JP3081648B2 - 遠隔測定装置 - Google Patents

遠隔測定装置

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JP3081648B2
JP3081648B2 JP09509827A JP50982797A JP3081648B2 JP 3081648 B2 JP3081648 B2 JP 3081648B2 JP 09509827 A JP09509827 A JP 09509827A JP 50982797 A JP50982797 A JP 50982797A JP 3081648 B2 JP3081648 B2 JP 3081648B2
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    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma

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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、たとえば、廃棄ガラスなどの放射性物質
中のウランやプルトニウムを遠隔測定する方法と装置に
関する。
これまで、放射性物質中の放射性元素を定量する場
合、これらの物質から試料を機械的に採取し、次いで、
このような元素の有無を調べていた。その方法では、試
験操作ハンドルを取り扱う人たちは、放射線を遮蔽し、
チェンバ外からオペレータにより操作できる、試料を取
り扱う把持はさみなどが配置されているチェンバで、被
分析試料物質を処理する仕事を行う。チェンバ内の試料
の処理は極めて複雑な操作であり、したがって、それに
応じて時間がかかる。
したがって、この発明の目的は、被分析試料物質の取
扱をできるだけ少なくする、放射性物質中のウランやプ
ルトニウムを遠隔測定する装置と方法を提供することで
ある。
この目的は、クレイム15とクレイム１の特徴を、それ
ぞれ、有する遠隔測定方法と装置により達成される。
この発明によると、レーザを備えることが提案されて
おり、そのレーザビームは放射性物質である被分析試料
に集束することができる。レーザビームがその試料に当
たると少量の試料が切除されるので、これは準非破壊プ
ロセスと呼ばれている。この操作で、レーザが試料のプ
ラズマをつくり、その試料から光が放出される。このプ
ラズマの発光スペクトルの像がスペクトログラフにおい
て形成され、次いで、分析装置により評価される。得ら
れたスペクトル線から、試料中にウランまたはプルトニ
ウムの有無について適切な情報が得られる。
分析の方法で、特に、測定発光スペクトルの時間に関
する（すなわち、レーザパルス発光時間について）数学
的積分の開始を遅らせる遅延装置を備えると特に有利で
ある。そのようにすると、その遅延時間を変えることに
より、相互に関連した任意のスペクトル線の最適（シグ
ナル／ノイズ）比を設定することができる。さらに、試
料から切除された物質が完全に微粒化される場合のみ、
分析が行われることを保証することができる。
レーザビームを集束する集束装置は、直接レーザに配
置し、レーザの集束装置を出ていくレーザビームを自由
空間を通って試料に直接当てることができる。さらに、
レーザ発生プラズマにより放射された光の像をスペクト
ログラフに形成する撮像装置を、スペクトログラフそれ
自身に直接配置することもできる。この場合放射光も自
由空間を通ってスペクトログラフまで直接到達する。レ
ーザ光と試料プラズマにより放射された光が自由空間を
通らなければならない距離が比較的大きいために、レー
ザビームの対応する分散効果と強度のロスが起こりう
る。したがって、一方では、レーザビームは動いて試料
により接近し、他方では、試料が放射した光が空間ター
ムにおいてより速くガイドされ、その結果、自由空間に
おいて光ビームが全体として通る距離が短縮されるのは
好ましい。
この発明のそのような実施態様においては、試料に合
致されうる測定ヘッドが具備されている。測定ヘッドへ
のレーザビームの供給および測定ヘッドからスペクトロ
グラフへの試料により放射された光の伝送は、各ケース
において光ガイドによりなされる。測定ヘッドには、集
束装置と撮像装置のレンズ・システムが、それぞれ、配
置されている複数の管状接続部分がある。その組立体に
おいて、レンズ・システムの光学軸が配向しているの
で、レンズ・システムの範囲は、試料のレーザ発生プラ
ズマが測定操作中起きる空間内の領域を通って十分に広
がっている。
一つ以上の供給導管を測定ヘッドの下側に具備するこ
とができる。この測定ヘッドを介して供給導管がプラズ
マを遮蔽するフラッシング流体または浄化流体をチェン
バに供給する。このチェンバは測定ヘッドを具備し、か
つ、その中に試料が配設される。フラッシング流体また
は浄化流体は、不活性ガス、好ましくは、アルゴンまた
はダストを含まない空気である。
測定ヘッドに導く光ガイドへのレーザビームの結合を
うまく調整するために、光ガイド結合装置が具備されて
いる。光ガイド結合装置は、レーザのハウジングに固定
して接続されており、かつ、光ガイドを、一方では、レ
ーザに向かってその２つの横断軸の周りを回転させるこ
とができ、他方では、その横断軸と縦軸の方向に直線的
に移動させることができる。
この発明の実施態様を添付図面を例にして以下に説明
する。
図１はこの発明による装置の実施態様の側面図であ
る。
図２は図１に示したこの発明による装置を下から見た
図である。
図３はNd:YAGレーザビームおよび集束光学装置の伝送
に用いた光ファイバのデータを表で示している。
図４はプラズマ像の形成に用いた光ファイバのデータ
を表で示している。
図５はレーザ発生プラズマにより４−アーム光ガイド
内に放射された光を結合する光学装置を示している。
図６は種々の波長領域におけるスペクトル・ウインド
ウと検出器分解能に関連したデータを表で示している。
図７はこの発明によるNewport MF91−CL型光ガイド結
合装置の正面図である。
図８は図７に示したこの発明による光ガイド結合装置
の側面図である。
図９は図８に示したこの発明による光ガイド結合装置
を下から見た図である。
図10は光ガイドのNd:YAGレーザビーム下流のビーム・
プロフィルである。
図11は結合パルス・エネルギーと光ガイド伝送効率の
関係を示している。
図12は４−アーム光ガイドの相対伝送効率を示してい
る。
図13は４−アーム光ガイドのメーカーが具体的に示し
た絶対伝送効率である。
図14は３種類のマトリックスを用いた（クロム／鉄）
校正測定の結果を示している。
図15はガラス試料VG98/12,GP98/12およびGP98/12＋U0
2の590nmにおける発光スペクトルを示している。
図16はガラス試料GP98/12＋U02におけるウラン分布に
関連した測定結果を示している。
図17は、光ガイド有無の両ケースについて積分時間20
μｓにて測定した、ウラン原子線591.539nmの（シグナ
ル／ノイズ）比の時間依存性を示している。
図18は、３つの積分時間、すなわち、10、20および30
μｓにおける、測定ヘッドで測定した（シグナル／ノイ
ズ）比の時間依存性を示している。
図19は、この発明による測定結果を、光ガイド有無の
両ケースについて比較して示している。
図１に示したこの発明による装置30には、Nd:YAGレー
ザ（Spectron SL 401）、検出器23付きスペクトログラ
フ４、分析装置６および分析装置６とレーザ１の間に配
置された遅延装置７がある。コンピュータ（図示せず）
は検出器23に接続されている。分析装置６は、EG＆Ｇ製
の４チャンネル分析装置OMA IIIである。遅延装置７
は、適切な信号配線24によりレーザ１と分析装置６に接
続されている。
試料３を蒸発させるために、レーザ１は1064nmの基本
波長とパルス長さ5nsで動作する。パルス・エネルギー
は20mJが好適である。
図２の平面図で正方形配置として示されている測定ヘ
ッド14は、試料３に合致させることができる。全部で５
つの管状接続部分16、17（図１の側面図にはその内の３
つだけが見られる）が試料の上に配置されている。
光ガイド10およびレンズ８と９を含む集束装置２は、
測定ヘッド14の上方に垂直に突き出ている部分16に配置
されており、この点を考慮すると、接続部分16の中で、
光ガイド10の長さが比較的短かくても差し支えない。測
定ヘッドから横方向に突き出ている他の４つの接続部分
17は、各々が光ガイド13と、それぞれ、レンズ11、12と
11′、12′を含む４つの撮像装置５を収容している。４
つの撮像装置５がここに備えられているので、４−アー
ム光ガイド13に対し照合がなされる。図１では見られな
い２つの接続部分17は、図１を見る方向において一つが
他の背後に、図１の図の平面に関して対称的に配設され
ている。その配置により、空間のあらゆる方向に放射さ
れる光の最大可能部分の像がスペクトログラフ４で形成
されることが保証される。
光ガイド10と13は、それぞれ、ガイド部分25と26によ
り接続部分16と17に保持される。光ガイドとしてはグラ
スファイバがグラフファイバ・ケーブルを用いるのが好
適である。集束装置２の集束光学装置と光ファイバの技
術データは、図３に示す表で見ることができる。４つの
撮像装置５の集束光学装置と光ファイバの技術データ
は、図４に示す表に含まれている。
図２を見ると最もよく分かるように、測定ヘッド14の
下側に４つの供給導管22があり、この導管を通ってフラ
ッシング流体または浄化流体を、矢印Ａにより示すよう
に、測定ヘッド14のチェンバ15に供給することができ
る。そのような状況では、フラッシング流体または浄化
流体の流れは、試料３の表面に沿って流れようとし、か
つ、レーザ発生プラズマ18の周りをできるだけ完全に流
れるように垂直な広がりであろうとしている。フラッシ
ング流体または浄化流体がプラズマの周りを流れるとい
う事実は、たとえば、空気によるプラズマ温度の低下の
ようなプラズマに対する外乱は避けられることを意味す
る。フラッシング流体または浄化流体として不活性ガス
であるアルゴンを使用することは、特に望ましいことが
判明した。アルゴンの流量は約40リットル/hが好適であ
る。
図５には、４−アーム光ガイド13に結合する場合に用
いた光学装置の構造を示している。発光プラズマ18が生
じる撮像装置５の２レンズ・システム11、12の動作間隔
Ｅを、特に、見ることができる。撮像装置５により、像
を形成し、かつ、表面に近いプラズマ18の層からの放射
線を分析することもできる。
図６の表には、用いた４チャンネル分析装置の種々の
スペクトル領域における画素の幅と同時に観察できるウ
インドーを示している。
図７、８および９は、光ガイド結合装置19を示してい
る。この装置はレーザ１からのレーザビームの光ガイド
10への最適接続に役立つ。この結合装置19には、レーザ
ビーム導入開口部21と光ガイド接続部20がある。光ガイ
ド結合装置19全体は、レーザ１のハウジングに着脱可能
に機械的に固定されており、レーザビームに関して光ガ
イド・ファイバの調整不良を回避し、したがって、調整
不良が発生した場合にありうる光ガイド・ファイバ末端
表面の破壊を回避することができる。光ガイド・ファイ
バ末端表面を不純物から保護するために、繊維末端をダ
ストを含まない空気でフラッシュする。レーザ波長1064
nmにおいて焦点距離55.8mmの石英レンズを、光ガイド・
ファイバへのレーザビームの接続に用いる。コア直径60
0μｍの光ガイド・ファイバを、レンズの焦点の約14mm
後ろに配設する。
レーザビームに関して光ガイド・ファイバ末端を最適
調整する場合、光ガイドは総自由度５度が与えられる。
図８に示すように、レーザ１に向かってその末端で、光
ガイド接続部20に接続されている光ガイド10はその横断
軸ｙとｚの周りを回転でき、かつ、これら２つの横断軸
とその縦軸ｘの方向に直線的に移動できる。
繊維末端表面が過度に高水準の強度により破壊される
のを防ぐために、調整操作中に、減衰フィルタがレーザ
１と光ガイド10の繊維の間に配設され、その結果、約10
mJ、すなわち、わずか約0.01mJ/パルス、のパルス・エ
ネルギーにて光ガイド・ファイバに接続される。
図10には、ホトダイオード・セルにより得られた、光
ガイド10の繊維から出る光のビーム・プロフィルを調べ
た結果を示している。これは、最適接続を備えた光ガイ
ド・ファイバのレーザビーム下流のビーム・プロフィル
である。このプロフィルは対称的であることが分かる。
光ガイド・ファイバを注意深く調整した後、30mJのパル
ス・エネルギーが繊維に問題なく接続される。これらの
パルス・エネルギーは、まだ、光ガイド10の指定破壊し
きい値より一桁低い。
図11に示したように、光ガイド10における測定精度の
限界内で伝送損を検出することはできなかった。決定手
順には、20mJのパルス・エネルギーを用いた操作が含ま
れていたが、一方、光ガイド・ファイバ末端表面放射密
度（約0.8GW/cm2）は破壊しきい値より一桁ほど下であ
った。
この明細書に記載された実施態様、すなわち、光ガイ
ド10と13および測定ヘッド14を用いた測定を、この発明
による別の実施態様を用いて行った測定と比較した。こ
の発明による別の実施例では、測定ヘッド14と光ガイド
10と13はないが、レーザビームを自由空間を通ってレー
ザ１から直接試料３に当てることができ、プラズマ18に
より放射された光は自由空間を通ってスペクトログラフ
４に直接入ることができた。これら２つの実施態様に関
連した測定を、以後「光ガイドを用いた測定」と「光ガ
イドなしの測定」と呼ぶことにする。
光ガイドを用いた測定の場合、試料３上に約320μｍ
の焦点半径がつくられた。光ガイドなしの測定では、最
大（シグナル／ノイズ）比は、レーザ・エネルギー20mJ
で試料３上の焦点半径が90μｍの場合に起きることが分
かり、これは放射強度約6.3×1010W/cm2に対応してい
る。光ガイドを用いた測定では、レーザ１の同じパルス
・エネルギーにおける放射密度は、焦点直径が大きいの
で、わずかに５×109W/cm2であった。それにより約一桁
低い試料切除が得られた。
図12には、200と600mμの間の波長範囲におけるプラ
ズマ放射について４−アーム光ガイド13の相対伝送効率
を示している。伝送効率の測定は水銀蒸気ランプにより
行った。伝送曲線は、空気中で測定する場合すべての光
学成分について相対形状を示している。光ガイド有無両
方の測定の強度比を波長に関してプロットしている。λ
＝280nmの波長以下では、伝送効率が低下することを明
らかに見ることができる。
図13には、メーカーが具体的に示した、光ガイド13の
絶対伝送効率を示している。最高絶対伝送効率は約64％
である。
図14には、３種類のマトリックス（鋼鉄:NBS試料、ガ
ラス:Hoeschからの試料、アルミニウム:Pechineyおよび
Alusuisseからの試料）を用いた鉄に対するクロムの校
正測定の結果を示している。425.435nm（Cr（Ｉ））お
よび302.639nm（Fe（Ｉ））における原子発光線を用い
た。強度比を濃度比に関してプロットしている。レーザ
パルス（パルス・エネルギー20mJ）の後、６μｓ遅らせ
た測定も行った。積分時間は40μｓであった。50のスペ
クトルを合計した。平均した直線の勾配は、両対数表示
における勾配である。すべての測定データは５％の範囲
内で直線上にある。これはマトリックスとは無関係な測
定が可能であることを示している。この知見は、種々の
組成のガラスの中のウランとプルトニウムを定量する場
合に重要である。溶融試料の組成がわずかに変わって
も、レーザ放射線の吸収や反射、切除量およびプラズマ
・パラメータが変わる。しかし、類似した励起エネルギ
ーを有する線を選択すると、切除物質が完全に微粒化
し、さらに、熱力学的平衡を仮定すると、強度比は濃度
比に比例し、したがって、試料組成およびプラズマ温度
とはほぼ無関係である。したがって、種々の量が切除さ
れる点に関し、および、レーザ発生プラズマ18で起こる
種々の温度に関して、試料３を一緒に比較できる。
図15には、ガラス試料VG98/12,GP98/12およびGP98/12
＋0.98％UO2のスペクトルを示している。各ケースにお
いて、遅延時間６μｓと積分時間20μｓの場合につい
て、50のスペクトルを積分した。試料切除は、放射線密
度が５×109W/cm2の場合、約0.15ng/ショットであっ
た。591.539nmのウラン原子発光線の他に、マトリック
ス成分であるチタン（Ti（Ｉ）591.855nmとTi（Ｉ）59
2.212nm）の２つの発光線と保護ガラスであるアルゴン
（591.208nm）に関する原子線が存在することが認めら
れる。
図16に示した測定操作は、試料（GP98/12＋UO2）にお
けるウラン分布の均一性に関連して同じ測定条件下で行
った。各測定点は、５つの測定の平均値を表しており、
320μｍの焦点の直径に関して、比較的均一なウラン分
布を示している。個々の測定値の標準偏差は、６〜12％
の間にあるが、平均値の標準偏差は６％である。
図17には、ウラン原子線591.539nmの（シグナル／ノ
イズ）比と時間の関係を示している。光ガイド有無の両
測定において、最大比は６μｓの時間シフトにおいて見
ることができる。明らかに、分析線の強度は、遅延時間
が短いほど高いが、これらは非常に高いファンデーショ
ン（プラズマの再結合連続体）にのっている。さらに、
切除物質はまだ完全に微粒化していないので、遅延時間
が短い場合ある種のマトリックス依存性がある。
ノイズのレベルは検出器23を冷却することにより下げ
ることができる。それにより（シグナル／ノイズ）比が
改善され、したがって、検出限界も改善される。
用いたレーザパルス・エネルギーが高いほど、切除度
は大きくなり線強度レベルが高くなると期待される。し
かし、その場合は、時間ウインドーを最適（シグナル／
ノイズ）比について再確立しなければならない。
レーザ焦点における強度レベルが低いために、光ガイ
ドを用いた測定の場合、試料切除度は光ガイドなしの測
定の場合より低い。しかし、分析線の測定強度は、試料
切除の度合いが同等であるならば、レーザ強度の低下に
より、光ガイドなしの測定の場合より約66％高い。
図18は、種々の積分時間（10μｓ、20μｓおよび30μ
ｓ）の場合の（シグナル／ノイズ）比の時間依存性を示
している。最適比は、積分時間20μｓで６μｓ遅延した
場合に得られる。
図19の表は、この発明による測定を、光ガイド10、13
有無の両ケースについて比較している。結果は、ウラン
の絶対検出限界は、光ガイドを用いて測定した場合の方
が光ガイドなしの場合より低いことを示している。検出
限界は、検出器23を冷却すれば、1/2〜1/3に下げられる
であろう。もちろん、この場合乾燥ガスによる検出器23
のフラッシングが必要になる。さらに、パルス・エネル
ギーのレベルを上げて切除の度合いを大きくし、かつ、
検出の遅延について適切な選択をすれば、相対的な検出
限界を下げることができる。分解能が最高のスペクトロ
グラフ４を用いることも有益であり、その結果、発光線
の干渉現象により以前は採用できなかったより強い検出
線を濃度の測定に利用できる。
この発明の装置により、構造が簡単で放射能の高い試
料３の迅速な分析が可能になる。発光分析に必要な装置
は搬出可能である。すなわち、この装置は測定操作中は
測定ヘッド14と光ガイド10、13は固定装置であるが、一
方、レーザ１、スペクトログラフ４および検出器23は接
続されたコンピュータとともに移動装置として設置でき
る。測定ヘッド14の利点は、所望の位置に配置できるこ
とであるが、さらに、非常に長い柔軟な光ガイド10、13
を用いることもできる。さらに、測定は常圧のアルゴン
流の下でできるので、試料交換機構が高価な閉鎖試料室
を用いる必要がない。測定ヘッド14はマニピュレータま
たはロボット・アームにより試料３に位置決めすること
ができ、実験は遠隔制御で、放射性物質に直接接触する
ことなく行うことができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 コッホ、ロータア ドイツ Ｄ−76356 ヴァインガーテン、 リースリングヴェーク ８番地 (72)発明者 バベロ、ジャン−フランソワ ドイツ Ｄ−76351 リンケンハイム− ホッホシュテーテン、ベルトルト−ブレ ヒト−シュトラーセ ２番地 (56)参考文献 特開 昭54−41791（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−174832（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−198610（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−218775（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−230249（ＪＰ，Ａ) 米国特許4191475（ＵＳ，Ａ) 国際公開94／29699（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/62 - 21/74 G02B 6/24,6/26,6/42 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】放射性物質中のウランまたはプルトニウム
    を遠隔測定する装置であって、 レーザ・ビームを発生するレーザ（１）と、 上記レーザ（１）から発生したレーザ・ビームを被分析
    試料（３）に照射することによって発生したプラズマ発
    光光を撮像する測定ヘッド（14）と、 上記測定ヘッド（14）で撮像された撮像データを分光す
    るスペクトログラフ（４）と、 上記スペクトログラフ（４）により分光された発光スペ
    クトルを分析する分析装置（６）と、 を有し、 上記測定ヘッド（14）の内部には底面側が開口となった
    チェンバ（15）が設けられ、 上記測定ヘッド（15）には、 上記レーザ（１）と光ガイド（10）で接続されてレーザ
    ・ビームをチェンバ（15）の下方に位置する被分析試料
    （３）に照射する集束装置（２）と、 上記集束装置（２）から照射したレーザ・ビームに基づ
    いて発生したプラズマ発光光を複数方向から撮像すると
    ともに、該撮像データを上記スペクトログラフ（４）に
    送出する光ガイド（13）がそれぞれに接続された複数の
    撮像装置（５）と、 を備えていることを特徴とする遠隔測定装置。
  2. 【請求項２】レーザパルス放射時間に関して分析操作の
    開始を遅らせる遅延装置（７）を備えていることを特徴
    とする請求の範囲第１項に記載の遠隔測定装置。
  3. 【請求項３】前記集束装置（２）には第１のレンズシス
    テム（8,9）があり、かつ、前記レーザ（１）を前記集
    束装置（２）に接続する第１の光ガイドを備えているこ
    とを特徴とする請求の範囲第１または第２項に記載の遠
    隔測定装置。
  4. 【請求項４】前記撮像装置（５）に少なくとも第２のレ
    ンズシステム（11,12;11′,12′）があり、かつ、前記
    撮像装置（５）を前記スペクトログラフ（４）に接続す
    る第２の光ガイドを備えていることを特徴とする請求の
    範囲１乃至３のいずれか一つの項に記載の遠隔測定装
    置。
  5. 【請求項５】２つ以上の管状接続部（16,17）が前記測
    定ヘッド（14）に配置されていることを特徴とする請求
    の範囲１乃至４のいずれか一つの項に記載の遠隔測定装
    置。
  6. 【請求項６】前記集束装置（２）の前記第１のレンズシ
    ステム（8,9）が、前記接続部（16,17）の一つ（16）に
    配置されており、さらに、前記撮像装置（５）の前記第
    ２のレンズシステム（11,12;11′,12′）が一つ以上の
    他の接続部分（17）において、前記レンズシステム（8,
    9;11,12;11′,12′）の光軸が、前記試料（３）の前記
    レーザ発生プラズマ（18）が広がっている空間領域をほ
    ぼ貫通するように配置されていることを特徴とする請求
    の範囲第５項に記載の遠隔測定装置。
  7. 【請求項７】前記測定ヘッド（14）の下側に、一つ以上
    の供給導管を備えており、その中を通ってフラッシング
    流体が前記チェンバ（15）に供給（Ａ）されることを特
    徴とする請求の範囲１乃至６のいずれか一つの項に記載
    の遠隔測定装置。
  8. 【請求項８】前記フラッシング流体が不活性ガスである
    ことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の遠隔測定装
    置。
  9. 【請求項９】前記不活性ガスがアルゴンであることを特
    徴とする請求の範囲第８項に記載の遠隔測定装置。
  10. 【請求項１０】前記フラッシング流体がダストを含まな
    い空気であることを特徴とする請求の範囲第７項に記載
    の遠隔測定装置。
  11. 【請求項１１】前記レーザ（１）に前記第１光ガイド
    （10）を結合するために、レーザビームに関して前記光
    ガイド（10）の調節不良を避けるために前記レーザ
    （１）のハウジングに着脱可能に固定されている光ガイ
    ド結合装置（19）を備えていることを特徴とする請求の
    範囲第３項に記載の遠隔測定装置。
  12. 【請求項１２】前記光ガイド結合装置（19）が光ガイド
    接続部（20）とレーザビーム導入開口部（21）を備え、
    レーザビーム導入開口部（21）に関して調整のために前
    記光ガイド接続部（20）に接続された前記光ガイド（1
    0）がその２つの相互に直角な横断軸（y,z）の周りを回
    転することができ、かつ、前記横断軸（y,z）の方向お
    よびその縦軸（ｘ）の方向に直線的に移動できることを
    特徴とする請求の範囲第11項に記載の遠隔測定装置。
  13. 【請求項１３】前記光ガイド（10,13）がガラス繊維ま
    たはガラス繊維ケーブルであることを特徴とする請求の
    範囲第３または第４項に記載の遠隔測定装置。
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