、図５の動作波形が
得られる。図５（ａ）はパルス発生器１２からの低周期
のパルスであり、（ｂ）は比較回路６に供給される設定
出力、（ｃ）は比較回路６からの制御信号、（ｄ）は自
動ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号（この
場合は（ｃ）の波形と同じである）、（ｅ）は高周波出
力をそれぞれ示している。
低周期にして低周期動作をさせると、図５の動作波形が
得られる。図５（ａ）はパルス発生器１２からの低周期
のパルスであり、（ｂ）は比較回路６に供給される設定
出力、（ｃ）は比較回路６からの制御信号、（ｄ）は自
動ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号（この
場合は（ｃ）の波形と同じである）、（ｅ）は高周波出
力をそれぞれ示している。
【００１１】一方、図４の電源において高周期動作をさ
せる場合、パルス発生器１２は高周波パルスを発生す
る。この場合、図６の動作波形が得られる。図６（ａ）
はパルス発生器１２からの高周期のパルスであり、
（ｂ）は比較回路６に供給される設定出力、（ｃ）は比
較回路６からの制御信号、（ｄ）は自動ゲイン制御回路
２に供給されるゲイン制御回路（この場合は（ｃ）の波
形と同じである）、（ｅ）は高周波出力をそれぞれ示し
ている。
せる場合、パルス発生器１２は高周波パルスを発生す
る。この場合、図６の動作波形が得られる。図６（ａ）
はパルス発生器１２からの高周期のパルスであり、
（ｂ）は比較回路６に供給される設定出力、（ｃ）は比
較回路６からの制御信号、（ｄ）は自動ゲイン制御回路
２に供給されるゲイン制御回路（この場合は（ｃ）の波
形と同じである）、（ｅ）は高周波出力をそれぞれ示し
ている。
【００１２】この図４の電源でパルス動作をさせると、
比較回路６からの信号は、比較回路６のＣ，Ｒの時定数
により、立上がりと立ち下がりでなまった波形となる。
このなまりは１ｓｅｃ程度であり、１０００ｓｅｃ低周
期のパルス動作の場合には、問題とならないが、１０ｓ
ｅｃの高い周期でパルス動作をさせる場合には、図６
（ｅ）に示すように、パルス高周波出力の立上がりと立
ち下がりでのなまりは目だって大きいものとなり、無視
し得ない。
比較回路６からの信号は、比較回路６のＣ，Ｒの時定数
により、立上がりと立ち下がりでなまった波形となる。
このなまりは１ｓｅｃ程度であり、１０００ｓｅｃ低周
期のパルス動作の場合には、問題とならないが、１０ｓ
ｅｃの高い周期でパルス動作をさせる場合には、図６
（ｅ）に示すように、パルス高周波出力の立上がりと立
ち下がりでのなまりは目だって大きいものとなり、無視
し得ない。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、図１
に示した高周期に適した電源で低周期動作をさせるとオ
ーバーシュートが発生し、また、図４に示した低周期に
適した電源で高周期動作をさせると高周波出力パルスの
立上がりと立ち下がりがなまってしまう。
に示した高周期に適した電源で低周期動作をさせるとオ
ーバーシュートが発生し、また、図４に示した低周期に
適した電源で高周期動作をさせると高周波出力パルスの
立上がりと立ち下がりがなまってしまう。
【００１４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、高周期と低周期動作をさせても、
オーバーシュートが発生せず、また、パルスの立上がり
と立ち下がりのなまりが発生しないパルス高周波電源を
実現するにある。
もので、その目的は、高周期と低周期動作をさせても、
オーバーシュートが発生せず、また、パルスの立上がり
と立ち下がりのなまりが発生しないパルス高周波電源を
実現するにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
高周波電源は、高周波発振器と、高周波発振器からの出
力のゲインを制御する手段と、負荷に供給される高周波
出力信号をモニタする手段と、モニタ手段からの信号と
基準出力信号とを比較する比較手段と、比較手段からの
信号をゲイン制御手段に供給するように構成した高周波
電源において、比較手段からの信号をパルス的にオンオ
フすると共に、この比較手段からの信号のオンオフに同
期して、基準出力信号をパルス的にオンオフするように
構成したことを特徴としている。
高周波電源は、高周波発振器と、高周波発振器からの出
力のゲインを制御する手段と、負荷に供給される高周波
出力信号をモニタする手段と、モニタ手段からの信号と
基準出力信号とを比較する比較手段と、比較手段からの
信号をゲイン制御手段に供給するように構成した高周波
電源において、比較手段からの信号をパルス的にオンオ
フすると共に、この比較手段からの信号のオンオフに同
期して、基準出力信号をパルス的にオンオフするように
構成したことを特徴としている。
【００１６】請求項１の発明においては、高周波出力信
号をモニタする手段と基準出力信号とを比較する比較手
段から、ゲイン制御手段に供給される信号をパルス的に
オンオフすると共に、この信号のオンオフに同期して基
準出力信号をオンオフし、高周期のパルス動作でも低周
期のパルス動作でもきれいな波形のパルス高周波出力を
得る。
号をモニタする手段と基準出力信号とを比較する比較手
段から、ゲイン制御手段に供給される信号をパルス的に
オンオフすると共に、この信号のオンオフに同期して基
準出力信号をオンオフし、高周期のパルス動作でも低周
期のパルス動作でもきれいな波形のパルス高周波出力を
得る。
【００１７】請求項２の発明に基づく高周波電源は、高
周波発振器と、高周波発振器からの出力のゲインを制御
する手段と、負荷に供給される高周波出力信号をモニタ
する手段と、モニタ手段からの信号と基準出力信号とを
比較する比較手段と、比較手段からの信号をゲイン制御
手段に供給するように構成した高周波電源において、比
較手段からの信号をパルス的にオンオフすると共に、こ
の比較手段からの信号のオンオフに同期して、基準出力
信号とモニタ手段からの信号をパルス的にオンオフする
ように構成したことを特徴としている。
周波発振器と、高周波発振器からの出力のゲインを制御
する手段と、負荷に供給される高周波出力信号をモニタ
する手段と、モニタ手段からの信号と基準出力信号とを
比較する比較手段と、比較手段からの信号をゲイン制御
手段に供給するように構成した高周波電源において、比
較手段からの信号をパルス的にオンオフすると共に、こ
の比較手段からの信号のオンオフに同期して、基準出力
信号とモニタ手段からの信号をパルス的にオンオフする
ように構成したことを特徴としている。
【００１８】請求項２の発明においては、高周波出力信
号をモニタする手段と基準出力信号とを比較する比較手
段から、ゲイン制御手段に供給される信号をパルス的に
オンオフすると共に、この信号のオンオフに同期して基
準出力信号とモニタ手段からの信号をオンオフし、高周
期のパルス動作でも低周期のパルス動作でもきれいな波
形のパルス高周波出力を得る。
号をモニタする手段と基準出力信号とを比較する比較手
段から、ゲイン制御手段に供給される信号をパルス的に
オンオフすると共に、この信号のオンオフに同期して基
準出力信号とモニタ手段からの信号をオンオフし、高周
期のパルス動作でも低周期のパルス動作でもきれいな波
形のパルス高周波出力を得る。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図７は本発明に基づくパルス高周
波電源の一例を示しており、図１の従来の電源と同一部
分には同一番号を付してその詳細な説明は省略する。こ
の図７の電源と図１の電源と相違する点は、出力設定器
７から比較回路８に供給する基準出力信号をパルス制御
回路１３によってオンオフするようにした点である。
施の形態を説明する。図７は本発明に基づくパルス高周
波電源の一例を示しており、図１の従来の電源と同一部
分には同一番号を付してその詳細な説明は省略する。こ
の図７の電源と図１の電源と相違する点は、出力設定器
７から比較回路８に供給する基準出力信号をパルス制御
回路１３によってオンオフするようにした点である。
【００２０】パルス制御回路１３は、パルス発生器１
４、反転器１５、トランジスタ１６とから構成されてお
り、パルス発生器１４は、パルス制御回路１０のパルス
発生器８と同期して同一のパルスを発生する。このよう
な構成の動作を次に説明する。
４、反転器１５、トランジスタ１６とから構成されてお
り、パルス発生器１４は、パルス制御回路１０のパルス
発生器８と同期して同一のパルスを発生する。このよう
な構成の動作を次に説明する。
【００２１】まず、低周期動作をさせる場合、パルス制
御回路１１のパルス発生器９からは、図８（ａ）に示す
パルス信号が発生する。一方、パルス制御回路１３のパ
ルス発生器１４からは、図８（ａ）に示すパルス信号と
同期したパルス信号が発生されることから、出力設定器
７の出力信号はオンオフされ、比較回路６には、図８
（ｂ）に示す負のパルス設定信号が出力される。図８
（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示しており、カ
プラ４からの信号とオンオフされた基準出力信号の差信
号が得られる。
御回路１１のパルス発生器９からは、図８（ａ）に示す
パルス信号が発生する。一方、パルス制御回路１３のパ
ルス発生器１４からは、図８（ａ）に示すパルス信号と
同期したパルス信号が発生されることから、出力設定器
７の出力信号はオンオフされ、比較回路６には、図８
（ｂ）に示す負のパルス設定信号が出力される。図８
（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示しており、カ
プラ４からの信号とオンオフされた基準出力信号の差信
号が得られる。
【００２２】図８（ｄ）は、自動ゲイン制御回路２に供
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図８（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図８
（ｅ）のようにパルス的に動作する。
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図８（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図８
（ｅ）のようにパルス的に動作する。
【００２３】このように、図７に示した電源では、パル
ス発生器９からのパルスがオフの時、カプラ４からの出
力が０であり、また、比較回路６に供給される基準出力
信号も０となるため、図８（ｅ）に示すように、高周波
出力パルスの立上がりの際にオーバーシュートは発生し
ない。
ス発生器９からのパルスがオフの時、カプラ４からの出
力が０であり、また、比較回路６に供給される基準出力
信号も０となるため、図８（ｅ）に示すように、高周波
出力パルスの立上がりの際にオーバーシュートは発生し
ない。
【００２４】一方、図７の電源で高周期動作をさせる場
合、パルス制御回路１１のパルス発生器９からは、図９
（ａ）に示すパルス信号が発生し、また、パルス制御回
路１３のパルス発生器１４からは、図９（ａ）に示すパ
ルス信号と同期したパルス信号が発生されることから、
出力設定器７の出力信号はオンオフされ、比較回路６に
は、図９（ｂ）に示す負のパルス設定信号が出力され
る。図９（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示して
おり、カプラ４からの信号とパルス制御回路１３からの
信号の差信号が得られる。なお、この出力信号が時間と
共にレベルが下がっているのは、Ｃ，Ｒの時定数による
ためである。
合、パルス制御回路１１のパルス発生器９からは、図９
（ａ）に示すパルス信号が発生し、また、パルス制御回
路１３のパルス発生器１４からは、図９（ａ）に示すパ
ルス信号と同期したパルス信号が発生されることから、
出力設定器７の出力信号はオンオフされ、比較回路６に
は、図９（ｂ）に示す負のパルス設定信号が出力され
る。図９（ｃ）は、比較回路６からの出力信号を示して
おり、カプラ４からの信号とパルス制御回路１３からの
信号の差信号が得られる。なお、この出力信号が時間と
共にレベルが下がっているのは、Ｃ，Ｒの時定数による
ためである。
【００２５】図９（ｄ）は、自動ゲイン制御回路２に供
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図９（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図９
（ｅ）のようにパルス的にきれいな波形で動作する。
給されるゲイン制御信号を示している。この制御信号
は、図９（ａ）のパルス発生器９の出力がオンの時、ト
ランジスタ１０が導通状態となり、比較回路６からの出
力信号がトランジスタ１０に流れ込むため、パルス発生
器９の出力に応じてパルス的とされる。その結果、自動
ゲイン制御回路２によって高周波電力の出力は、図９
（ｅ）のようにパルス的にきれいな波形で動作する。
【００２６】上記した図７の電源では、高周波動作させ
た場合でも低周期動作をさせた場合でも、きれいな波形
のパルス高周波出力が得られる。しかしながら、カプラ
４内の抵抗とコンデンサにより、比較的時定数が長い
と、カプラ４からのＰｆ信号がなまってしまう。
た場合でも低周期動作をさせた場合でも、きれいな波形
のパルス高周波出力が得られる。しかしながら、カプラ
４内の抵抗とコンデンサにより、比較的時定数が長い
と、カプラ４からのＰｆ信号がなまってしまう。
【００２７】この様子を図１０の波形図を用いて説明す
る。図１０で、（ａ）はパルス制御回路９の出力、
（ｂ）はオンオフされた基準出力信号、（ｃ）はカプラ
４の出力、（ｄ）は比較回路６の出力、（ｅ）は自動ゲ
イン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、（ｆ）は
高周波出力をそれぞれ示している。
る。図１０で、（ａ）はパルス制御回路９の出力、
（ｂ）はオンオフされた基準出力信号、（ｃ）はカプラ
４の出力、（ｄ）は比較回路６の出力、（ｅ）は自動ゲ
イン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、（ｆ）は
高周波出力をそれぞれ示している。
【００２８】この場合、図１０（ｃ）のカプラ４の出力
は、カプラのコンデンサ，抵抗による時定数のため、波
形がなまっている。この結果、比較回路６の出力、自動
ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、高周波
出力は、それぞれ立上がりで波形がなまってしまう。
は、カプラのコンデンサ，抵抗による時定数のため、波
形がなまっている。この結果、比較回路６の出力、自動
ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御信号、高周波
出力は、それぞれ立上がりで波形がなまってしまう。
【００２９】図１１の実施の形態は、このカプラの時定
数による影響をなくしたもので、図７の電源と比べ、カ
プラ４の出力側に、パルス制御回路１７を設けている。
パルス制御回路１７はパルス発生器１８、トランジスタ
１９より構成されており、パルス発生器１８はパルス発
生器９とパルス発生器１４と同期してパルスを発生す
る。
数による影響をなくしたもので、図７の電源と比べ、カ
プラ４の出力側に、パルス制御回路１７を設けている。
パルス制御回路１７はパルス発生器１８、トランジスタ
１９より構成されており、パルス発生器１８はパルス発
生器９とパルス発生器１４と同期してパルスを発生す
る。
【００３０】このような構成の動作波形を図１２に示
す。図１２で、（ａ）はパルス制御回路９の出力、
（ｂ）はパルス制御回路１３によりパルス的にオンオフ
された基準出力信号、（ｃ）はカプラ４の出力、（ｄ）
は比較回路６の出力、（ｅ）は自動ゲイン制御回路２に
供給されるゲイン制御信号、（ｆ）は高周波出力をそれ
ぞれ示している。
す。図１２で、（ａ）はパルス制御回路９の出力、
（ｂ）はパルス制御回路１３によりパルス的にオンオフ
された基準出力信号、（ｃ）はカプラ４の出力、（ｄ）
は比較回路６の出力、（ｅ）は自動ゲイン制御回路２に
供給されるゲイン制御信号、（ｆ）は高周波出力をそれ
ぞれ示している。
【００３１】この図１２の波形が明らかなように、カプ
ラ４の出力は、図１２（ｃ）に示すように、電源のパル
ス動作に同期してオンオフされることから、比較回路６
の出力、自動ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御
信号、高周波出力は、それぞれ立上がりで波形がなまる
ことはない。
ラ４の出力は、図１２（ｃ）に示すように、電源のパル
ス動作に同期してオンオフされることから、比較回路６
の出力、自動ゲイン制御回路２に供給されるゲイン制御
信号、高周波出力は、それぞれ立上がりで波形がなまる
ことはない。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
おいては、高周波出力信号をモニタする手段と基準出力
信号とを比較する比較手段から、ゲイン制御手段に供給
される信号をパルス的にオンオフすると共に、この信号
のオンオフに同期して基準出力信号をオンオフするよう
に構成したので、高周期のパルス動作でも低周期のパル
ス動作でもきれいな波形のパルス高周波出力を得ること
ができる。特に低周期のパルス動作をさせた際に、オー
バーシュートを防ぐことができる。
おいては、高周波出力信号をモニタする手段と基準出力
信号とを比較する比較手段から、ゲイン制御手段に供給
される信号をパルス的にオンオフすると共に、この信号
のオンオフに同期して基準出力信号をオンオフするよう
に構成したので、高周期のパルス動作でも低周期のパル
ス動作でもきれいな波形のパルス高周波出力を得ること
ができる。特に低周期のパルス動作をさせた際に、オー
バーシュートを防ぐことができる。
【００３３】また、高周波出力信号をモニタする手段と
基準出力信号とを比較する比較手段から、ゲイン制御手
段に供給される信号をパルス的にオンオフすると共に、
この信号のオンオフに同期して基準出力信号とモニタ手
段からの信号をオンオフするように構成したので、モニ
タ手段からの信号がなまっていても、高周期のパルス動
作でも低周期のパルス動作でもきれいな波形のパルス高
周波出力を得ることができる。
基準出力信号とを比較する比較手段から、ゲイン制御手
段に供給される信号をパルス的にオンオフすると共に、
この信号のオンオフに同期して基準出力信号とモニタ手
段からの信号をオンオフするように構成したので、モニ
タ手段からの信号がなまっていても、高周期のパルス動
作でも低周期のパルス動作でもきれいな波形のパルス高
周波出力を得ることができる。
【図１】従来の高周期動作に適したパルス高周波電源を
示す図である。
示す図である。
【図２】図１の電源で高周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。
を示す図である。
【図３】図１の電源で低周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。
を示す図である。
【図４】従来の低周期動作に適したパルス高周波電源を
示す図である。
示す図である。
【図５】図４の電源で低周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。
を示す図である。
【図６】図４の電源で高周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。
を示す図である。
【図７】本発明に基づくパルス高周波電源を示す図であ
る。
る。
【図８】図７の電源で低周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。
を示す図である。
【図９】図７の電源で高周期動作をさせた際の動作波形
を示す図である。
を示す図である。
【図１０】図７の電源の問題点を説明するための波形図
である。
である。
【図１１】本発明に基づくパルス高周波電源を示す図で
ある。
ある。
【図１２】図１１の電源でパルス動作をさせた際の動作
波形を示す図である。
波形を示す図である。
１ 高周波発振器 ２ 自動ゲイン制御回路 ３ 電力増幅器 ４ カプラ ５ 出力端子 ６ 比較回路 ７ 出力設定器 ８ 演算増幅器 ９，１４，１８ パルス発生器 １１，１３，１７ パルス制御回路
Claims (2)
- 【請求項１】 高周波発振器と、高周波発振器からの出
力のゲインを制御する手段と、負荷に供給される高周波
出力信号をモニタする手段と、モニタ手段からの信号と
基準出力信号とを比較する比較手段と、比較手段からの
信号をゲイン制御手段に供給するように構成した高周波
電源において、比較手段からの信号をパルス的にオンオ
フすると共に、この比較手段からの信号のオンオフに同
期して、基準出力信号をパルス的にオンオフするように
構成したことを特徴とする高周波電源。 - 【請求項２】 高周波発振器と、高周波発振器からの出
力のゲインを制御する手段と、負荷に供給される高周波
出力信号をモニタする手段と、モニタ手段からの信号と
基準出力信号とを比較する比較手段と、比較手段からの
信号をゲイン制御手段に供給するように構成した高周波
電源において、比較手段からの信号をパルス的にオンオ
フすると共に、この比較手段からの信号のオンオフに同
期して、基準出力信号とモニタ手段からの信号をパルス
的にオンオフするように構成したことを特徴とする高周
波電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07233775A JP3088640B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 高周波電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07233775A JP3088640B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 高周波電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0981249A JPH0981249A (ja) | 1997-03-28 |
| JP3088640B2 true JP3088640B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=16960383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07233775A Expired - Fee Related JP3088640B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | 高周波電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3088640B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7179754B2 (en) * | 2003-05-28 | 2007-02-20 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for plasma nitridation of gate dielectrics using amplitude modulated radio-frequency energy |
-
1995
- 1995-09-12 JP JP07233775A patent/JP3088640B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0981249A (ja) | 1997-03-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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